JP6367614B2 - Grinding wheel manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、樹脂や金属等の靱性材で形成された被加工物を研削する研削ホイールの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a grinding wheel for grinding a workpiece formed of a tough material such as resin or metal.
通常、樹脂や金属等の靱性材は、バイト加工装置において平坦化や薄化等の加工が実施される(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載のバイト加工装置では、鉛直軸回りに回転するスピンドルのマウントにホイール基台が取り付けられ、ホイール基台の外周部分の一部にダイヤモンド刃や超鋼バイト等のバイト工具が固定されている。そして、バイト工具がスピンドルの鉛直軸回りに周回されることで、チャックテーブル上に保持された被加工物の靱性材がバイト工具によって削り取られて平坦化又は薄化される。 Usually, processing such as flattening or thinning is performed on a tough material such as resin or metal in a cutting tool (see, for example, Patent Document 1). In the cutting tool disclosed in Patent Document 1, a wheel base is attached to a spindle mount that rotates about a vertical axis, and a cutting tool such as a diamond blade or a super steel tool is fixed to a part of the outer periphery of the wheel base. Has been. Then, by rotating the cutting tool around the vertical axis of the spindle, the tough material of the workpiece held on the chuck table is scraped off by the cutting tool and flattened or thinned.
特許文献1に記載の加工方法では、加工枚数を重ねていくとバイト工具の鋭角な形状が徐々に崩れて加工品質が悪化してしまうため、定期的にバイト工具の形状修正を行う必要があった。しかしながら、ダイヤモンド刃や超鋼バイト等のバイト工具の形状修正には放電加工等の特殊な加工が必要であり、形状修正用の別の設備や多大な時間を要するという問題があった。また、バイト工具の代わりに、研削砥石の形状修正が容易な研削ホイールを用いて薄化することも考えられるが、通常の研削ホイールでは研削砥石に目詰まりが生じるため、靱性材を良好に研削することが難しい。 In the machining method described in Patent Document 1, since the sharp shape of the bite tool gradually collapses and the machining quality deteriorates when the number of machining is repeated, it is necessary to periodically correct the shape of the bite tool. It was. However, special processing such as electric discharge machining is necessary for correcting the shape of a cutting tool such as a diamond blade or a super steel cutting tool, and there is a problem that another equipment for correcting the shape and a lot of time are required. In addition, it is conceivable to use a grinding wheel that makes it easy to modify the shape of the grinding wheel instead of using a bite tool, but the grinding wheel clogs with a normal grinding wheel, so the tough material is ground well. Difficult to do.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、靱性材を良好に加工することができると共に、短時間で容易に研削性能を回復できる研削ホイールの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a grinding wheel that can satisfactorily process a tough material and can easily recover grinding performance in a short time. To do.
本発明の研削ホイールの製造方法は、回転軸を有する回転スピンドルに装着され、該回転スピンドルに固定される固定端部と自由端部とを有するホイール基台と、該自由端部の外周部に該自由端部の自由端面から突出して固定された研削砥石と、から構成され、被加工物を研削するための研削ホイールを製造する研削ホイールの製造方法であって、該ホイール基台の該自由端部の該外周部に、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合した直方体形状のセグメント砥石の固定端側を、該回転軸に対して該セグメント砥石の自由端側が該ホイール基台の該自由端部から下方に向かって、該ホイール基台の外周面から外方に張り出すように傾斜して装着可能に傾斜した側面及び天井面からなる砥石装着部を形成する砥石装着部形成ステップと、該砥石装着部形成ステップを実施した後に、該セグメント砥石の該固定端側を該ホイール基台の該砥石装着部の該側面及び該天井面と当接させて且つ該自由端を該ホイール基台の該自由端面から突出させて該砥石装着部に接着するセグメント砥石接着ステップと、該セグメント砥石接着ステップを実施した後に、該セグメント砥石をチャックテーブルに保持された成形ドレスボードで該セグメント砥石の該自由端側の該成形ドレスボードと接触する接触端を該回転軸と垂直になるまで平坦化し、該セグメント砥石の外周端面と該接触端とが鋭角になるように成形されて該研削砥石が形成される砥石成形ステップと、から構成される。 The method for manufacturing a grinding wheel according to the present invention includes a wheel base mounted on a rotating spindle having a rotating shaft and fixed to the rotating spindle and having a fixed end and a free end, and an outer peripheral portion of the free end. A grinding wheel manufacturing method for manufacturing a grinding wheel for grinding a workpiece, the grinding wheel comprising: a grinding wheel that protrudes from and is fixed to a free end surface of the free end portion. The fixed end side of a rectangular parallelepiped segment grindstone in which diamond abrasive grains are bonded to the outer peripheral portion of the end portion with a bonding agent, and the free end side of the segment grindstone with respect to the rotation axis is the free end portion of the wheel base A whetstone mounting portion forming step for forming a whetstone mounting portion including a side surface and a ceiling surface that are inclined so as to be able to be mounted so as to project outward from the outer peripheral surface of the wheel base toward the lower side, and the whetstone Dress After performing the part forming step, the fixed end side of the segment grindstone is brought into contact with the side surface and the ceiling surface of the grindstone mounting portion of the wheel base, and the free end is freed of the wheel base. A segment grindstone adhering step that protrudes from the end surface and adheres to the grindstone mounting portion, and after performing the segment grindstone adhering step, the segment grindstone is formed on the free end side of the segment grindstone with a molding dressboard held on a chuck table A grinding wheel in which the grinding wheel is formed by flattening the contact end in contact with the molding dressboard until it becomes perpendicular to the rotation axis, and forming the outer peripheral end surface of the segment grinding wheel and the contact end at an acute angle. And a molding step.
この構成によれば、ホイール基台の砥石装着部に対して直方体状のセグメント砥石が斜めに装着された状態で、セグメント砥石が成形ドレスボードによってドレスされる。成形ドレスボードに接触するセグメント砥石の接触端が削られることで、外周端面と接触端が鋭角に形成される。この場合、研削砥石の外周端面と接触端の角度はセグメント砥石の傾斜角度に依存するため、砥石装着部の側面の傾斜角度を調整することで、外周端面と接触端の角度を所望の角度に形成することができる。また、被加工物の表面に対して外周端面が傾斜しているため、外周端面を被加工物に作用させながら被加工物をクリープフィード研削することで、靱性材で形成された被加工物の薄化を良好に行うことができる。また、研削砥石は、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合して形成されているため、研削砥石の形状が悪化しても成形ドレスボードによって研削砥石を形状修正することができる。 According to this configuration, the segment grindstone is dressed by the molded dressboard in a state where the rectangular parallelepiped segment grindstone is obliquely mounted on the wheel base grindstone mounting portion. The contact end of the segment grindstone that comes into contact with the molded dressboard is cut, so that the outer peripheral end face and the contact end are formed at an acute angle. In this case, since the angle between the outer peripheral end face and the contact end of the grinding wheel depends on the inclination angle of the segment grindstone, the angle between the outer peripheral end face and the contact end is adjusted to a desired angle by adjusting the inclination angle of the side face of the grindstone mounting portion. Can be formed. In addition, since the outer peripheral end surface is inclined with respect to the surface of the workpiece, the workpiece formed by the tough material is subjected to creep feed grinding while the outer peripheral end surface acts on the workpiece. Thinning can be performed satisfactorily. In addition, since the grinding wheel is formed by bonding diamond abrasive grains with a bonding agent, the shape of the grinding wheel can be corrected with a molded dressboard even if the shape of the grinding wheel deteriorates.
本発明によれば、ホイール基台の砥石装着部に対してセグメント砥石を斜めに装着して成形ドレスボードでドレスすることで、研削砥石の外周端面が傾斜した研削ホイールを容易に製造することができる。この研削ホイールによって、靱性材を良好に加工することができると共に、短時間で容易に研削砥石を形状修正することができる。 According to the present invention, it is possible to easily manufacture a grinding wheel in which the outer peripheral end face of the grinding wheel is inclined by attaching the segment grindstone obliquely to the grindstone mounting portion of the wheel base and dressing with the molding dressboard. it can. With this grinding wheel, the tough material can be processed satisfactorily and the shape of the grinding wheel can be easily modified in a short time.
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る研削装置について説明する。図1は、本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。図2は、本実施の形態に係る研削装置による研削加工を示す斜視図である。なお、本実施の形態に係る研削装置は、図1に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。 Hereinafter, the grinding apparatus according to the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a grinding apparatus according to the present embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing grinding by the grinding apparatus according to the present embodiment. Note that the grinding apparatus according to the present embodiment is not limited to the apparatus configuration dedicated to the grinding process as shown in FIG. 1, and for example, a series of processes such as a grinding process, a polishing process, and a cleaning process are performed fully automatically. It may be incorporated into a fully automatic type processing apparatus.
図1に示すように、研削装置1は、被加工物Wを保持したチャックテーブル3を低速でX軸方向に加工送りしながら、単一の研削砥石56によって被加工物Wの上面をクリープフィード研削するように構成されている。また、研削装置1のチャックテーブル3には、被加工物Wの代わりに、定期的に整形ドレス及び目立てドレス用の成形ドレスボードDが保持され、成形ドレスボードDがクリープフィード研削されることで研削砥石56がドレス加工される。なお、被加工物Wは、樹脂や金属等の靱性材で円板状に形成されたウェーハでもよいし、被研削面に靱性材の層が形成されたウェーハでもよい。
As shown in FIG. 1, the grinding apparatus 1 creep feeds the upper surface of the workpiece W by a
研削装置1の基台2の上面には、X軸方向に延在する矩形状の開口が形成され、この開口はチャックテーブル3と共に移動可能な移動板31及び蛇腹状の防水カバー32により覆われている。防水カバー32の下方には、チャックテーブル3を径方向(X軸方向)に移動させるボールねじ式の進退手段36が設けられている。チャックテーブル3の表面には、多孔質のポーラス材によって被加工物Wを吸着する保持面34が形成されている。保持面34は、チャックテーブル3内の流路を通じて吸引源(不図示)に接続されており、保持面34に生じる負圧によって被加工物Wが吸引保持される。
A rectangular opening extending in the X-axis direction is formed on the upper surface of the
基台2上のコラム21には、研削手段5をチャックテーブル3に対して研削送り方向(Z軸方向)に接近及び離間させる研削送り手段4が設けられている。研削送り手段4は、コラム21に配置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール41と、一対のガイドレール41にスライド可能に設置されたモータ駆動のZ軸テーブル42とを有している。Z軸テーブル42の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ43が螺合されている。ボールネジ43の一端部に連結された駆動モータ44によりボールネジ43が回転駆動されることで、研削手段5がガイドレール41に沿ってZ軸方向に移動される。
The
研削手段5は、ハウジング51を介してZ軸テーブル42の前面に取り付けられており、円筒状の回転スピンドル52の下端にマウント53を設けて構成されている。回転スピンドル52にはフランジ54が設けられ、フランジ54を介してハウジング51に研削手段5が支持される。マウント53の下面には、単一の研削砥石56が配置された研削ホイール55が回転可能に保持されている。研削砥石56は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンド等のボンド剤で固めたセグメント砥石で構成される。なお、研削砥石56の詳細は後述する。
The grinding means 5 is attached to the front surface of the Z-axis table 42 via a
このように構成された研削装置1では、図2に示すように、回転スピンドル52によって研削ホイール55がZ軸回りに回転されながら、研削手段5がチャックテーブル3に近づけられる。そして、被加工物Wに向けて研削水が供給され、研削砥石56が被加工物Wに回転接触されることで、研削砥石56と被加工物Wとが相対的に摺動されて被加工物Wが研削される。この研削砥石56によって被加工物Wが研削された状態で、チャックテーブル3がX軸方向に低速で水平移動されることで、研削砥石56によって被加工物Wがクリープフィード研削される。
In the grinding apparatus 1 configured in this way, as shown in FIG. 2, the
ところで、本実施の形態に係る被加工物Wが靱性材で形成されているため、ダイヤモンド刃や超鋼バイト等のバイト工具で加工することが好ましいが、バイト工具が摩耗すると形状修正するのに時間や専用の設備が必要になる。本件出願人は、研削砥石56をバイト工具のような形状にすることで、バイト工具と同等な加工品質が得られ、且つ形状修正が容易になることを発見した。これにより、靱性材の被加工物Wが加工し易くなり、研削砥石56の摩耗時には成形ドレスボードD(図1参照)で研削能力を短時間で容易に回復できる。
By the way, since the workpiece W according to the present embodiment is formed of a tough material, it is preferable to work with a bite tool such as a diamond blade or a super steel bite. Time and dedicated equipment are required. The present applicant has found that by making the grinding
しかしながら、このような特殊形状の研削砥石56を焼結ボンドで成形するのに時間を要する。また、この形状の研削砥石56を接着剤で研削ホイール55のホイール基台57に固定する際にはバラツキ等が生じ、ホイール基台57に対して研削砥石56を所望の傾斜角度で精度よく固定することが難しい。そこで、本実施の形態に係る研削ホイール55の製造方法では、ホイール基台57に対して直方体状のセグメント砥石65(図4B参照)を斜めに装着した状態で成形ドレスボードDによってドレスすることで、研削砥石56の外周側の外周端面61を傾斜させた研削ホイール55を製造するようにしている。
However, it takes time to form the grinding
図3を参照して、研削ホイールについて説明する。図3は、本実施の形態に係る研削手段のマウントと研削ホイールの断面図である。なお、本実施の形態に係る研削ホイールは、図3に示す構成に限定されず、研削砥石が傾斜した状態で装着されたものであればよい。 The grinding wheel will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the mount of the grinding means and the grinding wheel according to the present embodiment. In addition, the grinding wheel which concerns on this Embodiment is not limited to the structure shown in FIG. 3, What is necessary is just to mount | wear with the grinding wheel inclining.
図3に示すように、研削ホイール55は、回転軸を有する回転スピンドル52のマウント53に装着されており、リング状のホイール基台57に単一の研削砥石56を固定して構成される。ホイール基台57の上面はマウント53を介して回転スピンドル52に固定される固定端部58になっており、ホイール基台57の下面は自由端部59になっている。自由端部59の外周側には、自由端部59の自由端面から突出するように単一の研削砥石56が固定されている。研削砥石56は、ホイール基台57に対して斜めに装着されており、外周端面61と底面62の角部63が鋭角に形成されている。
As shown in FIG. 3, the grinding
ホイール基台57は、アルミニウム等の比較的加工し易い材料で、内周部71よりも外周部72が下方に突出した段状に形成されている。ホイール基台57の内周部71には、回転スピンドル52内の研削水の供給路69に連なる供給口73が形成されている。供給口73の出口は内周部71の下面に開口されており、内周部71の下面に連なる外周部72の内周面には、下方に向かって外周部72の幅を狭めるように傾斜面74が形成されている。このため、供給口73から流出した研削水は、遠心力を受けつつ外周部72の傾斜面74を伝って自由端部59側の研削砥石56へ供給される。
The
ホイール基台57の自由端部59の外周部72には、研削砥石56の固定端側が装着される砥石装着部76が形成されている。砥石装着部76は、径方向外側に傾斜した側面77と径方向内側に傾斜した天井面78によって、全周に渡ってV字溝状に形成されている。砥石装着部76の側面77には研削砥石56の外周側の外周端面61が装着され、砥石装着部76の天井面78には研削砥石56の固定端66側(図4B参照)が装着される。これにより、研削砥石56が、ホイール基台57の自由端部59から下方に向かって、ホイール基台57の外周面から外方に張り出すように傾斜した状態で砥石装着部76に装着される。
On the outer
研削砥石56は、ホイール基台57に斜めに装着された状態で、水平な底面62に対して外周端面61のなす角度が鋭角になるように形成されている。この傾斜した外周端面61を被加工物Wに作用させることで、靱性材で形成された被加工物Wであっても、バイト工具と同等な加工品質を得ることが可能になっている。研削砥石56は、直方体状のセグメント砥石65(図4B参照)の固定端66側をホイール基台57の砥石装着部76に斜めに装着し、セグメント砥石65の自由端67側を水平にドレスすることで成形される。なお、ホイール基台57に対する砥石装着部76の形成方法、研削砥石56の成形方法の詳細については後述する。
The grinding
また、研削砥石56の鋭角な角部63は、被加工物Wの加工枚数が増加するのに伴って、経時的な摩耗によって丸みを帯びてしまう。しかしながら、研削砥石56がダイヤモンド砥粒をボンド剤で焼結させて形成されているため、通常の砥石のように成形ドレスボードD(図1参照)でドレスすることで、研削砥石56の角部63を短時間で容易に形状修正することができる。なお、成形ドレスボードDは、グリーンカーバイト(GC)系、ホワイトアランダム(WA)系の砥粒をレジンボンド等のボンド剤で円板状に固めて成形されている。また、成形ドレスボードDは被加工物Wと略同径に形成されている。
Further, the
図4を参照して、研削ホイールの製造方法について説明する。図4は、本実施の形態に係る研削ホイールの製造方法の説明図である。なお、図4Aは砥石装着部形成ステップ、図4Bはセグメント砥石接着ステップ、図4Cは砥石成形ステップをそれぞれ示している。 With reference to FIG. 4, the manufacturing method of a grinding wheel is demonstrated. FIG. 4 is an explanatory diagram of a method for manufacturing a grinding wheel according to the present embodiment. 4A shows a grindstone mounting portion forming step, FIG. 4B shows a segment grindstone adhering step, and FIG. 4C shows a grindstone forming step.
図4Aに示すように、砥石装着部形成ステップが実施される。砥石装着部形成ステップでは、アルミニウム製のホイール基台57の外周部72に、不図示の旋盤のバイト工具89によって逃げ加工が施されることで砥石装着部76が削り出される。ここで、研削砥石56の外周端面61と底面62の角部63の角度θ2は、回転スピンドル52の回転軸方向(Z軸方向)に対する砥石装着部76の側面77の傾斜角度θ1に依存している。このため、砥石装着部76の側面77の傾斜角度θ1は、研削砥石56の角部63に必要な角度θ2に基づいて決定される。具体的には、側面77の傾斜角度θ1と角部63の角度θ2の和が直角になる関係にあるため、側面77の傾斜角度θ1は90度から研削砥石56の角部63の角度θ2を差し引くことで求められる。
As shown to FIG. 4A, a grindstone mounting part formation step is implemented. In the grindstone mounting portion forming step, the
また、砥石装着部76の天井面78は側面77に対して直交しており、回転スピンドル52の回転軸方向に対する天井面78の傾斜角度θ3と側面77の傾斜角度θ1の和が直角になっている。このため、天井面78の傾斜角度θ3は研削砥石56の角部63の角度θ2に等しく、角部63の角度θ2によって天井面78の傾斜角度θ3が決定される。そして、側面77の傾斜角度θ1及び天井面78の傾斜角度θ3に基づいて、バイト工具89が動かされてホイール基台57にV字溝状の砥石装着部76が形成される。このようにして、ホイール基台57には、鋭角な角部63が形成される前の直方体状のセグメント砥石65(図4B参照)の自由端67が回転方向外側に傾斜するように、セグメント砥石65の固定端66側が装着される側面77及び天井面78が形成される。
Further, the
図4Bに示すように、砥石装着部形成ステップを実施した後には、セグメント砥石接着ステップが実施される。セグメント砥石接着ステップでは、直方体状のセグメント砥石65の固定端66側を砥石装着部76の側面77及び天井面78に接着剤を介して当接させる。これにより、セグメント砥石65の自由端67側がホイール基台57の下面である自由端面から突出された状態で、セグメント砥石65の固定端66側がホイール基台57の砥石装着部76に接着される。セグメント砥石65が傾斜した状態で接着されるため、セグメント砥石65の自由端67側も水平面に対して傾斜している。
As shown to FIG. 4B, after implementing a grindstone mounting part formation step, a segment grindstone adhesion step is implemented. In the segment grindstone bonding step, the
図4Cに示すように、砥石装着部形成ステップを実施した後には、砥石成形ステップが実施される。砥石成形ステップでは、チャックテーブル3上に成形ドレスボードDが保持され、セグメント砥石65で成形ドレスボードDがクリープフィード研削される。この場合、セグメント砥石65の最下位置の角部が成形ドレスボードDに接触する接触端68になっている。そして、セグメント砥石65が回転スピンドル52の回転軸を中心に周回され、セグメント砥石65に対して成形ドレスボードDがX軸方向に水平移動されることで接触端68が削られる。
As shown in FIG. 4C, after performing the grindstone mounting portion forming step, the grindstone forming step is performed. In the grinding wheel forming step, the molding dress board D is held on the chuck table 3, and the molding dress board D is creep-feed ground by the
成形ドレスボードDによるセグメント砥石65のドレスによって、セグメント砥石65の接触端68が回転軸(Z軸)と垂直になるまで平坦化される。そして、セグメント砥石65の平坦化された接触端68(底面62)と外周端面61とが鋭角になるように成形される。このように、直方体状のセグメント砥石65から、接触端68に対して外周端面61を鋭角にした研削砥石56を作り出すことができる。また、ホイール基台57に砥石装着部76を形成して、砥石装着部76にセグメント砥石65を固定した状態で研削砥石56が成形されるため、ホイール基台57に対する研削砥石56の位置ズレが防止される。
By the dressing of the
図5を参照して、本実施の形態に係る研削ホイールを用いた被加工物に対する研削動作、研削砥石に対するドレス加工について説明する。図5は、本実施の形態に係る被加工物に対する研削動作及び研削砥石に対するドレス加工の説明図である。図5A及び図5Bは被加工物に対する研削動作を示し、図5C及び図5Dは研削砥石に対するドレス加工を示している。なお、図5に示す研削動作及びドレス加工は一例に過ぎず、適宜変更が可能である。 With reference to FIG. 5, the grinding operation | movement with respect to the to-be-processed object using the grinding wheel which concerns on this Embodiment, and the dressing process with respect to a grinding wheel are demonstrated. FIG. 5 is an explanatory diagram of a grinding operation for a workpiece and a dressing process for a grinding wheel according to the present embodiment. 5A and 5B show a grinding operation for a workpiece, and FIGS. 5C and 5D show dressing for a grinding wheel. Note that the grinding operation and dressing shown in FIG. 5 are merely examples, and can be changed as appropriate.
図5Aに示すように、被加工物Wがチャックテーブル3の中心に保持されており、研削砥石56が被加工物Wの外縁よりも外側に位置付けられる。回転スピンドル52の回転軸を中心として研削砥石56が高速で周回されながら所定の切り込み深さまで降ろされ、研削砥石56に対してチャックテーブル3が相対的に水平移動される。これにより、研削砥石56によって被加工物Wの一端81側から他端82側に向かってクリープフィード研削が開始される。クリープフィード研削では、X軸方向に送られながら、研削砥石56の回転方向前方側の側面77と外周端面61によって被加工物Wの表面が円弧状に削り取られる。
As illustrated in FIG. 5A, the workpiece W is held at the center of the chuck table 3, and the
このとき、図5Bに示すように、研削砥石56の外周端面61が底面62に対して鋭角に傾斜しているため、被加工物Wの研削時に研削砥石56に生じる研削抵抗が小さくなっている。すなわち、傾斜した外周端面61に対する垂直方向に反力が作用する分だけ、研削砥石56に対する水平方向(X軸方向)の反力が小さくなる。このため、研削後の被加工物Wの被研削面が摩擦によって白化せずに、被研削面の色に濃淡が生じることがなく外観性が悪化することがない。また、研削屑が粉状に発生するため装置内の排水口に研削屑が堆積することがなく、排水口が詰まることがない。
At this time, as shown in FIG. 5B, the outer
図5Cに示すように、被加工物Wのクリープフィード研削によって研削砥石56の角部63が摩耗すると、被加工物Wの代わりに成形ドレスボードDがチャックテーブル3上に保持される。また、研削砥石56が成形ドレスボードDの外縁よりも外側に位置付けられる。そして、回転スピンドル52の回転軸を中心として研削砥石56が高速で周回されながら所定の深さまで降ろされ、研削砥石56に対してチャックテーブル3が相対的に水平移動される。これにより、研削砥石56によって成形ドレスボードDの一端83側から他端84側に向かってクリープフィード研削が開始される。クリープフィード研削では、研削砥石56が成形ドレスボードDに押し当てられながら、成形ドレスボードDがX軸方向に加工送りされる。
As shown in FIG. 5C, when the
図5Dに示すように、成形ドレスボードDによって研削砥石56の底面62がドレスされることで、研削砥石56の外周端面61と底面62との角部63から丸みが取り除かれる。これにより、研削砥石56の外周端面61と底面62との角部63が鋭角に形状修正され、研削砥石56の研削性能が回復される。このように、研削砥石56をバイト工具のような形状にしたことで、バイト工具のように靱性材に対する研削性能を高めると共に、成形ドレスボードDによって形状修正を容易にしている。
As shown in FIG. 5D, the
以上のように、本実施の形態に係る研削方法では、ホイール基台57の砥石装着部76に対して直方体状のセグメント砥石65が斜めに装着された状態で、セグメント砥石65が成形ドレスボードDによってドレスされる。成形ドレスボードDに接触するセグメント砥石65の接触端68が削られることで、外周端面61と接触端68が鋭角に形成される。研削砥石56の外周端面61と接触端68の角度はセグメント砥石65の傾斜角度に依存するため、砥石装着部76の側面77の傾斜角度を調整することで、外周端面61と接触端68の角度を所望の角度に形成することができる。また、被加工物Wの表面に対して外周端面61が傾斜しているため、外周端面61を被加工物Wに作用させながら被加工物Wをクリープフィード研削することで、靱性材で形成された被加工物Wを良好に薄化することができる。また、研削砥石56は、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合して形成されているため、研削砥石56の形状が悪化しても成形ドレスボードDによって研削砥石56を形状修正することができる。
As described above, in the grinding method according to the present embodiment, the
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.
例えば、本実施の形態において、研削ホイール55のホイール基台57に1個の研削砥石56が配設される構成を例示して説明したが、この構成に限定されない。研削ホイール55は、ホイール基台57に2個以上の研削砥石56が配設されてもよく、この場合には隣接する研削砥石56の間隔が、研削砥石56の円周方向の幅よりも広く空けられる。例えば、図6Aに示すように、変形例に係る研削ホイール91は、研削ホイール91の回転軸を中心としたホイール基台94の点対称位置に、外周端面92を外側に向けた2個の研削砥石93が配設されてもよい。このような研削ホイール91であっても、本実施の形態に係る研削ホイールの製造方法で製造可能である。また、研削ホイール91に複数の研削砥石93を配設することにより、各研削砥石93が摩耗によって形状が崩れるまでの期間が長くなり、成形ドレスボードD(図5D参照)を用いた形状修正の回数を減らすことができる。
For example, in the present embodiment, the configuration in which one
また、上記した実施の形態において、被加工物Wを全体的に薄化するための研削ホイール55について説明したが、この構成に限定されない。例えば、図6Bに示すように、被加工物W1の裏面の外周部分だけを残し、その内側だけを研削した、いわゆるTAIKOウェーハを形成するための研削ホイール95を製造することも可能である。この場合、多数のセグメント砥石97の自由端98側が回転方向外側に傾斜するように、各セグメント砥石97をホイール基台96に装着し、この状態で成形ドレスボードD(図5D参照)によってドレスすることで研削ホイール95を製造する。これにより、ホイール基台96にスカート形状(裾広がり形状)となるように、多数の研削砥石99を設けることができる。
In the above-described embodiment, the grinding
また、上記した実施の形態において、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固めて研削砥石56を形成したが、この構成に限定されない。研削砥石56のボンド剤としては、メタルボンドに限らず、レジンボンドやビトリファイドボンドが使用されてもよい。
In the above-described embodiment, the diamond abrasive grains are hardened with metal bonds to form the grinding
また、上記した実施の形態において、ホイール基台57に対して全周に渡って砥石装着部76が形成される構成にしたが、この構成に限定されない。砥石装着部76は、ホイール基台57に対して部分的に形成されてもよい。
Further, in the above-described embodiment, the
以上説明したように、本発明は、短時間で容易に研削性能を回復できるという効果を有し、特に樹脂や金属等の靱性材で形成された被加工物を研削する研削方法に有用である。 As described above, the present invention has an effect that grinding performance can be easily recovered in a short time, and is particularly useful for a grinding method for grinding a workpiece formed of a tough material such as resin or metal. .
1 研削装置
3 チャックテーブル
52 回転スピンドル
55 研削ホイール
56 研削砥石
57 ホイール基台
58 ホイール基台の固定端部
59 ホイール基台の自由端部
61 研削砥石の外周端面
65 セグメント砥石
66 セグメント砥石の固定端
67 セグメント砥石の自由端
68 セグメント砥石の接触端
76 砥石装着部
77 砥石装着部の側面
78 砥石装着部の天井面
D 成形ドレスボード
W 被加工物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (1)
該ホイール基台の該自由端部の該外周部に、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合した直方体形状のセグメント砥石の固定端側を、該回転軸に対して該セグメント砥石の自由端側が該ホイール基台の該自由端部から下方に向かって、該ホイール基台の外周面から外方に張り出すように傾斜して装着可能に傾斜した側面及び天井面からなる砥石装着部を形成する砥石装着部形成ステップと、
該砥石装着部形成ステップを実施した後に、該セグメント砥石の該固定端側を該ホイール基台の該砥石装着部の該側面及び該天井面と当接させて且つ該自由端を該ホイール基台の該自由端面から突出させて該砥石装着部に接着するセグメント砥石接着ステップと、
該セグメント砥石接着ステップを実施した後に、該セグメント砥石をチャックテーブルに保持された成形ドレスボードで該セグメント砥石の該自由端側の該成形ドレスボードと接触する接触端を該回転軸と垂直になるまで平坦化し、該セグメント砥石の外周端面と該接触端とが鋭角になるように成形されて該研削砥石が形成される砥石成形ステップと、
から構成される研削ホイールの製造方法。 A wheel base mounted on a rotary spindle having a rotary shaft and having a fixed end fixed to the rotary spindle and a free end; and an outer peripheral portion of the free end protruding from a free end surface of the free end A grinding wheel comprising a fixed grinding wheel, and a grinding wheel for producing a grinding wheel for grinding a workpiece,
A fixed end side of a rectangular parallelepiped segment grindstone in which diamond abrasive grains are bonded with a bonding agent to the outer peripheral portion of the free end portion of the wheel base, and the free end side of the segment grindstone with respect to the rotation axis is the wheel. A grindstone mounting that forms a grindstone mounting portion that includes a side surface and a ceiling surface that are tilted so as to be able to be mounted inclined and projecting outward from the outer peripheral surface of the wheel base downward from the free end of the base. Part formation step;
After performing the grinding wheel mounting portion forming step, the fixed end side of the segment grinding wheel is brought into contact with the side surface and the ceiling surface of the grinding wheel mounting portion of the wheel base, and the free end is set to the wheel base. A segment grindstone bonding step that protrudes from the free end surface of the grindstone and adheres to the grindstone mounting portion;
After performing the segment grindstone adhering step, the contact end of the segment grindstone that is held by the chuck table on the free end side of the segment grindstone is perpendicular to the rotation axis. A grinding wheel forming step in which the grinding wheel is formed by forming the outer peripheral end surface of the segment grindstone and the contact end to have an acute angle;
A method for producing a grinding wheel comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014118830A JP6367614B2 (en) | 2014-06-09 | 2014-06-09 | Grinding wheel manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014118830A JP6367614B2 (en) | 2014-06-09 | 2014-06-09 | Grinding wheel manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015231647A JP2015231647A (en) | 2015-12-24 |
JP6367614B2 true JP6367614B2 (en) | 2018-08-01 |
Family
ID=54933482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014118830A Active JP6367614B2 (en) | 2014-06-09 | 2014-06-09 | Grinding wheel manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6367614B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6842859B2 (en) * | 2016-08-12 | 2021-03-17 | 株式会社荏原製作所 | Dressing equipment, polishing equipment, holders, housings and dressing methods |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6048262A (en) * | 1983-08-24 | 1985-03-15 | Fujimi Kenmazai Kogyo Kk | Diamond grindstone |
JP2704533B2 (en) * | 1988-12-13 | 1998-01-26 | 株式会社ディスコ | Pipe whetstone |
JPH09253915A (en) * | 1996-03-23 | 1997-09-30 | Toyota Banmotsupusu Kk | Throw-away tip type grinding cutter |
JPH11165262A (en) * | 1997-12-08 | 1999-06-22 | Noritake Diamond Ind Co Ltd | Cup shaped grinding wheel |
JP4249827B2 (en) * | 1998-12-04 | 2009-04-08 | 株式会社ディスコ | Manufacturing method of semiconductor wafer |
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ES2806994T3 (en) * | 2010-07-12 | 2021-02-19 | Saint Gobain Abrasives Inc | Abrasive article for shaping industrial materials |
-
2014
- 2014-06-09 JP JP2014118830A patent/JP6367614B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015231647A (en) | 2015-12-24 |
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