JP2010042453A - Dicing device and blade distal end shape forming method - Google Patents

Dicing device and blade distal end shape forming method Download PDF

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JP2010042453A JP2008206044A JP2008206044A JP2010042453A JP 2010042453 A JP2010042453 A JP 2010042453A JP 2008206044 A JP2008206044 A JP 2008206044A JP 2008206044 A JP2008206044 A JP 2008206044A JP 2010042453 A JP2010042453 A JP 2010042453A
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Inventor
Takayuki Kaneko
貴幸 金子
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
株式会社東京精密
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide dicing device and blade distal end shape forming method allowing improvement of productivity of the dicing device and considerable reduction of cost by reducing replacing frequencies of the blade. <P>SOLUTION: In this blade distal end shape forming method, the distal end of the blade 2 is machined into a V-shape by bringing the distal end of the blade 2 rotated at a lower rotation speed than a grinding tool 14 into contact with the rotated and inclined grinding wheel 14 by a motor 21A. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置に関するものである。   The present invention relates to a dicing apparatus that divides a workpiece such as a wafer on which a semiconductor device or an electronic component is formed into individual chips.
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、少なくともスピンドルによって高速に回転される薄い円盤状のブレードと、ワークを吸着保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるX、Y、Z、θの各移動軸とが設けられている。ワークを加工する際には、冷却や潤滑用の切削液が回転するブレードまたはワークとブレードとが接触する加工点へノズルより供給され、各移動軸によりブレードとワークとが相対的に移動されて切断や溝入れ加工がワークに施される。   A dicing apparatus for cutting and grooving a workpiece such as a wafer on which a semiconductor device or an electronic component is formed includes at least a thin disk-shaped blade that is rotated at a high speed by a spindle, and a work table that holds and holds the workpiece. , X, Y, Z, and θ moving axes that change the relative positions of the work table and the blade are provided. When machining a workpiece, a cutting fluid for cooling or lubrication is supplied from a nozzle to a rotating blade or a machining point where the workpiece and the blade are in contact with each other, and the blade and the workpiece are relatively moved by each moving shaft. Cutting and grooving are performed on the workpiece.
図1にダイシング装置の例を示す。ダイシング装置1は、互いに対向配置され、先端にブレード2とホイールカバー(不図示)が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル3、3と、ワークW表面を撮像する撮像手段4と、ワークWを吸着保持するワークテーブル5とを有する加工部6が設けられている。   FIG. 1 shows an example of a dicing apparatus. The dicing apparatus 1 includes a high-frequency motor built-in spindles 3 and 3 that are arranged to face each other and have a blade 2 and a wheel cover (not shown) attached to the tip, an imaging unit 4 that images the surface of the workpiece W, and a workpiece W. A processing unit 6 having a work table 5 for sucking and holding is provided.
ダイシング装置1は、加工部6の他に加工済みのワークWをスピン洗浄するウェーハ洗浄装置7と、フレームFにマウントされたワークWを多数枚収納したカセットを載置するロードポート8と、ワークWを搬送する搬送手段9と、撮像手段4により撮像された画像を表示し各部への動作を入力する表示手段10と、各部の動作を制御する不図示のコントローラ等とから構成されている。   The dicing apparatus 1 includes, in addition to the processing unit 6, a wafer cleaning device 7 that spin-cleans a processed workpiece W, a load port 8 that mounts a cassette that stores a large number of workpieces W mounted on a frame F, a workpiece Conveying means 9 for conveying W, display means 10 for displaying an image picked up by the image pickup means 4 and inputting an operation to each part, a controller (not shown) for controlling the operation of each part, and the like.
このようなワークの加工において、加工溝周辺の欠け(チッピングと称する。)の防止や特殊な切断面の形成等を目的としてワークにV字型形状の溝を形成する場合がある。このようなV字型形状溝の形成では先端がV字型に形成されたブレードを使用してダイシングが行なわれている(例えば、特許文献1参照。)。   In machining such a workpiece, a V-shaped groove may be formed in the workpiece for the purpose of preventing chipping (referred to as chipping) around the machining groove or forming a special cut surface. In the formation of such a V-shaped groove, dicing is performed using a blade having a V-shaped tip (see, for example, Patent Document 1).
ダイシングに使用されるブレードは加工の際に磨耗し、V字型に形成されたブレードは磨耗して先端が減少していく。このとき、V字型形状は図2に示すように均一には減少せず、V字型の先端形状が崩れて減少していくことが多い。このように先端形状が崩れたブレードでは所望のV字型形状が形成されないため、加工効率の低下をまねく共にチップのサイズ、形状が不均一となり加工品質の低下をまねく。したがって、V字型形状が正しく形成された新しいブレードに交換し、磨耗したブレードは専用の装置を使用して再び正しいV字型形状に先端が加工される。
特開平6−169015号公報
The blade used for dicing is worn during processing, and the blade formed in a V shape is worn to reduce the tip. At this time, the V-shaped shape does not decrease uniformly as shown in FIG. 2, and the V-shaped tip shape often collapses and decreases. Thus, since the desired V-shaped shape is not formed in the blade whose tip shape is broken, the processing efficiency is lowered and the chip size and shape are not uniform, leading to a reduction in processing quality. Therefore, the blade is replaced with a new blade having a V-shaped shape formed correctly, and the worn blade is processed again into a correct V-shaped shape by using a dedicated device.
JP-A-6-169015
しかし、ブレードの交換は通常手動で行われるため装置を一度完全に停止させる必要があり、ブレードの交換頻度が増えると装置を長時間停止させることとなる。装置の停止時間の増大は装置の生産性を大幅に低下させるとともにコストを大幅に上昇させる問題となる。また、ブレードの先端形状を再生する専用の装置を別途用意して設置することにより装置を導入する設備費がかかるとともに多くの工場スペースを消費し、この点においてもコストを上昇させる問題となる。   However, since blade replacement is normally performed manually, it is necessary to completely stop the device once. When the frequency of blade replacement increases, the device is stopped for a long time. An increase in the stop time of the apparatus causes a problem that the productivity of the apparatus is greatly reduced and the cost is significantly increased. Further, by separately preparing and installing a dedicated device for regenerating the tip shape of the blade, equipment costs for introducing the device are increased, and a lot of factory space is consumed. This also raises the problem of increasing the cost.
本発明はこのような問題に対して成されたものであり、V字型形状に形成されたブレードを装置から外すことなく再生し、ブレードの交換頻度を減少させることによりダイシング装置の生産性を向上させコストを大幅に減少させるダイシング装置及びブレード先端形状形成方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve such a problem, and the blade formed in the V shape is regenerated without removing it from the apparatus, and the frequency of replacement of the blade is reduced, thereby reducing the productivity of the dicing apparatus. It is an object of the present invention to provide a dicing apparatus and a blade tip shape forming method which can be improved and the cost can be greatly reduced.
本発明は前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、先端がV字型形状に形成された円盤状のブレードと、前記ブレードを回転させるスピンドルと、前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、前記ブレードの先端の角度と同様の角度に傾斜して前記ワークテーブル近傍または治具プレート上に設けられた回転することにより前記ブレードの先端の加工を行う円筒形状のロータリードレッサーと、を備えたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is cut by a disk-shaped blade having a V-shaped tip, a spindle for rotating the blade, and the blade. A workpiece table that holds the workpiece to be moved, a moving shaft that relatively moves the workpiece table and the blade, and an angle similar to the angle of the tip of the blade is inclined near the workpiece table or on the jig plate. And a cylindrical rotary dresser that processes the tip of the blade by rotating.
請求項1に記載される発明によれば、ダイシング装置にはブレードと、ブレードを回転させるスピンドルと、ワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとを相対的に移動させる移動軸とが備えられている。更にダイシング装置には回転することによりブレードの先端の加工を行う円筒形のロータリードレッサーが1つ以上設けられている。   According to the first aspect of the present invention, the dicing apparatus includes a blade, a spindle that rotates the blade, a work table that holds the work, and a moving shaft that relatively moves the work table and the blade. It has been. Further, the dicing apparatus is provided with one or more cylindrical rotary dressers that process the tip of the blade by rotating.
ロータリードレッサーは前記ワークテーブル近傍または治具プレート上に設けられ、ブレードに形成されているV字型形状の角度と同様に傾斜している。   The rotary dresser is provided near the work table or on the jig plate, and is inclined in the same manner as the V-shaped angle formed on the blade.
このように構成されたダイシング装置では、磨耗して先端形状が崩れたブレードをスピンドルの回転シャフトに取り付けたまま回転させる。V字型形状の角度と同様に傾斜して回転しているロータリードレッサーに先端を接触させた回転するブレードは、先端全周が均一に研磨されてV字型形状が形成されていく。   In the dicing apparatus configured as described above, the blade whose tip shape is broken due to wear is rotated while being attached to the rotating shaft of the spindle. The rotating blade having its tip brought into contact with a rotary dresser that is inclined and rotated in the same manner as the angle of the V-shaped shape is uniformly polished on the entire periphery of the tip to form a V-shaped shape.
これにより、先端形状が崩れたブレードはダイシング装置から外すことなく再生され、ブレードの交換頻度を減少させる。また、ダイシング装置内にブレード先端形状を再生させる機構が設けられるので消費スペースを減少させる。これらによってダイシング装置の生産性を向上させるとともに、コストを大幅に減少させることが可能となる。   As a result, the blade whose tip shape is broken is regenerated without being removed from the dicing apparatus, and the replacement frequency of the blade is reduced. Further, since a mechanism for regenerating the blade tip shape is provided in the dicing apparatus, the consumption space is reduced. As a result, the productivity of the dicing apparatus can be improved and the cost can be greatly reduced.
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記ロータリードレッサーには傾斜する角度を調整する調整機構が備えられていることを特徴としている。   The invention of claim 2 is characterized in that, in the invention of claim 1, the rotary dresser is provided with an adjusting mechanism for adjusting an inclination angle.
請求項2の発明によれば、ロータリードレッサーには任意に角度を調製し固定することができる調整機構が備えられ、加工するV字型形状の角度に合わせてロータリードレッサーの角度が変更される。これにより、いかなる角度のV字型形状ブレードであっても加工可能となり、ダイシング装置の生産性を向上させるとともに、コストを大幅に減少させる。   According to the invention of claim 2, the rotary dresser is provided with an adjusting mechanism capable of arbitrarily adjusting and fixing the angle, and the angle of the rotary dresser is changed in accordance with the angle of the V-shaped shape to be processed. As a result, any V-shaped blade of any angle can be processed, and the productivity of the dicing apparatus is improved and the cost is greatly reduced.
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記ロータリードレッサーは治具プレート上に設けられ、前記治具プレートを前記ワークテーブル上に載置することにより前記ダイシング装置に取り付けられることを特徴としている。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the rotary dresser is provided on a jig plate, and is mounted on the dicing apparatus by placing the jig plate on the work table. It is characterized by being able to.
請求項3の発明によれば、ロータリードレッサーは板状の治具プレート上に設けられ、治具プレートをワークテーブルに吸着載置することでダイシング装置に取り付けられる。これにより、ロータリードレッサーは不要な時には外しておくことが可能となり、装置サイズを小さく出来るとともに、ワークテーブルの回転によりロータリードレッサーの位置の微調整が可能となる。   According to the invention of claim 3, the rotary dresser is provided on the plate-shaped jig plate, and is attached to the dicing apparatus by sucking and placing the jig plate on the work table. As a result, the rotary dresser can be removed when not needed, the apparatus size can be reduced, and the position of the rotary dresser can be finely adjusted by rotating the work table.
請求項4の発明は、請求項1、2、または3のいずれか1項の発明において、前記ブレードが取り付けられた前記スピンドルの回転シャフトを前記ロータリードレッサーの回転数よりも少ない回転数で回転させる回転手段が前記スピンドルに取り付けられていることを特徴としている。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first, second, or third aspect, the rotating shaft of the spindle to which the blade is attached is rotated at a rotational speed less than the rotational speed of the rotary dresser. The rotating means is attached to the spindle.
請求項4の発明によれば、スピンドルに取り付けられた回転手段により先端形状が崩れたブレードはスピンドルに取り付けられたままロータリードレッサーよりも少ない回転数で回転される。これにより、ブレードはV字型形状を形成するのに適した速度で回転してロータリードレッサーにより加工されるとともに、ダイシング装置内にブレード先端形状を再生させる機構が設けられるので消費スペースを減少させる。   According to the invention of claim 4, the blade whose tip shape is broken by the rotating means attached to the spindle is rotated at a lower rotational speed than the rotary dresser while being attached to the spindle. As a result, the blade rotates at a speed suitable for forming the V-shape and is processed by the rotary dresser, and a mechanism for regenerating the blade tip shape is provided in the dicing apparatus, thereby reducing the consumption space.
請求項5の発明は、請求項4の発明において、前記回転手段は前記回転シャフトを回転させる前記スピンドルに備えられたモータとは別に前記スピンドルに取り付けられた外部モータまたは前記回転シャフトに接続された減速機構または前記スピンドルに備えられた前記モータの回転数を制御する制御手段であることを特徴としている。   According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the present invention, the rotating means is connected to an external motor attached to the spindle or the rotating shaft separately from a motor provided on the spindle for rotating the rotating shaft. It is a control means for controlling the number of revolutions of the motor provided in the speed reduction mechanism or the spindle.
請求項5の発明によれば、スピンドルに内蔵された回転シャフトを回転させる高周波モータとは別に取り付けられる外部モータまたは回転シャフトに接続されたギアやクラッチ等による減速機構または内蔵された高周波モータの回転数を制御する制御手段により回転手段は構成される。   According to the fifth aspect of the present invention, an external motor that is mounted separately from the high-frequency motor that rotates the rotary shaft built in the spindle, or a speed reduction mechanism using a gear or a clutch connected to the rotary shaft, or the rotation of the built-in high-frequency motor. The rotation means is constituted by the control means for controlling the number.
これにより回転手段はブレードが取り付けられているスピンドルの回転シャフトをブレードのV字型形状を形成するのに適した速度で回転させることが可能となる。   Thus, the rotating means can rotate the rotating shaft of the spindle to which the blade is attached at a speed suitable for forming the V-shaped shape of the blade.
以上説明したように、本発明のダイシング装置及びブレード先端形状形成方法よれば、先端形状が崩れたブレードはダイシング装置から外すことなく再生され、ブレードの交換頻度を減少させる。また、ダイシング装置内にブレード先端形状を再生させる機構が設けられるので消費スペースを減少させる。これらによってダイシング装置の生産性を向上させるとともに、コストを大幅に減少させることが可能となる。   As described above, according to the dicing apparatus and the blade tip shape forming method of the present invention, a blade whose tip shape is broken is regenerated without being removed from the dicing device, and the blade replacement frequency is reduced. Further, since a mechanism for regenerating the blade tip shape is provided in the dicing apparatus, the consumption space is reduced. As a result, the productivity of the dicing apparatus can be improved and the cost can be greatly reduced.
以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。はじめに、本発明に係るダイシング装置について説明する。図3は、ダイシング装置の外観を示す斜視図、図4は取り付けられたロータリードレッサーの斜視図である。   A preferred embodiment of a dicing apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. First, the dicing apparatus according to the present invention will be described. FIG. 3 is a perspective view showing the appearance of the dicing apparatus, and FIG. 4 is a perspective view of the attached rotary dresser.
ダイシング装置11は、ブレード2とホイールカバー(不図示)と外部からブレード2を回転させる後述する回転手段とが取付けられ互いに対向配置された高周波モータ内蔵型のスピンドル3、3と、ワークW表面を撮像する撮像手段4と、ワークWを吸着保持するワークテーブル5と、ブレード2の先端を加工する一対のロータリードレッサー12、12を有する加工部6が設けられている。   The dicing device 11 includes a high frequency motor built-in type spindles 3 and 3 which are mounted on a surface of a workpiece W and are mounted with a blade 2, a wheel cover (not shown), and a rotating means which rotates the blade 2 from outside. An imaging means 4 for imaging, a work table 5 for sucking and holding the workpiece W, and a processing section 6 having a pair of rotary dressers 12 and 12 for processing the tip of the blade 2 are provided.
ダイシング装置11は、加工部6の他に加工済みのワークWをスピン洗浄するウェーハ洗浄装置7と、フレームFにマウントされたワークWを多数枚収納したカセットを載置するロードポート8と、ワークWを搬送する搬送手段9と、撮像手段4により撮像された画像を表示し各部への動作を入力する表示手段10と、各部の動作やスピンドルに内蔵されたモータの回転数を制御する制御手段としての不図示のコントローラ等とから構成されている。   The dicing apparatus 11 includes, in addition to the processing unit 6, a wafer cleaning apparatus 7 that spin-cleans the processed workpiece W, a load port 8 that mounts a cassette that stores a large number of workpieces W mounted on the frame F, a workpiece Conveying means 9 for conveying W, display means 10 for displaying an image picked up by the image pickup means 4 and inputting an operation to each part, and a control means for controlling the operation of each part and the number of revolutions of a motor built in the spindle And a controller (not shown).
ロータリードレッサー12は、図4に示すように、モータ13により回転する砥石14、角度調整機構15、位置調整機構16により構成されている。   As shown in FIG. 4, the rotary dresser 12 includes a grindstone 14 that is rotated by a motor 13, an angle adjustment mechanism 15, and a position adjustment mechanism 16.
砥石14は円筒形状の砥石であって、円筒の中心軸に取り付けられたモータ13により矢印θ方向に回転する。   The grindstone 14 is a cylindrical grindstone, and is rotated in the direction of the arrow θ by a motor 13 attached to the central axis of the cylinder.
角度調整機構15は、モータ13が取り付けられた本体17Aと位置調整機構16に取り付けられた本体17Bとをロータリージョイント17Cで接続することで矢印A方向へ回転自在に設けられている。これにより、本体17Aを矢印A方向に回転移動させた後に固定ナット17Dにより固定することで砥石14を所望する角度に調整することが可能となる。   The angle adjustment mechanism 15 is rotatably provided in the direction of arrow A by connecting the main body 17A to which the motor 13 is attached and the main body 17B attached to the position adjustment mechanism 16 by a rotary joint 17C. Accordingly, the grindstone 14 can be adjusted to a desired angle by rotating the main body 17A in the direction of arrow A and then fixing the main body 17A with the fixing nut 17D.
位置調整機構16は、取り付けられた本体17Bを矢印B方向に移動させる直動軸等の機構であって、本体17Bを矢印B方向に移動させることにより砥石14を矢印B方向へ移動させて所望の角度に調製された砥石14の位置を調整する。   The position adjustment mechanism 16 is a mechanism such as a linear motion shaft that moves the attached main body 17B in the direction of arrow B, and moves the grindstone 14 in the direction of arrow B by moving the main body 17B in the direction of arrow B. The position of the grindstone 14 adjusted to the angle is adjusted.
続いてスピンドル3に取付けられた回転手段について説明する。図5は回転手段が取り付けられたスピンドルの側面断面図、図6は回転手段が取り付けられたスピンドルの別の側面断面図である。   Next, the rotating means attached to the spindle 3 will be described. FIG. 5 is a side sectional view of the spindle to which the rotating means is attached, and FIG. 6 is another side sectional view of the spindle to which the rotating means is attached.
スピンドル3は、図5に示すように回転シャフト18の先端にフランジ19に挟まれてブレード2が取り付けられ、ブレード2の周囲にホイールカバー20Aが取り付けられている。ホイールカバー20Aの上部には回転シャフト18を回転させる回転手段としての外部モータ21Aが取り付けられている。   As shown in FIG. 5, the spindle 3 has a blade 2 attached to a tip of a rotary shaft 18 sandwiched between flanges 19, and a wheel cover 20 </ b> A is attached around the blade 2. An external motor 21A as a rotating means for rotating the rotary shaft 18 is attached to the upper portion of the wheel cover 20A.
外部モータ21Aは回転シャフト18へベルト22を巻きかけることにより回転を回転シャフト18へ伝導し、ブレード2をロータリードレッサー12の砥石14の回転数よりも少ない0〜1000rpmの回転数で回転させる。   The external motor 21 </ b> A conducts the rotation to the rotary shaft 18 by winding the belt 22 around the rotary shaft 18, and rotates the blade 2 at a rotational speed of 0 to 1000 rpm which is smaller than the rotational speed of the grindstone 14 of the rotary dresser 12.
ベルト22は通常回転シャフト18から外れた状態であって、スピンドル3に内蔵されたモータの回転が停止し回転シャフト18の回転が停止した際に手動または自動で回転シャフト18へ巻きかけられる。これにより、ブレード2はV字型形状を形成するのに適した速度で回転してロータリードレッサー12により加工される。   The belt 22 is normally detached from the rotary shaft 18 and is wound around the rotary shaft 18 manually or automatically when the rotation of the motor built in the spindle 3 stops and the rotation of the rotary shaft 18 stops. As a result, the blade 2 rotates at a speed suitable for forming a V-shape and is processed by the rotary dresser 12.
続いて回転手段の別の実施の形態を説明する。図6に示すように回転シャフト18の先端にフランジ19に挟まれてブレード2が取り付けられ、ブレード2の周囲にホイールカバー20Bが取り付けられている。ホイールカバー20Bの前部には回転シャフト18を回転させる回転手段としての外部モータ21Bが取り付けられている。   Next, another embodiment of the rotating means will be described. As shown in FIG. 6, the blade 2 is attached to the tip of the rotary shaft 18 by being sandwiched by the flange 19, and the wheel cover 20 </ b> B is attached around the blade 2. An external motor 21B as a rotating means for rotating the rotary shaft 18 is attached to the front portion of the wheel cover 20B.
外部モータ21Bは回転シャフト18先端に取り付けられるフランジ固定ナット23へシャフト24を刺し込むことにより回転を回転シャフト18へ伝導し、ブレード2をロータリードレッサー12の砥石14の回転数よりも少ない0〜1000rpmの回転数で回転させる。   The external motor 21B conducts rotation to the rotary shaft 18 by inserting the shaft 24 into a flange fixing nut 23 attached to the tip of the rotary shaft 18, and the blade 2 is 0 to 1000 rpm less than the rotational speed of the grindstone 14 of the rotary dresser 12. Rotate at the number of revolutions.
シャフト24は通常回転シャフト18から外れた状態であって、スピンドル3に内蔵されたモータの回転が停止し回転シャフト18の回転が停止した際に手動または自動でフランジ固定ナット23へ刺し込まれる。これにより、ブレード2はV字型形状を形成するのに適した速度で回転してロータリードレッサー12により加工される。   The shaft 24 is normally detached from the rotating shaft 18, and is inserted into the flange fixing nut 23 manually or automatically when the rotation of the motor built in the spindle 3 stops and the rotation of the rotating shaft 18 stops. As a result, the blade 2 rotates at a speed suitable for forming a V-shape and is processed by the rotary dresser 12.
以上のように構成されるダイシング装置11は、磨耗して先端形状が崩れたブレード2をスピンドル3の回転シャフト18に取り付けたまま外部モータ21Aまたは21Bにより回転させ、V字型形状の角度に合わせて傾斜して回転しているロータリードレッサー12の砥石14にブレード2先端を接触させて先端全周を均一に研磨してV字型形状が形成されていく。   The dicing apparatus 11 configured as described above is rotated by the external motor 21A or 21B while the blade 2 that has been worn out and its tip shape is broken is attached to the rotary shaft 18 of the spindle 3 to match the angle of the V shape. The tip of the blade 2 is brought into contact with the grindstone 14 of the rotary dresser 12 that is inclined and rotated, and the entire periphery of the tip is uniformly polished to form a V-shape.
これにより、先端形状が崩れたブレード2はダイシング装置11から外すことなく再生され、ブレード2の交換頻度を減少させる。また、ダイシング装置11内にブレード先端形状を再生させるロータリードレッサー12や回転手段としての外部モータ21Aまたは21Bが設けられるので消費スペースを減少させる。これらによってダイシング装置の生産性を向上させるとともに、コストを大幅に減少させることが可能となる。   As a result, the blade 2 whose tip shape is broken is regenerated without being removed from the dicing apparatus 11, and the replacement frequency of the blade 2 is reduced. Further, since the rotary dresser 12 for regenerating the blade tip shape and the external motor 21A or 21B as the rotating means are provided in the dicing apparatus 11, the space consumed is reduced. As a result, the productivity of the dicing apparatus can be improved and the cost can be greatly reduced.
なお、本実施の形態ではロータリードレッサー12、12はワークテーブル5近傍に設けられているが、本発明はこれに限らず図7に示すように治具プレート25上にロータリードレッサー12、12を設け、必要に応じて治具プレート25をワークテーブル5へ吸着載置する形態であっても好適に実施可能である。このとき、ロータリードレッサー12は一対ではなく1つであっても良い。ロータリードレッサー12が1つの場合はV字型形状の一方の面を加工した後、ワークテーブル5を回転させることで他方の面の加工が行われる。   In this embodiment, the rotary dressers 12 and 12 are provided in the vicinity of the work table 5. However, the present invention is not limited to this, and the rotary dressers 12 and 12 are provided on the jig plate 25 as shown in FIG. Even if the jig plate 25 is mounted on the work table 5 by suction as required, it can be suitably implemented. At this time, the rotary dresser 12 may be one instead of a pair. When there is one rotary dresser 12, after processing one surface of the V shape, the other surface is processed by rotating the work table 5.
これにより、ロータリードレッサー12は不要な時には外しておくことが可能となり、ダイシング装置11のサイズを小さく出来るとともに、ワークテーブル5の回転によりロータリードレッサー12の位置の微調整が可能となる。   Accordingly, the rotary dresser 12 can be removed when not needed, the size of the dicing apparatus 11 can be reduced, and the position of the rotary dresser 12 can be finely adjusted by rotating the work table 5.
次に本発明に係るブレード先端形状形成方法について説明する。図8は、ブレードの先端形状形成を行う様子を示した側面図である。   Next, the blade tip shape forming method according to the present invention will be described. FIG. 8 is a side view showing how the tip shape of the blade is formed.
ブレード先端形状形成では、図8に示すようにロータリードレッサー12のモータ13により回転する砥石14へ、図5に示される回転手段としての外部モータ21Aまたは図6に示される回転手段としての外部モータ21Bにより回転するブレード2の先端を接触させて行われる。   In the blade tip shape formation, as shown in FIG. 8, the external motor 21A as the rotating means shown in FIG. 5 or the external motor 21B as the rotating means shown in FIG. 6 is transferred to the grindstone 14 rotated by the motor 13 of the rotary dresser 12. Is carried out by bringing the tip of the rotating blade 2 into contact with each other.
ロータリードレッサー12は、角度調整機構15により本体17Aを矢印A方向へ移動させてブレード2のV字型形状に適した角度となるように、砥石14をブレード2のV字型形状の角度と同様の角度に傾斜させる。傾斜した砥石14は位置調整機構16により矢印B方向へ移動することによりブレード2との接触位置が調製される。   The rotary dresser 12 moves the main body 17A in the direction of arrow A by the angle adjustment mechanism 15 so that the grindstone 14 has the same angle as the V-shaped shape of the blade 2 so that the angle is suitable for the V-shaped shape of the blade 2. Tilt to an angle of. The inclined grindstone 14 is moved in the direction of arrow B by the position adjusting mechanism 16 to adjust the contact position with the blade 2.
1対のロータリードレッサー12の角度と位置が調製された後、ワークテーブル5を図3に示すX方向へ移動させスピンドル3をY方向へ移動させることによりV字型形状が崩れたブレード2先端の中心が図9に示すように交差する砥石14、14へ合わせられる。このとき、ブレード2は図5に示される外部モータ21Aまたは図6に示される外部モータ21Bにより回転する砥石14の回転数よりも少ない回転数で回転している。   After the angle and position of the pair of rotary dressers 12 are adjusted, the work table 5 is moved in the X direction shown in FIG. 3 and the spindle 3 is moved in the Y direction. The center is aligned with the intersecting grindstones 14, 14 as shown in FIG. At this time, the blade 2 is rotating at a rotational speed smaller than the rotational speed of the grindstone 14 rotated by the external motor 21A shown in FIG. 5 or the external motor 21B shown in FIG.
中心位置が合わせられたブレード2は、図10に示すようにスピンドル3を下降させて砥石14、14へ接触させる。この状態で更にワークテーブル5を図3に示すX方向に往復移動させることでロータリードレッサー12、12を往復移動させてブレード2先端の加工を行う。   As shown in FIG. 10, the blade 2 having the center position is brought into contact with the grindstones 14 and 14 by lowering the spindle 3. In this state, the work table 5 is further reciprocated in the X direction shown in FIG. 3 to reciprocate the rotary dressers 12 and 12 to process the tip of the blade 2.
加工ではブレード2を下降させるまたはロータリードレッサー12、12をそれぞれ接近させることによりブレード2を研磨していく。研磨を続けブレード2先端が図11に示すように砥石14、14の傾斜角度と同等の角度となり所望のV字型形状に形成された時点でブレード2と砥石14、14の回転を停止させ、ブレード2を上昇させるとともにロータリードレッサー12、12を退避させてブレード先端形状形成が終了する。   In the processing, the blade 2 is polished by lowering the blade 2 or bringing the rotary dressers 12 and 12 close to each other. When the polishing is continued and the tip of the blade 2 becomes an angle equivalent to the inclination angle of the grindstones 14 and 14 as shown in FIG. 11, the blade 2 and the grindstones 14 and 14 stop rotating when the desired V-shape is formed. The blade 2 is raised and the rotary dressers 12 and 12 are retracted to complete the blade tip shape formation.
以上説明したように、本発明に係るダイシング装置及びブレード先端形状形成方法によれば、ブレードに形成されているV字型形状の角度に合わせて傾斜しているロータリードレッサーとスピンドルに取り付けられた回転手段とにより先端形状が崩れたブレードはダイシング装置から外すことなく再生され、ブレードの交換頻度を減少させる。また、ダイシング装置内にブレード先端形状を再生させる機構が設けられるので消費スペースを減少させる。これらによってダイシング装置の生産性を向上させるとともに、コストを大幅に減少させることが可能となる。   As described above, according to the dicing apparatus and the blade tip shape forming method according to the present invention, the rotary dresser and the rotation attached to the spindle are inclined according to the V-shaped angle formed on the blade. The blade whose tip shape is broken by the means is regenerated without being removed from the dicing apparatus, and the frequency of blade replacement is reduced. Further, since a mechanism for regenerating the blade tip shape is provided in the dicing apparatus, the consumption space is reduced. As a result, the productivity of the dicing apparatus can be improved and the cost can be greatly reduced.
なお、本実施の形態ではブレード2を砥石14の回転数よりも少ない回転数で回転させる回転手段をスピンドル前部のホイールカバー上に設けているが本発明はこれに限らず、スピンドル3に内蔵されたモータにクラッチやギアなどによる減速機構を設けるまたは内蔵されたモータを低速回転可能なモータとして制御手段によりブレード2を砥石14の回転数よりも少ない回転数で回転させても好適に実施可能である。   In the present embodiment, a rotating means for rotating the blade 2 at a rotational speed smaller than the rotational speed of the grindstone 14 is provided on the wheel cover at the front part of the spindle. The motor is provided with a speed reduction mechanism such as a clutch or a gear, or the built-in motor can be rotated at a low speed, and can be suitably implemented even when the blade 2 is rotated at a rotational speed less than the rotational speed of the grindstone 14 by the control means. It is.
従来のダイシング装置の外観を示す斜視図。The perspective view which shows the external appearance of the conventional dicing apparatus. V字型形状が形成されたブレードとV字型形状が崩れたブレードの断面図。Sectional drawing of the braid | blade in which the V-shaped shape was formed, and the blade in which the V-shaped shape collapsed. 本発明に係わるダイシング装置の外観を示す斜視図。The perspective view which shows the external appearance of the dicing apparatus concerning this invention. ダイシング装置に設けられたロータリードレッサー部分を拡大した斜視図。The perspective view which expanded the rotary dresser part provided in the dicing apparatus. 回転手段が設けられたスピンドルの側面断面図。Side surface sectional drawing of the spindle provided with the rotation means. 別の実施の形態による回転手段が設けられたスピンドルの側面断面図。The side sectional view of the spindle provided with the rotation means by another embodiment. 別の実施の形態によるロータリードレッサーを示した斜視図。The perspective view which showed the rotary dresser by another embodiment. ブレードの先端形状形成を行う様子を示した側面図。The side view which showed a mode that the front-end | tip shape formation of a braid | blade was performed. ロータリードレッサーの位置合わせが行われた様子を示した側面図。The side view which showed a mode that alignment of the rotary dresser was performed. 砥石とブレードが接触した様子を示した側面図。The side view which showed a mode that the grindstone and the blade contacted. 所望の形状にブレードの先端が加工された様子を示した側面図。The side view which showed a mode that the front-end | tip of the braid | blade was processed into the desired shape.
符号の説明Explanation of symbols
1、11…ダイシング装置,2…ブレード,3…スピンドル,4…撮像装置,5…ワークテーブル,6…加工部,7…ウェーハ洗浄装置,8…ロードポート,9…搬送手段,10…表示手段,12…ロードポート,13…モータ,14…砥石,15…角度調整機構,16…位置調整機構,17A、17B…本体,17C…ロータリージョイント,17D…固定ナット,18…回転シャフト,19…フランジ,20A、20B…ホイールカバー,21A、21B…外部モータ,22…ベルト,23…フランジ固定ナット,24…シャフト,25…治具プレート,ワーク…W DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 11 ... Dicing apparatus, 2 ... Blade, 3 ... Spindle, 4 ... Imaging apparatus, 5 ... Work table, 6 ... Processing part, 7 ... Wafer cleaning apparatus, 8 ... Load port, 9 ... Conveyance means, 10 ... Display means , 12 ... Load port, 13 ... Motor, 14 ... Grinding wheel, 15 ... Angle adjustment mechanism, 16 ... Position adjustment mechanism, 17A, 17B ... Main body, 17C ... Rotary joint, 17D ... Fixing nut, 18 ... Rotating shaft, 19 ... Flange , 20A, 20B ... wheel cover, 21A, 21B ... external motor, 22 ... belt, 23 ... flange fixing nut, 24 ... shaft, 25 ... jig plate, workpiece ... W

Claims (6)

  1. 先端がV字型形状に形成された円盤状のブレードと、
    前記ブレードを回転させるスピンドルと、
    前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
    前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
    前記ブレードの先端の角度と同様の角度に傾斜して前記ワークテーブル近傍または治具プレート上に設けられた回転することにより前記ブレードの先端の加工を行う円筒形状のロータリードレッサーと、を備えたことを特徴とするダイシング装置。
    A disk-shaped blade having a V-shaped tip, and
    A spindle for rotating the blade;
    A work table for holding a work to be cut by the blade;
    A movement axis for relatively moving the work table and the blade;
    A cylindrical rotary dresser for processing the tip of the blade by rotating near the work table or on a jig plate at an angle similar to the angle of the tip of the blade. A dicing apparatus characterized by the above.
  2. 前記ロータリードレッサーには傾斜する角度を調整する調整機構が備えられていることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。   The dicing apparatus according to claim 1, wherein the rotary dresser includes an adjustment mechanism that adjusts an inclination angle.
  3. 前記ロータリードレッサーは治具プレート上に設けられ、前記治具プレートを前記ワークテーブル上に載置することにより前記ダイシング装置に取り付けられることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のダイシング装置。   The dicing apparatus according to claim 1, wherein the rotary dresser is provided on a jig plate, and is attached to the dicing apparatus by placing the jig plate on the work table. .
  4. 前記ブレードが取り付けられた前記スピンドルの回転シャフトを前記ロータリードレッサーの回転数よりも少ない回転数で回転させる回転手段が前記スピンドルに取り付けられていることを特徴とする請求項1、2または請求項3に記載のダイシング装置。   The rotating means for rotating the rotating shaft of the spindle, to which the blade is attached, at a rotational speed lower than the rotational speed of the rotary dresser is attached to the spindle. The dicing apparatus described in 1.
  5. 前記回転手段は前記回転シャフトを回転させる前記スピンドルに備えられたモータとは別に前記スピンドルに取り付けられた外部モータまたは前記回転シャフトに接続された減速機構または前記スピンドルに備えられた前記モータの回転数を制御する制御手段であることを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。   In addition to the motor provided on the spindle for rotating the rotating shaft, the rotating means is an external motor attached to the spindle, a speed reduction mechanism connected to the rotating shaft, or the rotational speed of the motor provided on the spindle. The dicing apparatus according to claim 4, wherein the dicing apparatus is a control unit that controls the process.
  6. 先端がV字型形状に形成された円盤状のブレードと、前記ブレードを回転させるスピンドルと、前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、前記ブレードの先端の角度と同様の角度に傾斜して前記ワークテーブル近傍または治具プレート上に設けられた回転することにより前記ブレードの先端の加工を行う円筒形状のロータリードレッサーと、を備えたダイシング装置において、
    前記ブレードの先端を回転する傾斜した前記ロータリードレッサーへ接触させることにより、該ブレードの先端をV字型形状に加工することを特徴とするブレード先端形状形成方法。
    A disk-shaped blade having a V-shaped tip, a spindle that rotates the blade, a work table that holds a workpiece to be cut by the blade, and the work table and the blade are relatively Cylindrical rotary dresser that processes the tip of the blade by rotating it provided near the work table or on the jig plate at an angle similar to the angle of the tip of the blade. In a dicing apparatus comprising:
    A blade tip shape forming method, wherein the blade tip is processed into a V-shape by bringing the tip of the blade into contact with the inclined rotary dresser that rotates.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012044096A (en) * 2010-08-23 2012-03-01 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting device
JP2014087878A (en) * 2012-10-30 2014-05-15 Nihon Univ Electric discharge machine
JP2016209959A (en) * 2015-05-08 2016-12-15 株式会社ディスコ Method for manufacturing angled cutting blade

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