JP6363496B2 - 有機半導体インク、有機半導体膜、並びに、有機半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 163
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 67
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 85
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 75
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 claims description 64
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 40
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 25
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 24
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 13
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 12
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 12
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 8
- 125000006353 oxyethylene group Chemical group 0.000 claims description 8
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims description 5
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 4
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 4
- 125000001188 haloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000005373 siloxane group Chemical group [SiH2](O*)* 0.000 claims description 4
- 125000004665 trialkylsilyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 32
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 31
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 24
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 14
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 9
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- -1 polycyclic aromatic ring compound Chemical class 0.000 description 8
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 8
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- CWLKTJOTWITYSI-UHFFFAOYSA-N 1-fluoronaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(F)=CC=CC2=C1 CWLKTJOTWITYSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052711 selenium Chemical group 0.000 description 5
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 5
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 4
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 4
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M potassium iodide Substances [K+].[I-] NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 3
- JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N benzonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=C1 JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- UAOMVDZJSHZZME-UHFFFAOYSA-N diisopropylamine Chemical compound CC(C)NC(C)C UAOMVDZJSHZZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000011254 layer-forming composition Substances 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- KJIFKLIQANRMOU-UHFFFAOYSA-N oxidanium;4-methylbenzenesulfonate Chemical compound O.CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 KJIFKLIQANRMOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 3
- 229920003251 poly(α-methylstyrene) Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M potassium acetate Chemical compound [K+].CC([O-])=O SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Substances [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229920000468 styrene butadiene styrene block copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 1-hexene Chemical compound CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 1-methylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C)=CC=CC2=C1 QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002633 Kraton (polymer) Polymers 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N boron tribromide Chemical compound BrB(Br)Br ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNBZCPXTIHJBJL-UHFFFAOYSA-N decalin Chemical compound C1CCCC2CCCCC21 NNBZCPXTIHJBJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- IOOQQIVFCFWSIU-UHFFFAOYSA-M magnesium;octane;bromide Chemical compound [Mg+2].[Br-].CCCCCCC[CH2-] IOOQQIVFCFWSIU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 150000002848 norbornenes Chemical class 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 2
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- WJKHJLXJJJATHN-UHFFFAOYSA-N triflic anhydride Chemical compound FC(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(F)(F)F WJKHJLXJJJATHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- DPZNOMCNRMUKPS-UHFFFAOYSA-N 1,3-Dimethoxybenzene Chemical compound COC1=CC=CC(OC)=C1 DPZNOMCNRMUKPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULTHEAFYOOPTTB-UHFFFAOYSA-N 1,4-dibromobutane Chemical compound BrCCCCBr ULTHEAFYOOPTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTPNRXUCIXHOKM-UHFFFAOYSA-N 1-chloronaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(Cl)=CC=CC2=C1 JTPNRXUCIXHOKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTPZTKBRUCILQD-UHFFFAOYSA-N 1-methylimidazolidin-2-one Chemical compound CN1CCNC1=O JTPZTKBRUCILQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCUPBIBNSTXCPQ-UHFFFAOYSA-N 1-tert-butyl-4-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(C(C)(C)C)C=C1 MCUPBIBNSTXCPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMVAZEHZOPDGHA-UHFFFAOYSA-N 3-methoxybenzenethiol Chemical compound COC1=CC=CC(S)=C1 QMVAZEHZOPDGHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABIPNDAVRBMCHV-UHFFFAOYSA-N 4,4-dimethyl-2,3-dihydro-1h-naphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C)(C)CCCC2=C1 ABIPNDAVRBMCHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003026 Acene Polymers 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXWPCBLHCCGVFC-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)C=1SC(=CC=1)[Sn](C)(C)C Chemical compound C(CCCCCCCCC)C=1SC(=CC=1)[Sn](C)(C)C IXWPCBLHCCGVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQXOLILTPDHGAW-UHFFFAOYSA-M CCCCOCCCC[Mg]Br Chemical compound CCCCOCCCC[Mg]Br KQXOLILTPDHGAW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N Carbazole Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150003085 Pdcl gene Proteins 0.000 description 1
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001167 Poly(triaryl amine) Polymers 0.000 description 1
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N Sodium Chemical compound [Na] KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 229940072049 amyl acetate Drugs 0.000 description 1
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N benzyl chloride Chemical compound ClCC1=CC=CC=C1 KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNHIGQDRGKUECZ-UHFFFAOYSA-L bis(triphenylphosphine)palladium(ii) dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Pd+2].C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 YNHIGQDRGKUECZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC1=CC=CC=C1.C=CC1=CC=CC=C1 FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N butyronitrile Chemical compound CCCC#N KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- VZSXFJPZOCRDPW-UHFFFAOYSA-N carbanide;trioxorhenium Chemical compound [CH3-].O=[Re](=O)=O VZSXFJPZOCRDPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GBRBMTNGQBKBQE-UHFFFAOYSA-L copper;diiodide Chemical compound I[Cu]I GBRBMTNGQBKBQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMRGIWYBLKXQGS-UHFFFAOYSA-M dicyclohexyl-[2-[2,4,6-tri(propan-2-yl)phenyl]phenyl]phosphane methanesulfonate palladium(2+) 2-phenylaniline Chemical compound [Pd+2].CS([O-])(=O)=O.NC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=[C-]1.CC(C)C1=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C1C1=CC=CC=C1P(C1CCCCC1)C1CCCCC1 LMRGIWYBLKXQGS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940043279 diisopropylamine Drugs 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 1
- UMIPWJGWASORKV-UHFFFAOYSA-N oct-1-yne Chemical compound CCCCCCC#C UMIPWJGWASORKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXNAVEXFUKBNMK-UHFFFAOYSA-N palladium(II) acetate Substances [Pd].CC(O)=O.CC(O)=O LXNAVEXFUKBNMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJVFFLUZDVXJQI-UHFFFAOYSA-L palladium(ii) acetate Chemical compound [Pd+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O YJVFFLUZDVXJQI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 229920001088 polycarbazole Polymers 0.000 description 1
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000015 polydiacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920012287 polyphenylene sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920000734 polysilsesquioxane polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229940072033 potash Drugs 0.000 description 1
- 235000011056 potassium acetate Nutrition 0.000 description 1
- 235000015320 potassium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000012312 sodium hydride Substances 0.000 description 1
- 229910000104 sodium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000001889 triflyl group Chemical group FC(F)(F)S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- PXXNTAGJWPJAGM-UHFFFAOYSA-N vertaline Natural products C1C2C=3C=C(OC)C(OC)=CC=3OC(C=C3)=CC=C3CCC(=O)OC1CC1N2CCCC1 PXXNTAGJWPJAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Oxygen Or Sulfur (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
従来の有機トランジスタ材料としては、特許文献1〜4に記載されたものが知られている。
<1>下記式1で表される化合物、溶媒、及び、高分子化合物、を少なくとも含むことを特徴とする有機半導体インク、
−S−L−T (W)
式W中、Sは単結合又は−(C(RS)2)r−を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、rは1〜17の整数を表し、Lは、
n=0の場合、単結合、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
n=1の場合、単結合、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
Tはアルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を表す。
<3>上記nが、0である、<1>又は<2>に記載の有機半導体インク、
<4>上記p及び上記qが、いずれも1である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<5>上記式1で表される化合物が、下記式2で表される化合物である、<1>〜<4>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<7>上記R1の炭素数が5〜40であり、上記R2の炭素数が5〜40である、<1>〜<6>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<8>上記R1の炭素数が8〜20であり、上記R2の炭素数が8〜20である、<1>〜<7>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<9>Lが、n=0の場合、上記式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、上記式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、n=1の場合、上記式L−1〜式L−4のいずれかで表される2価の連結基、又は、上記式L−1〜式L−4のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表す、<1>〜<8>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<10>上記Lが、n=0の場合、上記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基を表し、n=1の場合、上記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基を表す、<1>〜<8>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<11>上記Sが、単結合である、<1>〜<10>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<12>上記Lが、n=0の場合、上記式L−1及び式L−14〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基を表し、n=1の場合、上記式L−1で表される2価の連結基を表す、<1>〜<11>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<13>上記Tが、アルキル基である、<1>〜<12>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<14>上記式Wで表される基が、アルキル基である、<1>〜<13>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<15>上記溶媒の沸点が、100℃以上である、<1>〜<14>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<16>上記式1で表される化合物の含有量が、有機半導体インクの総質量に対し、0.005〜20質量%である、<1>〜<15>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<17>上記高分子化合物の含有量が、有機半導体インクの総質量に対し、0.001〜10質量%である、<1>〜<16>のいずれか1つに記載の有機半導体インク、
<18><1>〜<17>のいずれか1つに記載の有機半導体インクより形成された有機半導体膜、
<19><1>〜<17>のいずれか1つに記載の有機半導体インクより形成された有機半導体層を有する有機半導体素子、
<20>有機薄膜トランジスタである、<19>に記載の有機半導体素子、
<21><1>〜<17>のいずれか1つに記載の有機半導体インクを、インクジェット法、スクリーン印刷法又はフレキソ印刷法により基板上に付与する付与工程、及び、付与した有機半導体インクから溶媒を少なくとも一部除去する除去工程を含む、有機半導体素子の製造方法。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
また、本発明において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい。
本発明の有機半導体インク(以下、単に「インク」ともいう。)は、下記式1で表される化合物、溶媒、及び、高分子化合物、を少なくとも含むことを特徴とする。
−S−L−T (W)
式W中、Sは単結合又は−(C(RS)2)r−を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、rは0〜17の整数を表し、Lは、
n=0の場合、単結合、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
n=1の場合、単結合、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
Tはアルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を表す。
詳細な効果の発現機構については不明であるが、式1で表される化合物が特定の縮合多環芳香環構造を有し、かつ式Wで表される基を両末端に有し、更に高分子化合物を含有することにより、塗布成膜性に優れ、得られる有機半導体素子のキャリア移動度及び耐久性に優れるものと推定される。
以下、本発明の有機半導体インクに使用される各成分について説明する。
本発明の有機半導体インクは、上記式1で表される化合物を含有する。
式1で表される化合物は、有機半導体化合物であり、
Xはそれぞれ独立に、S原子又はSe原子を表し、S原子であることが好ましい。
nは0又は1を表し、キャリア移動度及び溶解性の観点から、0であることが好ましい。
p及びqはそれぞれ独立に、1〜4の整数を表し、キャリア移動度及び塗布成膜性の観点から、1又は2であることが好ましく、1であることがより好ましい。
R1及びR2はそれぞれ独立に、下記式Wで表される基を表す。
−S−L−T (W)
Sは単結合又は−(C(RS)2)r−を表し、単結合であることが好ましい。
RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、水素原子であることが好ましい。
rは1〜17の整数を表し、1〜8の整数であることが好ましく、1〜4の整数であることがより好ましい。
R1及びR2は、塗布成膜性、結晶サイズ及び得られる有機半導体膜の耐熱性の観点から、同一の基であることが好ましい。
R1の炭素数は、2〜40であることが好ましく、2〜18であることがより好ましい。
また、R2の炭素数は、2〜40であることが好ましく、2〜18であることがより好ましい。
また、Lは、n=1の場合、単結合、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、上記式L−1〜式L−4のいずれかで表される2価の連結基、又は、上記式L−1〜式L−4のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基であることが好ましい。
更に、Lは、n=0の場合、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基であり、n=1の場合、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基であることが好ましく、Lが、n=0の場合、下記式L−1及び式L−14〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基であり、n=1の場合、下記式L−1で表される2価の連結基であることがより好ましい。
なお、Lが式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表す場合、一方の連結基の*が、他方の連結基の波線部分と結合する。
式L−13〜式L−16におけるR’の結合位置及びT側の結合位置*は、芳香環又は複素芳香環上の任意の位置をとることができる。
また、式L−13におけるT側の結合位置*は、芳香環上の任意の位置をとることができる。
式L−13〜式L−16におけるmは、0又は1であることが好ましく、0であることが好ましい。
式L−13〜式L−16中のR”としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルキニル基、アルケニル基、アルコキシ基、アルキルチオ基又はアリール基であることが好ましい。
また、Tにおけるアルキル基は、直鎖アルキル基であることが好ましい。
式2におけるX、n、R1及びR2は、式1におけるX、n、R1及びR2と同義であり、好ましい態様も同様である。
Ph−:フェニル基
−Ph−:フェニレン基
本発明の有機半導体インク中、式1で表される化合物は少なくともその一部が溶解していることが好ましく、その全部が溶解していることがより好ましいが、一部が溶解せず分散していてもよい。
また、式1で表される化合物の含有量は、固形分総量の30〜99質量%であることが好ましく、50〜95質量%であることがより好ましく、70〜90質量%であることが更に好ましい。なお、固形分とは、溶媒等の揮発性成分を除いた成分の量である。
本発明の有機半導体インクは、溶媒を含有する。
溶媒としては、例えば、オクタン、デカン、トルエン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、デカリン、1−メチルナフタレン、テトラリン、ジメチルテトラリンなどの炭化水素系溶媒、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、テトラクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロロトルエン、1−フルオロナフタレン、1−クロロナフタレンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒、酢酸ブチル、酢酸アミルなどのエステル系溶媒、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールなどのアルコール系溶媒、ジブチルエーテル、ジオキサン、アニソール、4−ターシャリブチルアニソール、m−ジメトキシベンゼンなどのエーテル系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒、1−メチル−2−ピロリドン、1−メチル−2−イミダゾリジノン等のイミド系溶媒、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、ブチロニトリル、ベンゾニトリルなどのニトリル系溶媒が挙げられる。
これらの中でも、炭化水素系溶媒、ハロゲン化炭化水素系溶媒及び/又はエーテル系溶媒が好ましく、トルエン、キシレン、メシチレン、テトラリン、1−フルオロナフタレン、ジクロロベンゼン又はアニソールがより好ましく、トルエン、テトラリン、1−フルオロナフタレン又はアニソールが更に好ましく、1−フルオロナフタレン又はアニソールが特に好ましい。上記溶媒であると、塗布性に優れ、容易に有機半導体膜を形成することができる。
また、有機半導体インクを付与後、溶媒を乾燥させる観点から、溶媒の沸点は300℃以下であることが好ましく、250℃以下であることがより好ましく、220℃以下であることが更に好ましい。
本発明の有機半導体インクは、高分子化合物を含有する。
また、本発明の有機半導体素子は、上記式1で表される化合物を含有する層と、高分子化合物を含む層とを有する有機半導体素子であってもよい。
高分子化合物の種類は特に制限されず、公知の高分子化合物を用いることができる。
高分子化合物としては、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリシロキサン、ポリスルホン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、セルロース、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの絶縁性ポリマー、及びこれらの共重合体、ポリシラン、ポリカルバゾール、ポリアリールアミン、ポリフルオレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリアセン、ポリヘテロアセンなどの半導体ポリマー、及びこれらの共重合体、ゴム、熱可塑性エラストマーを挙げることができる。
また、高分子化合物は、使用する溶媒の溶解度が、使用する式1で表される化合物よりも高いことが好ましい。上記態様であると、得られる有機半導体のキャリア移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体インクにおける高分子化合物の含有量は、有機半導体インクの総量に対し、0.005〜20質量%であることが好ましく、0.01〜15質量%であることがより好ましく、0.25〜10質量%であることが更に好ましい。上記範囲内であると、得られる有機半導体のキャリア移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体インクは、更に他の成分を含んでいてもよい。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物における式1で表される化合物、溶媒、及び、高分子化合物以外の成分の含有量は、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、0.1質量%以下であることが特に好ましい。上記範囲であると、塗布成膜性により優れ、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
粘度の測定方法としては、JIS Z8803に準拠した測定方法であることが好ましい。
本発明の有機半導体膜は、本発明の有機半導体インクを用いて製造されたものであり、また、本発明の有機半導体素子は、本発明の有機半導体インクを用いて製造されたものである。
本発明の有機半導体インクを用いて有機半導体膜や有機半導体素子を製造する方法は、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、インクを所定の基材上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施して、有機半導体膜又は有機半導体素子を製造する方法が挙げられる。
基材上にインクを付与する方法は特に制限されず、公知の方法を採用でき、例えば、インクジェット法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、バーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法、ドロップキャスト法などが挙げられ、インクジェット法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、スピンコート法、ドロップキャスト法が好ましく、インクジェット法、スクリーン印刷法及びフレキソ印刷法が特に好ましい。
なお、フレキソ印刷法としては、フレキソ印刷版として感光性樹脂版を用いる態様が好適に挙げられる。上記態様によって、インクを基板上に印刷して、パターンを容易に形成することができる。
中でも、本発明の有機半導体膜の製造方法、及び、有機半導体素子の製造方法は、本発明の有機半導体インクを基板上に付与する付与工程、及び、付与されたインクから溶媒を除去する除去工程を含むことが好ましく、本発明の有機半導体インクを、インクジェット法、スクリーン印刷法又はフレキソ印刷法により基板上に付与する付与工程、及び、付与されたインクから溶媒を除去する除去工程を含むことがより好ましい。
本発明の有機半導体膜は、有機半導体素子に好適に使用することができ、有機トランジスタ(有機薄膜トランジスタ)に特に好適に使用することができる。
本発明の有機半導体膜は、本発明の有機半導体インクを用いて好適に作製される。
有機半導体素子としては、特に制限はないが、2〜5端子の有機半導体素子であることが好ましく、2又は3端子の有機半導体素子であることがより好ましい。
また、有機半導体素子としては、光電機能を用いない素子であることが好ましい。
更に、本発明の有機半導体素子は、非発光性有機半導体素子であることが好ましい。
2端子素子としては、整流用ダイオード、定電圧ダイオード、PINダイオード、ショットキーバリアダイオード、サージ保護用ダイオード、ダイアック、バリスタ、トンネルダイオード等が挙げられる。
3端子素子としては、バイポーラトランジスタ、ダーリントントランジスタ、電界効果トランジスタ、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ、ユニジャンクショントランジスタ、静電誘導トランジスタ、ゲートターンサイリスタ、トライアック、静電誘導サイリスタ等が挙げられる。
これらの中でも、整流用ダイオード、及び、トランジスタ類が好ましく挙げられ、電界効果トランジスタがより好ましく挙げられる。
図1は、本発明の有機半導体素子(有機薄膜トランジスタ(TFT))の一態様の断面模式図である。
図1において、有機薄膜トランジスタ100は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30のゲート電極20側とは反対側の表面に接するソース電極40及びドレイン電極42と、ソース電極40とドレイン電極42との間のゲート絶縁膜30の表面を覆う有機半導体膜50と、各部材を覆う封止層60とを備える。有機薄膜トランジスタ100は、ボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
なお、図1においては、有機半導体膜50が、上述したインクより形成される膜に該当する。
以下、基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層並びにそれぞれの形成方法について詳述する。
基板は、後述するゲート電極、ソース電極、ドレイン電極などを支持する役割を果たす。
基板の種類は特に制限されず、例えば、プラスチック基板、ガラス基板、セラミック基板などが挙げられる。中でも、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
プラスチック基板の材料としては、熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)など)又は熱可塑性樹脂(例えば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフォンなど)が挙げられる。
セラミック基板の材料としては、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイドなどが挙げられる。
ガラス基板の材料としては、例えば、ソーダガラス、カリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、アルミケイ酸ガラス、鉛ガラスなどが挙げられる。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の材料としては、例えば、金(Au)、銀、アルミニウム(Al)、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、タンタル、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ナトリウム等の金属;InO2、SnO2、酸化インジウムスズ(ITO)等の導電性の酸化物;ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリジアセチレン等の導電性高分子;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素等の半導体;フラーレン、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料などが挙げられる。中でも、金属であることが好ましく、銀又はアルミニウムであることがより好ましい。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の厚みは特に制限されないが、20〜200nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としては、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルホン、ポリベンゾキサゾール、ポリシルセスキオキサン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等のポリマー;二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物;窒化珪素等の窒化物などが挙げられる。これらの材料のうち、有機半導体膜との相性から、ポリマーであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としてポリマーを用いる場合、架橋剤(例えば、メラミン)を併用することが好ましい。架橋剤を併用することで、ポリマーが架橋されて、形成されるゲート絶縁膜の耐久性が向上する。
ゲート絶縁膜の膜厚は特に制限されないが、100〜1,000nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜形成用組成物を塗布してゲート絶縁膜を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体素子は、上記有機半導体層と絶縁膜との間に上記高分子化合物層を有することが好ましく、上記有機半導体層とゲート絶縁膜との間に上記高分子化合物層を有することがより好ましい。上記高分子化合物層の膜厚は特に制限されないが、20〜500nmであることが好ましい。上記高分子化合物層は、上記高分子化合物を含む層であればよいが、上記高分子化合物からなる層であることが好ましい。
また、上記高分子化合物層は、本発明の有機半導体インクにより有機半導体層と共に形成された高分子化合物層であることが好ましい。
高分子化合物層形成用組成物を塗布して高分子化合物層を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体素子は、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えることが好ましい。封止層には公知の封止剤を用いることができる。
封止層の厚さは特に制限されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
図2において、有機薄膜トランジスタ200は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30上に配置された有機半導体膜50と、有機半導体膜50上に配置されたソース電極40及びドレイン電極42と、各部材を覆う封止層60を備える。ここで、ソース電極40及びドレイン電極42は、上述した本発明のインクを用いて形成されたものである。有機薄膜トランジスタ200は、トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層については、上述のとおりである。
上記では図1及び2において、ボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ、及び、ボトムゲート−トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタの態様について詳述したが、本発明の有機半導体素子は、トップゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ、及び、トップゲート−トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタにも好適できる。
なお、上述した有機薄膜トランジスタは、電子ペーパー、ディスプレイデバイスなどに好適に使用できる。
対称中間体M1を下記のルートにしたがって合成した。なお、Tfは、トリフルオロメタンスルホニル基を表す。
NMP:N−メチルピロリドン(関東化学(株)製)
K2CO3:炭酸カリウム(東京化成工業(株)製)
3−メトキシベンゼンチオール(東京化成工業(株)製)
CH2Cl2:ジクロロメタン(和光純薬工業(株)製)
CH3CN:アセトニトリル(和光純薬工業(株)製)
H2O2:過酸化水素(関東化学(株)製)
MTO−Re:メチルレニウムトリオキサイド(和光純薬工業(株)製)
Pd(OAc)2:酢酸パラジウム(II)(和光純薬工業(株)製)
KOAc:酢酸カリウム(和光純薬工業(株)製)
DMAc:ジメチルアセトアミド(和光純薬工業(株)製)
KI:ヨウ化カリウム(和光純薬工業(株)製)
p−TSA・H2O:p−トルエンスルホン酸一水和物(和光純薬工業(株)製)
BBr3:三臭化ホウ素(関東化学(株)製)
1−ヘキセン(和光純薬工業(株)製)
Tf2O:トリフルオロメタンスルホン酸無水物(東京化成工業(株)製)
ピリジン(和光純薬工業(株)製)
非対称中間体M2を、対称中間体M1スキーム中の中間体M0を出発原料として、下記のスキームにより合成した。
対称中間体M1を出発原料として下記のスキームで合成した。
THF:テトラヒドロフラン(和光純薬工業(株)製)
C8H17MgBr:オクチルマグネシウムブロマイド(アルドリッチ社製)
Pd−XPhos(G3):(2-Dicyclohexylphosphino-2',4',6'-triisopropyl-1,1'-biphenyl)[2-(2'-amino-1,1'-biphenyl)]palladium(II) methanesulfonate(アルドリッチ社製)
対称中間体M1を出発原料として下記のスキームで合成した。
2−デシル−5−トリメチルスタニルチオフェン:米国特許出願公開第2013/168659号明細書に記載の方法に準じて合成した。
LiCl:塩化リチウム(アルドリッチ社製)
DMF:ジメチルホルムアミド(和光純薬工業(株)製)
対称中間体M1を出発原料として下記のスキームで合成した。
PdCl2(PPh3)2:ジクロロビス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(東京化成工業(株)製)
CuI:ヨウ化銅(和光純薬工業(株)製)
iPr2NH:ジイソプロピルアミン(和光純薬工業(株)製)
1−オクチン(東京化成工業(株)製)
対称中間体M1を出発原料として、n−オクチルマグネシウムブロミドの代わりに下記スキームにより合成した4−ブトキシブチルマグネシウムブロミドを用いること以外は、A−1と同様にして、A−4の合成を行った。
1,4−ジブロモブタン(東京化成工業(株)製)
1−ブタノール(和光純薬工業(株)製)
水素化ナトリウム(東京化成工業(株)製)
マグネシウム(和光純薬工業(株)製)
I2:ヨウ素(和光純薬工業(株)製)
非対称中間体M2を出発原料として下記のスキームで合成した。
A−6は、特許第5498681号公報に記載の方法にしたがって合成した。
・PαMS(ポリ(α−メチルスチレン)、アルドリッチ社製)
・ARTON F4520(エステル置換ノルボルネン系ゴム、JSR(株)製)
・EP22(エチレンプロピレン系ゴム、JSR(株)製)
・Nipol IR2200L(イソプレン系ゴム、日本ゼオン(株)製)
・KRATON D1102K(SBS系ゴム、KRATON社製)
・UBEPOL BR150L(ブタジエン系ゴム、宇部興産(株)製)
・PTAA(下記構造のポリマー、Ossila社製、数平均分子量4,390)
・アニソール(和光純薬工業(株)製)
・テトラリン(東京化成工業(株)製)
・トルエン(和光純薬工業(株)製)
・1−フルオロナフタレン(東京化成工業(株)製)
・クロロベンゼン(和光純薬工業(株)製)
・ジクロロメタン(和光純薬工業(株)製)
<FET素子の作製>
表11に記載の化合物(各1mg)と、表11に記載の高分子化合物1mgと、表11に記載の溶媒(1mL)を混合し、100℃に加熱したものを、有機半導体インクとした。このインクを窒素雰囲気下、90℃に加熱したFET特性測定用基板上にキャストすることで有機半導体膜を形成し、FET特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子を得た。FET特性測定用基板としては、ソース及びドレイン電極としてくし型に配置されたクロム/金(ゲート幅W=100mm、ゲート長L=100μm)、絶縁膜としてSiO2(膜厚200nm)を備えたボトムゲート・ボトムコンタクト構造のシリコン基板を用いた。
各実施例及び比較例の有機薄膜トランジスタ素子のFET特性は、セミオートプローバー(ベクターセミコン(株)製、AX−2000)を接続した半導体パラメーターアナライザー(Agilent社製、4156C)を用いて常圧・窒素雰囲気下で、キャリア移動度を評価した。
各有機薄膜トランジスタ素子(FET素子)のソース電極−ドレイン電極間に−80Vの電圧を印加し、ゲート電圧を20V〜−100Vの範囲で変化させ、ドレイン電流Idを表わす下記式を用いてキャリア移動度μ(cm2/Vs)を算出した。
Id=(w/2L)μCi(Vg−Vth)2
式中、Lはゲート長、Wはゲート幅、Ciは絶縁層の単位面積当たりの容量、Vgはゲート電圧、Vthは閾値電圧を表す。
表11に記載の化合物(各2質量%、各1質量%、各0.5質量%又は各0.1質量%)とトルエン(1mL)とを混合し、100℃に加熱後、室温にて30分放置し、析出無しとなる濃度を求め、トルエンに対する溶解性を以下の4段階で評価した。実用上、A、B、C又はD評価であることが必要であり、A、B又はC評価であることが好ましく、A又はB評価であることがより好ましく、A評価であることが特に好ましい。
A:2質量%で析出無し
B:1質量%で析出無し、かつ、2質量%で析出あり
C:0.5質量%で析出無し、かつ、1質量%で析出あり
D:0.1質量%で析出無し、かつ、0.5質量%で析出あり
E:0.1質量%で析出あり
表11に記載の化合物(各1mg)と、表11に記載の高分子化合物1mgと、表11に記載の溶媒(1mL)を混合し、100℃に加熱したものを、有機半導体インクとした。このインクを窒素雰囲気下、90℃に加熱した50素子分のチャネルを形成した基板上全面にキャストすることで有機半導体膜を形成し、50素子FET特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子を得た。評価基準を以下に示す。
−評価基準−
塗布成膜性A:得られた50素子うち、TFT素子として駆動した素子が45個以上(90%以上)。
塗布成膜性B:得られた50素子うち、TFT素子として駆動した素子が45個未満(90%未満)。
以下に示す方法で塗布膜の結晶(ドメイン)サイズを評価した。
有機薄膜トランジスタ素子の半導体活性層について、偏光顕微鏡を用いて結晶(ドメイン)サイズを1mm四方の範囲で測定し、平均結晶(ドメイン)サイズを計算した。得られた結果を以下の5段階で評価した。実用上、D評価であっても問題はないが、A、B又はC評価であることが好ましく、A又はB評価であることがより好ましく、A評価であることが特に好ましい。
A:平均結晶サイズが5マイクロメートル超える。
B:平均結晶サイズが1マイクロメートルを超え、かつ、5マイクロメートル以下である。
C:平均結晶サイズが0.5マイクロメートルを超え、かつ、1マイクロメートル以下である。
D:平均結晶サイズが0.5マイクロメートル以下である。
E:連続膜にならず評価不能。
作製した各有機薄膜トランジスタ素子を、窒素グローブボックス中130℃にて1時間加熱した後に、キャリア移動度μを測定し、下記式より加熱後のキャリア移動度維持率を算出した。
加熱後のキャリア移動度維持率(%)=移動度(加熱後)/移動度(初期値)
得られた結果を以下の評価基準にしたがって評価した。
−評価基準−
A:95%以上。
B:70%以上、95%未満。
C:40%以上、70%未満。
D:20%以上、40%未満。
E:20%未満。
ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム(帝人デュポンフィルム(株)製のテオネックス65H)上に作製した各有機薄膜トランジスタ素子を、曲率半径4ミリで100回折り曲げ試験を行う前及び行った後に、キャリア移動度μ(cm2/Vs)を測定し、下記式より折り曲げ試験後のキャリア移動度維持率を算出した。
折り曲げ試験後のキャリア移動度維持率(%)=移動度(折り曲げ後)/移動度(初期値)
得られた結果を以下の評価基準にしたがって評価した。
−評価基準−
A:95%以上。
B:90%以上、95%未満。
C:90%未満。
実用上、A又はB評価であることが必要であり、A評価であることが好ましい。
Claims (19)
- 下記式1で表される化合物、
溶媒、及び、
高分子化合物、を少なくとも含み、
前記式1で表される化合物が、線対称の対称軸を有する化合物であることを特徴とする
有機半導体インク。
式1中、Xは、いずれもS原子を表し、nは0又は1を表し、p及びqは、1〜4の整数を表し、R1及びR2はそれぞれ独立に、下記式Wで表される基を表す。
−S−L−T (W)
式W中、Sは単結合又は−(C(RS)2)r−を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、rは1〜17の整数を表し、Lは、
n=0の場合、単結合、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
n=1の場合、単結合、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
Tはアルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を表す。
式L−1〜式L−16中、波線部分はS又は他の式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基との結合位置を表し、*はT又は他の式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基との結合位置を表し、式L−13におけるmは0〜4の整数を表し、式L−14〜式L−16におけるmは0〜2の整数を表し、R’はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表し、R”はそれぞれ独立に、置換基を表す。 - 前記nが、0である、請求項1に記載の有機半導体インク。
- 前記p及び前記qが、いずれも1である、請求項1又は2に記載の有機半導体インク。
- 前記式1で表される化合物が、下記式2で表される化合物である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
式2中、Xは、いずれもS原子を表し、nは0又は1を表し、R1及びR2 は、前記式Wで表される基を表し、前記R 1 と前記R 2 とが、同一の基である。 - 前記R1の炭素数が5〜40であり、前記R2の炭素数が5〜40である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記R1の炭素数が8〜20であり、前記R2の炭素数が8〜20である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記Lが、
n=0の場合、前記式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、前記式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表し、
n=1の場合、前記式L−1〜式L−4のいずれかで表される2価の連結基、又は、前記式L−1〜式L−4のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基を表す、請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機半導体インク。 - 前記Lが、
n=0の場合、前記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基を表し、
n=1の場合、前記式L−1〜式L−12のいずれかで表される2価の連結基を表す、請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機半導体インク。 - 前記Sが、単結合である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記Lが、
n=0の場合、前記式L−1及び式L−14〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基を表し、
n=1の場合、前記式L−1で表される2価の連結基を表す、請求項1〜9のいずれか一項に記載の有機半導体インク。 - 前記Tが、アルキル基である、請求項1〜10のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記式Wで表される基が、アルキル基である、請求項1〜11のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記溶媒の沸点が、100℃以上である、請求項1〜12のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記式1で表される化合物の含有量が、有機半導体インクの総質量に対し、0.005〜20質量%である、請求項1〜13のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 前記高分子化合物の含有量が、有機半導体インクの総質量に対し、0.001〜10質量%である、請求項1〜14のいずれか一項に記載の有機半導体インク。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載の有機半導体インクより形成された有機半導体膜。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載の有機半導体インクより形成された有機半導体層を有する有機半導体素子。
- 有機薄膜トランジスタである、請求項17に記載の有機半導体素子。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載の有機半導体インクを、インクジェット法、スクリーン印刷法又はフレキソ印刷法により基板上に付与する付与工程、及び、付与した有機半導体インクから溶媒を少なくとも一部除去する除去工程を含む、有機半導体素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014261995A JP6363496B2 (ja) | 2014-12-25 | 2014-12-25 | 有機半導体インク、有機半導体膜、並びに、有機半導体素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014261995A JP6363496B2 (ja) | 2014-12-25 | 2014-12-25 | 有機半導体インク、有機半導体膜、並びに、有機半導体素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016122729A JP2016122729A (ja) | 2016-07-07 |
JP6363496B2 true JP6363496B2 (ja) | 2018-07-25 |
Family
ID=56329200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014261995A Expired - Fee Related JP6363496B2 (ja) | 2014-12-25 | 2014-12-25 | 有機半導体インク、有機半導体膜、並びに、有機半導体素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6363496B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110446715B (zh) * | 2017-03-17 | 2022-11-08 | 株式会社半导体能源研究所 | 有机化合物、发光元件、发光装置、电子设备、显示装置及照明装置 |
WO2018194035A1 (ja) * | 2017-04-17 | 2018-10-25 | 出光興産株式会社 | 新規化合物、それを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子用材料、有機エレクトロルミネッセンス素子及び電子機器 |
KR102176862B1 (ko) * | 2017-11-06 | 2020-11-10 | 주식회사 엘지화학 | 다환 화합물 및 이를 포함하는 유기 발광 소자 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8637857B2 (en) * | 2010-04-06 | 2014-01-28 | Basf Se | Substituted carbazole derivatives and use thereof in organic electronics |
JP5728990B2 (ja) * | 2011-02-10 | 2015-06-03 | 住友化学株式会社 | ジカルコゲノベンゾジピロール化合物、該化合物の製造方法、該化合物を含む薄膜及び該薄膜を含む有機半導体デバイス |
JP2012169550A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Tokai Rika Co Ltd | 有機半導体材料 |
JP6091445B2 (ja) * | 2013-02-07 | 2017-03-08 | 富士フイルム株式会社 | 有機薄膜トランジスタ、有機半導体薄膜および有機半導体材料 |
-
2014
- 2014-12-25 JP JP2014261995A patent/JP6363496B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016122729A (ja) | 2016-07-07 |
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