JP6363732B2 - 有機半導体素子及びその製造方法、有機半導体膜形成用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜 - Google Patents
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Description
従来の有機半導体としては、特許文献1及び2に記載されたものが知られている。
また、本発明が解決しようとする他の課題は、有機半導体として好適な新規な化合物を提供することである。
更に、本発明が解決しようとする他の課題は、塗布成膜性に優れ、得られる有機半導体素子が高移動度であり、耐熱性に優れる有機半導体膜形成用組成物、並びに、上記有機半導体膜形成用組成物を用いた有機半導体素子及びその製造方法を提供することである。
<1> 下記式1で表される化合物を有機半導体層に含むことを特徴とする有機半導体素子、
−SW−LW−TW (W)
式W中、SWは単結合、又は、−(CRS 2)k−で表されるアルキレン基を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、kは1〜17の整数を表し、LWは単結合、下記式L−1〜L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜L−16で表される2価の連結基のいずれかが2つ以上結合した基を表し、TWはアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又はトリアルキルシリル基を表す、
<2> 上記Z1a〜Z1jがいずれも水素原子である、<1>に記載の有機半導体素子、
<3> 上記n1が0である、<1>又は<2>に記載の有機半導体素子、
<4> 上記p1及びq1の少なくとも一方が0でない、<1>〜<3>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<5> 上記p1及びq1の少なくとも一方が0でなく、かつ、上記R11又はR12の少なくとも一方が上記式Wで表される基である、<1>〜<4>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<6> 上記p1及びq1が1である、<1>〜<5>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<7> 上記X11及びX12がいずれもS原子であり、上記A11が=CRA11−であり、上記A12が=CRA12−である、<1>〜<6>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<8> 上記式1で表される化合物が、下記式2で表される化合物である、<1>〜<6>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<9> 上記式1で表される化合物が、線対称構造である、<1>〜<8>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<10> 上記式Wで表される基の炭素数が5〜40である、<1>〜<9>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<11> 上記LWが単結合、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基である、<1>〜<10>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<12> 上記LWが単結合、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、<1>〜<11>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<13> 上記SWが単結合である、<1>〜<12>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<14> 上記LWが単結合、又は、式L−1及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、<1>〜<13>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<15> 上記TWがアルキル基である、<1>〜<14>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<16> 上記式Wで表される基がアルキル基である、<1>〜<15>のいずれか一つに記載の有機半導体素子、
<17> 沸点100℃以上の溶媒と、式1で表される化合物とを含有し、式1で表される化合物の含有量が、有機半導体膜形成用組成物の総量に対し、20質量%以下であることを特徴とする有機半導体膜形成用組成物、
<18> 上記Z1a〜Z1jがいずれも水素原子である、<17>に記載の有機半導体膜形成用組成物、
<19> 上記n1が0である、<17>又は<18>に記載の有機半導体膜形成用組成物、
<20> 上記p1及びq1の少なくとも一方が0でない、<17>〜<19>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<21> 上記p1及びq1の少なくとも一方が0でなく、かつ、上記R11又はR12の少なくとも一方が上記式Wで表される基である、<17>〜<20>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<22> 上記p1及びq1が1である、<17>〜<21>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<23> 上記X11及びX12がいずれもS原子であり、上記A11が=CRA11−であり、上記A12が=CRA12−である、<17>〜<22>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<24> 上記式1で表される化合物が、上記式2で表される化合物である、<17>〜<22>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<25> 上記式1で表される化合物が、線対称構造である、<17>〜<24>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<26> 上記式Wで表される基の炭素数が5〜40である、<17>〜<25>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<27> 上記LWが単結合、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基である、<17>〜<26>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<28> 上記LWが単結合、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、<17>〜<27>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<29> 上記SWが単結合である、<17>〜<28>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<30> 上記LWが単結合、又は、式L−1及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、<17>〜<29>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<31> 上記TWがアルキル基である、<17>〜<30>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<32> 上記式Wで表される基がアルキル基である、<17>〜<31>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<33> バインダーポリマーを更に含み、上記バインダーポリマーの含有量が、有機半導体膜形成用組成物の総量に対し、10質量%以下である、<17>〜<32>のいずれか一つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<34> 上記式1で表される化合物、
<35> <17>〜<33>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物を基板上に付与する付与工程、及び、上記有機半導体膜形成用組成物に含まれる上記沸点100℃以上の溶媒の、少なくとも一部を除去する除去工程を含む、有機半導体膜の製造方法、
<36> 上記付与工程が、インクジェット法又はフレキソ印刷法により行われる、<35>に記載の有機半導体膜の製造方法、
<37> <35>又は<36>に記載の方法により得られた有機半導体膜、
<38> <17>〜<33>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物を、基板上に付与する付与工程、及び、上記有機半導体膜形成用組成物に含まれる上記沸点100℃以上の溶媒の、少なくとも一部を除去する除去工程を含む有機半導体素子の製造方法、
<39> 上記付与工程が、インクジェット法又はフレキソ印刷法により行われる、<38>に記載の有機半導体素子の製造方法、
<40> <38>又は<39>に記載の方法により製造された有機半導体素子。
また、本発明によれば、有機半導体として好適な新規な化合物を提供することができる。
更に、本発明によれば、塗布成膜性に優れ、得られる有機半導体素子が高移動度であり、耐熱性に優れる有機半導体膜形成用組成物、並びに、上記有機半導体膜形成用組成物を用いた有機半導体素子及びその製造方法を提供することができる。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
また、本発明において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい。
本発明の有機半導体素子は、上記式1で表される化合物(以下、「特定化合物」ともいう。)を有機半導体層に含むことを特徴とする。
上記式1で表される化合物は、有機半導体化合物であることが好ましい。
詳細な効果の発現機構については不明であるが、式1で表される化合物が分子中央を対称軸としたある程度以上の線対称性を有することにより、結晶性に優れるため移動度が向上し、また融点が上昇するため有機半導体素子の耐熱性を改善していると推測している。
更に、式1で表される化合物は、フェナントレン構造やピセン構造といった棒状の構造から末端チオフェン環が張り出した分子形状を有し、液晶層の発現が抑制されるため、結晶性に優れ、移動度が向上すると推測している。また上記のような液晶層の発現抑制のメカニズムは、有機半導体素子の耐熱性向上にも寄与していると考えている。
本発明において、特定化合物は、下記式1で表される。
−SW−LW−TW (W)
式W中、SWは単結合、又は、−(CRS 2)k−で表されるアルキレン基を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、kは1〜17の整数を表し、LWは単結合、下記式L−1〜L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜L−16で表される2価の連結基のいずれかが2つ以上結合した基を表し、TWはアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又はトリアルキルシリル基を表す。
本発明の特定化合物は、新規な化合物である。
また、本発明の特定化合物は、有機半導体素子、有機半導体膜、及び、有機半導体膜形成用組成物に好適に用いることができる。
Z1a〜Z1jはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、いずれも水素原子であることが好ましい。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、フッ素原子が好ましい。
RA11は、水素原子又はR11で表される基を表し、水素原子が好ましい。なお、RA11がR11で表される基を表すとは、式1中のp1により数が規定されているR11のうちの1つがA11中の炭素原子に結合している場合をいう。
A12は=CRA12−又は窒素原子を表し、=CRA12−であることが好ましい。
RA12は、水素原子又はR12で表される基を表し、水素原子が好ましい。なお、RA12がR12で表される基を表すとは、式1中のq1により数が規定されているR12のうちの1つがA12中の炭素原子に結合している場合をいう。
p1は、A11が=CRA11−の場合は0〜2の整数を表し、1又は2であることが好ましく、1であることがより好ましく、A11が窒素原子の場合は0又は1を表し、1であることが好ましい。また、A11が=CRA11−であり、かつ、p1が1である場合、R11はA11に含まれる炭素原子ではなく、A11とX11の間に位置する炭素原子と結合することが好ましい。
q1は、A12が=CRA12−の場合は0〜2の整数を表し、1又は2であることが好ましく、1であることがより好ましく、A12が窒素原子の場合は0又は1を表し、1であることが好ましい。また、A12が=CRA12−であり、かつ、q1が1である場合、R12はA12に含まれる炭素原子ではなく、A12とX12の間に位置する炭素原子と結合することが好ましい。
−SW−LW−TW (W)
RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、水素原子が好ましい。
kは1〜17の整数を表し、1〜15の整数が好ましく、1〜10の整数がより好ましい。
また、Lwは単結合、又は、式L−1及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基であることが好ましい。
アルキル基としては、炭素数2〜18のアルキル基が好ましく、炭素数3〜15のアルキル基がより好ましく、炭素数4〜13のアルキル基が更に好ましい。上記アルキル基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれでもよく、これらを組み合わせた構造でもよいが、直鎖状又は分岐状のアルキル基であることが好ましく、直鎖状のアルキル基であることがより好ましい。
上記アルキル基は置換されていてもよく、好ましい置換基としてはハロゲン原子が挙げられる。
アリール基(芳香族炭化水素基)としては、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン等から水素を1つ除いた基が例示され。ベンゼンから水素を一つ除いた基が好ましい。
また、上記アリール基は置換されていてもよいが、置換されていないことが好ましい。
ヘテロアリール基(芳香族複素環基)に含まれるヘテロ原子としては、酸素原子、窒素原子、硫黄原子が挙げられ、酸素原子又は硫黄原子が好ましく、硫黄原子がより好ましい。
また、ヘテロアリール基としては、チオフェン環、フラン環、ピラン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、セレノフェン環、イミダゾール環等から水素原子を1つ除いた基が挙げられ、チオフェン環又はフラン環から水素原子を1つ除いた基であることがより好ましく、チオフェン環から水素原子を1つ除いた基であることが更に好ましい。
また、上記ヘテロアリール基は更に置換されていてもよいが、置換されていないことが好ましい。
オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基としては、繰り返し数が1〜5のオリゴオキシエチレン基が好ましく、繰り返し数が1〜3のオリゴオキシエチレン基がより好ましい。
ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基としては、ケイ素原子数が1〜5のオリゴシロキサン基が好ましく、ケイ素原子数が1〜3のオリゴシロキサン基がより好ましい。
p13は0〜4の整数を表し、p14、p15及びp16はそれぞれ独立に、0〜2の整数を表し、RL1、RL21、RL22、RL13、RL14、RL15、及び、RL16はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
なお、LWが、上記式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が結合した連結基を表す場合、式L−1〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基の結合数は、2〜4であることが好ましく、2又は3であることがより好ましい。
RL1、RL21、RL22、RL13、RL14、RL15、及び、RL16はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表し、水素原子が好ましい。置換基としては、上記式1におけるTwとして例示した各種の置換基が例示される。
また、複数存在するRL1、RL13、RL14、RL15、及び、RL16は同一でも異なっていてもよい。また、RL1、RL21、RL22は、それぞれ隣接するTwと結合して環構造を形成してもよく、上記環構造として、縮合環を形成していてもよい。
式1中、p1及びq1が1であることが好ましく、p1及びq1が1であり、かつ、R11又はR12の少なくとも一方が式Wで表される基であることがより好ましく、p1及びq1が1であり、かつ、上記R11又はR12の両方が式Wで表される基であることが更に好ましい。
化合物が線対称構造であるとは、構造式が分子全体として線対称であることをいう。具体的には、式1で表される化合物は、下記式3〜式5で表される化合物であることが好ましい。
式1で表される化合物が線対称構造であることにより、結晶性や融点が高められ、得られる有機半導体素子又は有機半導体膜の移動度や耐熱性が向上すると考えられる。
式5中、X21、X22、W21及びW22は式2におけるX21、X22、W21及びW22と同義であり、好ましい態様も同様である。
また、式3〜式5で表される化合物はいずれも破線を対称軸として線対称である。
本発明の有機半導体素子の有機半導体層は、バインダーポリマーを含有することが好ましい。
また、本発明の有機半導体素子は、上記有機半導体層とバインダーポリマーを含む層を有する有機半導体素子であってもよい。
バインダーポリマーの種類は特に制限されず、公知のバインダーポリマーを用いることができる。
バインダーポリマーとしては、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ゴム、熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
中でも、バインダーポリマーとしては、ベンゼン環を有する高分子化合物(ベンゼン環基を有する単量体単位を有する高分子)が好ましい。ベンゼン環基を有する単量体単位の含有量は特に制限されないが、全単量体単位中、50モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、90モル%以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、100モル%が挙げられる。
上記バインダーポリマーとしては、例えば、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリビニルシンナメート、ポリ(4−ビニルフェニル)、ポリ(4−メチルスチレン)などが挙げられる。
また、後述する溶媒を用いる場合、バインダーポリマーは、使用する溶媒への溶解度が、特定化合物よりも高いことが好ましい。上記態様であると、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体素子の有機半導体層におけるバインダーポリマーの含有量は、特定化合物の含有量100質量部に対し、1〜200質量部であることが好ましく、10〜150質量部であることがより好ましく、20〜120質量部であることが更に好ましい。上記範囲であると、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体素子における有機半導体層には、特定化合物及びバインダーポリマー以外に他の成分が含まれていてもよい。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
上記有機半導体層における特定化合物及びバインダーポリマー以外の成分の含有量は、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、0.1質量%以下であることが特に好ましい。上記範囲であると、膜形成性に優れ、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体素子における有機半導体層の形成方法は特に制限されず、後述する本発明の有機半導体膜形成用組成物を、ソース電極、ドレイン電極、及び、ゲート絶縁膜上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施すことにより、所望の有機半導体層を形成することができる。
本発明の有機半導体素子及び有機半導体膜は、後述する本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて製造されたものであることが好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて有機半導体膜や有機半導体素子を製造する方法は、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、組成物を所定の基材上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施して、有機半導体膜を製造する方法が挙げられる。
基材上に組成物を付与する方法は特に制限されず、公知の方法を採用でき、例えば、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、バーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法などが挙げられ、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法が好ましい。
なお、フレキソ印刷法としては、フレキソ印刷版として感光性樹脂版を用いる態様が好適に挙げられる。上記態様によって、組成物を基板上に印刷して、パターンを容易に形成することができる。
中でも、本発明の有機半導体素子及び有機半導体膜の製造方法は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を基板上に付与する付与工程、及び、上記有機半導体膜形成用組成物に含まれる上記沸点100℃以上の溶媒の、少なくとも一部を除去する除去工程を含むことが好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、沸点100℃以上の溶媒(以下、「特定溶媒」ともいう。)を含有する。
特定溶媒としては、例えば、オクタン、デカン、トルエン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、デカリン、1−メチルナフタレン、テトラリン、ジメチルテトラリンなどの炭化水素系溶媒、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、テトラクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロロトルエン、1−フルオロナフタレン、1−クロロナフタレンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒、酢酸ブチル、酢酸アミルなどのエステル系溶媒、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールなどのアルコール系溶媒、ジブチルエーテル、ジオキサン、アニソール、4−ターシャリブチルアニソール、m−ジメトキシベンゼンなどのエーテル系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒、1−メチル−2−ピロリドン、1−メチル−2−イミダゾリジノン等のイミド系溶媒、ジメチルスルフォキサイドなどのスルホキシド系溶媒、ブチロニトリル、ベンゾニトリルなどのニトリル系溶媒が挙げられる。
これらの中でも、炭化水素系溶媒、ハロゲン化炭化水素系溶媒及び/又はエーテル系溶媒が好ましく、トルエン、キシレン、メシチレン、テトラリン、ジクロロベンゼン又はアニソールがより好ましく、トルエンが更に好ましい。
上記の溶媒であると、塗布性に優れ、容易に有機半導体膜を形成することができる。
有機半導体素子としては、特に制限はないが、2〜5端子の有機半導体素子であることが好ましく、2又は3端子の有機半導体素子であることがより好ましい。
また、有機半導体素子としては、光電変換素子でないことが好ましい。
更に、本発明の有機半導体素子は、非発光性有機半導体素子であることが好ましい。
2端子素子としては、整流用ダイオード、定電圧ダイオード、PINダイオード、ショットキーバリアダイオード、サージ保護用ダイオード、ダイアック、バリスタ、トンネルダイオード等が挙げられる。
3端子素子としては、バイポーラトランジスタ、ダーリントントランジスタ、電界効果トランジスタ、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ、ユニジャンクショントランジスタ、静電誘導トランジスタ、ゲートターンサイリスタ、トライアック、静電誘導サイリスタ等が挙げられる。
これらの中でも、整流用ダイオード、及び、トランジスタ類が好ましく挙げられ、電界効果トランジスタがより好ましく挙げられる。
図1は、本発明の有機半導体素子(有機薄膜トランジスタ(有機TFT))の一態様の断面模式図である。
図1において、有機薄膜トランジスタ100は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30のゲート電極20側とは反対側の表面に接するソース電極40及びドレイン電極42と、ソース電極40とドレイン電極42との間のゲート絶縁膜30の表面を覆う有機半導体膜50と、各部材を覆う封止層60とを備える。有機薄膜トランジスタ100は、ボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
なお、図1においては、有機半導体膜50が、上述した組成物より形成される膜に該当する。
以下、基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層並びにそれぞれの形成方法について詳述する。
基板は、後述するゲート電極、ソース電極、ドレイン電極などを支持する役割を果たす。
基板の種類は特に制限されず、例えば、プラスチック基板、ガラス基板、セラミック基板などが挙げられる。中でも、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
プラスチック基板の材料としては、熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)など)又は熱可塑性樹脂(例えば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフォンなど)が挙げられる。
セラミック基板の材料としては、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイドなどが挙げられる。
ガラス基板の材料としては、例えば、ソーダガラス、カリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、アルミケイ酸ガラス、鉛ガラスなどが挙げられる。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の材料としては、例えば、金(Au)、銀、アルミニウム(Al)、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、タンタル、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ナトリウム等の金属;InO2、SnO2、酸化インジウムスズ(ITO)等の導電性の酸化物;ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリジアセチレン等の導電性高分子;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素等の半導体;フラーレン、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料などが挙げられる。中でも、金属であることが好ましく、銀又はアルミニウムであることがより好ましい。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の厚みは特に制限されないが、20〜200nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としては、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルホン、ポリベンゾキサゾール、ポリシルセスキオキサン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等のポリマー;二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物;窒化珪素等の窒化物などが挙げられる。これらの材料のうち、有機半導体膜との相性から、ポリマーであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としてポリマーを用いる場合、架橋剤(例えば、メラミン)を併用することが好ましい。架橋剤を併用することで、ポリマーが架橋されて、形成されるゲート絶縁膜の耐久性が向上する。
ゲート絶縁膜の膜厚は特に制限されないが、100〜1,000nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜形成用組成物を塗布してゲート絶縁膜を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明における有機半導体膜は、本発明の有機半導体膜形成用組成物より形成される膜である。
有機半導体膜の形成方法は特に制限されず、上述した組成物を、ソース電極、ドレイン電極、及び、ゲート絶縁膜上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施すことにより、所望の有機半導体膜を形成することができる。
本発明の有機半導体素子は、有機半導体層と絶縁膜との間にバインダーポリマー層を有することが好ましく、有機半導体層とゲート絶縁膜との間にバインダーポリマー層を有することがより好ましい。上記バインダーポリマー層の膜厚は特に制限されないが、20〜500nmであることが好ましい。上記バインダーポリマー層は、上記ポリマーを含む層であればよいが、上記バインダーポリマーからなる層であることが好ましい。
バインダーポリマー層形成用組成物を塗布してバインダーポリマー層を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体素子は、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えることが好ましい。封止層には公知の封止剤を用いることができる。
封止層の厚さは特に制限されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
図2において、有機薄膜トランジスタ200は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30上に配置された有機半導体膜50と、有機半導体膜50上に配置されたソース電極40及びドレイン電極42と、各部材を覆う封止層60とを備える。ここで、ソース電極40及びドレイン電極42は、上述した本発明の組成物を用いて形成されたものである。有機薄膜トランジスタ200は、トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層については、上述のとおりである。
なお、上述した有機薄膜トランジスタは、電子ペーパー、ディスプレイデバイスなどに好適に使用できる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、沸点100℃以上の溶媒と、式1で表される化合物とを含有し、式1で表される化合物の含有量が、有機半導体膜形成用組成物の総量に対し、20質量%以下であることを特徴とする。
また、本発明の有機半導体膜形成用組成物は、バインダーポリマーを含有することが好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物における特定化合物、バインダーポリマー及び溶媒は、上述した特定化合物、バインダーポリマー及び溶媒と同義であり、好ましい態様も同様である。
また、特定化合物の含有量は、有機半導体膜形成用組成物の固形分総量の30〜100質量%であることが好ましく、50〜100質量%であることがより好ましく、70〜100質量%であることが更に好ましい。また、後述するバインダーポリマーを含有しない場合は、上記総含有量が、90〜100質量%であることが好ましく、95〜100質量%であることがより好ましい。なお、固形分とは、溶媒等の揮発性成分を除いた成分の量である。
本発明の有機半導体膜形成用組成物におけるバインダーポリマーの含有量は、有機半導体膜形成用組成物の総量に対し、0質量%を超え20質量%以下であることが好ましく、0.01〜15質量%であることがより好ましく、0.25〜10質量%であることが更に好ましい。上記範囲内であると、得られる有機半導体の移動度及び耐熱性により優れる。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物における特定化合物及びバインダーポリマー以外の成分の含有量は、全固形分に対し、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることがより好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、0.1質量%以下であることが特に好ましい。上記範囲であると、膜形成性に優れ、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
粘度の測定方法としては、JIS Z8803に準拠した測定方法であることが好ましい。
実施例に用いたE−1〜E−10、及び、比較例に用いたC−1〜C−2の構造を以下に示す。
下記のスキームX1に従って中間体M1の合成を行った。
E−2〜E−10に関しても、中間体M1と縮合させる有機亜鉛化合物を適切な化合物へと変更した以外は、E−1と同様の方法により合成した。
化合物C−1は、特開2010−177637号公報に記載の方法に従って合成を行った。
化合物C−2は、国際公開第2013/168048号に記載の方法に従って合成を行った。
<TFT素子作製>
表60に記載の特定化合物又は比較化合物(1mg)とトルエン(1mL)を混合し、100℃に加熱したものを、有機半導体膜形成用組成物とした。
この組成物を窒素雰囲気下、90℃に加熱したFET特性測定用基板上にキャストすることにより有機半導体膜を形成し、FET特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子を得た。FET特性測定用基板としては、ソース及びドレイン電極としてくし型に配置されたクロム/金(ゲート幅W=100mm、ゲート長L=100μm)、絶縁膜としてSiO2(膜厚200nm)を備えたボトムゲート・ボトムコンタクト構造のシリコン基板を用いた。
また、得られた組成物をフレキソ印刷によってFET特性測定用基板上に付与した。具体的には、印刷装置としてフレキソ適性試験機F1(アイジーティ・テスティングシステムズ(株)製)、フレキソ樹脂版としてAFP DSH1.70%(旭化成(株)製)/ベタ画像を用いた。版と基板との間の圧力は、60N、搬送速度0.4m/秒で印刷を行った後、そのまま、40℃で2時間乾燥することにより有機半導体膜を形成し、FET特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子(有機TFT素子)を得た。
FET特性測定用基板としては、ソース及びドレイン電極としてくし型に配置されたクロム/金(ゲート幅W=100mm、ゲート長L=100μm)、絶縁膜としてSiO2(膜厚200nm)を備えたボトムゲート・ボトムコンタクト構造のシリコン基板を用いた。
また、上記インクをインクジェット印刷によってFET特性測定用基板上に付与した。具体的には、インクジェット装置としてDPP2831(富士フイルムグラフィックシステムズ(株)製)、10pLヘッドを用い、吐出周波数2Hz、ドット間ピッチ20μmでベタ膜を形成した。その後70℃で1時間乾燥することにより有機半導体膜を形成し、FET特性測定用の有機TFT素子を得た。
各実施例又は比較例において、インクジェット印刷により得られた有機TFT素子の、後述する移動度、護符製膜性、耐熱性の評価は、組成物をキャストすることにより得られた有機TFT素子の評価と全て同じであった。
各実施例及び比較例の有機薄膜トランジスタ素子のFET特性は、セミオートプローバー(ベクターセミコン製、AX−2000)を接続した半導体パラメーターアナライザー(Agilent製、4156C)を用いて常圧・窒素雰囲気下で、キャリア移動度を評価した。
各有機薄膜トランジスタ素子(FET素子)のソース電極−ドレイン電極間に−80Vの電圧を印加し、ゲート電圧を20V〜−100Vの範囲で変化させ、ドレイン電流Idを表す下記式を用いてキャリア移動度μを算出した。
Id=(w/2L)μCi(Vg−Vth)2
式中、Lはゲート長、Wはゲート幅、Ciは絶縁層の単位面積当たりの容量、Vgはゲート電圧、Vthは閾値電圧を表す。キャリア移動度の数値は、実用上0.01以上であることが必要であり、0.1以上であることが好ましく、0.3以上であることがより好ましい。
なお、表中の「特性なし」とは、作成した素子がTFT特性を有さなかったことを表す。
本発明の化合物又は比較化合物(5mg)とトルエン(1mL)を混合し、100℃に加熱したものを、非発光性有機半導体溶液とした。この塗布溶液を窒素雰囲気下、90℃に加熱した50素子分のチャネルを形成した基板上全面にキャストすることにより有機半導体薄膜を形成し、50個のFET特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子を得た。塗布製膜性の評価基準は下記の通りとし、評価結果は表60に記載した。
〔評価基準〕
A:得られた50個の素子のうち、有機薄膜トランジスタ素子として駆動した素子が45個以上
B:得られた50個の素子のうち、有機薄膜トランジスタ素子として駆動した素子が45個未満
作製した各有機薄膜トランジスタ素子を、窒素グローブボックス中130℃にて1時間加熱した後に、キャリア移動度μを測定し、下記式より加熱後のキャリア移動度維持率を算出した。
加熱後のキャリア移動度維持率(%)=キャリア移動度(加熱後)/キャリア移動度(初期値)×100
得られた結果を以下の評価基準に従って評価した。評価結果は表60に記載した。なお、表中のN/Aとは、作成した素子がTFT特性を有していないため、耐熱性試験を実施しなかったことを表す。
〔評価基準〕
A:加熱後のキャリア移動度維持率が95%以上
B:加熱後のキャリア移動度維持率が70%以上、95%未満
C:加熱後のキャリア移動度維持率が40%以上、70%未満
D:加熱後のキャリア移動度維持率が20%以上、40%未満
E:加熱後のキャリア移動度維持率が20%未満
<TFT素子作製>
表61に記載の本発明の特定化合物又は比較化合物、表61に記載のバインダーポリマー、及び、表61に記載の溶媒を表61に記載の濃度となるよう混合し、100℃に加熱したものを有機半導体膜形成用組成物として用いる以外は、実施例1〜10及び比較例1〜2と同様にして、各種評価を行った。それぞれの評価結果は表61に記載した。
・PαMS:ポリ(α−メチルスチレン)、Mw=300,000、Aldrich社製)
・THF:テトラヒドロフラン
表60及び表61に記載の特定化合物とトルエン(1mL)と、表61に記載のある例については更にバインダーポリマー(5mg)とを、各特定化合物の含量が21質量%となるように秤量、混合し、100℃に加熱したものを有機半導体膜形成用組成物とした以外は実施例1〜16と同様に有機半導体膜を形成したが、いずれも不溶物のために欠陥が多数発生し、TFT特性を発現しなかった。
Claims (38)
- 下記式1で表される化合物を有機半導体層に含むことを特徴とする
有機半導体素子。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、カルコゲン原子を表し、Z1a〜Z1jはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、A11は=CRA11−又は窒素原子を表し、RA11は、水素原子又はR11で表される基を表し、A12は=CRA12−又は窒素原子を表し、RA12は、水素原子又はR12で表される基を表し、n1は0又は1を表し、p1はA11が=CRA11−の場合は0〜2の整数を表し、A11が窒素原子の場合は0又は1を表し、q1はA12が=CRA12−の場合は0〜2の整数を表し、A12が窒素原子の場合は0又は1を表し、R11及びR12はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アリール基、ヘテロアリール基、又は下記式Wで表される基を表す。
−SW−LW−TW (W)
式W中、SWは単結合、又は、−(CRS 2)k−で表されるアルキレン基を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、kは1〜17の整数を表し、LWは単結合、下記式L−1〜L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜L−16で表される2価の連結基のいずれかが2つ以上結合した基を表し、TWはアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又はトリアルキルシリル基を表す。
式L−1〜L−16中、*及び波線部分は他の構造との結合位置を表し、p13は0〜4の整数を表し、p14、p15及びp16はそれぞれ独立に、0〜2の整数を表し、RL1、RL21、RL22、RL13、RL14、RL15、及び、RL16はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。 - 前記Z1a〜Z1jがいずれも水素原子である、請求項1に記載の有機半導体素子。
- 前記n1が0である、請求項1又は2に記載の有機半導体素子。
- 前記p1及びq1の少なくとも一方が0でない、請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記p1及びq1の少なくとも一方が0でなく、かつ、前記R11又はR12の少なくとも一方が前記式Wで表される基である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記p1及びq1が1である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記X11及びX12がいずれもS原子であり、前記A11が=CRA11−であり、前記A12が=CRA12−である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記式1で表される化合物が、下記式2で表される化合物である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
式2中、X21及びX22はそれぞれ独立に、カルコゲン原子を表し、W21及びW22はそれぞれ独立に、前記式Wで表される基を表す。 - 前記式1で表される化合物が、線対称構造である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記式Wで表される基の炭素数が5〜40である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記LWが単結合、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基である、請求項1〜10のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記LWが単結合、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、請求項1〜11のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記SWが単結合である、請求項1〜12のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記LWが単結合、又は、式L−1及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、請求項1〜13のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記TWがアルキル基である、請求項1〜14のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 前記式Wで表される基がアルキル基である、請求項1〜15のいずれか一項に記載の有機半導体素子。
- 沸点100℃以上の溶媒と、
式1で表される化合物とを含有し、
式1で表される化合物の含有量が、有機半導体膜形成用組成物の総量に対し、20質量%以下であることを特徴とする
有機半導体膜形成用組成物。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、カルコゲン原子を表し、Z1a〜Z1jはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、A11は=CRA11−又は窒素原子を表し、RA11は、水素原子又はR11で表される基を表し、A12は=CRA12−又は窒素原子を表し、RA12は、水素原子又はR12で表される基を表し、n1は0又は1を表し、p1はA11が=CRA11−の場合は0〜2の整数を表し、A11が窒素原子の場合は0又は1を表し、q1はA12が=CRA12−の場合は0〜2の整数を表し、A12が窒素原子の場合は0又は1を表し、R11及びR12はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アリール基、ヘテロアリール基、又は下記式Wで表される基を表す。
−SW−LW−TW (W)
式W中、SWは単結合、又は、−(CRS 2)k−で表されるアルキレン基を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、kは1〜17の整数を表し、LWは単結合、下記式L−1〜L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜L−16で表される2価の連結基のいずれかが2つ以上結合した基を表し、TWはアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又はトリアルキルシリル基を表す。
式L−1〜L−16中、*及び波線部分は他の構造との結合位置を表し、p13は0〜4の整数を表し、p14、p15及びp16はそれぞれ独立に、0〜2の整数を表し、RL1、RL21、RL22、RL13、RL14、RL15、及び、RL16はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。 - 前記Z1a〜Z1jがいずれも水素原子である、請求項17に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記n1が0である、請求項17又は18に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記p1及びq1の少なくとも一方が0でない、請求項17〜19のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記p1及びq1の少なくとも一方が0でなく、かつ、前記R11又はR12の少なくとも一方が前記式Wで表される基である、請求項17〜20のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記p1及びq1が1である、請求項17〜21のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記X11及びX12がいずれもS原子であり、前記A11が=CRA11−であり、前記A12が=CRA12−である、請求項17〜22のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記式1で表される化合物が、下記式2で表される化合物である、請求項17〜22のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
式2中、X21及びX22はそれぞれ独立に、カルコゲン原子を表し、W21及びW22はそれぞれ独立に、前記式Wで表される基を表す。 - 前記式1で表される化合物が、線対称構造である、請求項17〜24のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記式Wで表される基の炭素数が5〜40である、請求項17〜25のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記LWが単結合、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基が2つ以上結合した2価の連結基である、請求項17〜26のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記LWが単結合、又は、式L−1〜式L−4及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、請求項17〜27のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記SWが単結合である、請求項17〜28のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記LWが単結合、又は、式L−1及び式L−13〜式L−16のいずれかで表される2価の連結基である、請求項17〜29のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記TWがアルキル基である、請求項17〜30のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 前記式Wで表される基がアルキル基である、請求項17〜31のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- バインダーポリマーを更に含み、前記バインダーポリマーの含有量が、有機半導体膜形成用組成物の総量に対し、10質量%以下である、請求項17〜32のいずれか一項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 下記式1で表される化合物。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、カルコゲン原子を表し、Z1a〜Z1jはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、A11は=CRA11−又は窒素原子を表し、RA11は、水素原子又はR11で表される基を表し、A12は=CRA12−又は窒素原子を表し、RA12は、水素原子又はR12で表される基を表し、n1は0又は1を表し、p1はA11が=CRA11−の場合は0〜2の整数を表し、A11が窒素原子の場合は0又は1を表し、q1はA12が=CRA12−の場合は0〜2の整数を表し、A12が窒素原子の場合は0又は1を表し、R11及びR12はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アリール基、ヘテロアリール基、又は下記式Wで表される基を表す。
−SW−LW−TW (W)
式W中、SWは単結合、又は、−(CRS 2)k−で表されるアルキレン基を表し、RSはそれぞれ独立に、水素原子又はハロゲン原子を表し、kは1〜17の整数を表し、LWは単結合、下記式L−1〜L−16のいずれかで表される2価の連結基、又は、下記式L−1〜L−16で表される2価の連結基のいずれかが2つ以上結合した基を表し、TWはアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、オキシエチレン基、オキシエチレン単位の繰り返し数が2以上のオリゴオキシエチレン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又はトリアルキルシリル基を表す。
式L−1〜L−16中、*及び波線部分は他の構造との結合位置を表し、p13は0〜4の整数を表し、p14、p15及びp16はそれぞれ独立に、0〜2の整数を表し、RL1、RL21、RL22、RL13、RL14、RL15、及び、RL16はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。 - 請求項17〜33のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物を基板上に付与する付与工程、及び、
前記有機半導体膜形成用組成物に含まれる前記沸点100℃以上の溶媒の、少なくとも一部を除去する除去工程を含む
有機半導体膜の製造方法。 - 前記付与工程が、インクジェット法又はフレキソ印刷法により行われる、請求項35に記載の有機半導体膜の製造方法。
- 請求項17〜33のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物を、基板上に付与する付与工程、及び、
前記有機半導体膜形成用組成物に含まれる前記沸点100℃以上の溶媒の、少なくとも一部を除去する除去工程を含む
有機半導体素子の製造方法。 - 前記付与工程が、インクジェット法又はフレキソ印刷法により行われる、請求項37に記載の有機半導体素子の製造方法。
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