JP6362907B2 - 積層円形板状物の加工方法 - Google Patents
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Description
まず、保持テーブル20で積層円形板状物10を保持する。保持テーブル20は、XY平面に平行な保持面21を備え、保持面21に垂直な±Z方向に平行な回転軸29を中心として回転可能となっている。回転軸29は、保持面21の中心を通っている。保持ステップでは、第一円形板状物11の裏面112側を下(−Z方向)に向けて積層円形板状物10を保持テーブル20の保持面21に載置し、保持面21において第一円形板状物11の裏面112を吸引保持する。保持テーブル20に保持された積層円形板状物10は、第一円形板状物11の裏面112が保持テーブル20の保持面21に接触して保持され、第二円形板状物12の裏面122が上(+Z方向)側に露出する。
保持ステップを実施した後、積層円形板状物10が保持テーブル20に保持された状態で、第二円形板状物12の外周縁12cの水平方向の位置(XY平面内における位置)を検出する。例えば、図2に示す撮像手段30を用いて第二円形板状物12の外周縁12cの位置を検出する。撮像手段30は、第二円形板状物12の裏面122よりも上方(+Z方向側)でかつ、第二円形板状物12の外周縁12cよりも保持テーブル20の回転軸29に近い位置に配置され、光軸39が±Z方向に対して所定の角度αを有し、第二円形板状物12の外周部分を外周縁の内側から斜めに撮影する。なお、検出ステップでは、接着剤13が画像に写ったとしても、光量調整や画像処理などにより接着剤13を除去可能である場合は、接着剤13が完全に隠れる角度で撮像しなくてもよい。
次に、検出ステップで計測した保持テーブル20の回転軸29と第二円形板状物12の外周縁12cとの間の距離と、計測時における保持テーブル20の回転角度とに基づいて、検出した第二円形板状物12の外周縁12cの位置を算出する。例えば、保持テーブル20の回転軸29と第二円形板状物12の裏面122との交点を原点として外周縁のXY座標を算出する。少なくとも3回計測するので、少なくとも3つの座標が算出される。
次に、図5に示すように、保持テーブル20に積層円形板状物10が保持された状態で、保持テーブル20を回転させ、切削手段50を用いて第二円形板状物12の外周部分を切削する。切削手段50は、スピンドル52の先端に切削ブレード51が装着されて構成されており、スピンドル52は、±Y方向に平行でかつ保持テーブル20の回転軸29と交わる回転軸59を中心として回転することにより切削ブレード51を回転させる。
以上のようにして第二円形板状物12の外周縁12cに沿ってトリミングが行われた後、第二円形板状物12の裏面122に回転する研削砥石を接触させて研削し、第二円形板状物12が所望の厚みに形成された時点で研削を終了する。第二円形板状物12は、外周縁cの外側がトリミングにより除去されているため、外周部分にシャープエッジが形成されるのを防ぐことができる。
11…第一円形板状物、111…表面、112…裏面、
12…第二円形板状物、121…表面、122…裏面、
12a…面取り部、12b…平坦面、12c…外周縁、12d…先端部
13…接着剤、17…外周縁、
20…保持テーブル、21…保持面、29…回転軸、
30…撮像手段、37…検出点、39…光軸、
40…背圧センサ、41…ノズル、48…流体、
50…切削手段、51…切削ブレード、52…スピンドル、59…回転軸
Claims (2)
- 第一の径を有する第一円形板状物の表面に該第一の径以下の第二の径を有する第二円形板状物が接着剤を介して積層された積層円形板状物の加工方法であって、
積層円形板状物を保持する保持面を有する回転可能な保持テーブルの該保持面において該第一円形板状物側を保持して該第二円形板状物を露出させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該第二円形板状物の外周縁の位置を検出する検出ステップと、
該検出ステップで検出した該第二円形板状物の該外周縁の位置に基づいて、回転する切削ブレードを該第二円形板状物に切り込ませつつ積層円形板状物を保持した該保持テーブルを回転させることで、該第二円形板状物の外周縁に沿って円形加工を施す切削ステップと、を備え、
該円形板状物は、前記第二円形板状物の外周側に該接着剤のはみだしを有し、
該検出ステップでは、撮像手段を用いて、該第二円形板状物の陰に隠れて該接着剤が画像に写らないように、該保持テーブルの回転軸に対して光軸が傾斜した角度で該第二円形板状物の外周部分を撮像し、撮像画像に基づいて前記外周縁の位置を検出する、
加工方法。 - 前記検出ステップでは、前記第二円形板状物の3点以上の外周縁位置を検出し、
前記切削ステップを実施する前に、該検出ステップで検出した3点以上の該外周縁位置に基づいて該第二円形板状物の中心位置を算出し、算出した該第二円形板状物の中心位置と該保持テーブルの回転中心位置との間のずれを算出する算出ステップを備え、
該切削ステップでは、該算出ステップで算出されたずれを補正するよう前記切削ブレードと前記保持テーブルとを前記保持面と平行な方向に相対移動させつつ切削を遂行する、
請求項1に記載の加工方法。
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