JP6357180B2 - 磁器組成物、圧電素子、振動子、および、圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の一形態は、圧電磁器組成物であって、
一般式(1)
(Pb m Sr n )(Zr 1−w−x−y−z Ti w Fe x Si y Al z )O 3 …(1)
で表わされ、
0.910≦m≦0.960、
0.030≦n≦0.100、
0.970≦m+n≦1.060、
0.472≦w≦0.474、
0.006≦x≦0.017、
0<y≦0.002、0<z≦0.004
を満たす化合物を主成分とする。
このような形態であれば、機械的品質係数Qmの向上や誘電正接に加えて、電気機械結合係数krおよびkt、キュリー点Tc等の特性のいずれについても高いレベルを満たす圧電素子を得ることができ、従来にないバランスのよい圧電特性を実現することができる。また、圧電磁器組成物の強度を高めることができる。
その他、本発明は、以下のような形態として実現することも可能である。
この形態の圧電磁器組成物によれば、機械的品質係数Qmの向上や誘電正接に加えて、電気機械結合係数krおよびkt、キュリー点Tc等の特性のいずれについても高いレベルを満たす圧電素子を得ることができ、従来にないバランスのよい圧電特性を実現することができる。また、圧電磁器組成物の強度を高めることができる。
本発明の一実施形態としての圧電磁器組成物は、以下に示す一般式(1)で表わされる化合物、すなわち、ペロブスカイト型複合酸化物を主成分とする。
0.910≦m≦0.960、
0.030≦n≦0.100、
0.970≦m+n≦1.060、
0.453≦w≦0.497、
0.006≦x≦0.017、
0<y≦0.002、0<z≦0.004。
図1は、上記した本実施形態の圧電磁器組成物を備える圧電素子の製造方法を示すフローチャートである。本実施形態では、圧電磁器組成物を固相反応法によって形成している。固相反応法とは、酸化物、炭酸塩、あるいは硝酸塩など、構成金属元素を含む化合物である原料粉末を、作製すべき酸化物の組成に応じて、上記原料粉末中の金属元素が所定の割合となるように秤量、混合した後、熱処理(焼成)を行って、所望の酸化物を合成する周知の方法である。
図2は、図1の製造方法に従って製造された圧電素子の一例を示す斜視図である。この圧電素子200は、工程T110〜T150に従って作製された本実施形態の圧電磁器組成物である円板状の圧電体100の上面と下面に、一対の電極301,302が取り付けられた構成を有している。
図3は、本発明の一実施形態としての超音波振動子を示す縦断面図である。この超音波振動子20は、ランジュバン型超音波振動子であり、圧電素子22と、該圧電素子22を挟持する上下一対の前面板25と裏打板26と、を備える。圧電素子22は、環状に形成された二枚の圧電体23a,23bを、その間に電極板24aを介装して積層し、かつ上側の圧電体23bの上部に電極板24bを配設して構成されている。圧電体23a,23bは、本実施形態の圧電磁器組成物によって構成されている。前面板25と裏打板26は、鉄またはアルミニウムを素材に用いて形成された円柱状金属ブロックからなる。そして、この前面板25と裏打板26との間に圧電素子22が配置され、これらが中心ボルト27によって一体に結合されている。
上記実施形態では、圧電素子として超音波振動子を示したが、異なる構成としてもよく、振動検知用途や、圧力検知用途、発振用途、および、圧電デバイス用途等に広く用いることが可能である。実施形態の圧電素子は、例えば、他の圧電振動子である超音波モータや超音波メスに適用することができ、あるいは、各種振動を検知するセンサ類(非共振型ノッキングセンサおよび燃焼圧センサ等)、アクチュエータ、高電圧発生装置、各種駆動装置、位置制御装置、振動抑制装置、流体吐出装置(塗料吐出及び燃料吐出等)などの各種の装置に利用することができる。
各サンプルの圧電素子は、前述した図1の工程T110〜T170に従ってそれぞれ作製した。図4に示す各元素の比率は、焼成後の圧電素子に含有される各元素の比率を実測して求めたものである。工程T130では、造粒粉末の一軸プレスにより、径が19.0mm、厚みが1.4mmの円盤状の成形体を得た。ただし、誘電正接を求めるための試料は、直径14.0mm、厚み1.0mmの円盤状とした。また、動作時の温度上昇を測定するための振動子で用いた圧電体の形状は、後述する。なお、工程T170の分極処理の後、得られた圧電素子に対して100℃で5時間熱処理を施し、24時間経過後に、各種特性評価を行なった。評価方法は、以下の通りである。
室温にて、インピーダンスアナライザ(ヒューレットパッカード社製、HP4194A型)を用いて測定を行ない、1kHzにおける静電容量の値から算出した。なお、サンプルS01〜S18のうち、サンプルS01およびS04については、0℃〜350℃まで温度変化させる条件下においても、比誘電率(ε33 T/ε0)の測定を行なった。
誘電損失の指標である誘電正接は、室温にて、インピーダンスアナライザ(ヒューレットパッカード社製、HP4194A型)を用いて測定を行ない、周波数1kHzにおける静電容量の値から算出した。具体的には、欧州規格BS EN50324−3:2002「Method of measurement High power」に準じて評価した。誘電損失としては、1V/mmの電界印加時の誘電正接(tan δ(1V/mm))、および200V/mmの電界印加時の誘電正接(tan δ(200V/mm))を求めた。
各サンプルを電気炉で加熱しながら上記インピーダンスアナライザを用いた測定により、圧電性が消失してΔf(=fp−fs)=0となる温度として求めた。なお、fpは、圧電素子の等価回路における直列共振周波数を表わし、fsは、並列共振周波数を表わす。
径方向振動の電気機械結合係数kr、厚み方向振動の電気機械結合係数kt、機械的品質係数Qm、および圧電d定数d33は、電子情報技術産業協会規格(JEITA規格:Standard of Japan Electronics and Information Technology Industries Association)の規格番号EM−4501、「圧電セラミック振動子の電気的試験方法」にて評価した。
曲げ強度は、「JIS R 1601」に準拠した方法によって3点曲げ強度を測定した。
サンプルS01、S03およびS04の圧電素子を用いて、図3と同様の超音波振動子を作製し、これらの超音波振動子に電圧を印加して作動させたときの経時的な温度変化を測定した。各々のサンプルの超音波振動子は、外形11.0mm、内径6.0mm、厚み2.0mmのリング形状の圧電体を6枚ずつ用いて作製した。超音波振動子に印加する電圧は、周波数55kHz、振幅15μmで固定した。振動速度は715mm/sec.であった。振動時の圧電素子の温度計測は、INFRARED THERMOMETER AD-5611A(株式会社エー・アンド・デイ製)を用いて行なった。
22…圧電素子
23a,23b…圧電体
24a,24b…電極板
25…前面板
26…裏打板
27…中心ボルト
28,29…円錐部
30…超音波放射面
31…盲端孔
100…圧電体
200…圧電素子
301,302…電極
Claims (6)
- 圧電磁器組成物であって、
一般式(1)
(PbmSrn)(Zr1−w−x−y−zTiwFexSiyAlz)O3 …(1)
で表わされ、
0.910≦m≦0.960、
0.030≦n≦0.100、
0.970≦m+n≦1.060、
0.472≦w≦0.474、
0.006≦x≦0.017、
0<y≦0.002、0<z≦0.004
を満たす化合物を主成分とすることを特徴とする圧電磁器組成物。 - 請求項1に記載の圧電磁器組成物であって、
1V/mmの電界印加時の誘電正接が0.30%以下であることを特徴とする
圧電磁器組成物。 - 圧電素子であって、
請求項1または請求項2に記載の圧電磁器組成物と、該圧電磁器組成物に接して設けられた少なくとも一対の電極と、を備えることを特徴とする
圧電素子。 - 請求項3に記載の圧電素子を備える超音波振動子。
- 請求項1または請求項2に記載の圧電磁器組成物の製造方法であって、
前記主成分の原料を混合して原料混合粉末を得る混合工程と、
前記原料混合粉末を仮焼して仮焼粉末を得る仮焼工程と、
前記仮焼粉末を成形し、焼成する焼成工程と、
を備え、
前記混合工程は、アルミニウム(Al)を実質的に含有しないボールを用いてボールミルにより行なうことを特徴とする
圧電磁器組成物の製造方法。 - 請求項3に記載の圧電素子の製造方法であって、
前記主成分の原料を混合して原料混合粉末を得る混合工程と、
前記原料混合粉末を仮焼して仮焼粉末を得る仮焼工程と、
前記仮焼粉末を成形して焼成し、前記圧電磁器組成物を得る焼成工程と、
前記圧電磁器組成物の表面に、前記電極を形成するための導電性ペーストを塗布する塗布工程と、
を備え、
前記導電性ペーストは、実質的にケイ素(Si)を含有しないことを特徴とする
圧電素子の製造方法。
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