JP6351931B2 - 薄膜型コモンモードフィルタ - Google Patents

薄膜型コモンモードフィルタ Download PDF

Info

Publication number
JP6351931B2
JP6351931B2 JP2013078268A JP2013078268A JP6351931B2 JP 6351931 B2 JP6351931 B2 JP 6351931B2 JP 2013078268 A JP2013078268 A JP 2013078268A JP 2013078268 A JP2013078268 A JP 2013078268A JP 6351931 B2 JP6351931 B2 JP 6351931B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
common mode
mode filter
insulating layer
thin film
internal electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013078268A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014049754A (ja
Inventor
ユ・ヨン・スク
ホ・カン・ホン
アン・ヨン・ギュ
ユン・チャン
ウィ・スン・グォン
チョ・ジョン・ミン
チャン・ギョン・セ
クォン・ヨン・ド
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electro Mechanics Co Ltd filed Critical Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Publication of JP2014049754A publication Critical patent/JP2014049754A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6351931B2 publication Critical patent/JP6351931B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/01Frequency selective two-port networks
    • H03H7/0138Electrical filters or coupling circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F17/0013Printed inductances with stacked layers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/42Balance/unbalance networks
    • H03H7/425Balance-balance networks
    • H03H7/427Common-mode filters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F2017/0066Printed inductances with a magnetic layer
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F2017/0093Common mode choke coil
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H1/00Constructional details of impedance networks whose electrical mode of operation is not specified or applicable to more than one type of network
    • H03H2001/0021Constructional details
    • H03H2001/0057Constructional details comprising magnetic material

Description

本発明は、薄膜型コモンモードフィルタに関し、より詳細には、コモンモードフィルタの外部電極端子の水平区間と内部電極との間の離隔空間にフェライト樹脂層を形成することにより、寄生キャパシタンス成分を減少させることができる薄膜型コモンモードフィルタに関する。
近年、携帯電話、家電製品、PC、PDA、LCD、ナビゲーションなどの電子機器が益々デジタル化及び高速化されている。このような電子機器は外部からの刺激に敏感であるため、外部から小さい異常電圧と高周波ノイズが電子機器の内部回路に流入される場合、回路の破損や信号の歪曲が発生する。
このような異常電圧とノイズの原因としては、回路内で発生するスイッチング電圧、電源電圧に含まれた電源ノイズ、不要な電磁気信号または電磁気ノイズなどが挙げられる。このような異常電圧と高周波ノイズが回路に流入されることを防止するための手段として、コモンモードフィルタ(Common Mode Filter:CMF)が用いられている。
一般的な差動信号送信システムでは、コモンモードノイズを除去するためのコモンモードノイズフィルタ(CMF)とともに、入出力端子で発生し得る静電気放電(Electro Static Discharge:ESD)を抑制するためのダイオード、バリスタなどの受動部品を別に用いている。
図1は従来技術によるコモンモードフィルタ構造を図示した概略図である。図1を参照すると、一般的なコモンモードフィルタは、ベース基板1と、前記ベース基板1上に形成される第1絶縁層2と、前記第1絶縁層2上に形成される内部電極3と、前記内部電極3が収容されるように第1絶縁層2上に形成される第2絶縁層4と、前記第2絶縁層4上に内部電極3の引き出し端と接地されるように形成される外部電極端子5と、前記第2絶縁層4上に形成されるフェライト樹脂層6と、で構成される。
しかし、上記のような従来技術によるコモンモードフィルタは、構造的特性によって寄生キャパシタンスが発生するという問題があった。
特に、図1の「A」で示された領域のように、通電する互いに異なる回路、即ち、内部電極3と外部電極端子5が互いに近接する上下付近、特に境界付近で寄生キャパシタンスが集中的に発生するという問題があった。
このような寄生キャパシタンスは、自己共振周波数(SRF)を損傷させる主な原因として作用することになる。
日本特開平5−006823公報 日本特開2009−218644号公報
本発明は、従来技術の問題点を解決するために導き出されたものであって、本発明の目的は、コモンモードフィルタの外部電極端子の水平区間と内部電極との間の離隔空間にフェライト樹脂層を形成することにより、寄生キャパシタンス成分を減少させることができる薄膜型コモンモードフィルタを提供することにある。
本発明の他の目的は、直列抵抗はそのまま維持しながらもインピーダンス(Impedance)が向上されて、優れたフィルタリング効果を有し、自己共振周波数(SRF)が向上されることにより、性能実現が可能な周波数範囲が広くなって、特に、高い周波数でのフィルタリングにおいて優れた効果を有する薄膜型コモンモードフィルタを提供することにある。
本発明の一側面によると、垂直区間及び水平区間からなる外部電極端子と、前記外部電極端子の垂直区間が側面で接続される内部電極と、前記外部電極端子の水平区間と内部電極との間の離隔空間に形成されて、寄生キャパシタンス成分を減少させるためのフェライト樹脂層と、を含むことを特徴とする薄膜型コモンモードフィルタが提供される。
本発明の他の側面によると、絶縁材質からなるベース基板と、前記ベース基板上に形成される第1絶縁層と、前記第1絶縁層上に形成されるコイル形状の内部電極と、前記内部電極上に形成される第2絶縁層と、前記内部電極の側面で接続される垂直区間、及び前記垂直区間の上部端から水平方向に延長され、内部電極と所定距離離れた平行面を形成する水平区間からなる外部電極端子と、前記外部電極端子の水平区間と内部電極との間に形成されるフェライト樹脂層と、を含むことを特徴とする薄膜型コモンモードフィルタが提供される。
また、前記ベース基板は、フェライト材質からなることができる。
また、前記第1絶縁層及び第2絶縁層は、ポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン(BCB)またはその他の高分子ポリマーから選択される一つからなることができる。
また、前記内部電極は、一定間隔離隔された複層構造からなることができる。
本発明は、コモンモードフィルタの外部電極端子の水平区間と内部電極との間の離隔空間にフェライト樹脂層を形成することにより、寄生キャパシタンス成分を減少させることができる効果を有する。
また、本発明は、直列抵抗はそのまま維持しながらもインピーダンス(Impedance)が向上されて、優れたフィルタリング効果を有し、自己共振周波数(SRF)が向上されることにより、性能実現が可能な周波数範囲が広くなって、特に、高い周波数でのフィルタリングにおいて優れた効果を有する。
従来技術によるコモンモードフィルタの構造を図示した概略図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの断面構造を図示した概念図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。 本発明による内部電極の構造を図示した図面代用写真である。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの性能実験結果を示すグラフである。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの性能実験結果を示すグラフである。 本発明による薄膜型コモンモードフィルタの性能実験結果を示す図表である。
以下、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照して詳細に説明すると、次のとおりである。
図2は本発明による薄膜型コモンモードフィルタの断面構造を図示した概念図である。
図2を参照すると、本発明は、垂直区間及び水平区間からなる外部電極端子50と、前記外部電極端子50の垂直区間が側面で接続される内部電極30と、前記外部電極端子50の水平区間と内部電極30との間の離隔空間に形成されて、寄生キャパシタンス成分を減少させるためのフェライト樹脂層60と、を含むことを特徴とする薄膜型コモンモードフィルタに関するものである。
本発明の実施形態による薄膜型コモンモードフィルタは、絶縁材質からなるベース基板10と、前記ベース基板10上に形成される第1絶縁層20と、前記第1絶縁層20上に形成されるコイル形状の内部電極30と、前記内部電極30上に形成される第2絶縁層40と、前記内部電極30の側面で接続される垂直区間、及び前記垂直区間の上部端から水平方向に延長され、内部電極30と所定距離離れた平行面を形成する水平区間からなる外部電極端子50と、前記外部電極端子50の水平区間と内部電極30との間に形成されるフェライト樹脂層60と、を含む。
図3aから図3fは、本発明による薄膜型コモンモードフィルタの製造工程を順に図示した概念図である。
前記本発明の図3aに示すように、ベース基板10上に第1絶縁層20が形成される。
この際、前記ベース基板10は絶縁材質を用いて製作されることができ、例えば、フェライト(ferrite)材質が用いられることができる。
また、前記第1絶縁層20は、ポリイミド(polyimide)、エポキシ樹脂(epoxy resin)、ベンゾシクロブテン(benzo cyclobutene;BCB)、またはその他の高分子ポリマーから選択される一つを用いて形成されることができ、スピンコーティング層の厚さを調節することによりインピーダンスを調節することができる。
また、前記第1絶縁層20上には、図3bに示すように、内部電極30及び第2絶縁層40が形成される。
この際、前記内部電極30は、図4に図示されたようなコイル形状に製作されることができる。ここで、コイル形状の一端は外部電極端子側に連結される引き出し端31を形成し、他端は複数の内部電極30の間を接地させる接続端32を形成する。
また、前記第2絶縁層40は、ポリイミド(polyimide)、エポキシ樹脂(epoxy resin)、ベンゾシクロブテン(benzo cyclobutene;BCB)、またはその他の高分子ポリマーから選択される一つを用いて形成されることができ、フォトビア(Photo via)法により形成されることができる。
ここで、フォトビア法は、絶縁樹脂が加えられた特殊な現像インクを絶縁層として使用及び積層する方法のことである。
この際、前記内部電極30は、一定間隔離隔された複層構造からなることができ、前記内部電極30が完全に収容されるように第2絶縁層40が形成される。
また、図3cに図示されたように、第2絶縁層40上に外部電極端子50が形成される。この際、前記外部電極端子50は、前記内部電極30の側面で接続される垂直区間と、前記垂直区間の上部端から水平方向に延長され、内部電極30と所定距離離れた平行面を形成する水平区間と、からなる。
また、図3dに示すように、前記外部電極端子50の水平区間と内部電極30との間にフェライト樹脂層60が形成される。
この際、前記外部電極端子50の垂直区間は所定高さで突出形成されており、前記外部電極端子50の垂直区間が突出された高さだけ、外部電極端子50と内部電極30との間に離隔空間が形成される。
この際、前記第1フェライト樹脂層60は、第2絶縁層40の上部面全体を覆うように形成される。
図5a及び図5bは本発明による薄膜型コモンモードフィルタの性能実験結果を示すグラフであり、図6は本発明による薄膜型コモンモードフィルタの性能実験結果を示す図表である。
図5a、図5b及び図6を参照すると、本発明によると、直列抵抗はそのまま維持しながらも、インピーダンス(Impedance)及び自己共振周波数(SRF)が向上されることが分かる。
上述したように、本発明によると、コモンモードフィルタの外部電極端子の水平区間と内部電極との間の離隔空間にフェライト樹脂層を形成することにより、寄生キャパシタンス成分を減少させることができる。
また、本発明によると、直列抵抗はそのまま維持しながらもインピーダンス(Impedance)が向上されて、優れたフィルタリング効果を有し、 自己共振周波数(SRF)が向上されることにより、性能実現が可能な周波数範囲が広くなって、特に、高い周波数でのフィルタリングにおいて優れた効果を有する。
以上、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明したが、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明が、その技術的思想や必須の特徴を変更することなく、他の具体的な形態で実施可能であることを理解することができる。 例えば、当業者は、各構成要素の材質、大きさなどを適用分野によって変更したり実施形態を組合または置換して、本発明の実施形態に明確に開示されていない形態で実施することができるが、これも本発明の範囲を外れるものではない。従って、以上で説明した実施形態は全ての面で例示的なものに過ぎないため、これを制限的に理解してはならず、このような変形された実施形態は、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想に含まれるといえる。
10 ベース基板
20 第1絶縁層
30 内部電極
31 引き出し端
32 接続端
40 第2絶縁層
50 外部電極端子
60 フェライト樹脂層

Claims (5)

  1. 垂直区間及び水平区間からなる外部電極端子(50)と、前記外部電極端子(50)の垂直区間が側面で接続される複数の内部電極(30)と、前記内部電極の下に配置されて前記内部電極の少なくとも一部に接する第1の絶縁層と、前記外部電極端子(50)の水平区間と前記内部電極(30)との間の離隔空間に形成され、且つ前記外部電極端子(50)の水平区間の下面に接して配置されて、寄生キャパシタンス成分を減少させるためのフェライト樹脂材料のみからなるフェライト樹脂層(60)と、を含むことを特徴とする薄膜型コモンモードフィルタ。
  2. 絶縁材質からなるベース基板(10)と、
    前記ベース基板(10)上に形成される第1絶縁層(20)と、
    前記第1絶縁層(20)上に形成されるコイル形状の複数の内部電極(30)と、
    前記内部電極(30)上に形成される第2絶縁層(40)と、
    前記内部電極(30)の側面で接続される垂直区間、及び前記垂直区間の上部端から水平方向に延長され、内部電極(30)と所定距離離れた平行面を形成する水平区間からなる外部電極端子(50)と、
    前記外部電極端子(50)の水平区間と内部電極(30)との間に形成されたフェライト樹脂材料のみからなるフェライト樹脂層(60)と、を含み、
    前記第1絶縁層は、前記内部電極の少なくとも一部に接し、
    前記フェライト樹脂層(60)は前記外部電極端子(50)の水平区間の下面に接して配置されることを特徴とする薄膜型コモンモードフィルタ。
  3. 前記ベース基板(10)は、フェライトからなることを特徴とする請求項2に記載の薄膜型コモンモードフィルタ。
  4. 前記第1絶縁層(20)及び第2絶縁層(40)は、ポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン(BCB)またはその他の高分子ポリマーから選択される一つからなることを特徴とする請求項2に記載の薄膜型コモンモードフィルタ。
  5. 前記内部電極(30)は、一定間隔離隔された複層構造からなることを特徴とする請求項2に記載の薄膜型コモンモードフィルタ。
JP2013078268A 2012-08-29 2013-04-04 薄膜型コモンモードフィルタ Active JP6351931B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2012-0094775 2012-08-29
KR1020120094775A KR101792277B1 (ko) 2012-08-29 2012-08-29 박막형 공통 모드 필터

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014049754A JP2014049754A (ja) 2014-03-17
JP6351931B2 true JP6351931B2 (ja) 2018-07-04

Family

ID=50186719

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013078268A Active JP6351931B2 (ja) 2012-08-29 2013-04-04 薄膜型コモンモードフィルタ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9577598B2 (ja)
JP (1) JP6351931B2 (ja)
KR (1) KR101792277B1 (ja)
CN (1) CN103680812A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI676424B (zh) 2014-08-21 2019-11-11 日商雷恩自動機股份有限公司 連續麵糰之秤量切斷系統

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102047560B1 (ko) 2014-04-30 2019-11-21 삼성전기주식회사 커먼 모드 필터, 신호 전달 모듈 및 커먼 모드 필터 제조방법
KR101627134B1 (ko) * 2014-09-23 2016-06-03 삼성전기주식회사 공통 모드 필터
KR101627128B1 (ko) 2014-12-02 2016-06-13 삼성전기주식회사 코일 부품
JP6477427B2 (ja) * 2015-11-04 2019-03-06 株式会社村田製作所 コイル部品
KR101701063B1 (ko) * 2015-11-16 2017-01-31 삼성전기주식회사 공통모드필터

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH056823A (ja) 1991-06-03 1993-01-14 Murata Mfg Co Ltd ソリツドインダクタ
US6998939B2 (en) * 2000-03-08 2006-02-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Noise filter and electronic device using noise filter
JP3780414B2 (ja) 2001-04-19 2006-05-31 株式会社村田製作所 積層型バラントランス
JP3952716B2 (ja) * 2001-09-14 2007-08-01 株式会社村田製作所 高周波回路部品
JP2005317725A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Tdk Corp 電子部品
WO2006073029A1 (ja) * 2005-01-07 2006-07-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. 電子部品及び電子部品製造方法
KR101174541B1 (ko) * 2007-02-02 2012-08-16 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 적층 코일 부품
JP2008262943A (ja) * 2007-04-10 2008-10-30 Hitachi Metals Ltd 回路基板および差動伝送機器
JP4840381B2 (ja) 2008-03-07 2011-12-21 Tdk株式会社 コモンモードフィルタ及びその製造方法
JP2011071457A (ja) * 2008-12-22 2011-04-07 Tdk Corp 電子部品及び電子部品の製造方法
JP4749482B2 (ja) * 2009-07-08 2011-08-17 Tdk株式会社 複合電子部品
US8547124B2 (en) * 2010-04-22 2013-10-01 Advantest Corporation Pin card
JP5673358B2 (ja) * 2010-05-31 2015-02-18 Tdk株式会社 コイル部品及びその製造方法
JP5796602B2 (ja) * 2013-06-05 2015-10-21 株式会社村田製作所 セラミック電子部品およびその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI676424B (zh) 2014-08-21 2019-11-11 日商雷恩自動機股份有限公司 連續麵糰之秤量切斷系統

Also Published As

Publication number Publication date
CN103680812A (zh) 2014-03-26
KR101792277B1 (ko) 2017-11-20
KR20140028450A (ko) 2014-03-10
US20140062615A1 (en) 2014-03-06
US9577598B2 (en) 2017-02-21
JP2014049754A (ja) 2014-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6351931B2 (ja) 薄膜型コモンモードフィルタ
TWI422298B (zh) 高阻抗電氣連接通孔
US20170294257A1 (en) Common mode noise filter
JP6324678B2 (ja) Esd保護パターンが組み込まれたコモンモードフィルタ
KR102004790B1 (ko) 공통 모드 필터 및 그 제조 방법
JP6079198B2 (ja) コモンモードフィルタ
US20160055957A1 (en) Common mode filter and manufacturing method thereof
US20160055964A1 (en) Common mode filter and manufacturing method thereof
US9090457B2 (en) Electronic device
JP6376623B2 (ja) コモンモードフィルター
US10135418B2 (en) Common mode filter
US20140070335A1 (en) Electronic device
JP2014049756A (ja) 薄膜型コモンモードフィルタ
KR101627134B1 (ko) 공통 모드 필터
US10734790B2 (en) Composite electronic component and manufacturing method of the same
KR101530066B1 (ko) 공통 모드 필터 및 그 제조 방법
JP6524408B2 (ja) コモンモードノイズフィルタ
KR20140083581A (ko) 적층형 공통모드필터
KR102314496B1 (ko) 3단자형 전력선 필터
JP2017092452A (ja) コモンモードフィルタ
JP2014179637A (ja) 薄膜抵抗素子
JP2010278602A (ja) 積層型誘電体フィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151215

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170118

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170131

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170412

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170926

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180508

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180606

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6351931

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250