JP6351620B2 - 振動アクチュエータ - Google Patents
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Description
この構成により、可振子発生した進行波が前記出力軸に、回転および、直動運動を与え、回転及び直動が行え、安定した力を発生する振動アクチュエータを得ることができる。
この構成によれば、コンパクトな可振子により大きな進行波を発生し、前記出力軸に、安定した回転および直動運動を与えることができる。
この構成によれば、圧電効果又は電歪効果によって、コンパクトな可振子により大きな進行波を発生し、大きな力で、前記出力軸に安定した回転および直動運動を与えることができる。
図1は本発明の実施形態に係わる振動アクチュエータの斜視図である。
略多角柱状の可振子8(図1では四角柱)はその略中心軸上に貫通する摺動穴8aを有し、この摺動穴8aには放射状に伸びるスリット部8bを有し、この摺動穴8aに出力軸3が挿通され、少なくともこの出力軸8aに平行な前記可振子8の外周の1つの面8cと、その対向面8dに、パターン状の電極10を有する第1および第2の圧電素子9を貼り付けている。圧電素子9には1枚毎にそれぞれパターン状の電極10が貴金属のスパッタリング法や、導電性インクの印刷工法により設けられている。
その次に再び第1に印加したA1、B1、C1、D1、E1、F1の計6個の電極に印加し、これを繰り返す。これにより出力軸3は矢印M方向に摺動する。
図3は本発明第3の実施形態に係わる振動アクチュエータの斜視図である。
略正弦波状に発生した電圧が、前記パターン状の電極10に順次印加されるが、印加される順序を変えることにより、出力軸3は直動方向(図中矢印Mおよびその逆方向)に、または回転方向(図中矢印P及びその逆回転方向)に動作することができる。
2 集光レンズ
3 出力軸
3a 穴
4a、4b、4c、4d 光路変換手段
5a、5b 光ファイバークランプ
6 チューブ(カテーテル)
7a、7b 軸受
8、18 可振子
8a 摺動穴
8b、18a スリット部
9 圧電素子
10 パターン電極
11a、11b 電線
12 アクチュエータ
13a、13b 光線
14a、14b 固定側センサー
14c 移動側センサー
16 透光部
Claims (3)
- 振動により出力軸が運動する振動アクチュエータにおいて、
略多角柱状の可振子はその略中心軸上に穴を有し、
前記穴に放射状に伸びるスリット部を有し、
前記穴に前記出力軸が挿通され、
前記可振子の外周面のなかで、前記出力軸と平行な面の少なくとも1つの面に、第1の振動子が貼り付けられており、
前記第1の振動子が貼り付けられている面の対向面に、第2の振動子が貼り付けられており、
前記第1の振動子と、前記第2の振動子とは、各々パターン電極を有しており、
前記パターン電極は、軸方向に配列された複数の電極が2配列以上並んで配列されたものであり、
前記パターン電極の電極パターンに順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生し、前記出力軸に、回転および軸方向の変位を与えることを特徴とする振動アクチュエータ。 - 前記可振子の前記穴の有る側面に、パターン電極を有する第3の振動子が貼り付けられており、前記第1の振動子及び前記第2の振動子及び前記第3の振動子の前記パターン電極の電極パターンに順次電圧を印加する事で可振子に進行波を発生し、前記出力軸に、回転および軸方向の変位を与えることを特徴とする請求項1記載の振動アクチュエータ。
- 前記振動子は、圧電素子又は電歪素子であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の振動アクチュエータ。
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