JP6343569B2 - 熱電対付きウエハ - Google Patents
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Description
を提供することである。
定用線材30とを束ねると共に、複数の配線23、25が固定用線材30に対し配線方向に動かないように複数の配線23、25に締め付け力を掛けることができ、且つその結び目43を解くことで束縛用線材40の結合を容易に解放し、配線23、25をその配線方向に移動または引き抜くことができる。なお、この結び目43を形成する縛り方としては、止め結び(一重結び)、花結び(蝶々結び)、本結び、及びもやい結びなどを例示できる。
定用線材30との固定が解除されるので、固定用線材30とウエハ11とを固定している接着剤14を剥がしたり、固定用線材30を切断して解放したり、あるいは、熱電対付きウエハ10ごと交換することを行わずに、固定用線材30のウエハ11に対する固定状態を維持したまま、該当の熱電対20のみを容易に交換又は修理できるので、故障した際のコストを低減できる。
11 ウエハ
13、14 接着剤
20 熱電対
21、24 熱電対素線
22 被覆材
23、25 配線
26 測温部
30 固定用線材
31 固定用素線
32 固定用被覆材
40 束縛用線材
41 束縛用素線
42 束縛用被覆材
43 結び目
50 張架用線材
51 張架用素線
52 張架用被覆材
60、70 係止用線材
Claims (5)
- ウエハ、熱電対、固定用線材および束縛用線材を有する熱電対付きウエハであって、
前記熱電対を構成する一組の熱電対素線の端部を接合した測温部が前記ウエハに埋設され、
前記固定用線材が前記熱電対の配線方向に略直角に配置され、かつその両端部が前記ウエハに固定され、
前記束縛用線材が、複数の前記熱電対の配線を束ねて前記固定用線材に着脱可能に固定したことを特徴とする熱電対付きウエハ。 - 前記固定用線材と前記束縛用線材とを、前記熱電対素線が被覆材に被覆された前記熱電対の配線の端材で構成したことを特徴とする請求項1に記載の熱電対付きウエハ。
- 前記固定用線材が、張架用線材及び少なくとも二本の係止用線材からなり、
前記張架用線材が前記熱電対の配線方向に略直角に配置され、かつその両端部がそれぞれ前記係止用線材の略中間部に固定され、
前記係止用線材の両端部が前記ウエハに固定されると共に、
前記束縛用線材が、複数の前記熱電対の配線を束ねて前記張架用線材に着脱可能に固定したことを特徴とする請求項1又は2に記載の熱電対付きウエハ。 - 前記張架用線材を、前記熱電対素線が被覆材に被覆された前記熱電対の配線の端材で構成したことを特徴とする請求項3に記載の熱電対付きウエハ。
- 前記張架用線材と前記係止用線材との連結部を接着剤でウエハに固定したことを特徴とする請求項3又は4に記載の熱電対付きウエハ。
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