JP6342480B2 - レーザカッティング装置及びそのカッティング方法 - Google Patents

レーザカッティング装置及びそのカッティング方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6342480B2
JP6342480B2 JP2016512856A JP2016512856A JP6342480B2 JP 6342480 B2 JP6342480 B2 JP 6342480B2 JP 2016512856 A JP2016512856 A JP 2016512856A JP 2016512856 A JP2016512856 A JP 2016512856A JP 6342480 B2 JP6342480 B2 JP 6342480B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting
laser beam
laser
pattern
cutting pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016512856A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016523713A (ja
Inventor
ホ バン、ジン
ホ バン、ジン
ブム アン、チャン
ブム アン、チャン
ホン ミン、キ
ホン ミン、キ
ウォン パク、ジ
ウォン パク、ジ
フーン コ、ミュン
フーン コ、ミュン
ホ ナ、セウン
ホ ナ、セウン
Original Assignee
エルジー・ケム・リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エルジー・ケム・リミテッド filed Critical エルジー・ケム・リミテッド
Publication of JP2016523713A publication Critical patent/JP2016523713A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6342480B2 publication Critical patent/JP6342480B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)

Description

本発明は、レーザを用いたカッティング装置に関し、より詳しくはカッティング対象物の特性(吸収係数)の差によってレーザのカッティング速度を異にすることにより、カッティング対象物に入力されるレーザのエネルギーが全体的に均一になるようにして不完全カッティングが発生しないようにするレーザカッティング装置及びそのカッティング方法に関する。
レーザは、切断、形状加工、溶接などの一般産業分野だけでなく、医療機器、光通信、コンピュータ産業などに広く用いられている。特に、レーザを用いたカッティング装置は、硝子または金属を切断する用途として多く用いられている。
ところが、従来のレーザカッティング装置は、カッティング対象物の特性が領域別に異なる場合にも、そのような特性の差を考慮せずに同一のレーザビームを同一の速度で照射するため、一部領域で正常にカッティングされない不完全カッティングが行われる問題が発生している。
したがって、同一のカッティング対象物内に互いに異なる特性を有する領域が含まれた場合に、そのような特性値を考慮して完全なカッティングが行われるようにする必要性がある。
本発明の実施形態は、同一のカッティング対象物に互いに異なる特性を有する領域が含まれた場合にも、完全なカッティングが行われるようにするカッティング装置及びカッティング方法の提供を図る。
本発明の一実施形態によるレーザカッティング装置は、カッティングパターンに対する情報を貯蔵するデータベース、カッティング対象物に対するレーザビームの照射位置を変化させる移動部、ユーザから前記カッティングパターンの位置別速度情報の入力を受ける特性値入力部、及び前記特性値入力部からの速度情報及び前記データベースのカッティングパターンに対する情報によって前記移動部を制御し、前記レーザビームの移動速度を調節する制御部を含むことができる。
本発明の他の実施形態によるレーザカッティング装置は、カッティングパターンに対する情報及びカッティング対象物の各特性値に対する速度情報を貯蔵するデータベース、前記カッティング対象物に対するレーザビームの照射位置を変化させる移動部、前記カッティングパターンの位置別の前記カッティング対象物の特性値を測定する特性値測定部、及び前記特性値測定部で測定された特性値を前記データベースに貯蔵された速度情報とマッチングさせて前記カッティングパターンの位置別移動速度を判断し、その位置別移動速度に応じて前記移動部を制御して前記レーザビームの移動速度を調節する制御部を含むことができる。
本発明の一実施形態によるレーザカッティング装置のカッティング方法は、既に設定されたカッティングパターンの位置別速度情報の提供を受ける段階、及び前記速度情報によってカッティング対象物に照射されるレーザビームの移動速度を変化させる段階を含むことができる。
本発明の実施形態は、同一のカッティング対象物に互いに異なる特性を有する領域が含まれた場合にも、完全なカッティングが行われるようにする。
本発明の一実施形態によるレーザカッティング装置の構成を示す図である。 本発明の一実施形態によるカッティング方法を説明するための図である。 本発明の他の実施形態によるレーザカッティング装置の構成を示す図である。
以下、図を参照しつつ本発明の好ましい実施形態等をより詳しく説明する。これに先立って、本明細書及び特許請求の範囲に用いられた用語や単語は、通常的且つ辞書的な意味に限定して解釈されてはならず、発明者は自分の発明を最良の方法で説明するために用語の概念を適宜定義することができるとの原則に即して、本発明の技術的思想に符合する意味と概念に解釈されなければならない。よって、本明細書に記載された実施形態と図に示された構成は、本発明の最も好ましい一実施形態に過ぎないだけであり、本発明の技術的思想を全て代弁するものではないので、本出願時点においてこれらを代替することができる多様な均等物と変形例等があり得ることを理解しなければならない。
図1は、本発明の実施形態によるレーザカッティング装置の構成を示す図である。
図1のレーザカッティング装置は、移動部110、特性値入力部120、データベース130及び制御部140を含む。
移動部110は、制御部130の制御によってレーザ4を移動させることにより、カッティング対象物2に照射されるレーザビームの位置を変化(移動)させる。特に、移動部110はレーザビームの位置を変化させるが、制御部130の制御によってレーザビームの移動速度を増加させたり減少させる。
特性値入力部120は、多数の入力キーを含むユーザインターフェース装置であって、既に設定されたカッティングパターンの各位置別にユーザから速度情報の入力を受けて制御部140に伝達する。
データベース130は、既に設定されたカッティングパターンに対する情報を貯蔵する。カッティングパターンは、形成しようとする対象(例えば、二次電池の電極)に対する設計パターンであって、このようなカッティングパターンによってレーザビームがカッティング対象物2をカッティングするようになる。また、データベースはカッティングパターンの各位置別のカッティング対象物2の特性情報を貯蔵する。例えば、カッティングパターンの位置別にカッティング対象物2がコーティングされているのか否か、コーティングされているのであればどのような色相になっているのかを貯蔵することができる。特に、データベース130は、このような特性情報としてカッティングパターンの各位置別のカッティング対象物2の吸収係数(absorption coefficient)に対する情報を貯蔵することができる。
制御部140は、特性値入力部120から提供を受けた速度情報及びデータベース130に貯蔵されたカッティングパターンに対する情報によって、移動部110を制御してレーザビームの移動速度を調節する。すなわち、制御部140は、カッティングパターンによってレーザビームが照射されるように移動部110を制御するが、カッティングパターン全体に対してレーザビームが同一の速度で移動するようにせず、特性値入力部120から提供を受けた速度情報によってカッティングパターンの位置別にレーザビームの移動速度を調節する。
図2は、本発明の一実施形態によるカッティング方法を説明するための図である。
カッティング対象物2は、二次電池の電極を形成するための物質膜であって、金属薄膜からなる第1領域2aと、金属薄膜及び活物質からなりその表面が特定色相でコーティングされた第2領域2bとに区分される。したがって、第1領域2aの表面と第2領域2bの表面は、吸収係数(absorption coefficient)が互いに異なる。すなわち、第1領域2aが第2領域2bより吸収係数が低い。このような情報は、データベース130に貯蔵され得る。
このとき、設計段階で既に設定されたカッティングパターンは、図2で点線で示されているように、位置によって一部(B)は第1領域2aに位置して一部(A、C)は第2領域2bに位置するようになる。よって、同一の条件でカッティングパターン全体をカッティングすると、吸収係数の高い第2領域2bに位置するA及びC区間では正常にカッティングが行われるが、吸収係数の低い第1領域2aに位置するB区間はカッティング対象物に吸収されたレーザビームのエネルギーが少ないため、正常なカッティングが行われないこともある。すなわち、不完全カッティングが発生し得る。
したがって、ユーザはデータベース130に貯蔵されたカッティングパターンに対する情報及びカッティングパターンの各位置別のカッティング対象物2の特性情報を用いて、カッティングパターンで第1領域2aに位置する区間と第2領域2bに位置する区間が何処なのか、そして該当区間等での吸収係数の差がどの程度なのかを把握した後、特性値入力部120を用いて第1領域2aと第2領域2bの吸収係数の差に対応するようにカッティングパターンの各位置に互いに異なる速度値を設定する。
制御部140は、ユーザが設定した速度情報によって移動部110を制御して、レーザビームが第1領域2aに位置するカッティングパターンを通り過ぎる際は、その移動速度を第2領域2bに位置するカッティングパターンを通り過ぎる際より低めることによって、第1領域2aに位置するカッティングパターンと第2領域2bに位置するカッティングパターンに均一なエネルギーが吸収され得るようにする。
これによって、カッティングパターンの全領域が完全にカッティングされ得るようになる。
前述した実施形態では、第2領域2bのみコーティングされた場合を説明したが、第1領域2aと第2領域2bがそれぞれ吸収係数が互いに異なる色相でコーティングされた場合にも同一の方法を適用できることは自明である。
図3は、本発明の他の実施形態によるレーザカッティング装置の構成を示す図である。
前述した図1の実施形態では速度情報をユーザが直接入力したが、図3ではカッティングパターンの位置別のカッティング対象物の吸収係数を自動で計算し、計算された吸収係数に応じてレーザビームの移動速度を自動で設定する。
図3のレーザカッティング装置は、移動部210、特性値測定部220、データベース230及び制御部240を含む。
移動部210は、図1でのように制御部240の制御によってレーザ4を移動させることにより、カッティング対象物2に照射されるレーザビームの位置を変化(移動)させる。
特性値測定部220は、カッティングパターンの位置別のカッティング対象物2の特性値を測定して、測定された値を制御部240に伝達する。このとき、特性値測定部220は特性値として吸収係数を測定することができる。
例えば、特性値測定部220は、カッティング工程を行う前に先にカッティングパターンに沿ってカッティング対象物2にスキャン用レーザビームを照射し、それによってカッティング対象物2から反射されるレーザビームを受光した後、カッティングパターンの位置別に照射されたレーザビームの光量と受光したレーザビームの光量を比べることにより、カッティングパターンの位置別のカッティング対象物2の吸収係数を測定することができる。または、特性値測定部220は、カッティング工程を行う前に先にカッティングパターンに沿ってカッティング対象物2にスキャン用レーザビームを照射し、それによってカッティング対象物2を透過したレーザビームを受光した後、照射されたレーザビームの光強度と透過したレーザビームの光強度を比べることにより、カッティングパターンの位置別のカッティング対象物2の吸収係数を測定することができる。一般的に光が対象物を透過する際、対象物の吸収係数をa(cm-1)、伝播距離をx(cm)、距離xを伝播する前後の光強度をそれぞれI0、Iとしたとき、対象物表面のフレネル反射を無視すればI=I0e-axの関係が成立する。
したがって、照射されたレーザビームの光強度と対象物を透過したレーザビームの光強度が分かれば、対象物の吸収係数を求めることができる。
データベース230は、カッティングパターンに対する情報及び吸収係数別の速度情報を貯蔵する。例えば、データベース230はそれぞれの吸収係数とそれに対応する速度情報をテーブル化して貯蔵することができる。このような速度情報は、用いられるレーザビームの波長別に区分され貯蔵され得る。
図2及び図3を用いてカッティング方法を簡単に説明する。
特性値測定部220は、レーザカッティングに先立ってスキャン用レーザビームを図2で点線で示されたカッティングパターンに沿って照射し、カッティングパターンに沿ってカッティング対象物2から反射されるレーザビームまたはカッティング対象物2を透過したレーザビームを受光する。
次に、特性値測定部220は、照射されたレーザビームと受光したレーザビームを用いてカッティングパターンの位置別のカッティング対象物の吸収係数を計算する。例えば、特性値測定部220は照射されたレーザビームの光量と受光したレーザビームの光量を比べるか、照射されたレーザビームの光強度と透過したレーザビームの光強度を比べることにより、カッティングパターンの位置別のカッティング対象物2の吸収係数を測定する。このように測定された吸収係数は制御部240に伝達される。すなわち、カッティングパターンのA、B、C区間に対する吸収係数が制御部240に伝達される。
制御部240は、特性値測定部220から提供を受けたカッティングパターンの位置別の吸収係数を用いて、データベース230で当該吸収係数に対応する速度情報を検索する。これによって、カッティングパターンのA、B、C区間に対する速度値が定められる。
制御部240は、このように定められた速度値によって移動部210を制御し、レーザビームが第1領域2aに位置するカッティングパターンを通り過ぎる際は、その移動速度を第2領域2bに位置するカッティングパターンを通り過ぎる際より低めることにより、第1領域2aに位置するカッティングパターンと第2領域2bに位置するカッティングパターンに均一なエネルギーが吸収され得るようにする。
これによって、カッティングパターンの全領域が完全にカッティングされ得るようになる。
前述した本発明の好ましい実施形態は、例示の目的のためのものであって、当業者であれば特許請求の範囲の技術的思想と範囲を介して多様な修正、変更、代替及び付加が可能なものであり、このような修正変更などは以下の特許請求の範囲に属するものとみなければならない。
例えば、図1及び図3では、移動部110、210がレーザ4を移動させることによって、カッティング対象物2上に照射されるレーザビームの位置を変化させる場合を説明したが、移動部110、210がレーザ4を移動させずにカッティング対象物2が置かれた棚を移動させることによって、カッティング対象物2上でレーザビームが照射される位置を変化させることができる。
本発明の実施形態は、同一のカッティング対象物に互いに異なる特性を有する領域が含まれた場合にも、完全なカッティングが行われるようにする。

Claims (12)

  1. カッティングパターンに対する情報及びカッティング対象物の各特性値に対する速度情報を貯蔵するデータベースと、
    前記カッティング対象物に対するレーザビームの照射位置を変化させる移動部と、
    前記カッティング対象物にカッティング用レーザビームを照射する前に、前記カッティングパターン全体に対してスキャン用レーザビームを照射し、前記カッティングパターン全体に対して、前記カッティングパターンの位置別の前記カッティング対象物の特性値を測定する特性値測定部と、
    前記カッティングパターンを前記カッティング対象物に形成すべく、前記特性値測定部で測定された特性値を前記データベースに貯蔵された速度情報とマッチングさせて前記カッティングパターンの位置別移動速度を判断し、その位置別移動速度に応じて前記移動部を制御して前記レーザビームの移動速度を調節する制御部と
    を含むレーザカッティング装置。
  2. 前記特性値測定部は、
    前記カッティングパターンの位置別の前記カッティング対象物の吸収係数(absorption coefficient)を測定する請求項1に記載のレーザカッティング装置。
  3. 前記特性値測定部は、
    前記カッティングパターンに沿って前記カッティング対象物に前記スキャン用レーザビームを照射した後、前記カッティングパターンの位置別に反射されたレーザビームの光量を比べて、前記カッティングパターンの位置別の前記カッティング対象物の吸収係数を測定する請求項2に記載のレーザカッティング装置。
  4. 前記特性値測定部は、
    前記カッティングパターンに沿って前記カッティング対象物に前記スキャン用レーザビームを照射した後、照射されたレーザビームと前記カッティング対象物を透過したレーザビームの光強度を用いて、前記カッティングパターンの位置別の前記カッティング対象物の吸収係数を測定する請求項2に記載のレーザカッティング装置。
  5. 前記移動部は、
    前記レーザビームを照射するレーザを移動させる請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザカッティング装置。
  6. 前記移動部は、
    前記カッティング対象物が置かれた棚を移動させる請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザカッティング装置。
  7. 前記データベースは、前記カッティングパターンの位置別に前記カッティング対象物がコーティングされているか否かの情報と、前記コーティングの色相と
    を貯蔵し、かつ、
    前記データベースは、前記速度情報を、用いられるレーザビームの波長別に区分して貯蔵する、請求項1から6のいずれか1項に記載のレーザカッティング装置。
  8. レーザカッティング装置のカッティング方法において、
    既に設定されたカッティングパターン全体に対してスキャン用レーザビームを照射し、前記カッティングパターンの位置別のカッティング対象物の特性値を測定する段階と、
    前記カッティングパターンを前記カッティング対象物に形成すべく、前記特性値に従ってカッティング用レーザビームの移動速度を可変しつつ、前記カッティングパターンに沿って前記カッティング用レーザビームを照射する段階と
    を含むレーザカッティング方法。
  9. 前記カッティングパターンの位置別速度情報は、
    前記カッティングパターンの位置別の前記カッティング対象物の吸収係数(absorption coefficient)に沿って互いに異なる速度値を有する請求項に記載のレーザカッティング方法。
  10. 前記吸収係数は、
    前記カッティングパターンに沿って前記カッティング対象物に前記スキャン用レーザビームを照射した後、前記カッティングパターンの位置別に反射されたレーザビームの光量を比べることにより測定される請求項に記載のレーザカッティング方法。
  11. 前記吸収係数は、
    前記カッティングパターンに沿って前記カッティング対象物に前記スキャン用レーザビームを照射した後、照射されたレーザビームと前記カッティング対象物を透過したレーザビームの光強度を用いて測定される請求項に記載のレーザカッティング方法。
  12. 前記カッティング用レーザビームを照射する段階が、
    データベースに貯蔵された、前記カッティングパターンの位置別に前記カッティング対象物がコーティングされているか否かの情報と、前記コーティングの色相と、
    用いられるレーザビームの波長別に区分して前記データベースに貯蔵された速度情報と、
    を用いて前記カッティング用レーザビームを照射する段階を有する、請求項8から11のいずれか1項に記載のレーザカッティング方法。
JP2016512856A 2013-09-25 2014-07-31 レーザカッティング装置及びそのカッティング方法 Active JP6342480B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2013-0114003 2013-09-25
KR1020130114003A KR101682269B1 (ko) 2013-09-25 2013-09-25 레이저 커팅 장치 및 그 커팅 방법
PCT/KR2014/007052 WO2015046738A1 (ko) 2013-09-25 2014-07-31 레이저 커팅 장치 및 그 커팅 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016523713A JP2016523713A (ja) 2016-08-12
JP6342480B2 true JP6342480B2 (ja) 2018-06-13

Family

ID=52743824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016512856A Active JP6342480B2 (ja) 2013-09-25 2014-07-31 レーザカッティング装置及びそのカッティング方法

Country Status (7)

Country Link
EP (1) EP2883648B1 (ja)
JP (1) JP6342480B2 (ja)
KR (1) KR101682269B1 (ja)
CN (1) CN104684678B (ja)
PL (1) PL2883648T3 (ja)
TW (1) TWI574768B (ja)
WO (1) WO2015046738A1 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015119938A1 (de) * 2015-11-18 2017-05-18 Messer Cutting Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen eines drohenden oder erfolgten Schnittabrisses beim thermischen Trennen eines Werkstücks
CN105965155B (zh) * 2016-07-21 2018-01-02 成都福誉科技有限公司 一种均匀控制激光功率的方法及系统
KR102600471B1 (ko) 2016-11-16 2023-11-13 삼성디스플레이 주식회사 레이저 커팅 장치 및 그것을 이용한 레이저 커팅 방법
KR20180064602A (ko) 2016-12-05 2018-06-15 삼성디스플레이 주식회사 편광판 절단 장치 및 편광판 절단 방법
CN107009024B (zh) * 2017-06-07 2019-05-31 重庆大学 一种激光剥离导爆索时激光切割的功率和速度控制方法
KR20200060569A (ko) 2018-11-21 2020-06-01 주식회사 동희산업 레이저 커팅장치
KR20200123313A (ko) 2019-04-18 2020-10-29 삼성디스플레이 주식회사 편광필름 및 이를 포함하는 표시장치
CN110405363A (zh) * 2019-08-09 2019-11-05 佛山市镭科智能设备有限公司 一种异型材的加工方法
CN110977022B (zh) * 2019-12-05 2024-06-21 常州大学 废旧电路板高值元件扫描切割装置
KR20220156836A (ko) * 2020-03-20 2022-11-28 제이티 인터내셔널 소시에떼 아노님 제한된 구역에서 에어로졸 발생 장치의 승인되지 않은 사용을 방지하기 위한 방법 및 관련 시스템
CN114112311A (zh) * 2021-11-17 2022-03-01 深圳市大族数控科技股份有限公司 激光加工设备的调试方法、装置及存储介质

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6390381A (ja) * 1986-10-03 1988-04-21 Toshiba Corp レ−ザ加工装置
JPH01138082A (ja) * 1987-11-25 1989-05-30 Amada Co Ltd 炭酸ガスレーザ加工装置
US5281798A (en) * 1991-12-24 1994-01-25 Maxwell Laboratories, Inc. Method and system for selective removal of material coating from a substrate using a flashlamp
JP3162254B2 (ja) * 1995-01-17 2001-04-25 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
EP1374139B1 (en) * 2001-03-29 2011-05-04 LASX Industries, Inc. Controller for a laser using predictive models ofa laser beam motion system
KR100393644B1 (ko) * 2001-11-16 2003-08-06 광주과학기술원 물질의 굴절율과 흡수율을 동시에 측정하는 장치
AU2003213332A1 (en) * 2002-03-12 2003-09-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Method and device for processing fragile material
EP1666520B1 (en) * 2003-09-11 2013-11-13 Nikon Corporation A macromolecular crystral working apparatus ; A macromolecular crystal evaluating device with such apparatus
JP2005186110A (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Nitto Denko Corp レーザー加工用保護シート及びこれを用いたレーザー加工品の製造方法
JP2006150373A (ja) * 2004-11-25 2006-06-15 Laserfront Technologies Inc レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP4522882B2 (ja) * 2005-02-15 2010-08-11 浜松ホトニクス株式会社 吸収計測装置
US7782921B2 (en) * 2005-03-28 2010-08-24 Intel Corporation Integrated optical detector in semiconductor reflector
KR20080079828A (ko) * 2007-02-28 2008-09-02 주식회사 이오테크닉스 레이저 가공 장치 및 방법
US20090314752A1 (en) * 2008-05-14 2009-12-24 Applied Materials, Inc. In-situ monitoring for laser ablation
DE102008027130A1 (de) * 2008-05-29 2009-12-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur trennenden Bearbeitung von Werkstücken mit einem Laserstrahl
JP5012732B2 (ja) * 2008-08-19 2012-08-29 トヨタ自動車株式会社 エネルギビームによる焼入方法および焼入システム
JP2010125489A (ja) * 2008-11-28 2010-06-10 Keyence Corp レーザマーカ及びレーザマーキングシステム
JP5452247B2 (ja) * 2010-01-21 2014-03-26 東芝機械株式会社 レーザダイシング装置
KR101132642B1 (ko) * 2010-02-12 2012-04-02 연세대학교 산학협력단 광학식 복합진단 측정 장치 및 방법
JP2011183434A (ja) * 2010-03-09 2011-09-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd レーザ加工方法
JP5521715B2 (ja) * 2010-04-06 2014-06-18 新日鐵住金株式会社 レーザ加工装置およびレーザ加工方法
JP2012115899A (ja) * 2010-11-09 2012-06-21 Amada Co Ltd レーザ切断加工方法及びレーザ加工装置
CN103260879B (zh) * 2010-12-30 2016-07-13 3M创新有限公司 激光切割法以及用该法制造的制品
WO2012096053A1 (ja) * 2011-01-11 2012-07-19 旭硝子株式会社 強化ガラス板の切断方法
CN102299201A (zh) * 2011-08-25 2011-12-28 上海市激光技术研究所 太阳电池前电极激光加工方法及装置
JP6018744B2 (ja) * 2011-11-02 2016-11-02 日酸Tanaka株式会社 レーザ切断方法及びレーザ切断装置
JP5964604B2 (ja) * 2012-02-09 2016-08-03 株式会社ディスコ レーザー加工装置
JP6034030B2 (ja) * 2012-03-09 2016-11-30 株式会社ディスコ レーザー加工方法およびレーザー加工装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016523713A (ja) 2016-08-12
EP2883648A1 (en) 2015-06-17
WO2015046738A1 (ko) 2015-04-02
TW201527023A (zh) 2015-07-16
CN104684678B (zh) 2017-09-19
TWI574768B (zh) 2017-03-21
EP2883648A4 (en) 2016-02-17
PL2883648T3 (pl) 2020-03-31
EP2883648B1 (en) 2019-09-04
KR101682269B1 (ko) 2016-12-05
CN104684678A (zh) 2015-06-03
KR20150033994A (ko) 2015-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6342480B2 (ja) レーザカッティング装置及びそのカッティング方法
JP7300819B2 (ja) 最適化された範囲の選択的レーザーアブレーションシステム及び方法
CN104972221B (zh) 一种激光加工设备及激光加工寻焦方法
US10166632B1 (en) In-situ laser beam position and spot size sensor and high speed scanner calibration, wafer debonding method
CN104942430B (zh) 激光加工装置以及激光加工方法
KR20100052422A (ko) 유리에서 표면 하부 마크를 만드는 방법
CN110441033B (zh) 基于强度编码调制的相干组束图像测量装置及其测量方法
CN205817104U (zh) 一种去除薄膜或涂层的激光加工设备
US20150090702A1 (en) Laser cutting device and method
CN108747029A (zh) 一种教学型激光雕刻切割机及控制方法、应用
CN103862166A (zh) 一种激光束焦平面的确定方法
TW201043373A (en) Improved method and apparatus for laser machining
US20200324367A1 (en) Method for aligning a plurality of laser lines
CN202667927U (zh) 一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置
JP6644428B2 (ja) レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP6912045B2 (ja) 膜厚測定方法およびその装置
CN103071926A (zh) 用于刻纳米银导电材料的装置及其方法
CN203918227U (zh) 光学影像模组及具有其的激光切割设备
CN105319655A (zh) 一种光学集成芯片与光纤组件的自动耦合方法及系统
US10118341B1 (en) Calibration system and method for additive manufacturing devices
CN203171145U (zh) 用于刻纳米银导电材料的装置
CN108941925A (zh) 飞秒激光加工装置及其加工的1x8脊型光分路器
JP6677407B2 (ja) 断層構造の観測方法、観測装置、及びコンピュータプログラム
KR20180137631A (ko) 3차원 레이저 컷팅 장치
TWI626432B (zh) 光束品質量測裝置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161102

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161115

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170801

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171101

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180417

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180516

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6342480

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250