JP6339925B2 - インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物 - Google Patents
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表1に示す配合組成に従い、実施例及び比較例のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物(レジストインク)を調製した。原料の詳細を以下に示す。
・ソルベントブルー5(オリエント化学製「オイルブルー613」)
・ベーシックブルー7(保土谷化学製「ビクトリアピュアブルーBOH」)
・ソルベントレッド122(BASF製「オラゾールレッド395」)
・ソルベントブルー35(オリエント化学製「オイルブルー2N」)
・ダイレクトブルー87(オリエント化学製「バリファストブルー1621」)
・アシッドブルー9(洛東化学製「ブリリアントブルーFCF」)
[(B)成分:光重合開始剤]
・トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(BASF製「イルガキュアTPO」、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤)
・ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(BASF製「イルガキュア819」、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤)
・2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(BASF製「イルガキュア651」、アルキルフェノン系光重合開始剤)
[(C)成分:カルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステル]
・2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸(共栄社製「ライトアクリレートHOA−HH)
・2−アクリロイロキシエチルコハク酸(共栄社製「ライトアクリレートHOA−MS)
[(D)成分:アミド基を有する重合性モノマー]
・N,N−ジエチルアクリルアミド(KJケミカル製「DEAA」)
・4−アクリロイルモルホリン(KJケミカル製「ACMO」)
[(E)成分:上記以外の多官能(メタ)アクリル酸エステル]
・ジプロピレングリコールジアクリレート(ダイセル製「DPGDA」)
・1,6−ヘキサンジオールジアクリレート(共栄社製「ライトアクリレート1.6HX−A」)
[(F)成分:上記以外の単官能(メタ)アクリル酸エステル]
・フェノキシエチルアクリレート(大阪有機化学製「ビスコート192」)
・イソボニルアクリレート(共栄社製「ライトアクリレート IB−XA」)
・テトラヒドロフルフリルアクリレート(共栄社製「ライトアクリレートTHF−A」)
尚、表1の配合組成の数値は質量部を示している。
上記原料を表1の配合割合で配合し、60℃まで加温し60分攪拌することでレジストインクを得た。
B型粘度計(東京計器製BL型、No.1ローター、60rpm)にて、25℃でのレジストインクの粘度を測定した。また、レジストインクを加温し、粘度が10mPa・sになる温度を測定した。
以下の方法により、試験基板を作製した。レジストインクの塗布には、インクジェット塗布装置(マイクロクラフト社製MJP2013KI−DU)を用いた。インクジェットタンクにレジストインクを投入した。次に、レジストインクの粘度が10mPa・sになるように温度を設定し、銅張積層板の上に、膜厚約20μmになるようにレジストインクを塗布した。塗布後、アイグラフィックス社製メタルハライドランプで、塗膜の紫外線硬化(積算光量400mJ/cm2(オーク製作所製UV−350測定))を行った。塗布パターンとしては、次の2つのパターンで行った。
・塗布パターン1:範囲20mm×70mmのベタ塗り。
・塗布パターン2:櫛形状(ライン幅120μm、スペース幅120μm)。
塗布パターン1の試験基板について、塗膜色調を目視確認して、紫外線照射前の塗膜と比べて色が薄くなっているかどうかを確認した(400mJ/cm2での色抜け)。また、色調の確認後、追加で紫外線を1600mJ/cm2で照射(合計2000mJ/cm2)して、塗膜色調を確認した(2000mJ/cm2での色抜け)。次の基準により、色抜けを判定した。
○:色調変化なし。
△:やや薄くなる(色が抜ける)。
×:完全に色が抜けて無色になる。
塗布パターン1の試験基板について、塗膜硬度に関するJIS K5600−5−4の試験法に準じ、三菱ユニの鉛筆(三菱鉛筆社製)で傷がつかない最も高い硬度を塗膜硬度(鉛筆硬度)とした。
塗布パターン1の試験基板について、塩化第二鉄水溶液中に40℃で60分間浸漬させた後、水洗し、乾燥後、テープ密着性試験を行った。テープ密着性試験では、セロハン粘着テープによるピーリング試験後の塗膜の剥離の状態を目視により、次の基準に従い判定した。
○:剥離を生じなかった。
△:一部剥離を生じた。
×:全面に剥離を生じた。
塗布パターン1の試験基板について、30℃の3%水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、塗膜の膨潤剥離を目視により確認し、次の基準に従い判定した。
○:60秒未満で膨潤剥離した。
△:60秒以上10分未満で膨潤剥離した。
×:10分未満に剥離しなかった。
塗布パターン2の試験基板について、塗膜のライン形状をマイクロスコープで観察し、次の基準に従い判定した。
○:シャープなラインを形成し、サテライト等の飛び散りが発生していない。
△:ラインを形成した。ただし、ラインに僅かな太り細りや、僅かなサテライト等の飛び散りが見られる(パターン形成には影響しない程度)。
×:吐出はするものの、ニジミが大きくラインがつぶれている。
表1に示すように、実施例のレジストインクから得られた塗膜は、比較例のレジストインクから得られた塗膜よりも色抜けが抑制され、インクジェットエッチングレジストとしての物性が良好な結果が得られている。
Claims (5)
- (A)染料と、(B)光重合開始剤と、(C)カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物と、を含有し、
前記(A)染料は、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料、から選ばれる少なくとも1つの染料を含み、
前記(B)光重合開始剤は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を含む、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。 - (D)アミド基を有する重合性モノマーをさらに含有し、
前記(D)アミド基を有する重合性モノマーは、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、及び、4−(メタ)アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも1つを含む、請求項1に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。 - (E)前記(C)成分及び前記(D)成分以外の多官能(メタ)アクリル酸エステルをさらに含有する、請求項1又は2に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
- 25℃での粘度が40mPa・s以下である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
- 非水系である、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
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