JP6337453B2 - 近似光源の設計方法 - Google Patents
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Description
(1)設計装置
図1は、実施の形態1の近似光源の設計方法を実行する設計装置2の一例を示す構成図である。
図2及び3は、実施の形態1の近似光源の設計方法のフローチャートの一例である。図4は、実施の形態1の近似光源40を含む露光装置37の一例を示す図である。
演算部4は先ず、設計データと露光装置の光学条件データを補助記憶部8から読み出し、主記憶部6に記録する(S2)。設計データは、レジスト膜に形成しようとするパターン(または、当該パターンを反転させたパターン)のデータである。演算部4は通信部14を介してネットワーク上の記憶装置から、設計データ及び/又は光学条件データを取得してもよい。
露光光強度分布は、例えばSMO技術により算出される。
―平均化範囲の初期値設定ステップ(S6)―
演算部4は、平均化範囲を定めるサイズ変数Sに初期値を代入する。平均化範囲の初期値は、例えば2である。
演算部4は、ステップ4で算出した露光光強度分布を補助記憶部8から読み出す。演算部4は、読み出した露光光強度分布を例えば2次元配列に変換する。
演算部4は先ず図4に示すように、露光光強度分布が平均化された露光光42をフォトマスク44を介して露光面46に照射して得られる第1マスク像48aの光強度分布を算出する。露光面46は、例えばフォトレジスト膜の表面である。露光光42は例えば、第1レンズ50aにより整形された後、フォトマスク44に照射される。フォトマスク44を透過した露光光42は、例えば第2レンズ50bにより露光面46に投影される。
演算部4は、算出した第1乖離度E1と第1許容値とを比較する。第1許容値は例えば、1未満の数値である。第1許容値は好ましくは、0より大きい0.1以下の値(例えば0.005)である。更に好ましくは、第1許容値は0より大きい0.05以下の値である。
第1乖離度E1が第1許容値以下の場合、演算部4はサイズ変数Sの値を増加させる(S14)。具体的には例えば、演算部4はサイズ変数Sの値に1を加える。その後、演算部4はステップS8に戻る。
演算部4はステップS16に進むとサイズ変数Sの値を、第1乖離度E1が第1許容値を超える直前の値に戻す。具体的には例えば、演算部4はサイズ変数Sから1を引き算する。その後、演算部4はステップS18に進む。
演算部4は、補助記憶部8に記録した露光光強度分布18(ステップS4で算出した露光光強度分布)を改めて読み出す。演算部4は更に、元に戻したサイズ変数Sの値s(例えば、2)にしたがって読み出した露光光強度分布18をs×sの第1ピクセル群22a(図6参照)ごとに分割し、分割した第1ピクセル群22aごとに露光光強度分布18を改めて平均化する。
―露光光強度の2値化ステップ(S20)―
図11及び12は、2値化工程を説明する図である。図11には、2値化前の露光光強度分布24の一例が示されている。図12には、2値化後の露光光強度分布32の一例が示されている。
演算部4は、ステップS20により露光光強度分布が2値化された露光光32をフォトマスク44(図4参照)を介して露光面46に照射して得られる第2マスク像48bの光強度分布とターゲット光強度分布との乖離度(以下、第2乖離度と呼ぶ)を算出する。
演算部4は、ステップ24で算出した複数の第2乖離度E2からその最小値を検出する。演算部4は更に、検出した第2乖離度E2に対応する2値化閾値(例えば、0.3)を導出する。
演算部4は、ステップ24で検出した第2乖離度E2の最小値と許容値とを比較する。上記許容値は好ましくは、第1乖離度E1に対する第1許容値と同じ値である。ステップ24で検出した第2乖離度E2の最小値が上記許容値より大きい場合、演算部4は近似光源の設計を中止する。
ステップ24で検出した第2乖離度E2の最小値が上記許容値以下の場合、演算部4は、平均化工程(S6〜S18)により導出した露光光強度分布24を補助記憶部8から読み出す。その後演算部4はステップ24で導出した2値化閾値により、読み出した露光光強度分布24を改めて2値化する。
図13は、実施の形態1により設計される近似光源52を含む露光装置55の一例を説明する図である。図13に示すように、近似光源52は発光部54と絞り部56とを有している。
実施の形態2は、実施の形態1に類似している。したがって、実施の形態1と共通する部分の説明は省略または簡単にする。
ステップS108は、実施の形態1のステップS8に対応している。ステップS108では、実施の形態1のステップS8の「平均化」の代わりに、「平滑化」が行われる。ステップS106については、後述する。
ステップS110は、実施の形態1のステップS10に対応している。実施の形態1のステップS10では演算部4は、平均化された露光光強度分布24,30により得られる第1マスク像48aに対する第1乖離度E1を導出する。一方、実施の形態2のステップS110では演算部4は、平滑化された露光光強度分布64,66により得られるマスク像(実施の形態1と同様、第1マスク像と呼ぶ)に対する乖離度(実施の形態1と同様、第1乖離度と呼ぶ)を導出する。これ以外の点では、実施の形態1のステップS18と実施の形態2のステップS118は略同じである。
ステップS112は、実施の形態1のステップS12に対応している。ステップS112では、実施の形態1のステップS12と同様に、第1乖離度と許容値(実施の形態1と同様、第1許容値と呼ぶ)とを比較する。
ステップS106は、実施の形態1のステップS6に対応している。演算部4は、平滑化範囲を定めるサイズ変数Sに初期値を代入する。
ステップS114は、実施の形態1のステップS14に対応している。第1乖離度が第1許容値以下の場合、演算部4はサイズ変数Sの値を増加させる(S114)。
ステップS116は、実施の形態1のステップS16に対応している。演算部4は、実施の形態1のステップS16と同様、第1乖離度が第1許容値を超える直前の値にサイズ変数Sの値を戻す。
ステップS118は、実施の形態1のステップS18に対応している。演算部4は露光光強度分布18(ステップS4で算出した露光光分布)を補助記憶部8から読出し、元に戻したサイズ変数Sの値に基づいて、読み出した露光光強度分布18を平滑化する。この時導出される露光光強度分布は、ステップS108で算出した露光光強度分布のうち第1乖離度が第1許容値を超えず更に第2サイズが最も大きい露光光強度分布である。
演算部4は、平滑化工程(S106〜S118)により導出される露光光強度分布を2値化して近似光源の光出射面における光強度分布を導出する(S20〜S28)。演算部4は、導出した近似光源の光強度分布を出力する(S30)。
実施の形態3は、実施の形態1に類似している。したがって、実施の形態1と共通する部分の説明は省略または簡単にする。
ステップS2およびステップS4は、実施の形態1の光強度分布の算出工程(S2〜S4)と同じである。
(2)平均化工程(S202)
ステップS202は、実施の形態1の平均化工程(S6〜S18)と同じである。図22(b)には、ステップS202により平均化された露光光強度分布72の一例が示されている。
ステップS204の手順は、実施の形態2の平滑化工程(S106〜S118)と同じである。ただし平滑化の対象は、平均化された露光光強度分布である。すなわち演算部4は、平均化工程(S202)により平均化された露光光強度分布を平滑化する。
演算部4は、平滑化工程(S204)により導出される露光光強度分布を2値化して、近似光源の光出射面における光強度分布を導出する(S206)。演算部4は、導出した近似光源の光強度分布を出力する(S30)。
実施の形態4は、実施の形態2に類似している。したがって、実施の形態2と共通する部分の説明は省略または簡単にする。
ステップS2およびステップS4は、実施の形態2の光強度分布の算出工程(S2〜S4)と同じである。
ステップS302は、実施の形態2の平滑化工程(S106〜S118)と同じである。
ステップS304の手順は、実施の形態1の平均化工程(S6〜S18)と同じである。ただし平均化の対象は、平滑化された露光光強度分布である。すなわち演算部4は、平滑化工程(S302)により平滑化された露光光強度分布を平均化する。
演算部4は、平均化工程(S304)により導出される露光光強度分布を2値化して、近似光源の光出射面における光強度分布を導出する(S306)。演算部4は、導出した近似光源の光強度分布を出力する(S30)。
実施の形態5は、実施の形態1(特に、2値化工程)に類似している。したがって、実施の形態1と共通する部分の説明は省略または簡単にする。
光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光をフォトマスクを介して露光面に照射して得られる第1マスク像の第2光強度分布と前記第2光強度分布のターゲット光強度分布との差異を定量化した第1乖離度が第1許容値を超えないように、少なくとも第1ピクセル群ごとに平均化され又は平滑化された前記露光光の前記第1光強度分布を導出する第1工程と、
前記第1工程により導出された前記第1光強度分布を、2値化する第2工程とを有する
近似光源の設計方法。
前記平均化は、前記露光光の前記第1光強度分布を分割して前記第1ピクセル群を生成し、前記第1ピクセル群に含まれる各ピクセルの第1光強度を前記第1光強度の第1平均値に変換する処理であり、
前記第1工程では、前記第1ピクセル群の第1サイズを変更しながら前記露光光の前記第1光強度分布を前記平均化し、前記第1サイズを変更しながら前記平均化した前記第1光強度分布のうち前記第1乖離度が前記第1許容値を超えず更に前記第1サイズが最も大きい前記第1光強度分布を導出することを
特徴とする付記1に記載の近似光源の設計方法。
前記平滑化は、前記露光光の前記第1光強度分布に含まれる第1ピクセルごとに前記第1光強度分布から前記第1ピクセルを含む第2ピクセル群を生成し、前記第1ピクセルの第2光強度を前記第2ピクセル群に含まれる各ピクセルの第3光強度の第2平均値に変換する処理であり、
前記第1工程では、前記第2ピクセル群の第2サイズを変更しながら前記第1光強度分布を前記平滑化し、前記第2サイズを変更しながら前記平滑化した前記第1光強度分布のうち前記第1乖離度が前記第1許容値を超えず更に前記第2サイズが最も大きい前記第1光強度分布を導出することを
特徴とする付記1に記載の近似光源の設計方法。
前記2値化は、前記第1工程により導出された前記第1光強度分布に含まれる各ピクセルの第4光強度が2値化閾値より小さい場合には前記第4光強度を第1の値にし、前記第4光強度が前記2値化閾値より大きい場合には前記第4光強度を前記ローレベル値より大きいハイレベル値にする処理であり、
前記第2工程では、前記2値化閾値を変更しながら前記第1工程により導出された前記第1光強度分布を前記2値化し、前記2値化した複数の前記第1光強度分布のうち前記2値化後の前記露光光を前記フォトマスクを介して前記露光面に照射して得られる第2マスク像の第3光強度分布と前記ターゲット光強度分布との第2乖離度が最も小さくなる前記第1光強度分布を導出することを
特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の近似光源の設計方法。
前記第1マスク像を横切る第1線分に沿った前記1光強度分布の強度変化を示す第1プロファイル関数をI1(x)とし、前記ターゲット光強度分布において前記第1線分に対応する第2線分に沿った前記ターゲット光強度分布の強度変化を示す第2プロファイル関数をI2(x)とし、前記第1線分および前記第2線分に沿った座標をxとし、前記第1線分および前記第2線分の始点の座標をsとし、前記第1線分および前記第2線分の終点の座標をeとすると、前記第1乖離度E1は次式
特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載の近似光源の設計方法。
前記第2マスク像を横切る第3線分に沿った前記3光強度分布の強度変化を示す第3プロファイル関数をI3(x)とし、前記ターゲット光強度分布において前記第3線分に対応する第4線分に沿った前記ターゲット光強度分布の強度変化を示す第4プロファイル関数をI4(x)とし、前記第3線分および前記第4線分に沿った座標をxとし、前記第3線分および前記第4線分の始点の座標をsとし、前記第3線分および前記第4線分の終点の座標をeとすると、前記第2乖離度E2は次式
特徴とする付記4に記載の近似光源の近似光源の設計方法。
(付記7)
前記平均化または前記平滑化される前の前記第1光強度分布は、各ピクセルの光強度が多値化され、前記フォトマスクに対応する設計パターンと前記第1マスク像の前記第2光強度分布の差異が極小化するように定められていることを
特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の近似光源の設計方法。
光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光をフォトマスクを介して露光面に照射して得られる第1マスク像の第2光強度分布と前記第2光強度分布の目標とするターゲット光強度分布との差異を定量化した第1乖離度が第1許容値を超えないように、第1ピクセル群ごとに平均化された前記第1光強度分布を導出する第1工程と、
前記第1工程後の前記露光光を前記フォトマスクを介して前記露光面に照射して得られる第3マスク像の第4光強度分布と前記ターゲット光強度分布との差異を定量化した第3乖離度が第2許容値を超えないように前記第1工程後に更に平滑化された前記第1光強度分布を導出する第2工程と、
前記第2工程により導出される前記第1光強度分布を、更に2値化する第3工程とを有する
近似光源の設計方法。
光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光をフォトマスクを介して露光面に照射して得られる第1マスク像の第2光強度分布と前記第2光強度分布の目標とするターゲット光強度分布との差異を定量化した第1乖離度が第1許容値を超えないように、平滑化された前記第1光強度分布を導出する第1工程と、
前記第1工程後の前記露光光を前記フォトマスクを介して前記露光面に照射して得られる第4マスク像の第5光強度分布と前記ターゲット光強度分布との差異を定量化した第4乖離度が第3許容値を超えないように第1ピクセル群ごとに前記第1工程後に更に平均化された前記第1光強度分布を導出する第2工程と、
前記第2工程により導出された前記第1光強度分布を、更に2値化する第3工程とを有する
近似光源の設計方法。
光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光の前記第1光強度分布を、前記第1光強度分布の各ピクセルの画素値をローレベル値又はハイレベル値のいずれか一方に変換するための2値化閾値を変更しながら2値化し、
前記2値化された複数の前記第1光強度分布のうち、前記2値化後の前記露光光をフォトマスクを介して露光面に照射して得られる第5マスク像の第6光強度分布と前記第6光強度分布の目標とするターゲット光強度分布との差異を定量化した第5乖離度が最も小さくなる前記第1光強度分布を導出する
近似光源の設計方法。
22a・・・第1ピクセル群
22b,122b・・・第2ピクセル群
40・・・露光光源
41・・・光出射面
42,82,84・・・露光光
46・・・露光面
48a・・・第1マスク像
48b・・・第2マスク像
48c・・・第3マスク像
48d・・・第4マスク像
52・・・近似光源
62・・・ピクセル
Claims (8)
- 光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光を、フォトマスクを介して露光面に照射して得られる第1マスク像の第2光強度分布と、前記第2光強度分布のターゲット光強度分布との差異を定量化した第1乖離度が、第1許容値を超えないように、少なくとも第1ピクセル群ごとに平均化され又は平滑化された前記露光光の前記第1光強度分布を導出する第1工程と、
前記第1工程により導出された前記第1光強度分布を、2値化する第2工程とを有する
近似光源の設計方法。 - 前記平均化は、前記露光光の前記第1光強度分布を分割して前記第1ピクセル群を生成し、前記第1ピクセル群に含まれる各ピクセルの第1光強度を前記第1光強度の第1平均値に変換する処理であり、
前記第1工程では、前記第1ピクセル群の第1サイズを変更しながら前記露光光の前記第1光強度分布を前記平均化し、前記第1サイズを変更しながら前記平均化した前記第1光強度分布のうち前記第1乖離度が前記第1許容値を超えず、更に前記第1サイズが最も大きい前記第1光強度分布を導出することを
特徴とする請求項1に記載の近似光源の設計方法。 - 前記平滑化は、前記露光光の前記第1光強度分布に含まれる第1ピクセルごとに前記第1光強度分布から前記第1ピクセルを含む第2ピクセル群を生成し、前記第1ピクセルの第2光強度を前記第2ピクセル群に含まれる各ピクセルの第3光強度の第2平均値に変換する処理であり、
前記第1工程では、前記第2ピクセル群の第2サイズを変更しながら前記第1光強度分布を前記平滑化し、前記第2サイズを変更しながら前記平滑化した前記第1光強度分布のうち前記第1乖離度が前記第1許容値を超えず、更に前記第2サイズが最も大きい前記第1光強度分布を導出することを
特徴とする請求項1に記載の近似光源の設計方法。 - 前記2値化は、前記第1工程により導出された前記第1光強度分布に含まれる各ピクセルの第4光強度が2値化閾値より小さい場合には、前記第4光強度を第1の値にし、前記第4光強度が前記2値化閾値より大きい場合には前記第4光強度を前記第1の値より大きいハイレベル値にする処理であり、
前記第2工程では、前記2値化閾値を変更しながら前記第1工程により導出された前記第1光強度分布を前記2値化し、前記2値化した複数の前記第1光強度分布のうち前記2値化後の前記露光光を、前記フォトマスクを介して前記露光面に照射して得られる第2マスク像の第3光強度分布と前記ターゲット光強度分布との第2乖離度が最も小さくなる前記第1光強度分布を導出することを
特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の近似光源の設計方法。 - 前記第1マスク像を横切る第1線分に沿った前記第1光強度分布の強度変化を示す第1プロファイル関数をI1(x)とし、前記ターゲット光強度分布において、前記第1線分に対応する第2線分に沿った前記ターゲット光強度分布の強度変化を示す第2プロファイル関数をI2(x)とし、前記第1線分および前記第2線分に沿った座標をxとし、前記第1線分および前記第2線分の始点の座標をsとし、前記第1線分および前記第2線分の終点の座標をeとすると、前記第1乖離度E1は次式
特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の近似光源の設計方法。 - 前記第2マスク像を横切る第3線分に沿った前記第3光強度分布の強度変化を示す第3プロファイル関数をI3(x)とし、前記ターゲット光強度分布において、前記第3線分に対応する第4線分に沿った前記ターゲット光強度分布の強度変化を示す第4プロファイル関数をI4(x)とし、前記第3線分および前記第4線分に沿った座標をxとし、前記第3線分および前記第4線分の始点の座標をsとし、前記第3線分および前記第4線分の終点の座標をeとすると、前記第2乖離度E2は次式
請求項4に記載の近似光源の設計方法。 - 光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光を、フォトマスクを介して露光面に照射して得られる第1マスク像の第2光強度分布と、前記第2光強度分布のターゲット光強度分布との差異を定量化した第1乖離度が第1許容値を超えないように、第1ピクセル群ごとに平均化された前記第1光強度分布を導出する第1工程と、
前記第1工程後の前記露光光を、前記フォトマスクを介して前記露光面に照射して得られる第3マスク像の第4光強度分布と、前記ターゲット光強度分布との差異を定量化した第3乖離度が第2許容値を超えないように、前記第1工程後に更に平滑化された前記第1光強度分布を導出する第2工程と、
前記第2工程により導出される前記第1光強度分布を、更に2値化する第3工程とを有する
近似光源の設計方法。 - 光出射面における第1光強度分布がピクセル化された露光光を、フォトマスクを介して露光面に照射して得られる第1マスク像の第2光強度分布と、前記第2光強度分布のターゲット光強度分布との差異を定量化した第1乖離度が第1許容値を超えないように、平滑化された前記第1光強度分布を導出する第1工程と、
前記第1工程後の前記露光光を、前記フォトマスクを介して前記露光面に照射して得られる第4マスク像の第5光強度分布と、前記ターゲット光強度分布との差異を定量化した第4乖離度が第3許容値を超えないように、第1ピクセル群ごとに前記第1工程後に更に平均化された前記第1光強度分布を導出する第2工程と、
前記第2工程により導出された前記第1光強度分布を、更に2値化する第3工程とを有する
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