JP6310794B2 - 放射線検出素子、放射線検出器および放射線検出素子の製造方法 - Google Patents
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Description
CdTeやCdZnTeは、原子番号が比較的大きい元素からなるので、放射線(硬X線やγ線)の検出効率が高い。このため、CdTeやCdZnTeを用いた放射線検出器(以下CdTe系検出器)は、他の化合物半導体を用いたものよりも小型かつ高性能なものとすることができる。
また、CdTe系検出器は、放射線を直接電流に変換する仕組みなので、ヨウ化ナトリウム(NaI)に代表されるルミネッセンスを介した間接的な動作機構のシンチレータ検出器に比べ、検出効率およびエネルギー分解能において優れている。
また、CdTeやCdZnTeは、バンドギャップが大きいので、熱の影響を受けにくく、動作時の漏れ電流が小さい。このため、CdTe系検出器は、室温で動作可能となり、動作させるために冷却装置が必要なシリコン(Si)やゲルマニウム(Ge)を用いた検出器に比べ、装置を小型化でき、更に、高いバイアス電流を印加することで高いエネルギー分解能を発揮することができる(特許文献1,2参照)。
このポラリゼーションについての研究を続けてきた結果、発生するポラリゼーションの程度は、基板の抵抗率と相関していることを見出した。すなわち、基板の抵抗率が高いほど発生するポラリゼーションが大きくなり、抵抗率が低いほど小さくなるという傾向があることが分かった。
一般に、CdTeやCdZnTeの単結晶基板は、製造が容易でなく、部位毎の抵抗値にばらつきが生じ易い。このため、一つの検出素子の中には、ポラリゼーションの発生する程度が大きいピクセルと小さいピクセルが生じることになる。CdTe系検出器は、各ピクセルから出力される各電離電流を合わせて一つの放射線スペクトル(電気信号)を得るようにしているので、各ピクセルの検出感度に差が出ることは、その検出素子を備える放射線検出器の放射線検出性能の低下に繋がってしまう。
一方、基板の抵抗率を全体的に低くすることで、局所的に大きなポラリゼーションが発生するのを防ぐことは可能である。しかしながら、基板全体の抵抗率が低すぎると、検出素子から漏れ出すリーク電流(暗電流)が大きくなって検出素子全体の検出感度が低下(得られるスペクトルが劣化)するので、やはり放射線検出器の放射線検出性能は低いものとなってしまう。
テルル化亜鉛カドミウムの単結晶を基板とする放射線検出素子の製造方法において、テルル、カドミウムおよび亜鉛を溶融させてなり、12重量ppmのインジウムを添加した融液から前記単結晶を成長させ、前記単結晶の、1.4重量ppm以上のインジウムを含有する部位から前記基板を切り出し、前記基板の一方の主面に、前記基板を形成する化合物半導体よりも仕事関数の小さい金属で第1電極を形成し、前記基板の他方の主面に、前記基板を形成する化合物半導体よりも仕事関数の大きい金属で第2電極を形成することを特徴とする。
また、上記発明において、前記融液の上部における温度勾配を0.05℃/cm以上1.0℃/cm以下にし、前記融液の下部における温度勾配を1.0℃/cm以上5.0℃/cm以下にした状態で、前記単結晶を成長させていくようにしてもよい。
また、上記発明において、前記炉の内部にグラファイト板を略水平に配置し、前記容器を前記グラファイト板の下方に位置するように載置して、前記単結晶を成長させ、前記容器を前記グラファイト板の下方に位置させたまま前記単結晶を熱処理するようにしてもよい。
また、上記発明において、前記炉の内部であって前記グラファイト板の下方に、第2のグラファイト板を、前記グラファイト板と対向するように略水平に配置し、前記容器を、前記グラファイト板の下方かつ前記第2のグラファイト板の上方に位置するように載置した状態で、前記単結晶を成長させ、前記容器を前記グラファイト板の下方かつ前記第2のグラファイト板の上方に位置させたまま前記単結晶を熱処理するようにしてもよい。
まず、第1実施形態の放射線検出器1の概略構成について説明する。図1は本実施形態の放射線検出器1を示すブロック図であり、図2は図1の放射線検出器1を構成する本実施形態の放射線検出素子2の斜視図である。
放射線検出器1は、図1に示すように、放射線検出素子2、コンデンサ3、増幅部4で構成されており、外部の電源5(制御部)やデータ生成装置6に接続して用いられる。
基板21は、II−VI族化合物半導体単結晶であるテルル化カドミウム(CdTe)単結晶またはテルル化亜鉛カドミウム(CdZnTe)単結晶で、主面が矩形の薄い板状に形成されている。また、基板21は、1.4wtppm以上のインジウム(In)をドーパントとして含有している。基板21の主面21a,21bは、所定の結晶面(例えば(111)面)となっている。また、700V以上の電圧を印加したときの基板21の抵抗率の面内の相対標準偏差は80%以下となっている。
以下、CdTeとCdZnTeを区別しない場合は、両方を合わせてCd(Zn)Teと表記する。
以下、ピクセル電極22と共通電極23を区別しない場合は、両電極を合わせて電極22,23と表記する。
このように構成された放射線検出器1は、放射線検出素子2の基板21で放射線(硬X線やγ線)を受けると、基板21内で電子正孔対を生成する。生成された電子正孔対は、バイアス電圧により電離電流となって出力される。そして、コンデンサ3および増幅部4で電離電流を電気信号に変換し、データ生成部6に出力する。
次に、上述した放射線検出素子2を製造する方法について説明する。
まず、放射線検出素子2の基板21を形成するCd(Zn)Te単結晶を製造するための単結晶成長炉9の構成について説明する。
るつぼ収納部93aの内側底面には、グラファイト製の円盤94aが配置されており、この円盤94aの上にるつぼCが載置されるようになっている。また、るつぼ収納部93aの内側空間の上部には、グラファイト製の円盤94bが、下方の円盤94aと対向するように配置されている。すなわち、るつぼCがアンプル93内の所定位置に配置されると、るつぼが上下の両円盤94a,94bに挟まれることとなる。該上下の円盤94a,94bはるつぼの径方向の均熱板94として機能するものである。
リザーバ部93bの底には、るつぼ収納部93a内のCd蒸気圧を調節するためのCd95が充填されるようになっている。
本実施形態の放射線検出素子2は、準備工程、結晶育成工程、熱処理工程、切断工程、ラッピング工程、鏡面研磨工程、電極形成工程、ダイシング工程、素子抵抗率測定工程を経て製造される。
一方、製造しようとする単結晶がCdZnTe単結晶である場合には、純度6NのCd、6NのTe、Inに加え、Znを所定量充填する。なお、Inは、単結晶中における濃度がCdTe単結晶を製造する場合と同程度(1.4wtppm以上)となるように量を調節して加える。
なお、「融液の上部」および「融液の下部」の設定については、例えば、融液表面から、融液表面とるつぼ底面との距離の1/3の距離だけ下方の位置をA、融液表面から、融液表面とるつぼ底面との距離の2/3の距離だけ下方の位置をBとしたときに、融液の上部と下部との境界がAとBとの間を外れない範囲で適宜調整する。
ウェハを切り出した後は、ラッピング工程に移る。ラッピング工程では、切り出したウェハの切断面をラッピング用の研磨材で研磨して凹凸を取り除く。
切断面を平坦化した後は、鏡面研磨工程に移る。鏡面研磨工程では、ウェハの研磨面を鏡面研磨用の研磨材で研磨して鏡面に仕上げる。こうして、Cd(Zn)Teウェハが製造される。
放射線検出素子を切り出した後は素子抵抗率測定工程に移る。素子抵抗率測定工程では、切り出した放射線検出素子に電圧を印加して、その素子抵抗率を測定する。そして、測定した素子抵抗率が規定の範囲に入らなかったものを除外する。
以上の各工程を経ることにより、本実施形態の放射線検出素子2が複数製造される。
次に、上述のようにして製造される本実施形態の放射線検出素子2と、従来製法による放射線検出素子との相違点について具体例を挙げながら説明する。
説明に際し、まず、上述した製造方法でCdZnTe単結晶のインゴット(実施例1〜4)を製造し、さらに、従来の製造方法でもCdZnTe単結晶のインゴット(比較例1〜3)を製造した。そして、各インゴットを(111)面に沿って切断して円盤状のウェハW1〜W7をそれぞれ切り出し、さらに、図4(a)に示すように、各ウェハW1〜W7から正方形の基板(以下正方形基板S1〜S7)をそれぞれ切り出した。
Inのドープ量が12wtppmのCdZnTe融液からCdZnTe単結晶インゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.44となる部位から、ウェハW1(In理論値2.02wtppm)を切り出し、更にこのウェハW1から20mm×20mmの正方形基板S1を切り出した。そして、この正方形基板S1に電極を形成して放射線検出素子E1とし、この放射線検出素子E1を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べた。従来、ショットキー型の放射線検出素子を用いた放射線検出器は、バイアス電圧印加後、時間経過と共に電荷収集効率が劣化する傾向を示しやすいと言われてきたが、実施例1の放射線検出素子E1を備えた放射線検出器の場合、バイアス電圧の印加開始から200分間程度、ピークチャンネルの減少などの経時劣化はなく、安定した動作が継続されることが確認できた。
次に、この放射線検出素子E1から4mm×4mmのサンプル素子e1を複数個(5×5=25個分)切り出し、各サンプル素子e1の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の面内の平均値は6.5×109Ωcm、700V印加時の抵抗率の面内の平均値は3.1×1011Ωcm、900V印加時の抵抗率の面内の平均値は1.7×1011Ωcmであり、また、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は11.3%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は0.7%、900V印加時の抵抗率の相対標準偏差は28.1%であった。
Inのドープ量が実施例1と同様のCdZnTe融液から実施例2のCdZnTe単結晶インゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.17となる部位から、ウェハW2(In理論値1.42wtppm)を切り出し、更にこのウェハW2から30mm×30mmの正方形基板S2を切り出した。そして、この正方形基板S2に電極を形成して放射線検出素子E2とし、この放射線検出素子E2を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べたところ、実施例1と同様、バイアス電圧の印加開始から200分間程度、ピークチャンネルの減少などの経時劣化はなかった。
なお、この放射線検出素子E2から4mm×4mmのサンプル素子e2を複数個(7×7=49個分)切り出し、各サンプル素子e2の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の面内の平均値は5.6×109Ωcm、700V印加時の抵抗率の面内の平均値は2.4×1011Ωcm、900V印加時の抵抗率の面内の平均値は1.8×1011Ωcmであり、また、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は30.5%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は69.5%、900V印加時の抵抗率の相対標準偏差は70.7%であった。
Inのドープ量が実施例1と同様のCdZnTe融液から実施例3のCdZnTe単結晶インゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.25となる部位から、ウェハW3(In理論値1.55wtppm)を切り出し、更にこのウェハW3から20mm×20mmの正方形基板S3を切り出した。そして、この正方形基板S3に電極を形成して放射線検出素子E3とし、この放射線検出素子E3を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べたところ、実施例1と同様、バイアス電圧の印加開始から200分間程度、ピークチャンネルの減少などの経時劣化はなかった。
なお、この放射線検出素子E3から4mm×4mmのサンプル素子e3を複数個(5×5=25個分)切り出し、各サンプル素子e3の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の面内の平均値は2.7×109Ωcm、700V印加時の抵抗率の面内の平均値は5.7×1011Ωcm、900V印加時の抵抗率の面内の平均値は5.0×1011Ωcmであり、また、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は80.3%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は75.8%、900V印加時の抵抗率の相対標準偏差は79.3%であった。
Inのドープ量が実施例1と同様で、Znのドープ量を5.0wtppmとしたCdZnTe融液から実施例4のCdZnTe単結晶インゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.33となる部位から、ウェハW4(In理論値1.72wtppm)を切り出し、更にこのウェハW4から20mm×20mmの正方形基板S4を切り出した。そして、この正方形基板S4に電極を形成して放射線検出素子E4とし、この放射線検出素子E4を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べたところ、実施例1と同様、バイアス電圧の印加開始から200分間程度、ピークチャンネルの減少などの経時劣化はなかった。
なお、この放射線検出素子E4から4mm×4mmのサンプル素子e4を複数個(5×5=25個分)切り出し、各サンプル素子e4の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の面内の平均値は1.1×1010Ωcm、700V印加時の抵抗率の面内の平均値は9.2×1010Ωcm、900V印加時の抵抗率の面内の平均値は7.7×1010Ωcmであり、また、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は22.6%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は61.7%、900V印加時の抵抗率の相対標準偏差は75.0%であった。
Inドープ量が2.5wtppmのCdZnTe融液から比較例1のCdZnTe単結晶のインゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.77となる部位から、ウェハW5(In理論値0.94wtppm)を切り出し、更にこのウェハW5から20mm×20mmの正方形基板S5を切り出した。そして、この正方形基板S1に電極を形成して放射線検出素子E5とし、この放射線検出素子E5を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べたところ、バイアス電圧の印加開始から15秒程度と短い時間で経時劣化が始まり、放射線のピーク強度が低下して感度が落ち、長時間の安定動作を確認することはできなかった。
次に、この放射線検出素子E5から4mm×4mmのサンプル素子e5を複数個(5×5=25個分)切り出し、各サンプル素子e5の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は13.4%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は141.1%、900V印加時の相対標準偏差は141.2%であった。
Inのドープ量が0.6wtppmのCdZnTe融液から比較例2のCdZnTe単結晶インゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.63となる部位から、ウェハW6(In理論値0.15wtppm)を切り出し、更にこのウェハW6から10mm×10mmの正方形基板S6を切り出した。そして、この正方形基板S6に電極を形成して放射線検出素子E6とし、この放射線検出素子E6を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べたところ、比較例1と同様、バイアス電圧の印加開始から15秒程度と短い時間で経時劣化が始まってしまった。
なお、この放射線検出素子E6から4mm×4mmのサンプル素子e6を複数個(2×2=4個分)切り出し、各サンプル素子e4の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は2.6%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は141.3%、900V印加時の相対標準偏差は141.3%であった。
Inのドープ量が0.9wtppmのCdZnTe融液から比較例3のCdZnTe単結晶インゴットを製造した。そして、このインゴットの固化率g=0.4となる部位から、ウェハW7(In理論値0.14wtppm)を切り出し、更にこのウェハW7から20mm×20mmの正方形基板S7を切り出した。そして、この正方形基板S7に電極を形成して放射線検出素子E7とし、この放射線検出素子E7を用いて製作した放射線検出器による放射線の検出特性の経時変化を調べたところ、比較例1と同様、バイアス電圧の印加開始から15秒程度と短い時間で経時劣化が始まってしまった。
なお、この放射線検出素子E7から4mm×4mmのサンプル素子e7を複数個(5×5=25個分)切り出し、各サンプル素子e7の抵抗率を測定したところ、0V印加時の抵抗率の相対標準偏差は14.6%、700V印加時の抵抗率の相対標準偏差は164,1%、900V印加時の相対標準偏差は170.7%であった。
また、本実施形態の放射線検出素子2は、ショットキー型の素子であることから、オーッミック型の素子に比べてリーク電流の発生が少ないので、放射線検出素子2に高いバイアス電圧を印加することができる。このため、得られる放射線スペクトルの半値幅が小さくなる、すなわち、放射線の検出精度が高いものとなる。
例えば、本実施形態では、基板21の主面形状を正方形としたが、長方形やその他の形状としてもよく、ピクセル電極22の数や配置は、主面21aの大きさや形状に合わせて決定すればよい。
また、本実施形態では、基板の主面21a,21bを(111)面としたが、これ以外の結晶面としてもよい。
また、本実施形態では、電極22,23を、それぞれ1種類の金属単体で形成したが、合金で形成してもよいし、複数種類の金属を積層するようにしてもよい。
また、本実施形態ではピクセル電極を仕事関数の小さい金属、共通電極を仕事関数の大きい金属でそれぞれ形成したが、共通電極を仕事関数の大きい金属で形成し、ピクセル電極を仕事関数の小さい金属で形成するようにしても良い。
また、放射線検出素子2とデータ生成部6との間に設けられる回路は、所定の電気信号を得られさえすればその構成は任意である。
2 放射線検出素子
21 基板(半導体ウェハ、化合物半導体単結晶)
21a A面(一方の主面)
21b B面(他方の主面)
22 ピクセル電極(第1電極)
23 共通電極(第2電極)
4 増幅部
5 電源
W1〜W7 ウェハ
S1〜S7 正方形基板
E1〜E7 放射線検出素子
e1〜e7 サンプル素子
Claims (8)
- テルル化カドミウム単結晶またはテルル化亜鉛カドミウム単結晶を基板とする放射線検出素子であって、
前記基板の一方の主面に、前記基板を形成する化合物半導体よりも仕事関数の小さい金属で形成された第1電極と、
前記基板の他方の主面に、前記基板を形成する化合物半導体よりも仕事関数の大きい金属で形成された第2電極と、を備え、
前記基板は、
1.4重量ppm以上のインジウムを不純物として含有し、
700V以上の電圧を印加した場合における、基板面内の抵抗率の相対標準偏差が80%以下であることを特徴とする放射線検出素子。 - 700V以上の電圧を印加した場合における、基板面内の抵抗率の平均値が5.7×1011Ωcm以下であることを特徴とする請求項1に記載に記載の放射線検出素子。
- 請求項1または2に記載の放射線検出素子と、
前記放射線検出素子に接続され、前記放射線検出素子にバイアス電圧を印加する電源と、
前記放射線検出素子に接続され、前記放射線検出素子から出力された電気信号を増幅する増幅部と、を備えたことを特徴とする放射線検出器。 - テルル化亜鉛カドミウムの単結晶を基板とする放射線検出素子の製造方法において、
テルル、カドミウムおよび亜鉛を溶融させてなり、12重量ppmのインジウムを添加した融液から前記単結晶を成長させ、
前記単結晶の、1.4重量ppm以上のインジウムを含有する部位から前記基板を切り出し、
前記基板の一方の主面に、前記基板を形成する化合物半導体よりも仕事関数の小さい金属で第1電極を形成し、
前記基板の他方の主面に、前記基板を形成する化合物半導体よりも仕事関数の大きい金属で第2電極を形成することを特徴とする放射線検出素子の製造方法。 - 前記融液の上部に、下方へと単位距離下がる毎に所定温度上昇するような温度勾配を持たせるとともに、前記融液の下部に、下方へと単位距離下がる毎に前記所定温度よりも大きい温度上昇するような温度勾配を持たせた状態で、前記融液全体の温度を下げていくことにより、前記融液の表面から下方に向かって前記単結晶を成長させていくことを特徴とする請求項4に記載の放射線検出素子の製造方法。
- 前記融液の上部における温度勾配を0.05℃/cm以上1.0℃/cm以下にし、
前記融液の下部における温度勾配を1.0℃/cm以上5.0℃/cm以下にした状態で、前記単結晶を成長させていくことを特徴とする請求項5に記載の放射線検出素子の製造方法。 - 前記炉の内部にグラファイト板を略水平に配置し、
前記容器を前記グラファイト板の下方に位置するように載置して、前記単結晶を成長させ、
前記容器を前記グラファイト板の下方に位置させたまま前記単結晶を熱処理することを特徴とする請求項4から6の何れか一項に記載の放射線検出素子の製造方法。 - 前記炉の内部であって前記グラファイト板の下方に、第2のグラファイト板を、前記グラファイト板と対向するように略水平に配置し、
前記容器を、前記グラファイト板の下方かつ前記第2のグラファイト板の上方に位置するように載置した状態で、前記単結晶を成長させ、
前記容器を前記グラファイト板の下方かつ前記第2のグラファイト板の上方に位置させたまま前記単結晶を熱処理することを特徴とする請求項7に記載の放射線検出素子の製造方法。
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