JP6309260B2 - 薄膜封止の製造装置及び薄膜封止の製造方法 - Google Patents

薄膜封止の製造装置及び薄膜封止の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、製造装置及び製造方法に係り、さらに詳細には、薄膜封止の製造装置及び薄膜封止の製造方法に関する。
移動性を基盤とする電子機器が広く使われている。移動用電子機器としては、携帯電話などの小型電子器機以外にも最近になってタブレットＰＣが広く使われている。
このような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像などの視覚情報をユーザに提供するためにディスプレイ装置を含む。最近、ディスプレイ装置を駆動するためのその他の部品が小型化するにつれて、ディスプレイ装置が電子器機で占める比重が段々と増加しつつあり、扁平な状態で所定の角度を持つように曲げられる構造も開発されている。
特に、ディスプレイ装置が前記のようにフレキシブルに形成される場合、ディスプレイ装置の寿命などを考慮してディスプレイ装置の発光部を複数層の薄膜で封止処理できる。この時、前記のような封止処理時に封止薄膜を形成し、封止薄膜は、有機層と無機層とを交互に積層して形成する。このような封止薄膜を形成する有機層及び無機層は、多様な方法でそれぞれ形成される。
韓国特許第１０−１０５５６８８号公報
本発明の実施形態は、有機層及び無機層の形成厚さを調節でき、多様な薄膜設備の真空度を一定に保持する薄膜封止の製造装置及びその製造方法を提供する。
本発明の一側面は、ディスプレイ基板上にスパッタリング工程で第１無機層を形成する第１クラスタと、前記第１クラスタから移送された第１無機層上に、有機物蒸着工程で第１有機層を形成する第２クラスタと、前記第２クラスタから移送された第１有機層上に、化学気相蒸着工程またはプラズマ化学気相蒸着工程で第２無機層を形成する第３クラスタと、を備える薄膜封止の製造装置を提供する。
また、前記第１クラスタ、第２クラスタ及び第３クラスタは、それぞれ複数の工程チャンバを備える。
また、前記第１クラスタの工程チャンバ、前記第２クラスタの工程チャンバ及び前記第３クラスタの工程チャンバそれぞれは、一方向に順番が定められ、同順番の各工程チャンバで前記第１無機層、第１有機層及び前記第２無機層がそれぞれ形成される。
また、前記第１クラスタ、前記第２クラスタ及び前記第３クラスタのうち少なくとも一つは、マスクを保存するマスク保存チャンバを備える。
また、前記第３クラスタに連結されるように設けられ、前記第３クラスタから移送された第２無機層上に、有機物蒸着工程で第２有機層を形成する第４クラスタをさらに備える。
また、前記第４クラスタに連結されるように設けられ、前記第４クラスタから移送された第２有機層上に、化学気相蒸着工程またはプラズマ化学気相蒸着工程で第３無機層を形成する第５クラスタをさらに備える。
また、前記第２クラスタ及び前記第３クラスタは、交互に設けられる。
また、前記第１クラスタ及び前記第２クラスタは、下向き蒸着で前記第１無機層及び前記第１有機層をそれぞれ形成し、前記第３クラスタは、上向き蒸着で前記第２無機層を形成する。
また、前記第１クラスタと前記第２クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つをさらに備える。
また、前記移送チャンバは複数備えられ、前記各移送チャンバは前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、前記第１クラスタ及び前記第２クラスタに連結される。
また、前記ディスプレイ基板の移送時、前記第１クラスタと複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第２クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される。
また、前記第２クラスタと前記第３クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つをさらに備える。
また、前記移送チャンバは複数備えられ、前記各移送チャンバは、前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、それぞれ前記第２クラスタ及び前記第３クラスタに連結される。
また、前記ディスプレイ基板の移送時、前記第２クラスタと前記複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第３クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される。
また、外部から前記ディスプレイ基板を供給され、前記第１クラスタに前記ディスプレイ基板を供給するローディングクラスタをさらに備える。
また、前記第３クラスタに連結され、前記第３クラスタから移送されるディスプレイ基板を外部に搬出するアンローディングクラスタをさらに備える。
また、前記アンローディングクラスタは複数のアンローディングチャンバを備え、前記各アンローディングチャンバは、その内部に前記ディスプレイ基板が存在していないと判断されれば、前記アンローディングクラスタに進入した前記ディスプレイ基板を保存する。
また、前記第３クラスタと前記アンローディングクラスタとを連結し、前記第３クラスタから引き出される前記ディスプレイ基板を反転させるターンモジュールチャンバをさらに備える。
本発明の他の側面は、ディスプレイ基板上に第１無機層をスパッタリング工程で形成する段階と、前記第１無機層上に有機物蒸着工程で第１有機層を形成する段階と、前記第１有機層上に化学気相蒸着工程またはプラズマ化学気相蒸着工程で第２無機層を形成する段階と、を含む。
また、前記第１有機層を形成した後、前記ディスプレイ基板を反転させた後で前記第２無機層を形成する。
また、前記第１無機層、前記第１有機層及び前記第２無機層は、それぞれ複数の工程チャンバを備える第１クラスタ、複数の工程チャンバを備える第２クラスタ及び複数の工程チャンバを備える第３クラスタで形成される。
また、前記第１クラスタの工程チャンバ、前記第２クラスタの工程チャンバ及び前記第３クラスタの工程チャンバそれぞれは、一方向に順番が定められ、同順番の各工程チャンバで前記第１無機層、第１有機層及び前記第２無機層がそれぞれ形成される。
また、前記第１クラスタ、前記第２クラスタ及び前記第３クラスタのうち少なくとも一つは、マスクを保存するマスク保存チャンバを備える。
また、前記第１クラスタと前記第２クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つを通じて、前記第１クラスタから前記第２クラスタへ前記ディスプレイ基板を移送させる。
また、前記移送チャンバは複数備えられ、前記各移送チャンバは、前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、前記第１クラスタ及び前記第２クラスタに連結される。
また、前記ディスプレイ基板の移送時、前記第１クラスタと複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第２クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される。
また、前記第２クラスタと前記第３クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つを通じて、前記ディスプレイ基板を前記第２クラスタから前記第３クラスタへ移送させる。
また、前記移送チャンバは複数備えられ、前記各移送チャンバは、前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、それぞれ前記第２クラスタ及び前記第３クラスタに連結される。
また、前記ディスプレイ基板の移送時、前記第２クラスタと前記複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第３クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される。
また、前記第１有機層を形成する段階及び前記第２無機層を形成する段階は、互いに交互に複数回行われる。
また、前記第１無機層及び前記第１有機層は下向き蒸着で形成され、前記第２無機層は上向き蒸着で形成される。
また、前記第１無機層及び前記第１有機層を形成した後、前記ディスプレイ基板を反転させて前記第２無機層を形成する。
また、前記第１無機層の形成段階前に、ローディングクラスタを通じて外部から前記ディスプレイ基板を供給されて前記第１無機層が形成されるように、前記ディスプレイ基板を供給する段階をさらに含む。
また、前記第２無機層の形成段階後に、前記第２無機層が形成された前記ディスプレイ基板を、アンローディングクラスタを通じて外部に搬出する。
また、前記アンローディングクラスタは複数のアンローディングチャンバを備え、前記各アンローディングチャンバは、その内部に前記ディスプレイ基板が存在していないと判断されれば、前記アンローディングクラスタに進入した前記ディスプレイ基板を保存する。
また、前記アンローディングクラスタへの進入前に、前記ディスプレイ基板を反転させて前記アンローディングクラスタに供給する。
本発明の実施形態は、有機層及び無機層を積層する複数層の薄膜形成時に各層の厚さを制御でき、プラズマ化学気相蒸着の時空間分割真空制御方式により多様な薄膜工程設備の真空度を同じに維持することで、インライン方式のクラスタを形成できる。また、本発明の実施形態は、インライン方式のクラスタを形成することでスパッタリング、フラッシュ蒸着、及びＰＥＣＶＤ工程をインラインで行える。
本発明の一実施形態による薄膜封止の製造装置を示す概念図である。 図１に示された薄膜封止の製造装置により製造されたディスプレイ基板を示す断面図である。 本発明の他の実施形態による薄膜封止の製造装置を示す概念図である。 図３に示された薄膜封止の製造装置により製造されたディスプレイ基板を示す断面図である。 本発明のさらに他の実施形態による薄膜封止の製造装置を示す概念図である。 図５に示された薄膜封止の製造装置により製造されたディスプレイ基板を示す断面図である。
本発明は、添付した図面と共に詳細に後述される実施形態を参照すれば明らかになる。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され、但し、本実施形態は、本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるだけである。一方、本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数型は文言で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で使われる“含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ、ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）”は、該言及された構成要素、段階、動作及び／または素子において、一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。第１、第２などの用語は、多様な構成要素の説明に使われるが、構成要素は用語によって限定されてはならない。用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使われる。
図１は、本発明の一実施形態による薄膜封止の製造装置を示す概念図である。図２は、図１に示された薄膜封止の製造装置により製造されたディスプレイ基板を示す断面図である。
図１及び図２を参考にすれば、薄膜封止の製造装置１００は、ローディングクラスタ１１０、第１移送チャンバＰ１、第１クラスタ１２０、第２移送チャンバＰ２、第２クラスタ１３０、第３移送チャンバＰ３、第１ターンモジュールチャンバＴ１、第３クラスタ１４０、第２ターンモジュールチャンバＴ２、第４移送チャンバＰ４及びアンローディングクラスタ１５０を備える。
ローディングクラスタ１１０は、外部からディスプレイ基板２００を供給されて第１クラスタ１２０にディスプレイ基板２００を供給できる。この時、ローディングクラスタ１１０は、外部からディスプレイ基板２００を供給されて保存するローディングチャンバ１１２を備える。特に、ローディングチャンバ１１２は複数備えられ、複数のローディングチャンバ１１２は、それぞれディスプレイ基板２００を保存する。また、ローディングクラスタ１１０は、ローディングチャンバ１１２と連結される第１搬送チャンバ１１１を備える。この時、複数のローディングチャンバ１１２は、第１搬送チャンバ１１１とそれぞれ連結されるように設けられる。
一方、第１移送チャンバＰ１は、ローディングクラスタ１１０と第１クラスタ１２０とを連結する。この時、第１移送チャンバＰ１は、ローディングクラスタ１１０から第１クラスタ１２０にディスプレイ基板２００を移送させる。
第１クラスタ１２０は、第２搬送チャンバ１２１を備える。また、第１クラスタ１２０は第２搬送チャンバ１２１と連結され、スパッタリング工程を行う工程チャンバである第１スパッタリングチャンバ１２２を備える。この時、第１スパッタリングチャンバ１２２は複数備えられ、複数の第１スパッタリングチャンバ１２２は、それぞれ第２搬送チャンバ１２１に連結されるように形成される。特に、各第１スパッタリングチャンバ１２２は、第１無機層２３１をディスプレイ基板２００上に蒸着する工程を行える。
第１クラスタ１２０は、前記の場合以外にもスパッタリング工程時に必要なマスクを保存する第１マスク保存チャンバ１２３を備える。この時、第１マスク保存チャンバ１２３は、マスクを保存してから自動で第１スパッタリングチャンバ１２２に供給する。
一方、第２移送チャンバＰ２は、第１クラスタ１２０と第２クラスタ１３０とを連結でき、第１クラスタ１２０のディスプレイ基板２００を第２クラスタ１３０に移送させる。
第２クラスタ１３０は、第２移送チャンバＰ２を通じて移送されたディスプレイ基板２００を一時的に保存する第３搬送チャンバ１３１を備える。また、第２クラスタ１３０は、第３搬送チャンバ１３１と連結されてモノマー蒸着する有機物蒸着工程を行う工程チャンバである第１モノマー蒸着チャンバ１３２を備える。この時、第１モノマー蒸着チャンバ１３２は複数備えられ、各第１モノマー蒸着チャンバ１３２は、放射状に第３搬送チャンバ１３１に連結される。特に第１モノマー蒸着チャンバ１３２では、第１無機層２３１上に第１有機層２３２を形成する。
第２クラスタ１３０は、各第１モノマー蒸着チャンバ１３２で必要なマスクを保存する第２マスク保存チャンバ１３３を備える。この時、第２マスク保存チャンバ１３３は、複数のマスクを保存してから各第１モノマー蒸着チャンバ１３２で必要なマスクを供給する。
一方、第２クラスタ１３０と第３クラスタ１４０との間には、第３移送チャンバＰ３及び第１ターンモジュールチャンバＴ１が設けられる。この時、第３移送チャンバＰ３は、第２クラスタ１３０から第１ターンモジュールチャンバＴ１にディスプレイ基板２００を移送させ、第１ターンモジュールチャンバＴ１は、フリップチャンバ状に形成されてディスプレイ基板２００を整列させつつ反転させる。特に、第１ターンモジュールチャンバＴ１は、第１クラスタ１２０及び第２クラスタ１３０で下向き蒸着を行った後で反転させて第３クラスタ１４０に供給することで、上向き蒸着を行えるようにディスプレイ基板２００を用意する。
第３クラスタ１４０は、第１ターンモジュールチャンバＴ１と連結される第４搬送チャンバ１４１を備える。この時、第４搬送チャンバ１４１には、第２無機層２３３を積層する工程チャンバである第１化学気相チャンバ１４２を備える。特に、第１化学気相チャンバ１４２は複数備えられ、複数の第１化学気相チャンバ１４２は、第４搬送チャンバ１４１に放射状に互いに一定間隔離隔して設けられる。
前記のような第１化学気相チャンバ１４２上では、一般的な化学気相蒸着工程を通じて第２無機層２３３を形成するか、またはプラズマ化学気相蒸着工程を通じて第２無機層２３３を形成する。但し、以下では説明の便宜のために、第１化学気相チャンバ１４２の内部で一般的な化学気相蒸着工程を通じて第２無機層２３３を形成する場合を中心として詳細に説明する。
第３クラスタ１４０は、第４搬送チャンバ１４１と連結されるように設けられ、第１化学気相チャンバ１４２で必要なマスクを供給する第３マスク保存チャンバ１４３を備える。この時、第３マスク保存チャンバ１４３は、工程に必要なマスクを保存した後、工程が行われる各第１化学気相チャンバ１４２に供給する。
一方、前記のように形成される第３クラスタ１４０には第２ターンモジュールチャンバＴ２が連結される。特に、第２ターンモジュールチャンバＴ２は第４搬送チャンバ１４１に連結され、工程が完了したディスプレイ基板２００を反転して移送させる。具体的に第２ターンモジュールチャンバＴ２は、前述した第１ターンモジュールチャンバＴ１と類似してフリップチャンバで形成される。
第２ターンモジュールチャンバＴ２には第４移送チャンバＰ４が連結される。第４移送チャンバＰ４は、薄膜封止工程の完了したディスプレイ基板２００をアンローディングクラスタ１５０に移送させる。
アンローディングクラスタ１５０は、第５搬送チャンバ１５１を備える。また、アンローディングクラスタ１５０は、第５搬送チャンバ１５１に連結され、第５搬送チャンバ１５１から移送されるディスプレイ基板２００を外部に搬出するアンローディングチャンバ１５２を備える。この時、アンローディングチャンバ１５２は複数備えられ、複数のアンローディングチャンバ１５２は、第５搬送チャンバ１５１に放射状に設けられる。
一方、以下では、薄膜封止の製造装置１００を通じて薄膜封止工程を行う方法及びディスプレイ基板２００の構造について詳細に説明する。
まず、ディスプレイ基板２００を製造できる。具体的にディスプレイ基板２００は、第１基板２１０、封止部２３０及び発光部２２０を備える。
第１基板２１０上に発光部２２０が形成される。この時、発光部２２０には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が備えられ、これらを覆うようにパッシベーション膜２２１が形成され、このパッシベーション膜２２１上に有機発光素子（ＯＬＥＤ）２２８が形成される。
第１基板２１０はガラス材質を使えるが、必ずしもこれに限定されるものではなく、プラスチック材を使っても、ＳＵＳ、Ｔｉのような金属材を使ってもよい。
第１基板２１０の上面には有機化合物及び／または無機化合物からなるバッファ層２２２がさらに形成されるが、ＳｉＯｘ（ｘ≧１）、ＳｉＮｘ（ｘ≧１）で形成されることができる。
このバッファ層２２２上に、所定のパターンで配列された活性層２２３が形成された後、活性層２２３がゲート絶縁層２２４によって埋め立てられる。活性層２２３はソース領域２２３ａ及びドレイン領域２２３ｃを持ち、その間にチャネル領域２２３ｂをさらに含む。この時、活性層２２３は非晶質シリコンで形成されるが、必ずしもこれに限定されるものではなく、酸化物半導体で形成される。例えば、酸化物半導体は、亜鉛（Ｚｎ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）カドミウム（Ｃｄ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、またはハフニウム（Ｈｆ）のような１２、１３、１４族金属元素及びこれらの組み合わせから選択された物質の酸化物を含む。例えば、半導体で形成される活性層２２３は、Ｇ−Ｉ−Ｚ−Ｏ［（Ｉｎ２Ｏ３）ａ（Ｇａ２Ｏ３）ｂ（ＺｎＯ）ｃ］（ａ、ｂ、ｃは、それぞれａ≧０、ｂ≧０、ｃ＞０の条件を満たす実数）を含む。但し、以下では、説明の便宜のために活性層２２３が非晶質シリコンで形成される場合を中心として詳細に説明する。
このような活性層２２３は、バッファ層２２２上に非晶質シリコン膜を形成した後、これを結晶化して多結晶質シリコン膜で形成し、この多結晶質シリコン膜をパターニングして形成する。前記活性層２２３は、駆動ＴＦＴ（図示せず）、スイッチングＴＦＴ（図示せず）などのＴＦＴ種類によって、そのソース及びドレイン領域２２３ａ、２２３ｃが不純物によってドーピングされる。
ゲート絶縁層２２４の上面には、活性層２２３と対応するゲート電極２２５と、これを埋め立てる階間絶縁層２２６とが形成される。
そして、階間絶縁層２２６及びゲート絶縁層２２４にコンタクトホールを形成した後、階間絶縁層２２６上にソース電極２２７ａ及びドレイン電極２２７ｂを、それぞれソース領域２２３ａ及びドレイン領域２２３ｃにコンタクトされるように形成する。
一方、前記のようにソース／ドレイン電極２２７ａ、２２７ｂと同時に前記反射膜を形成するので、前記ソース／ドレイン電極２２７ａ、２２７ｂは、電気伝導性の良好な材料で光反射可能な厚さに形成されることが望ましい。Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、Ｌｉ、Ｃａ及びこれらの化合物などの金属材からなることが望ましい。
このように形成された前記薄膜トランジスタ及び前記反射膜の上部にはパッシベーション膜２２１が形成され、このパッシベーション膜２２１の上部に有機発光素子（ＯＬＥＤ）２２８の画素電極２２８ａが形成される。この画素電極２２８ａは、パッシベーション膜２２１に形成されたビアホールＨ２によってＴＦＴのドレイン電極２２７ｂにコンタクトされる。前記パッシベーション膜２２１は、無機物及び／または有機物、単層または２層以上に形成されるが、下部膜の折れ曲がりに関係なく、上面が平坦になるように平坦化膜で形成されもし、一方、下部に位置している膜の折れ曲がりに沿って折れ曲がるように形成される。そして、このパッシベーション膜２２１は、共振効果を奏するように透明絶縁体で形成されることが望ましい。
パッシベーション膜２２１上に画素電極２２８ａを形成した後には、この画素電極２２８ａ及びパッシベーション膜２２１を覆うように画素定義膜２２９が有機物及び／または無機物によって形成され、画素電極２２８ａが露出されるように開口される。
そして、少なくとも前記画素電極２２８ａ上に有機層２２８ｂ及び対向電極２２８ｃが形成される。
画素電極２２８ａはアノード電極の機能を行い、対向電極２２８ｃはカソード電極の機能を行うところ、もちろん、これら画素電極２２８ａと対向電極２２８ｃとの極性は逆になってもよい。
画素電極２２８ａは、仕事関数の高い材料で形成されるが、ＩＴＯ、ＩＺＯ、Ｉｎ２Ｏ３、及びＺｎＯなどの透明導電体で形成される。
対向電極２２８ｃは、仕事関数の低いＡｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、Ｌｉ、Ｃａ及びこれらの化合物などの金属材からなるが、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌなどで半透過反射膜になるように薄く形成し、光学的共振後に透光させる。
画素電極２２８ａと対向電極２２８ｃとは、前記有機層２２８ｂによって互いに絶縁されており、有機層２２８ｂに互いに異なる極性の電圧を加えて有機発光層で発光を行わせる。
有機層２２８ｂは、低分子または高分子有機膜が使われる。低分子有機膜を使う場合、正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、正孔輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）、有機発光層（ＥＭＬ：Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、電子輸送層（ＥＴＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）、電子注入層（ＥＩＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）などが単一あるいは複合の構造に積層して形成され、使用可能な有機材料も、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ：ｃｏｐｐｅｒ ｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス−８−ヒドロキシキノリンアルミニウム（Ａｌｑ３）などを始めとして多様に適用できる。これら低分子有機膜は、真空蒸着法で形成される。この時、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層などは共通層であり、赤色、緑色、青色のピクセルに共通で適用される。よって、これら共通層は対向電極２２８ｃのように、全体ピクセルを覆うように形成される。
高分子有機膜の場合には、略正孔輸送層（ＨＴＬ）及び有機発光層（ＥＭＬ）で備えられた構造を持ち、この時、前記正孔輸送層としてＰＥＤＯＴを使い、有機発光層としてＰＰＶ（Ｐｏｌｙ−Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌｅｎｅ）系及びポルリフルオレン系などの高分子有機物質を使い、これをスクリーン印刷やインクジェット印刷方法、ファインメタルマスク工程、レーザー熱転写工程などで形成する。
一方、前記のような有機発光層は多様な形態で形成される。例えば、青色有機発光層、緑有機発光層、赤色有機発光層をそれぞれのサブピクセルに形成し、一つの単位ピクセルを形成する。また、前記のように青色有機発光層、緑有機発光層、赤色有機発光層を形成する以外にも、他の色の有機発光層をサブピクセルに形成することもできる。特に、青色有機発光層、緑有機発光層、赤色有機発光層以外にも、青色有機発光層、緑有機発光層、赤色有機発光層を積層し、白色有機発光層をサブピクセルに形成して一つの単位ピクセルに形成することもできる。
それだけではなく、前述した実施形態では有機発光層において、各ピクセル別に別途の発光物質が形成された場合を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。有機発光層は、ピクセルの位置に関係なく全体ピクセルに共通に形成される。この時、有機発光層は、例えば、赤色、緑及び青色の光を放出する発光物質を含む層が垂直に積層または混合して形成される。もちろん、白色光を放出できるならば、他の色の組み合わせが可能であるということはいうまでもない。また、前記放出された白色光を所定のカラーに変換する色変換層やカラーフィルタをさらに備える。
この時、前記のような有機層２２８ｂは必ずしもこれに限定されるものではなく、多様な実施形態が適用できるということはいうまでもない。但し、以下では説明の便宜のために、青色有機発光層、緑有機発光層及び赤色有機発光層がサブピクセルに形成されて一つの単位ピクセルを形成する場合を中心として詳細に説明する。
一方、前記のように発光部２２０が形成された第１基板２１０を用意した後、第１基板２１０を薄膜封止の製造装置１００に進入させて封止部２３０を形成する。この時、封止部２３０は前述したように、第１無機層２３１、第１有機層２３２及び第２無機層２３３を順次に積層して形成する。
具体的に、第１有機層２３２は高分子で形成され、望ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、エポキシ、ポリエチレン及びポリアクリレートのうちいずれか一つで形成される単一膜または積層膜である。さらに望ましくは、第１有機層２３２はポリアクリレートで形成され、具体的には、ジアクリレート系モノマーとトリアクリレート系モノマーとを含むモノマー組成物が高分子化されたものを含む。前記モノマー組成物にモノーアクリレート系モノマーがさらに含まれる。また、前記モノマー組成物にＴＰＯのような公知の光開始剤がさらに含まれるが、これに限定されるものではない。
第１無機層２３１及び第２無機層２３３は、金属酸化物または金属窒化物を含む単一膜または積層膜でありうる。具体的に、第１無機層２３１及び第２無機層２３３は、ＳｉＮｘ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２のうちいずれか一つを含む。この時、第２無機層２３３は発光部２２０への透湿を防止するように形成される。
一方、発光部２２０と第１無機層２３１との間にＬｉＦを含むハロゲン化金属層がさらに含まれる。前記ハロゲン化金属層は、第１無機層２３１をスパッタリング工程で形成する時に発光部２２０の損傷を防止する。
また、第１有機層２３２は、第２無機層２３３より面積が狭いことを特徴とする。この時、第１有機層２３２は、前記第２無機層２３３により完全に覆われることを特徴とする。
前記のような封止部２３０を形成する方法を調べれば、まず、発光部２２０が形成される第１基板２１０をローディングチャンバ１１２に装入する。この時、装入方法は多様な方法で行える。具体的に、カセットに発光部２２０が形成された第１基板２１０を積載した後、ローディングチャンバ１１２に前記カセットを装入する。また、外部のロボットアームなどの移送ユニットで、発光部２２０が形成された第１基板２１０をローディングチャンバ１１２に供給する。
一方、前記のように供給された第１基板２１０は、ローディングチャンバ１１２から第１搬送チャンバ１１１に供給される。この時、第１搬送チャンバ１１１にはロボットアームなどが設けられ、第１基板２１０を移動させる。特に、前記のようにローディングチャンバ１１２から第１搬送チャンバ１１１に第１基板２１０を移送させる場合、移送前にローディングチャンバ１１２と第１搬送チャンバ１１１との圧力が一致するように制御した後で移送させる。
前記のように第１搬送チャンバ１１１に移送された第１基板２１０は、再び第１搬送チャンバ１１１から第１移送チャンバＰ１に移送される。この時、第１基板２１０の移送時、第１搬送チャンバ１１１と第１移送チャンバＰ１との内部圧力が一定になるように制御される。
第１移送チャンバＰ１は、第１基板２１０を再び第１クラスタ１２０の第２搬送チャンバ１２１に移送させる。この時、第１基板２１０の移送時、第１移送チャンバＰ１と第２搬送チャンバ１２１との内部圧力は一定に維持される。
前記のように移送された第１基板２１０は、第２搬送チャンバ１２１から複数の第１スパッタリングチャンバ１２２のうち一つに装入される。この時、第１基板２１０が第１スパッタリングチャンバ１２２に装入される順序は、既定でありうる。例えば、複数の第１スパッタリングチャンバ１２２は、一方向に順番が定められる。また、各第１スパッタリングチャンバ１２２は、ＩＤが付与される。この時、複数の第１スパッタリングチャンバ１２２の順序を定める方法は前記に限定されず、多様な方法に設定される。但し、以下では説明の便宜のために一方向に順番が定められる場合を中心として詳細に説明する。
前記のように順番が定められた第１スパッタリングチャンバ１２２には、第１基板２１０に付与されるＩＤなどによって第１基板２１０が装入される。特に第１基板２１０に付与されるＩＤと第１スパッタリングチャンバ１２２の順番とが一致するように、第１基板２１０が第１スパッタリングチャンバ１２２に進入する。
一方、前記のようにスパッタリング工程を通じて第１無機層２３１を形成する場合、スパッタリング工程に使われるマスクは、第１マスク保存チャンバ１２３からスパッタリング工程が行われる第１スパッタリングチャンバ１２２に移送される。この時、マスクは、複数の第１マスク保存チャンバ１２３のうち少なくとも一つにそれぞれ進入する。特にマスクを進入させる順序は、前述したように、スパッタリング工程が行われる第１スパッタリングチャンバ１２２に予め移送されもよく、第１基板２１０の進入前に移送させてもよい。また、前記に限定されず、マスクが第１基板２１０と同時に進入してもよい。
一方、第１基板２１０が第１スパッタリングチャンバ１２２に進入した後、第１スパッタリングチャンバ１２２は、発光部２２０上に第１無機層２３１を形成する。この時、第１無機層２３１は前述した通りであるので、詳細な説明は略する。
前記のように第１無機層２３１の形成が完了すれば、第１スパッタリングチャンバ１２２から第２搬送チャンバ１２１に第１基板２１０が移送される。この時、第１スパッタリングチャンバ１２２と第２搬送チャンバ１２１との圧力は同一になるように制御される。
第２搬送チャンバ１２１は、第１無機層２３１が形成された第１基板２１０を第２移送チャンバＰ２に移送させる。この時、移送する方法は、ロボットアームなどを通じて移送させる。特に第２搬送チャンバ１２１と第２移送チャンバＰ２とは、内部の圧力を同じに維持した状態で、第１基板２１０を第２搬送チャンバ１２１から第２移送チャンバＰ２に移送させる。
一方、前記のように移送された第１基板２１０は、第２クラスタ１３０に移送される。この時、第２移送チャンバＰ２と連結された第３搬送チャンバ１３１に第１基板２１０は移送され、第１基板２１０の移送時に第２移送チャンバＰ２と第３搬送チャンバ１３１との圧力は同じになるように維持される。
前記のように第３搬送チャンバ１３１に移送された第１基板２１０は、第３搬送チャンバ１３１から第１モノマー蒸着チャンバ１３２に移送される。この時、複数の第１モノマー蒸着チャンバ１３２のうち一つに第１基板２１０が移送される方法は、前述した複数の第１スパッタリングチャンバ１２２のうち一つに第１基板２１０が移送される方法と同様である。特に、複数の第１モノマー蒸着チャンバ１３２は、複数の第１スパッタリングチャンバ１２２と同順に順番が定められるように設定される。
第３搬送チャンバ１３１と第１モノマー蒸着チャンバ１３２とは、互いに同じ圧力を維持するように設定される。第１モノマー蒸着チャンバ１３２は、第１無機層２３１上に第１有機層２３２を形成する。具体的に、第１モノマー蒸着チャンバ１３２の内部に第１基板２１０が装入されれば、ＵＶや熱を加える時に高分子化されるモノマー（単量体）及び光開始剤をフラッシュ蒸発器を通じて蒸着する。
前記過程が完了すれば、前記単量体が蒸着された面にＵＶまたは熱を加えて硬化させることで前記単量体を高分子化させ、ポリマー状の第１有機層２３２を形成する。特に、第１有機層２３２は前述した通りであるので、詳細な説明は略する。
この時、第１有機層２３２を形成するために使われるマスクの場合、第２マスク保存チャンバ１３３に保存された状態で第１モノマー蒸着チャンバ１３２に供給される。この時、第２マスク保存チャンバ１３３から第１モノマー蒸着チャンバ１３２にマスクを供給する方法は、前述した第１マスク保存チャンバ１２３から第１スパッタリングチャンバ１２２にマスクを供給する方法と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、前記のように第１無機層２３１上に第１有機層２３２を形成した後で第３搬送チャンバ１３１に移動した第１基板２１０は、再び第３搬送チャンバ１３１から第３移送チャンバＰ３に移送される。この時、第１基板２１０の移送時、第３搬送チャンバ１３１と第３移送チャンバＰ３との内部圧力が同一に制御される。
前記の過程が完了すれば、第３搬送チャンバ１３１から第１ターンモジュールチャンバＴ１に第１基板２１０を供給する。この時、第１ターンモジュールチャンバＴ１は、第１基板２１０を１８０°反転させる。具体的に、第１クラスタ１２０及び第２クラスタ１３０の場合、第１無機層２３１及び第１有機層２３２をそれぞれ下側から上側に蒸着物質を移動させて蒸着させる下向き蒸着方式であり、第３クラスタ１４０の場合、第２無機層２３３を上側から下側に蒸着物質を移動させて蒸着させる上向き蒸着方式であるため、上向き蒸着のために第１基板２１０を１８０°反転させる。
前記のように第１ターンモジュールチャンバＴ１で第１基板２１０を反転させた後、第４搬送チャンバ１４１に第１基板２１０を供給する。この時、第１ターンモジュールチャンバＴ１と第４搬送チャンバ１４１とは、互いに内部圧力が同じになるように形成される。
一方、第４搬送チャンバ１４１に移送された第１基板２１０は、再び第１化学気相チャンバ１４２に移送される。この時、第４搬送チャンバ１４１と第１化学気相チャンバ１４２とは、互いに内部圧力が同じになるように制御される。
前記のように第２無機層２３３が蒸着される場合、第１化学気相チャンバ１４２で必要なマスクは第３マスク保存チャンバ１４３から供給される。この時、第３マスク保存チャンバ１４３の動作は、第１マスク保存チャンバ１２３または第２マスク保存チャンバ１３３と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、前記のように第２無機層２３３の蒸着が完了すれば、第４搬送チャンバ１４１から第２ターンモジュールチャンバＴ２に封止部２３０が形成されたディスプレイ基板２００を移送する。この時、第２ターンモジュールチャンバＴ２は、ディスプレイ基板２００を再び１８０°反転させることで、元の状態に復帰させる。
前記のように元の状態に復旧された後、ディスプレイ基板２００は、第２ターンモジュールチャンバＴ２から第４移送チャンバＰ４を通じて第５搬送チャンバ１５１に移送される。この時、第４移送チャンバＰ４から第５搬送チャンバ１５１に移送される時、第２ターンモジュールチャンバＴ２と第４移送チャンバＰ４との間の内部圧力を同じに維持した状態で移送した後、第４移送チャンバＰ４と第５搬送チャンバ１５１との内部圧力を同じに維持し、最終的に第５搬送チャンバ１５１に移送させる。
前記のような過程が完了すれば、発光部２２０での封止部２３０の形成を完了してディスプレイ基板２００を製造する。前記のように製造されたディスプレイ基板２００は、第５搬送チャンバ１５１からアンローディングチャンバ１５２に装入されて保管される。この時、第５搬送チャンバ１５１とアンローディングチャンバ１５２とは、互いに内部圧力が同じになるように制御された状態でディスプレイ基板２００が移送される。
一方、前記のようにアンローディングチャンバ１５２に完成されたディスプレイ基板２００を装入する方法は多様である。例えば、アンローディングチャンバ１５２に順序を既に設定して制御され、ランダムに選定された一つのアンローディングチャンバ１５２にディスプレイ基板２００がいずれも装入されれば、他のアンローディングチャンバ１５２でディスプレイ基板２００を保存するように制御されることもできる。また、アンローディングチャンバ１５２には一つのディスプレイ基板２００が保存され、ディスプレイ基板２００がないと判断されれば、ランダムにディスプレイ基板２００を第５搬送チャンバ１５１から移送することもできる。
したがって、前記のような薄膜封止の製造装置１００は、薄膜封止工程においてインライン状の作業を行えるため、薄膜封止工程にかかる時間を最適化する。
また、薄膜封止の製造装置１００は、複数層薄膜封止の形成時に各層の厚さを制御でき、上向き成膜と下向き成膜とを同時に行えるため、複数層の薄膜封止を簡単に形成できる。
特に薄膜封止の製造装置１００は、ローディングクラスタ１１０及びアンローディングクラスタ１５０を備えることで、一つのラインで薄膜封止を形成して生産性を高める。
図３は、本発明の他の実施形態による薄膜封止の製造装置３００を示す概念図である。図４は、図３に示された薄膜封止の製造装置３００により製造されたディスプレイ基板４００を示す断面図である。
図３及び図４を参考にすれば、ローディングクラスタ（図示せず）、第１移送チャンバＰ１、第１クラスタ３２０、第２移送チャンバＰ２、第１ターンモジュールチャンバＴ１、第３移送チャンバＰ３、第２クラスタ３３０、第４移送チャンバＰ４、第２ターンモジュールチャンバＴ２、第５移送チャンバＰ５、第３クラスタ３４０、第６移送チャンバＰ６、第３ターンモジュールチャンバＴ３、第７移送チャンバＰ７、第４クラスタ３６０、第８移送チャンバＰ８、第４ターンモジュールチャンバＴ４、第９移送チャンバＰ９、第５クラスタ３７０、第１０移送チャンバＰ１０、第５ターンモジュールチャンバＴ５、第１１移送チャンバＰ１１及びアンローディングクラスタ（図示せず）を備える。
この時、第１移送チャンバＰ１ないし第１１移送チャンバＰ１１は、前記図１及び図２で説明した第１移送チャンバＰ１ないし第４移送チャンバＰ４と同一または類似して形成され、同一または類似した方法でディスプレイ基板４００を移送させることができるため、以下では詳細な説明は略する。
また、第１ターンモジュールチャンバＴ１ないし第５ターンモジュールチャンバＴ５は、前記図１及び図２で説明した第１ターンモジュールチャンバＴ１及び第２ターンモジュールチャンバＴ２と同一または類似して形成され、同一または類似した方法でディスプレイ基板４００を整列または反転させて移送させることができるため、以下では詳細な説明は略する。
一方、前記ローディングクラスタ及び前記アンローディングクラスタの場合、前記図１及び図２で説明した通りに形成されるため、以下では詳細な説明は略する。また、前記ローディングクラスタ及び前記アンローディングクラスタは、薄膜封止の製造装置３００に備えられるか、または備えられないため、以下では、説明の便宜のために前記ローディングクラスタ及び前記アンローディングクラスタのない場合を中心として詳細に説明する。
第１クラスタ３２０は、第２搬送チャンバ３２１、第１スパッタリングチャンバ３２２及び第１マスク保存チャンバ３２３を備える。この時、第１クラスタ３２０は、前記図１及び図２で説明した通りに、または類似して形成されるため、詳細な説明は略する。
また、第２クラスタ３３０は、第３搬送チャンバ３３１、第１モノマー蒸着チャンバ３３２及び第２マスク保存チャンバ３３３を備える。この時、第２クラスタ３３０は、前記図１及び図２で説明した通りに、または類似して形成されるため、詳細な説明は略する。
第３クラスタ３４０は、第４搬送チャンバ３４１、第１化学気相チャンバ３４２及び第３マスク保存チャンバ３４３を備える。この時、第３クラスタ３４０は、前記図１及び図２で説明した通りに、または類似して形成されるため、詳細な説明は略する。但し、以下では説明の便宜のために、第１化学気相チャンバ３４２では、プラズマ化学気相蒸着工程によって第２無機層４３３が形成される場合を中心として詳細に説明する。
一方、第４クラスタ３６０は、第６搬送チャンバ３６１、第２モノマー蒸着チャンバ３６２、及び第４マスク保存チャンバ３６３を備える。この時、第４クラスタ３６０は、第２無機層４３３上に第２有機層４３４を形成する。特に、第４クラスタ３６０は、第２クラスタ３３０と類似して形成され、第２有機層４３４は、第１有機層４３２と同様に形成されるため、詳細な説明は略する。
第５クラスタ３７０は、第７搬送チャンバ３７１、第２化学気相チャンバ３７２及び第５マスク保存チャンバ３７３を備える。この時、第５クラスタ３７０は、第２有機層４３４上に第３無機層４３５を形成する。特に、第５クラスタ３７０は、第３クラスタ３４０と類似して形成され、第３無機層４３５は、第２無機層４３３と同様に形成されるため、詳細な説明は略する。
一方、以下では、薄膜封止の製造装置３００により薄膜封止工程を行う方法及びディスプレイ基板４００の構造について詳細に説明する。
先ず、ディスプレイ基板４００を製造する。具体的にディスプレイ基板４００は、第１基板４１０、封止部４３０及び発光部４２０を備える。この時、第１基板４１０及び発光部４２０は、前記図１及び図２で説明した第１基板２１０及び発光部２２０と同一であるため、詳細な説明は略する。
一方、前記のように発光部４２０が形成された第１基板４１０を用意した後、第１基板４１０を薄膜封止の製造装置３００に装入して封止部４３０を形成する。この時、封止部４３０は、少なくとも２つの無機層の間に少なくとも１つの有機層が挿入されたサンドイッチ構造を少なくとも一つ備える。また、封止部４３０は、少なくとも２つの有機層の間に少なくとも一つの無機層が挿入されたサンドイッチ構造を少なくとも一つ備える。
特に、封止部４３０は、前述したように第１無機層４３１、第１有機層４３２、第２無機層４３３、第２有機層４３４及び第３無機層４３５を順次に積層して形成する。
具体的に、第１有機層４３２及び第２有機層４３４は高分子で形成され、望ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、エポキシ、ポリエチレン及びポリアクリレートのうちいずれか一つで形成される単一膜または積層膜でありうる。さらに望ましくは、第１有機層４３２及び第２有機層４３４は、ポリアクリレートで形成され、具体的には、ジアクリレート系モノマー及びトリアクリレート系モノマーを含むモノマー組成物が高分子化されたものを含む。前記モノマー組成物にモノーアクリレート系モノマーがさらに含まれる。また、前記モノマー組成物にＴＰＯのような公知の光開始剤がさらに含まれるが、これに限定されるものではない。
第１無機層４３１ないし第３無機層４３５は、金属酸化物または金属窒化物を含む単一膜または積層膜である。具体的に、第１無機層４３１ないし第３無機層４３５は、ＳｉＮｘ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２のうちいずれか一つを含む。この時、第３無機層４３５は、発光部４２０への透湿を防止するように形成される。
一方、発光部４２０と第１無機層４３１との間にＬｉＦを含むハロゲン化金属層がさらに含まれる。前記ハロゲン化金属層は、第１無機層４３１をスパッタリング工程で形成する時、発光部４２０の損傷を防止する。
また、第１有機層４３２は、第２無機層４３３より面積が狭いことを特徴とし、第２有機層４３４も第３無機層４３５より面積が狭い。また、第１有機層４３２は、第２無機層４３３によって完全に覆われることを特徴とし、第２有機層４３４も第３無機層４３５によって完全に覆われる。
前記のような封止部４３０を形成する方法を説明すれば、薄膜封止の製造装置３００の全体の真空度を５×１０−４Ｐａ以下に維持した後、各第１マスク保存チャンバ３２３ないし第５マスク保存チャンバ３７３内のマスクをそれぞれ第１スパッタリングチャンバ３２２、第１モノマー蒸着チャンバ３３２、第１化学気相チャンバ３４２、第２モノマー蒸着チャンバ３６２及び第２化学気相チャンバ３７２の内部にロボットアームを用いて移動させた後、各チャンバの内部に装着させる。
前記の過程が完了すれば、第１移送チャンバＰ１に発光部４２０が形成された第１基板４１０を装着した後、第２搬送チャンバ３２１と真空度同じに維持した後、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第２搬送チャンバ３２１に移動させる。この時、第１基板４１０はロボットを使って移動させる。
一方、第２搬送チャンバ３２１と、第１無機層４３１を形成するスパッタリング工程を行う第１スパッタリングチャンバ３２２のうち一つの真空度が同一になれば、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第１スパッタリングチャンバ３２２に移動させる。第１基板４１０は、既に装着されたマスクと基板ホルダとの間に装入した後、ビジョンの連結されたアライン器具によって第１基板４１０のマーク及びマスクの開放マークを活用して精密アラインを行った後、第１基板４１０とマスクとを合着する。
一方、第１スパッタリングチャンバ３２２の内部は、スパッタリング工程のための工程ガスを注入して真空度を１×１０−１〜１×１０−２Ｐａに維持した後、カソードに電極を印加してプラズマ放電を形成する。この時、第１スパッタリングチャンバ３２２の内部で第１基板４１０またはカソードを移送しつつ成膜工程を行う。
前記の過程が進む間に第１無機層４３１の目標厚さに到逹すれば、第１基板４１０またはカソードを待ち領域に移動させた後で放電を止め、工程ガスの投入を中止した後で真空排気系のコンダクタンスを制御して真空度を第２搬送チャンバ３２１と同じになるように維持させる。この時、第１基板４１０及びマスクは脱着して第１基板４１０を吐出できる位置に移動させる。
前記の過程が完了すれば、第１基板４１０を第１スパッタリングチャンバ３２２から第２搬送チャンバ３２１に移動させる。また、第２搬送チャンバ３２１と第２移送チャンバＰ２との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第２搬送チャンバ３２１から第２移送チャンバＰ２に移動させる。
第２移送チャンバＰ２と第１ターンモジュールチャンバＴ１との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第１ターンモジュールチャンバＴ１に移動させ、第１ターンモジュールチャンバＴ１では第１基板４１０を１８０°回転させて、第１基板４１０の投入位置の変化を防止する。
一方、前記のように第１ターンモジュールチャンバＴ１の作動が完了すれば、第１ターンモジュールチャンバＴ１と第３移送チャンバＰ３との真空度が同じになるように制御し、第１基板４１０を第３移送チャンバＰ３に移動する。
この時、第３移送チャンバＰ３と第３搬送チャンバ３３１との真空度を同じに維持した後、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第３搬送チャンバ３３１に移動させる。この時、第１基板４１０移動はロボットを活用する。
前記の過程が完了すれば、第３搬送チャンバ３３１と、第１有機層４３２を形成する有機物蒸着工程である複数の第１モノマー蒸着チャンバ３３２のうち一つの真空度が同一になれば、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第１モノマー蒸着チャンバ３３２に移動する。この時、第１基板４１０は、既に装着されたマスクと基板ホルダとの間に装入した後、ビジョンの連結されたアライン器具によって第１基板４１０のマーク及びマスクの開放マークを活用して精密アラインを行った後、第１基板４１０とマスクとを合着する。
前記のように有機物蒸着工程が行われる第１モノマー蒸着チャンバ３３２の内部は、有機物蒸着工程のための工程でガス注入して真空度を１×１０−１〜１×１０−２Ｐａに維持した後、蒸気化した有機物を受け入れている蒸発器のノズル部を開放する。この時、第１モノマー蒸着チャンバ３３２の内部では、第１基板４１０またはソース部を移送させつつ成膜及び硬化工程を行う。
特に、前述したように第１モノマー蒸着チャンバ３３２の内部に第１基板４１０が装入されれば、ＵＶや熱を加える時に高分子化されるモノマー（単量体）及び光開始剤を、フラッシュ蒸発器を通じて蒸着する。
前記の過程が完了すれば、前記単量体の蒸着面にＵＶまたは熱を加えて硬化させることで前記単量体を高分子化させ、ポリマー形態の第１有機層４３２を形成する。
一方、前記の工程が進む間に、目標厚さに到逹すれば、第１基板４１０またはソース部を待ち領域に移動させた後、ノズル部を閉じて工程ガスの投入を中止した後、真空排気系のコンダクタンスを制御して第１モノマー蒸着チャンバ３３２の内部の真空度を第３搬送チャンバ３３１と同じに維持させる。この時、第１基板４１０及びマスクは脱着して第１基板４１０を吐出できる位置に移動させる。
前記のように真空度が同一になれば、第１基板４１０は、第１モノマー蒸着チャンバ３３２から第３搬送チャンバ３３１に移動する。また、第３搬送チャンバ３３１と第４移送チャンバＰ４との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第３搬送チャンバ３３１から第４移送チャンバＰ４に移動させる。
一方、第４移送チャンバＰ４と第２ターンモジュールチャンバＴ２との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第２ターンモジュールチャンバＴ２に移動させ、第２ターンモジュールチャンバＴ２では第１基板４１０を１８０°回転させて、第１基板４１０の投入位置の変化を防止する。
前記の過程が完了すれば、第２ターンモジュールチャンバＴ２と第５移送チャンバＰ５との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第５移送チャンバＰ５に移動する。また、第５移送チャンバＰ５と第３クラスタ３４０との真空度を同じに維持した後、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第３クラスタ３４０に移動させる。特に第１基板４１０は、第４移送チャンバＰ４から第４搬送チャンバ３４１に移動する。この時、第１基板４１０移動はロボットを活用する。
前記のように、第４搬送チャンバ３４１及び第２無機層４３３を形成するプラズマ化学気相蒸着（ＰＥＣＶＤ）工程を行う複数の第１化学気相チャンバ３４２のうち一つで、時空間分割方式を用いて真空排気系のコンダクタンスを制御して真空度が同一になれば、ゲート弁を開放して基板を第１化学気相チャンバ３４２に移動する。第１基板４１０は既に装着されたマスクと基板ホルダとの間に装入した後、ビジョンの連結されたアライン器具によって第１基板４１０のマーク及びマスクの開放マークを活用して精密アラインを行った後、第１基板４１０とマスクとを合着する。
次いで、高振空ポンプに連結されたコンダクタンス制御用弁を完全に閉じた後、プラズマ発生部で放電ガスであるＡｒを注入して１〜２００Ｐａを維持した後、電源パワーを３〜５Ｗ／ｃｍ２に上昇させてプラズマを発生させる。
この時、反応物質、反応ガス、及び移送ガスの供給を、プラズマ発生源を通じて供給して１〜２００Ｐａの圧力を合わせる。反応物質は、プラズマ領域に注入されてラジカルを形成する（ＳｉＮ生成ガス：ＳｉＨ４／ＮＨ３／Ｎ２／Ｈ２／Ａｒ利用）。前記のような環境で成膜工程を行うる。この時、成膜速度は２００ｎｍ／ｍｉｎ以内に維持し、ＳｉＨ４（５０〜５００ｓｃｃｍ）／ＮＨ３（３００〜２０００ｓｃｃｍ）／Ｎ２（３００〜２０００ｓｃｃｍ）のガスを連続供給する。
一方、前記のような工程を行って第２無機層４３３の目標厚さに到逹すれば、反応に寄与したガスの供給を中断した後、プラズマパワーを１Ｗ／ｃｍ２に多段にかけて下降させる。次いで、第１基板４１０とマスクとは脱着して基板を吐出できる位置に移動させる。これと同時に、時分割空間制御により高振空ポンプに設けられたコンダクタンス制御用弁を開放した後、第１化学気相チャンバ３４２の真空度を第４搬送チャンバ３４１と同じに維持させる。この時、第１基板４１０は、第１化学気相チャンバ３４２から第４搬送チャンバ３４１に移動する。
一方、前記の過程が完了すれば、第４搬送チャンバ３４１と第６移送チャンバＰ６との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第４搬送チャンバ３４１から第６移送チャンバＰ６に移動させる。
また、第６移送チャンバＰ６と第３ターンモジュールチャンバＴ３の真空度が同一になれば第１基板４１０を第３ターンモジュールチャンバＴ３に移動して、第３ターンモジュールチャンバＴ３では第１基板４１０を１８０°回転させて、第１基板４１０の投入位置が変化されることを防止する。
この時、第３ターンモジュールチャンバＴ３と第７移送チャンバＰ７との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第７移送チャンバＰ７に移動する。また、第７移送チャンバＰ７と第６搬送チャンバ３６１との真空度を同じに維持した後、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第６搬送チャンバ３６１に移動させる。この時、第１基板４１０の移動はロボットを活用する。
一方、第６搬送チャンバ３６１と、第２有機層４３４を形成する有機物蒸着工程である複数の第２モノマー蒸着チャンバ３６２のうち一つの真空度が同一になれば、ゲート弁を開放してディスプレイ基板２００を第２モノマー蒸着チャンバ３６２に移動させる。この時、第２有機層４３４を形成する方法は、第１有機層４３２を形成する方法と類似しているため、詳細な説明は略する。
第２有機層４３４の目標厚さに到逹すれば、第１基板４１０またはソース部を待ち領域に移動させた後、ノズル部を閉じて工程ガスの投入を中止した後、真空排気系のコンダクタンスを制御して第２モノマー蒸着チャンバ３６２の真空度を第６搬送チャンバ３６１と同じに維持させる。この時、第１基板４１０とマスクとは脱着して第１基板４１０を吐出できる位置に移動させる。
一方、前記のような第１基板４１０は、第２モノマー蒸着チャンバ３６２から第６搬送チャンバ３６１に移動した後、第６搬送チャンバ３６１と第８移送チャンバＰ８との真空度が同一になれば、基板を第６搬送チャンバ３６１から第８移送チャンバＰ８に移動させる。
また第１基板４１０は、第８移送チャンバＰ８と第４ターンモジュールチャンバＴ４との真空度が同一になれば、第４ターンモジュールチャンバＴ４に移動し、第４ターンモジュールチャンバＴ４では第１基板４１０を１８０°回転させて、第１基板４１０の投入位置の変化を防止する。
また、前記の過程が完了すれば、第４ターンモジュールチャンバＴ４と第９移送チャンバＰ９との真空度が同一になれば、第１基板４１０を第９移送チャンバＰ９に移動させる。この時、第９移送チャンバＰ９と第７搬送チャンバ３７１との真空度を同じに維持した後、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第７搬送チャンバ３７１に移動させる。この時、第１基板４１０移動はロボットを活用する。
一方、前記の過程が完了すれば、第７搬送チャンバ３７１と、第３無機層４３５を形成するプラズマ化学気相蒸着（ＰＥＣＶＤ）工程を行う複数の第２化学気相チャンバ３７２のうち一つで、時空間分割方式を用いて真空排気系のコンダクタンスを制御して真空度が同一になれば、ゲート弁を開放して第１基板４１０を第２化学気相チャンバ３７２に移動させる。この時、第１基板４１０及びマスクを整列した後で第３無機層４３５を形成する方法は、前述した第２無機層２３３を形成する方法と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、第３無機層４３５が目標厚さに到逹して工程が完了すれば、ディスプレイ基板４００とマスクとは脱着してディスプレイ基板４００を吐出できる位置に移動させる。これと同時に、時分割空間制御により高振空ポンプに設けられたコンダクタンス制御用弁を開放した後、第２化学気相チャンバ３７２の真空度を第７搬送チャンバ３７１と同じに維持させる。
前記の過程が完了すれば、ディスプレイ基板４００を、第２化学気相チャンバ３７２から第７搬送チャンバ３７１に移動させる。また、第７搬送チャンバ３７１と第１０移送チャンバＰ１０との真空度が同一になれば、ディスプレイ基板４００を第７搬送チャンバ３７１から第１０移送チャンバＰ１０に移動させる。
一方、前記の過程が完了すれば、第１０移送チャンバＰ１０から第５ターンモジュールチャンバＴ５にディスプレイ基板４００を移送させ、第５ターンモジュールチャンバＴ５では、ディスプレイ基板４００を１８０°回転させて整列した後、第１１移送チャンバＰ１１に移動させる。
この時、ユーザは、第１１移送チャンバＰ１１から吐出されるディスプレイ基板４００を外部に移すことで作業を完了する。特に、第１１移送チャンバＰ１１の内部のディスプレイ基板４００は、ロボットを通じて取り出される。
したがって、薄膜封止の製造装置３００は、有機層及び無機層を積層する複数層薄膜の形成時に各層の厚さを制御でき、プラズマ化学気相蒸着の時空間分割真空制御方式により多様な薄膜工程設備の真空度を同じに維持することで、インライン方式のクラスタを形成する。また、薄膜封止の製造装置３００は、インライン方式のクラスタを形成することでスパッタリング、フラッシュ蒸着、及びＰＥＣＶＤ工程をインラインで行える。
図５は、本発明のさらに他の実施形態による薄膜封止の製造装置５００を示す概念図である。図６は、図５に示された薄膜封止の製造装置５００により製造されたディスプレイ基板２００を示す断面図である。
図５及び図６を参考にすれば、ローディングクラスタ（図示せず）、第１移送チャンバＰ１、第１クラスタ５２０、第２移送チャンバＰ２、第１ターンモジュールチャンバＴ１、第３移送チャンバＰ３、第２クラスタ５３０、第４移送チャンバＰ４、第２ターンモジュールチャンバＴ２、第５移送チャンバＰ５、第３クラスタ５４０、第６移送チャンバＰ６、第３ターンモジュールチャンバＴ３、第７移送チャンバＰ７、第４クラスタ５６０、第８移送チャンバＰ８、第４ターンモジュールチャンバＴ４、第９移送チャンバＰ９、第５クラスタ５７０、第１０移送チャンバＰ１０、第５ターンモジュールチャンバＴ５、第１１移送チャンバＰ１１、第６クラスタ５８０、第１２移送チャンバＰ１２、第６ターンモジュールチャンバＴ６、第１３移送チャンバＰ１３、第７クラスタ５９０、第１４移送チャンバＰ１４、第７ターンモジュールチャンバＴ７、第１５移送チャンバＰ１５及びアンローディングクラスタ（図示せず）を備える。
この時、第１移送チャンバＰ１ないし第１５移送チャンバＰ１５は、前記図１及び図２で説明した第１移送チャンバＰ１ないし第４移送チャンバＰ４と同一または類似して形成され、同一または類似した方法でディスプレイ基板６００を移送させられるため、以下では詳細な説明は略する。
また、第１ターンモジュールチャンバＴ１ないし第７ターンモジュールチャンバＴ７は、前記図１及び図２で説明した第１ターンモジュールチャンバＴ１及び第２ターンモジュールチャンバＴ２と同一または類似して形成され、同一または類似した方法でディスプレイ基板６００を整列または反転させて移送させられるため、以下では詳細な説明は略する。
一方、前記ローディングクラスタ及び前記アンローディングクラスタの場合、前記図１及び図２で説明した通りに形成されるため、以下では詳細な説明は略する。また、前記ローディングクラスタ及び前記アンローディングクラスタは、薄膜封止の製造装置５００に備えられるか、または備えられないため、以下では説明の便宜のために前記ローディングクラスタ及び前記アンローディングクラスタのない場合を中心として詳細に説明する。
第１クラスタ５２０は、第２搬送チャンバ５２１、第１スパッタリングチャンバ５２２及び第１マスク保存チャンバ５２３を備える。この時、第１クラスタ５２０は、前記図１及び図２で説明した通りに、または類似して形成されるため、詳細な説明は略する。
また、第２クラスタ５３０は、第３搬送チャンバ５３１、第１モノマー蒸着チャンバ５３２及び第２マスク保存チャンバ５３３を備える。この時、第２クラスタ５３０は、前記図１及び図２で説明した通りに、または類似して形成されるため、詳細な説明は略する。
第３クラスタ５４０は、第４搬送チャンバ５４１、第１化学気相チャンバ５４２及び第３マスク保存チャンバ５４３を備える。この時、第３クラスタ５４０は、前記図１及び図２で説明した通りに、または類似して形成されるため、詳細な説明は略する。但し、以下では説明の便宜のために、第１化学気相チャンバ５４２では、プラズマ化学気相蒸着工程によって第２無機層６３３が形成される場合を中心として詳細に説明する。
一方、第４クラスタ５６０は、第６搬送チャンバ５６１、第２モノマー蒸着チャンバ５６２及び第４マスク保存チャンバ５６３を備える。この時、第４クラスタ５６０は、第２無機層６３３上に第２有機層６３４を形成する。特に第４クラスタ５６０は、第２クラスタ５３０と類似して形成され、第２有機層６３４は、第１有機層６３２と同様に形成されるため、詳細な説明は略する。
第５クラスタ５７０は、第７搬送チャンバ５７１、第２化学気相チャンバ５７２及び第５マスク保存チャンバ５７３を備える。この時、第５クラスタ５７０は、第２有機層６３４上に第３無機層６３５を形成する。特に第５クラスタ５７０は、第３クラスタ５４０と類似して形成され、第３無機層６３５は、第２無機層２３３と同様に形成されるため、詳細な説明は略する。
一方、第６クラスタ５８０は、第８搬送チャンバ５８１、第３モノマー蒸着チャンバ５８２及び第６マスク保存チャンバ５８３を備える。この時、第６クラスタ５８０は、第３無機層６３５上に第３有機層６３６を形成する。特に第６クラスタ５８０は、第２クラスタ５３０と類似して形成され、第３有機層６３６は、第１有機層６３２と同様に形成されるため、詳細な説明は略する。
また、第７クラスタ５９０は、第９搬送チャンバ５９１、第３化学気相チャンバ５９２及び第７マスク保存チャンバ５９３を備える。この時、第７クラスタ５９０は、第３有機層６３６上に第４無機層６３７を形成する。特に第７クラスタ５９０は、第３クラスタ５４０と類似して形成され、第４無機層６３７は、第２無機層６３３と同様に形成されるため、詳細な説明は略する。
一方、以下では、薄膜封止の製造装置５００により薄膜封止工程を行う方法、及びディスプレイ基板６００の構造について詳細に説明する。
先ず、ディスプレイ基板６００を製造できる。具体的にディスプレイ基板６００は、第１基板６１０、封止部６３０及び発光部６２０を備える。この時、第１基板６１０及び発光部６２０は、前記図１及び図２で説明した第１基板２１０及び発光部２２０と同一であるため、詳細な説明は略する。
一方、前記のように発光部６２０が形成された第１基板６１０を用意した後、第１基板６１０を薄膜封止の製造装置５００に進入させて封止部６３０を形成する。この時、封止部６３０は、少なくとも２つの無機層の間に少なくとも一つの有機層が挿入されたサンドイッチ構造を少なくとも一つ備える。また、封止部６３０は、少なくとも２つの有機層の間に少なくとも一つの無機層が挿入されたサンドイッチ構造を少なくとも一つ備える。
特に封止部６３０は、前述したように第１無機層６３１、第１有機層６３２、第２無機層６３３、第２有機層６３４、第３無機層６３５、第３有機層６３６及び第４無機層６３７を順次に積層して形成する。
具体的に、第１有機層６３２ないし第３有機層６３６は高分子で形成され、望ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、エポキシ、ポリエチレン及びポリアクリレートのうちいずれか一つで形成される単一膜または積層膜でありうる。さらに望ましくは、第１有機層６３２ないし第３有機層６３６はポリアクリレートで形成され、具体的には、ジアクリレート系モノマー及びトリアクリレート系モノマーを含むモノマー組成物が高分子化されたものを含む。前記モノマー組成物にモノーアクリレート系モノマーがさらに含まれる。また、前記モノマー組成物にＴＰＯのような公知の光開始剤がさらに含まれるが、これに限定されるものではない。
第１無機層６３１ないし第４無機層６３７は、金属酸化物または金属窒化物を含む単一膜または積層膜でありうる。具体的に、第１無機層６３１ないし第４無機層６３７は、ＳｉＮｘ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２のうちいずれか一つを含む。この時、第４無機層６３７は、発光部６２０への透湿を防止するように形成される。
一方、発光部６２０と第１無機層６３１との間に、ＬｉＦを含むハロゲン化金属層がさらに含まれる。前記ハロゲン化金属層は、第１無機層６３１をスパッタリング工程で形成する時、発光部６２０の損傷を防止する。
また、第１有機層６３２は、第２無機層６３３より面積の狭いことを特徴とし、第２有機層６３４も第３無機層６３５より面積が狭い。第３有機層６３６も第４無機層６３７より面積が狭い。
この時、第１有機層６３２は、第２無機層６３３によって完全に覆われることを特徴とし、第２有機層６３４も第３無機層６３５によって完全に覆われる。また、第３有機層６３６も第４無機層６３７によって完全に覆われる。
前記のような封止部６３０を形成する方法を調べれば、薄膜封止の製造装置５００の全体の真空度を５×１０−４Ｐａ以下に維持した後、各第１マスク保存チャンバ５２３ないし第５マスク保存チャンバ５７３内のマスクを、それぞれ第１スパッタリングチャンバ５２２、第１モノマー蒸着チャンバ５３２、第１化学気相チャンバ５４２、第２モノマー蒸着チャンバ５６２及び第２化学気相チャンバ５７２の内部にロボットアームを用いて移動させた後、各チャンバ内部に装着させる。
前記の過程が完了すれば、発光部６２０上に第１無機層６３１、第１有機層６３２、第２無機層６３３、第２有機層６３４及び第３無機層６３５を形成する。この時、第１無機層６３１、第１有機層６３２、第２無機層６３３、第２有機層６３４及び第３無機層６３５を形成する方法は、前記図３及び図４で説明した通りであるため、詳細な説明は略する。
一方、前記の過程が完了すれば、第１基板６１０を、第１０移送チャンバＰ１０、第５ターンモジュールチャンバＴ５及び第１１移送チャンバＰ１１を経て第５クラスタ５７０から第６クラスタ５８０に装入する。
この時、第６クラスタ５８０では、第３有機層６３６を第３無機層６３５上に形成する。この時、第６クラスタ５８０の作動方法は、前述した第２クラスタ５３０及び第４クラスタ５６０の作動と類似しているため、詳細な説明は略する。
前記の過程が完了すれば、第１２移送チャンバＰ１２、第６ターンモジュールチャンバＴ６及び第１３移送チャンバＰ１３を通じて、第６クラスタ５８０から第７クラスタ５９０に第１基板６１０を移動させる。
この時、第７クラスタ５９０では、第３有機層６３６上に第４無機層６３７を形成する。特に第７クラスタ５９０は、プラズマ化学気相蒸着工程を通じて第４無機層６３７を形成する。前記のような場合、第７クラスタ５９０は、第３クラスタ５４０及び第５クラスタ５７０と類似して作動するため、詳細な説明は略する。
前記のように第４無機層６３７を形成した後、ディスプレイ基板６００は、第７クラスタ５９０から第１４移送チャンバＰ１４、第７ターンモジュールチャンバＴ７及び第１５移送チャンバＰ１５を通じて外部に引き出される。
一方、前記のように形成される封止部６３０は、前記に限定されず、第１無機層６３１上に第１有機層６３２及び第２無機層６３３が交互に形成されることもできる。
したがって、薄膜封止の製造装置５００は、有機層及び無機層を積層する複数層薄膜の形成時に各層の厚さを制御でき、プラズマ化学気相蒸着の時空間分割真空制御方式により多様な薄膜工程設備の真空度を同じに維持することで、インライン方式のクラスタを形成できる。また、薄膜封止の製造装置５００は、インライン方式のクラスタを形成することでスパッタリング、フラッシュ蒸着、及びＰＥＣＶＤ工程をインラインで行える。
たとえ本発明が前記述べた望ましい実施形態に関して説明されたとしても、発明の趣旨及び範囲を逸脱せずに多様な修正や変形が可能である。したがって、特許請求の範囲には本発明の趣旨に属する限り、これらの修正や変形を含む。
本発明は、薄膜封止の製造装置及び薄膜封止の製造方法関連の技術分野に好適にもちいられる。
１００、３００、５００ 薄膜封止の製造装置
１２０、３２０、５２０ 第１クラスタ
１３０、３３０、５３０ 第２クラスタ
１４０、３４０、５４０ 第３クラスタ
２００、４００、６００ ディスプレイ基板
２１０、４１０、６１０ 第１基板
２２０、４２０、６２０ 発光部
２３０、４３０、６３０ 封止部

Claims (34)

  1. ディスプレイ基板上に、下向き蒸着によるスパッタリング工程で第１無機層を形成する第１クラスタと、
    前記第１クラスタから移送された第１無機層上に、下向き蒸着による有機物蒸着工程で第１有機層を形成する第２クラスタと、
    前記第２クラスタから移送された第１有機層上に、上向き蒸着による化学気相蒸着工程またはプラズマ化学気相蒸着工程で第２無機層を形成する第３クラスタと、を備える薄膜封止の製造装置。
  2. 前記第１クラスタ、第２クラスタ及び第３クラスタは、それぞれ複数の工程チャンバを備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  3. 前記第１クラスタの工程チャンバ、前記第２クラスタの工程チャンバ及び前記第３クラスタの工程チャンバそれぞれは、一方向に順番が定められ、同順番の各工程チャンバで前記第１無機層、第１有機層及び前記第２無機層がそれぞれ形成される請求項２に記載の薄膜封止の製造装置。
  4. 前記第１クラスタ、前記第２クラスタ及び前記第３クラスタのうち少なくとも一つは、マスクを保存するマスク保存チャンバを備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  5. 前記第３クラスタに連結されるように設けられ、前記第３クラスタから移送された第２無機層上に、有機物蒸着工程で第２有機層を形成する第４クラスタをさらに備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  6. 前記第４クラスタに連結されるように設けられ、前記第４クラスタから移送された第２有機層上に、化学気相蒸着工程またはプラズマ化学気相蒸着工程で第３無機層を形成する第５クラスタをさらに備える請求項５に記載の薄膜封止の製造装置。
  7. 前記第２クラスタ及び前記第３クラスタは、交互に設けられる請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  8. 前記第１クラスタと前記第２クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つをさらに備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  9. 前記移送チャンバは複数備えられ、
    前記各移送チャンバは前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、前記第１クラスタ及び前記第２クラスタに連結される請求項８に記載の薄膜封止の製造装置。
  10. 前記ディスプレイ基板の移送時、前記第１クラスタと複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第２クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される請求項９に記載の薄膜封止の製造装置。
  11. 前記第２クラスタと前記第３クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つをさらに備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  12. 前記移送チャンバは複数備えられ、
    前記各移送チャンバは、前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、それぞれ前記第２クラスタ及び前記第３クラスタに連結される請求項１１に記載の薄膜封止の製造装置。
  13. 前記ディスプレイ基板の移送時、前記第２クラスタと前記複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第３クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される請求項１２に記載の薄膜封止の製造装置。
  14. 外部から前記ディスプレイ基板を供給され、前記第１クラスタに前記ディスプレイ基板を供給するローディングクラスタをさらに備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  15. 前記第３クラスタに連結され、前記第３クラスタから移送される前記ディスプレイ基板を外部に搬出するアンローディングクラスタをさらに備える請求項１に記載の薄膜封止の製造装置。
  16. 前記アンローディングクラスタは複数のアンローディングチャンバを備え、
    前記各アンローディングチャンバは、その内部に前記ディスプレイ基板が存在していないと判断されれば、前記アンローディングクラスタに進入した前記ディスプレイ基板を保存する請求項１５に記載の薄膜封止の製造装置。
  17. 前記第３クラスタと前記アンローディングクラスタとを連結し、前記第３クラスタから引き出される前記ディスプレイ基板を反転させるターンモジュールチャンバをさらに備える請求項１５に記載の薄膜封止の製造装置。
  18. ディスプレイ基板上に、第１無機層を下向き蒸着によるスパッタリング工程で形成する段階と、
    前記第１無機層上に下向き蒸着による有機物蒸着工程で第１有機層を形成する段階と、
    前記第１有機層上に上向き蒸着による化学気相蒸着工程またはプラズマ化学気相蒸着工程で第２無機層を形成する段階と、を含む薄膜封止の製造方法。
  19. 前記第１有機層を形成した後、前記ディスプレイ基板を反転させた後で前記第２無機層を形成する請求項１８に記載の薄膜封止の製造方法。
  20. 前記第１無機層、前記第１有機層及び前記第２無機層は、それぞれ複数の工程チャンバを備える第１クラスタ、複数の工程チャンバを備える第２クラスタ及び複数の工程チャンバを備える第３クラスタで形成される請求項１８に記載の薄膜封止の製造方法。
  21. 前記第１クラスタの工程チャンバ、前記第２クラスタの工程チャンバ及び前記第３クラスタの工程チャンバそれぞれは、一方向に順番が定められ、同順番の各工程チャンバで前記第１無機層、第１有機層及び前記第２無機層がそれぞれ形成される請求項２０に記載の薄膜封止の製造方法。
  22. 前記第１クラスタ、前記第２クラスタ及び前記第３クラスタのうち少なくとも一つは、マスクを保存するマスク保存チャンバを備える請求項２０に記載の薄膜封止の製造方法。
  23. 前記第１クラスタと前記第２クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つを通じて、前記第１クラスタから前記第２クラスタへ前記ディスプレイ基板を移送させる請求項２０に記載の薄膜封止の製造方法。
  24. 前記移送チャンバは複数備えられ、
    前記各移送チャンバは、前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、前記第１クラスタ及び前記第２クラスタに連結される請求項２３に記載の薄膜封止の製造方法。
  25. 前記ディスプレイ基板の移送時、前記第１クラスタと複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第２クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される請求項２４に記載の薄膜封止の製造方法。
  26. 前記第２クラスタと前記第３クラスタとの間に設けられる前記ディスプレイ基板を移送させる移送チャンバ、及び前記ディスプレイ基板の投入方向を整列するターンモジュールチャンバのうち少なくとも一つを通じて、前記ディスプレイ基板を前記第２クラスタから前記第３クラスタへ移送させる請求項２５に記載の薄膜封止の製造方法。
  27. 前記移送チャンバは複数備えられ、
    前記各移送チャンバは、前記ターンモジュールチャンバの両側に設けられ、それぞれ前記第２クラスタ及び前記第３クラスタに連結される請求項２６に記載の薄膜封止の製造方法。
  28. 前記ディスプレイ基板の移送時、前記第２クラスタと前記複数の移送チャンバのうち一つ、前記複数の移送チャンバのうち一つと前記ターンモジュールチャンバ、前記ターンモジュールチャンバと前記複数の移送チャンバのうち他の一つ、または前記複数の移送チャンバのうち他の一つと前記第３クラスタは、互いに内部圧力が同じになるように制御される請求項２７に記載の薄膜封止の製造方法。
  29. 前記第１有機層を形成する段階及び前記第２無機層を形成する段階は、互いに交互に複数回行われる請求項１８に記載の薄膜封止の製造方法。
  30. 前記第１無機層及び前記第１有機層を形成した後、前記ディスプレイ基板を反転させて前記第２無機層を形成する請求項１８に記載の薄膜封止の製造方法。
  31. 前記第１無機層の形成段階前に、
    ローディングクラスタを通じて外部から前記ディスプレイ基板を供給されて前記第１無機層が形成されるように、前記ディスプレイ基板を供給する段階をさらに含む請求項１８に記載の薄膜封止の製造方法。
  32. 前記第２無機層の形成段階後に、
    前記第２無機層が形成された前記ディスプレイ基板を、アンローディングクラスタを通じて外部に搬出する請求項１８に記載の薄膜封止の製造方法。
  33. 前記アンローディングクラスタは複数のアンローディングチャンバを備え、
    前記各アンローディングチャンバは、その内部に前記ディスプレイ基板が存在していないと判断されれば、前記アンローディングクラスタに進入した前記ディスプレイ基板を保存する請求項３２に記載の薄膜封止の製造方法。
  34. 前記アンローディングクラスタへの進入前に、前記ディスプレイ基板を反転させて前記アンローディングクラスタに供給する請求項３２に記載の薄膜封止の製造方法。
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