JP6307506B2 - 共振クロッキングモードと通常のクロッキングモードとの間の遷移 - Google Patents

共振クロッキングモードと通常のクロッキングモードとの間の遷移 Download PDF

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Description

開示される実施形態は、集積回路内のクロック分配ネットワークに関し、より具体的には、共振クロッキングモードから通常のクロッキングモードに共振クロックネットワークを切り替えることに関する。
クロック分配ネットワークは、クロックネットワークに接続された寄生容量に少なくとも部分的に起因して、今日の最高性能のデジタル回路内の総電力消費量のかなりの部分を占める。電力消費量を減少させることは、大部分の電子回路にとって、特にモバイルアプリケーション用の回路にとって重要である。共振クロッキングは、クロック分配ネットワークと関連付けられた電力消費量を減少させるための1つの手法である。しかしながら、共振クロッキングは、多くの現在のマイクロプロセッサまたは他の集積回路システムに利用され得る幅広い周波数の全てにおいて、うまく機能しているわけではない。
いくつかの実施形態では、方法は、クロックネットワークを共振動作モードに切り替える場合に、インダクタをクロックネットワークに結合する第1の複数のスイッチを、間隔を置いてオンにすることを含む。
いくつかの実施形態では、方法は、共振動作モードからクロックネットワークを切り替える場合に、インダクタをクロックネットワークに結合する複数のスイッチを、間隔を置いてオフにすることを含む。
いくつかの実施形態では、集積回路は、インダクタと、前記インダクタをクロックネットワークに選択的に結合する第1のスイッチバンクを形成する第1の複数のスイッチと、を含む。制御論理は、クロックネットワークを共振動作モードに切り替える場合に、各スイッチを、間隔を置いてオンにする。
いくつかの実施形態では、集積回路は、インダクタと、前記インダクタをクロックネットワークに選択的に結合する複数のスイッチと、を含む。制御論理は、共振動作モードからクロックネットワークを切り替える場合に、インダクタをクロックネットワークに接続する各スイッチを、間隔を置いてオンにするように構成されている。
いくつかの実施形態では、非一時的コンピュータ可読媒体は、集積回路の機能記述を符号化するコンピュータ可読データ構造を記憶し、前記集積回路は、インダクタと、前記インダクタをクロックネットワークに選択的に結合する第1のスイッチバンクを形成する第1の複数のスイッチと、を含む。集積回路は、クロックネットワークを共振動作モードに切り替える場合に、各スイッチを、間隔を置いてオンにするように構成された制御論理をさらに含む。
開示される実施形態は、添付図面を参照することによってより良く理解することができ、その多くの目的、機能および利点が当業者に明らかになる。
共振クロッキングおよび通常のクロッキングの両方をサポートする共振クロックシステムの一実施形態を示す図である。 共振クロッキングおよび通常のクロッキングの両方をサポートする共振クロックシステムの一実施形態を示す図である。 図1Aの実施形態に関連する例示的な波形を示す図である。 クロックネットワークおよび当該クロックネットワークに接続された複数のインダクタを駆動する複数のクロックドライバを有する共振クロックシステムの一実施形態を示す図である。 一実施形態によるスイッチバンクの一例を示す図である。 図4Aのスイッチバンクに関連する制御信号のアサーションの例示的なタイミングを示す図である。 スイッチバンク内の各スイッチに割り当てられたスイッチバンク400の一部の例を示す図である。 スイッチバンクを有効にするための例示的な制御論理を示す図である。 2段階のターンオンを有する一実施形態の例示的なクロック波形を示す図である。 3つのクロックドメインを有するクロックネットワークの一実施形態に対する段階的なターンオンの例示的な制御信号を示す図である。 3つのクロックドメインを有するクロックネットワークの一実施形態に対する段階的なターンオンの例示的な制御論理を示す図である。 共振モードから抜ける場合に生じ得る電圧オーバーシュートを示す図である。 モードスイッチをオフにすることによって引き起こされ得る信頼性の懸念に対処するためにインダクタと並列に接続されたスロットルスイッチを有する一実施形態を示す図である。 共振モードを段階的にオフにするようにイネーブル信号のターンオフを間隔を置いて行う一実施形態を示す図である。 共振モードから抜ける場合に一実施形態におけるスイッチバンクのスイッチを無効にする(オフにする)ための例示的な制御論理を示す図である。 複数のクロックドメインを有するクロックネットワークに対して段階的なターンオフソリューションを提供する一実施形態を示す図である。
異なる図面で用いられる同一の符号は、類似または同一の項目を示している。
クロック分配ネットワークは、クロックネットワークに接続された寄生容量により、今日の最高性能のデジタル回路内の総電力消費量のかなりの部分を占める。エネルギー効率のより良いクロック分配を実装するための1つの技術は、共振クロッキングである。図1Aは、共振クロッキングおよび通常のクロッキングの両方をサポートする共振クロックシステム100の簡略化モデルを示す図である。共振クロックシステム100の明確な特徴は、共振クロックシステム100の一部を形成するクロックネットワーク102の寄生容量103と並列に接続されたインダクタ101の使用である。クロックドライバの役割は、LCシステムの寄生抵抗で失われたエネルギーのみを補充することである。したがって、共振クロッキングは、エネルギー効率を実現するために効率的なLC共振に依存する。寄生抵抗のない理想的なインダクタおよび配線の場合には、クロックネットワークは、ゼロエネルギー散逸で発振する。共振クロッキングは、共振周波数に近い周波数において最も効率的となる。
共振周波数よりはるかに低い周波数で共振クロックネットワークを駆動することは、プロセッサの正常な動作を妨げる異常なクロック波形をもたらす。
最新のマイクロプロセッサおよび他の集積回路は、単一周波数で共振させるために設計された純粋な共振クロックネットワークによってサポートされ得ない周波数範囲にわたって動作する。いくつかの実施形態では、デュアルクロックモードの使用をもたらす。共振周波数に近い周波数では、プロセッサは、共振クロックモードで動作する。共振クロッキングがロバストに動作され得る範囲外の周波数では、プロセッサは、通常(conventional)のモードで機能する。いくつかの実施形態では、図1Aに示されるように、インダクタを有する直列経路に沿ったモードスイッチ105を使用することによって行われ得る。モードスイッチ105(MSw)は、インダクタをクロックネットワークに結合するために共振動作(rclk)中には閉鎖され、ネットワークからインダクタを切断するために通常のモード(cclk)では開放される。いくつかの実施形態では、モードスイッチ105(MSw)は、図1Aに示されるように位置する。コンデンサ109,111は、インダクタ101のn1ノードがACセンスで接地するように接続されるのを保証するために、含まれてもよい。このことは、ノードn1がクロック信号の自然DC値を獲得するようにインダクタにわたるDC低下(電流増加につながる)を回避し、同時に、インダクタ101およびクロックネットワークの容量性負荷が並列LCタンク回路のようにみなされ、コンデンサ109,111が接地接続のように現れるように、共振周波数で非常に低いインピーダンスを提供する。
モードスイッチ105は、クロックノード113とインダクタ101との間に配置されるように図1Aの実施形態に示されているが、インダクタ101とコンデンサ回路107との間や、図1Bに示すように、電力端子とコンデンサ109との間のトランジスタ115と、コンデンサ111と接地端子との間のトランジスタ117とによって形成されたモードスイッチを有するヘッダフッタ構成などのように、様々な他の配置が可能である。
図2は、(図1Aにおける)クロック信号、MSwイネーブル信号およびn_バイパス(図1Aにおけるn1)の波形を示す図である。MSwイネーブル信号は、図1Aに示すMSw_enxおよびMSw_en制御信号を用いて、モードスイッチ105のpFETおよびnFETをオンにする(閉鎖する)ときを示している。図2は、図1Aにおけるクロックシステムが通常のクロックモード(モードスイッチ105が開放される)から共振モード(モードスイッチ105が閉鎖される)に遷移するときの波形を示している。ノードn0上の電圧がVDD/2(クロック信号(clk)ピークの約半分)に近くない場合、MSwスイッチ105の閉鎖は、クロックネットワーク102の相当な負荷をもたらす。クロックネットワークのこの急激な負荷は、クロックの立ち上がり/立ち下がり時間の上昇、および、201でのクロック振幅の低下によって見られるようにクロック波形に悪影響を与える。クロック波形への影響は、システム内のタイミング故障をもたらし得る。さらに、タンクコンデンサ回路107を充電するためにスイッチを流れる高電流は、信号エレクトロマイグレーションの影響をもたらすことがあり、これは、この部分の寿命に影響を与える。
MSwスイッチの配置にかかわらず、通常のモードと共振モードとの間の遷移は、クロックへの悪影響を回避するために制御された様式で実行される必要性を生じる。本明細書に記載された実施形態は、クロックの休止電圧へのコンデンサ回路107の制御された充電を実行することによって、コンデンサ回路107の充電によって引き起こされるクロックネットワークの急激な負荷を回避する。
図3は、クロックネットワークおよび当該クロックネットワークに接続された複数のインダクタ101を駆動する複数のクロックドライバ303を有する共振クロックシステム300の一実施形態の簡略化されたハイレベル図である。共振クロックシステム300は、典型的に、コア全体にわたって分配され、複数のドライバによって駆動される。実施形態では、ドライバおよび/またはインダクタによってサービスが提供されるクロックネットワークの各領域は、クロックドメインであるとみなされ得る。クロックネットワークは、いくつかの、個別の、接続されたクロックドメインで構成されている。
いくつかの実施形態では、クロックドメインが同じ周波数で発振するように、クロック負荷がクロックネットワークを介してしっかりと接続されたm個のクロックドメインに分割されることが(一般性を失うことなく)想定される。簡略化のために、各ドメインは、ドライバによって駆動され、ドメインに接続されたインダクタを有することが想定される。クロック波形の変形の原因は、コンデンサ回路107を有するネットワークの突然の負荷である。突然の負荷の問題に対する1つのソリューションは、コンデンサ回路107のより段階的な充電を可能にし、それによりネットワーク上の電流要求を減少させることである。インダクタにつき複数のモード(MSw)スイッチを実装してスイッチバンク306を形成すること、および、スイッチバンク306内の両方のスイッチ307をオンにすることを制御することによって、インダクタは、スイッチバンク306内の個々のスイッチ307が間隔を置いてターンオンすることによって、クロック波形を低下させずにオンにされ得る。また、ドメイン上の異なるスイッチバンク306を間隔を置いてオンにすることは、クロック波形の劣化を回避するのにさらに役立ち得る。
図4Aは、例えばモードスイッチ105等の単一モードスイッチが、共振モードの段階的なターンオンを可能にする様式でオンにされる3つの並列スイッチ401,403,405(n=3)として実装されるスイッチバンク400の一例を示す図である。図4Bは、n=3の場合、スイッチ401,403,405の各々が、最初にen<0>がアサートされ、次にen<1>がアサートされ、最後にen<2>がアサートされるように、スイッチをオンにする制御信号のアサーションの例示的なタイミングを示す図である。図4Bは、各スイッチのnFETおよびpFETデバイスに対する制御信号MSw_enおよびMSw_enxではなく、説明を容易にするために、イネーブル信号en<0>、en<1>およびen<2>を示しているが、各スイッチのpFETおよびnFETデバイスに対するスイッチ制御信号は、en<0>、en<1>およびen<2>について示されるように間隔が設けられていることに留意されたい。したがって、スイッチ405は、en<0>のアサーションに応じてオンになり、スイッチ403は、en<1>のアサーションに応じてオンになり、スイッチ401は、en<2>に応じてオンになる。スイッチバンク400内の各スイッチ間の正確な相対駆動強度割り当ては、エレクトロマイグレーション制限と、スイッチが有効にされる相対時間とに基づいて最適化され得る。図4Cは、スイッチバンク内の各スイッチに割り当てられたスイッチバンク400の一部の例を示す図である。スイッチバンク400内のスイッチ401間の正確な相対駆動強度割り当ては、エレクトロマイグレーション制限と、スイッチが有効にされる相対時間とに基づいて最適化され得る。スイッチのタイミングおよび数は例示であり、様々な実施形態では、特定のクロッキングシステムの必要性によって決定されたタイミング、スイッチの数および駆動強度を有することができる。
図4Dは、図4Bに示す制御信号を生成することによってスイッチバンク400を有効にするための例示的な制御論理(状態機械)を示す図である。共振モードに入る制御信号を受信すると、制御信号en<0>は、411でアサートされて、スイッチMSw<0>をオンにする。第1の遅延時間(遅延1)後、第2の状態415に入り、ここで制御信号en<1>がアサートされて、スイッチMSw<1>をオンにする。第2の遅延(遅延2)後、状態機械は第3の状態417に入り、ここで制御信号en<2>がアサートされて、MSw<2>をオンにする。全てのスイッチがオンにされると、インダクタは、クロックネットワークに完全に接続される。状態間の遅延は、カウンタまたはいくつかの他のタイミング機構を用いて実装されてもよい。遅延の長さは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。図4Dでは、1つのタイプの制御回路を示しているが、他の制御手法が利用されてもよい。
図5は、2段階のターンオンソリューション(n=2)を用いて取得したクロック、n_バイパス(図1におけるn1)およびMSwイネーブル信号の例示的なクロック波形を示す図である。図5に示すように、第1のイネーブルが501で生じ、第2のイネーブルが503で生じる。クロック波形に見られ得るように、図2とは異なり、共振モードを有効にすることによって引き起こされるクロック振幅の低下がない。
いくつかの実施形態では、スイッチのバンクを使用して、MSw抵抗を段階的に減少させて、ネットワークからコンデンサ回路107内に流れる電流を制御する。しかしながら、一般的には、例えばモード(MSw)スイッチのゲート電圧を制御してモードスイッチ(MSw)を段階的にオンにすることなど、のように段階的な遷移を可能にする他の技術も同様の結果をもたらすことができる。
実施形態では、同様に完全なコアコンテキストで段階的ターンオンを一般化することによって、MSwスイッチの間隔を置いたターンオンの考えを拡大することができる。したがって、いくつかの実施形態では、MSwを(例えば、図4Aおよび図4Bによって示されるように)構成するスイッチバンクだけに間隔を置くのでなく、図3に示すm個のドメインの各々のMSwスイッチの各々のターンオンにも間隔を置くことができる。コンデンサ回路107がネットワークを読み込む時間に間隔を置くことによって、全てのコンデンサ回路107によって必要とされる電荷が時間をかけて広がり、ネットワークからの電流引き込みを減少させ、クロック信号への影響を減少させる。図6Aは、各MSwスイッチが2つのスイッチを有する3つのクロックドメイン(m=3、n=2の場合)を有するクロックネットワークのための段階的なターンオンソリューションに対する例示的な制御信号を示す図である。図6Bは、図6Aに示す制御信号を生成することによって、3つのドメインのスイッチバンクを有効にするための例示的な制御論理(状態機械)を示す図である。共振モードに入る制御信号を受信すると、制御信号en_0<0>は、状態601で有効またはアサートされて、バンク0内のスイッチMSw<0>をオンにする。第1の遅延時間(遅延1)後、状態機械は第2の状態603に入り、ここで制御信号en_0<1>およびen_1<0>がアサートされて、バンク0内のスイッチMSw<1>およびバンク1内のスイッチMSw<0>の各々をオン(有効)にする。第2の遅延(遅延2)後、状態機械は第3の状態605に入り、ここで制御信号en_1<1>およびen_2<0>がアサートされて、バンク1内のスイッチMSw<1>およびバンク2内のスイッチMSw<0>の各々をオン(有効)にする。第3の遅延後、状態機械は第4の状態607に入り、ここで制御信号en_2<1>がアサートされて、バンク2内のMSw<1>をオン(有効)にする。様々な遅延は、カウンタまたはいくつかの他のタイミング機構を用いて実装され得ることに留意されたい。遅延の長さは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。図6Bは、1つのタイプの制御回路を示しているが、他の制御手法が利用されてもよい。
本明細書に記載された実施形態は、クロック信号を損なうことなく、共振クロックシステムが通常のクロッキングと共振クロッキングとの間で遷移することを可能にし、それにより性能低下を回避する。
通常のクロッキング動作モードから共振クロッキング動作モードに変換することと関連付けられた問題に加えて、共振クロッキング動作モードから非共振クロッキング動作モードに変換することは、重大な課題をもたらす。図1Aを再び参照すると、モードスイッチ105を流れるゼロまたはゼロに近い電流をインダクタ101が有しないときに当該モードスイッチ105が非共振動作モードに遷移するために開放される場合には、モードスイッチ105の開放は、図1Aにおけるノードn0でのモードスイッチ105とインダクタ101との間の接合部で電圧の急激なオーバーシュートを引き起こす。
図7は、モードスイッチ105のトランジスタのゲート端子に供給されるMSw_enおよびMSw_enx制御信号が701でデアサートされる場合にノードn0(図1Aにおける)で生じ得る電圧オーバーシュートであって、モードスイッチ105を開放し、クロックネットワーク102からインダクタ101を切断し得る電圧オーバーシュートを示す図である。図7は、MSw_enのデアサーションのみを示すことに留意されたい。ノードn0で結果として得られたオーバーシュート703は、しばしば電圧源レールを超え、ゲート端子とドレイン端子との間の高いゲート酸化膜応力により、モードスイッチ105の動作への信頼性の脅威をもたらす。
電圧オーバーシュートの問題が図1Aに示す実施形態において記載されたが、この問題は、図1Bに示す実施形態等の他の直列接続したモードスイッチの変形で存在する。図1Bでは、ノードn1,n2(トランジスタ115,117とコンデンサとの間)の電圧は、潜在的な電圧オーバーシュートによって、同様の信頼性の懸念を引き起こす。
電圧オーバーシュートに対処するための1つの方法は、インダクタ電流がゼロまたはゼロに近い時点でモードスイッチが開放するのを保証することである。しかしながら、そのソリューションは、ロバストに実装することが難しく、供給電圧がシステムの動作の過程で変化するシステムに対して実質的に複雑化される。電流がゼロである瞬間にモードスイッチのゲート信号が遷移することを保証するシステムを設計することは、設計を著しく複雑化するフィードバックベースのシステムを必要とする。
いくつかの実施形態では、図8を参照すると、スロットルスイッチ801(TSw)は、モードスイッチのタイミングの悪いターンオフによって引き起こされた信頼性の懸念に対処するために、インダクタ101と並列に接続されている。スロットルスイッチ801は、共振クロッキングモード中に開放され、モードスイッチ105が開放すると同時に閉鎖される。モードスイッチが開放すると同時にスロットルスイッチ801を閉鎖することによって、段階的に減衰するインダクタ内の電流は、もはや(オーバーシュートを引き起こす)高インピーダンスに見えず、その代わりに、スロットルスイッチを循環し、インダクタを通って戻る低インピーダンス経路を有する。
しかしながら、スロットルスイッチ801を追加するのではなく、いくつかの実施形態では、モードスイッチを構成するスイッチのバンクを段階的にオンにして、モードスイッチを段階的にオフにする制御を使用することができる。したがって、図9に示すように、イネーブル信号のターンオフは、例えば、図3および図4のスイッチバンクに対する共振モードを段階的にオフにするように間隔が置かれてもよい。最初に、en<0>がデアサートされて、対応するスイッチをオフにし、次にen<1>がデアサートされ、最後にen<2>がデアサートされて、対応するスイッチをオフにし、それにより図7に示すオーバーシュートを回避する。
図10は、図9に示す制御信号を生成することによって、スイッチバンク400(図4A)を無効にするための例示的な制御論理(状態機械)を示す図である。共振モードから出る制御信号を受信すると、制御信号en<0>が1001でデアサートされ、スイッチMSw<0>をオフにする。第1の遅延時間(遅延1)後、第2の状態1003に入り、ここで制御信号en<1>がデアサートされて、スイッチMSw<1>をオフにする。第2の遅延(遅延2)後、第3の状態1005に入り、ここで制御信号en<2>がデアサートされて、スイッチMSw<2>をオフにする。遅延は、カウンタまたはいくつかの他のタイミング機構を用いて実装されてもよい。遅延は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。図10は、1つのタイプの制御回路を示すが、他の制御手法が利用されてもよい。図4Cに示すアサート順序は、図10に示すデアサート順序と異なっていてもよく、制御信号のアサーションおよびデアサーションのタイミングおよび順序は、独立して決定され得ることに留意されたい。スイッチバンクのスイッチを形成するトランジスタの大きさは、異なっていてもよく、スイッチバンクのスイッチがスイッチバンクの別のスイッチと異なる電流量を搬送することを可能にすることにも留意されたい。
同様に、より包括的な手法が取られてもよく、いくつかの実施形態では、同様に完全なコアコンテキストで段階的なターンオフを一般化することによって、MSwスイッチの間隔を置いたターンオフの考えを拡大することができる。したがって、いくつかの実施形態では、MSw(図4A、図4Bおよび図4Cに示す)を構成するスイッチバンクのターンオフに間隔を置くだけでなく、図3に示すm個のドメインの各々のMSwスイッチの各々のターンオフに間隔を置くことができる。図11は、各MSwスイッチが2つのスイッチを有する3つのクロックドメイン(m=3、n=2の場合)を有するクロックネットワークのための例示的な段階的ターンオフソリューションを示す図である。1101では、ドメイン0のen_0<0>がオフにされる。1105では、en_0<1>が1107のen_1<0>とともにオフにされる。1107では、en_1<1>が1109のen_2<0>とともにオフにされる。最後に、1111では、en_2<1>がオフにされる。図11の手法は、各ドメインのスイッチバンク内のドメインと個々のスイッチとの両方のターンオフに間隔を置く。
したがって、本明細書に記載された実施形態は、クロックシステムが共振クロッキングモードから通常の非共振クロッキングモードに遷移するとき、考えられる電圧オーバーシュートによる信頼性の懸念に対処する。
回路および物理的構造は、本明細書の実施形態を説明する際に一般的に想定されたが、最新の半導体設計および製造では、物理的構造および回路は、その後の設計、シミュレーション、試験または製造段階で使用するためにデータ構造としてコンピュータ可読媒体に具体化され得ることがよく認識されている。例えば、このようなデータ構造は、回路の機能記述または回路のシステムを符号化することができる。機能的な記述データ構造は、例えば、レジスタ転送言語(RTL)、Verilogにおけるハードウェア記述言語(HDL)、または、設計、シミュレーションおよび/もしくは試験に使用されるいくつかの他の言語で符号化されてもよい。また、本明細書に記載された実施形態に対応するデータ構造は、例えば、Graphic Database System II(GDSII)データで符号化され、集積回路を製造するために使用されるフォトマスク生成のための集積回路レイアウトおよび/または情報を機能的に記述することができる。本明細書に記載された実施形態の機能的な記述態様を含む他のデータ構造は、製造プロセスの1つ以上のステップに使用されてもよい。
コンピュータ可読媒体としては、有形コンピュータ可読媒体、例えば、ディスク、テープ、または、他の磁気、光学もしくは電子記憶媒体が挙げられる。回路、システムおよび方法の符号化をコンピュータ可読媒体に有するこの媒体に加えて、コンピュータ可読媒体は、本明細書に記載された実施形態またはその一部を実装するために使用され得る命令およびデータを記憶することができる。データ構造は、1つ以上のプロセッサ上で実行するソフトウェアによって、ハードウェア上で実行するファームウェアによって、または、ソフトウェアとファームウェアとハードウェアとの組み合わせによって、設計、シミュレーション、試験もしくは製造段階の一部として利用されてもよい。
本明細書に記載された実施形態の説明は、例示であり、以下の特許請求の範囲を限定することを意図していない。例えば、実施形態は、マイクロプロセッサに限定されない。むしろ、本明細書に記載されたソリューションは、一般的な集積回路に適用される。以下の特許請求の範囲内から逸脱することなく、本明細書に記載された説明に基づいて、本明細書に開示された実施形態の他の変形および修正がなされてもよい。

Claims (11)

  1. クロックネットワークを共振動作モードに切り替える場合に、インダクタの第1のノードを前記クロックネットワークに結合する第1の複数のスイッチを、間隔を置いてオンにすることと、
    前記クロックネットワークを共振動作モードに切り替える場合に、前記インダクタの第2のノードに結合されたコンデンサ回路を充電することであって、前記コンデンサ回路は、前記インダクタの第2のノードと第1の電源ノードとの間に結合された第1のコンデンサと、前記インダクタの第2のノードと接地ノードとの間に結合された第2のコンデンサと、を含む、ことと、
    前記クロックネットワークを前記共振動作モードに切り替える場合に、第2のインダクタを前記クロックネットワークに結合する第2の複数のスイッチを、間隔を置いてオンにすることと、
    前記第2の複数のスイッチをオンにすることと、前記第1の複数のスイッチをオンにすることとの間に間隔を置くことと、
    を含む、方法。
  2. 共振動作モードから前記クロックネットワークを切り替える場合に、前記クロックネットワークから前記インダクタを切断するために、前記インダクタを前記クロックネットワークに結合する前記第1の複数のスイッチを、間隔を置いてオフにすることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
  3. 前記インダクタを前記クロックネットワークに結合するための前記間隔の置き方と、前記インダクタを前記クロックネットワークから切断するための前記間隔の置き方とは、前記複数のスイッチをオンまたはオフにするための少なくともタイミングまたは順序において異なる、請求項に記載の方法。
  4. クロックネットワークを共振動作モードから切り替える場合に、インダクタを前記クロックネットワークに結合する第1の複数のスイッチを、間隔を置いてオフにすることと、
    前記クロックネットワークを共振動作モードから切り替える場合に、第2のインダクタを前記クロックネットワークに結合する第2の複数のスイッチを、間隔を置いてオフにすることと、
    前記第2の複数のスイッチをオフにすることと、前記第1の複数のスイッチをオフにすることとの間に間隔を置くことと、
    を含む、方法。
  5. インダクタと、
    前記インダクタの第1のノードをクロックネットワークに選択的に結合する第1のスイッチバンクを形成する第1の複数のスイッチと、
    前記クロックネットワークを共振動作モードに切り替える場合に、前記第1の複数のスイッチを間隔を置いてオンにするように構成された制御論理と、
    前記インダクタの第2のノードと第1の電源ノードとの間に結合された第1のコンデンサと、前記インダクタの第2のノードと接地ノードとの間に結合された第2のコンデンサと、を含むコンデンサ回路と、
    第2のインダクタを前記クロックネットワークに結合する第2の複数のスイッチを含む第2のスイッチバンクと、を備え、
    前記制御論理は、前記第2のスイッチバンクをオンにすることと、前記第1のスイッチバンクをオンにすることとの間に間隔を置くように構成されている、
    集積回路。
  6. 前記共振動作モードから抜けるために前記クロックネットワークから前記インダクタを切断する場合に、前記第1の複数のスイッチを、間隔を置いてオフにするように構成された制御論理をさらに備える、請求項に記載の集積回路。
  7. 前記クロックネットワークは、複数のクロックドメインを備え、各クロックドメインは、インダクタと、前記インダクタを前記クロックドメインの各々に結合するスイッチバンクと、を含む、請求項5又は6に記載の集積回路。
  8. 前記第1の複数のスイッチのうち第1のスイッチに用いられる第1のトランジスタの大きさは、前記第1の複数のスイッチのうち第2のスイッチに用いられる第2のトランジスタの大きさと異なっており、前記第1のスイッチは、前記第2のスイッチと異なる電流量を搬送することが可能である、請求項5〜7の何れかに記載の集積回路。
  9. インダクタと、
    前記インダクタをクロックネットワークに選択的に結合する第1の複数のスイッチと、
    前記クロックネットワークを共振動作モードから切り替える場合に、前記クロックネットワークから前記インダクタを切断するために、前記スイッチを、間隔を置いてオフにするように構成された制御論理と、
    第2のインダクタを前記クロックネットワークに結合する第2の複数のスイッチと、を備え、
    前記制御論理は、前記第1の複数のスイッチをオフにすることと、前記第2の複数のスイッチをオフにすることとの間に間隔を置くようにさらに構成されている、
    集積回路。
  10. 前記クロックネットワークは、複数のクロックドメインを備え、各クロックドメインは、インダクタと、前記インダクタを前記クロックドメインの各々に結合する複数のスイッチによって形成されたスイッチバンクと、を含む、請求項に記載の集積回路。
  11. 前記第1の複数のスイッチのうち第1のスイッチに用いられる第1のトランジスタの大きさは、前記第1の複数のスイッチのうち第2のスイッチに用いられる第2のトランジスタの大きさと異なっており、前記第1のスイッチは、前記第2のスイッチと異なる電流量を搬送することが可能である、請求項9又は10に記載の集積回路。
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