JP6293588B2 - 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Description
[センサモジュール10の構成]
図1は、第1の実施形態におけるセンサモジュール10の一例を示す平面図である。図2は、図1に示したセンサモジュール10のA−A断面図である。図3は、図1に示したセンサモジュール10のB−B断面図である。
図5は、第1の実施形態におけるセンサモジュール10の製造手順の一例を示すフローチャートである。図6および図7は、製造過程における浮膜20の一例を示す断面図である。図8は、導体層205のパターンの一例を示す平面図である。図9は、レジストパターン209の一例を示す平面図である。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態におけるセンサモジュール10では、ヒータ21と温度センサ22とを、浮膜20の異なる面に形成する点が第1の実施形態におけるセンサモジュール10とは異なる。なお、第2の実施形態のセンサモジュール10において、第1の実施形態におけるセンサモジュール10と同様の構成については、同一の符号を付し、以下に説明する点を除き、詳細な説明は省略する。
図13は、第2の実施形態におけるセンサモジュール10の一例を示す平面図である。図14は、図13に示したセンサモジュール10のD−D断面図である。図15は、図13に示したセンサモジュール10のE−E断面図である。図16は、図13に示したセンサモジュール10のF−F断面図である。
図17は、第2の実施形態におけるセンサモジュール10の製造手順の一例を示すフローチャートである。図18〜図22は、製造過程における浮膜20の一例を示す断面図である。
11 ベース基板
12 電極パッド
13 凹部
20 浮膜
21 ヒータ
210 配線
22 温度センサ
220 配線
23 電極パッド
24 電極パッド
30 温度補償体
Claims (7)
- 気体の圧力に応じて生じた電気抵抗体の温度変化を、前記電気抵抗体の抵抗値の変化として出力する圧力センサであって、
凹部が形成されたベース基板と、
前記凹部を跨ぐように前記ベース基板上に設けられた浮膜と、
前記浮膜の表面に形成され、流れる電流によって前記浮膜を加熱するヒータと、
前記浮膜の表面に形成された前記電気抵抗体であって、前記ヒータよりも少ない電流が流れ、流れる電流に対する電圧降下を、前記浮膜の温度に応じて変化させる温度センサと
を備え、
前記ヒータは、前記浮膜の一方の面に形成され、
前記温度センサは、前記浮膜において前記ヒータが形成された面の裏面に形成されることを特徴とする圧力センサ。 - 前記温度センサに流れる電流は、前記ヒータに流れる電流の1/30倍以上、かつ、1/5倍以下の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記浮膜には、絶縁性の材料により形成された層が含まれることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記浮膜は、前記ヒータが発した熱を前記浮膜内で均一化する機能を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記浮膜には、シリコンを含有する材料により形成された層が含まれ、
前記ヒータが発した熱を前記浮膜内で均一化する機能は、前記シリコンを含有する材料により形成された層によって実現されることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。 - 前記ヒータは、プラチナ、ニッケル、クロム、またはタングステンの少なくともいずれかを含む材料により形成されることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 気体の圧力に応じて生じた電気抵抗体の温度変化を、前記電気抵抗体の抵抗値の変化として出力する圧力センサの製造方法であって、
浮膜の一方の面に、前記浮膜を加熱するヒータを形成する工程と、
浮膜の他方の面に、前記電気抵抗体であって、前記ヒータよりも少ない電流が流れ、流れる電流に対する電圧降下を、前記浮膜の温度に応じて変化させる温度センサを形成する工程と、
凹部が形成されたベース基板上に、前記ヒータおよび前記温度センサが形成された前記浮膜を、前記凹部を跨ぐようにベース基板上に配置する工程と
を含むことを特徴とする圧力センサの製造方法。
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