JP6292313B2 - 非円形メンブレン型コンデンサマイク - Google Patents
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Description
(付記1)
メンブレン(M)と、
前記メンブレンと平行であるが離間して配置されたバックプレート(BP)と、
前記メンブレンと前記バックプレートとが密着して機械的に接触するように、前記メンブレンと前記バックプレートとを一緒に固定する、または前記メンブレンと前記バックプレートとを共通の基板本体(SB)に固定する固定手段(AM)と、を備え、
前記メンブレンは、非円形状であり、それゆえに、たわみ時に弛緩状態からの不均一な機械的応力分布を有し、
前記不均一な機械的応力分布は、前記メンブレンの応力分布と反対の応力分布を提供する前記バックプレートの相殺機構により相殺される、
コンデンサマイク。
前記メンブレン(M)と前記バックプレート(BP)とは、類似の形状であり、
前記メンブレンの第一の直径に平行な方向の前記メンブレン内の応力は、前記第一の直径と異なる前記メンブレンの第二の直径に沿った応力よりも高く、
前記相殺機構は、前記メンブレンの前記第一の直径に平行な方向に応力を解放する応力解放手段(H)を備える、
付記1に記載のコンデンサマイク。
前記メンブレン(M)と前記バックプレート(BP)とは、類似の形状であり、
前記メンブレンの第一の直径に平行な方向の応力が、前記第一の直径とは異なる前記メンブレンの第二の直径に平行な方向に沿った応力よりも高くなるように、固有の応力分布は、前記メンブレン内で不均一であり、
前記相殺機構は、前記メンブレンの前記第二の直径に平行な方向に応力を増大させる応力増大手段(SEM)を備える、
付記1に記載のコンデンサマイク。
前記応力解放手段は、前記バックプレート(BP)内に、前記メンブレン(M)及び前記バックプレートの形状と調和した形状を有する、孔(H)の配列を備える、
付記2に記載のコンデンサマイク。
前記応力増大手段(SEM)は、前記メンブレン及び前記バックプレートの形状と調和した形状を有する、強化機構の配列を備える、
付記3に記載のコンデンサマイク。
前記メンブレン(M)と前記バックプレート(BP)とは、類似の形状であり、
前記メンブレンの第一の直径に平行な方向の前記メンブレン内の応力が、前記第一の直径とは異なる前記メンブレンの第二の直径に沿った応力よりも高く、
前記第二の直径に平行な方向よりも前記第一の直径に平行な方向に沿って、応力解放手段(H)の密度がより高くなるように、前記相殺機構は、前記バックプレートに分配された、前記応力解放手段の配列を備える、または、
前記第一の直径に平行な方向よりも前記第二の直径に平行な方向に沿って、応力増大手段の密度がより高くなるように、前記相殺機構は、前記バックプレートに分配された、前記応力増大手段の配列を備える、
付記1に記載のコンデンサマイク。
前記第一の直径は前記第二の直径よりも小さく、
前記第一の直径は、前記第二の直径に対して垂直に配置されている、
付記1から6のいずれか1つに記載のコンデンサマイク。
前記メンブレン及び前記バックプレートの形状は、類似しており、楕円である、
付記7に記載のコンデンサマイク。
前記メンブレン及び前記バックプレートの形状は、類似しており、ともに角が丸い矩形である、
付記7に記載のコンデンサマイク。
前記強化機構は、前記バックプレートが、厚くなっている領域、またはコーティングされている領域である、
付記5から9のいずれか1つに記載のコンデンサマイク。
前記コンデンサマイクは、結晶シリコン内に、または結晶シリコン上に、超小型に製造されたMEMSマイクである、
付記1から10のいずれか1つに記載のコンデンサマイク。
前記応力相殺機構は、隣接する手段が拡張により単一の結合した手段になるように修正された応力解放手段又は応力増大手段の規則的なパターンに基づいている、
付記1から11のいずれか1つに記載のコンデンサマイク。
M メンブレン
BP バックプレート
AM 固定手段
SB 基板本体
相殺機構
X 第一の直径よりも長い、メンブレンの第二の直径に平行な方向の軸
Y 第二の直径よりも短い、メンブレンの第一の直径に平行な方向の軸
H 孔、すなわち応力解放手段(すなわち、孔)
SEM 応力増大手段(すなわち、強化機構)、すなわちバックプレート内の孔の配列
BV バックボリューム
Claims (13)
- メンブレン(M)と、
前記メンブレンと平行であるが離間して配置されたバックプレート(BP)と、
前記メンブレンと前記バックプレートとを一緒に固定する、または前記メンブレンと前記バックプレートとを共通の基板本体(SB)に固定する固定手段(AM)と、を備え、
前記メンブレンは、非円形状であり、それゆえに、たわみ時に弛緩状態からの不均一な機械的応力分布を有し、
前記不均一な機械的応力分布は、前記メンブレンの応力分布と反対の応力分布を提供する前記バックプレートの相殺機構により相殺される、
コンデンサマイク。 - 前記メンブレン(M)と前記バックプレート(BP)とは、類似の形状であり、
前記メンブレンの第一の直径に平行な方向の前記メンブレン内の応力は、前記第一の直径と異なる前記メンブレンの第二の直径に沿った応力よりも高く、
前記相殺機構は、前記メンブレンの前記第一の直径に平行な方向に応力を解放する応力解放手段(H)を備える、
請求項1に記載のコンデンサマイク。 - 前記メンブレン(M)と前記バックプレート(BP)とは、類似の形状であり、
前記メンブレンの第一の直径に平行な方向の応力が、前記第一の直径とは異なる前記メンブレンの第二の直径に平行な方向に沿った応力よりも高くなるように、固有の応力分布は、前記メンブレン内で不均一であり、
前記相殺機構は、前記メンブレンの前記第二の直径に平行な方向に応力を増大させる応力増大手段(SEM)を備える、
請求項1に記載のコンデンサマイク。 - 前記応力解放手段は、前記バックプレート(BP)内に、前記メンブレン(M)及び前記バックプレートの形状と調和した形状を有する、孔(H)の配列を備える、
請求項2に記載のコンデンサマイク。 - 前記応力増大手段(SEM)は、前記メンブレン及び前記バックプレートの形状と調和した形状を有する、強化機構の配列を備える、
請求項3に記載のコンデンサマイク。 - 前記第二の直径に平行な方向よりも前記第一の直径に平行な方向に沿って、応力解放手段(H)の密度がより高くなるように、前記相殺機構は、前記バックプレートに分配された、前記応力解放手段の配列を備える、
請求項2または4に記載のコンデンサマイク。 - 前記第一の直径に平行な方向よりも前記第二の直径に平行な方向に沿って、応力増大手段の密度がより高くなるように、前記相殺機構は、前記バックプレートに分配された、前記応力増大手段の配列を備える、
請求項3または5に記載のコンデンサマイク。 - 前記第一の直径は前記第二の直径よりも小さく、
前記第一の直径は、前記第二の直径に対して垂直に配置されている、
請求項2から7のいずれか1項に記載のコンデンサマイク。 - 前記メンブレン及び前記バックプレートの形状は、類似しており、楕円である、
請求項1から8のいずれか1項に記載のコンデンサマイク。 - 前記メンブレン及び前記バックプレートの形状は、類似しており、ともに角が丸い矩形である、
請求項1から8のいずれか1項に記載のコンデンサマイク。 - 前記強化機構は、前記バックプレートが、厚くなっている領域、またはコーティングされている領域である、
請求項5、または請求項5に従属する請求項7から10のいずれか1項に記載のコンデンサマイク。 - 前記コンデンサマイクは、結晶シリコン内に、または結晶シリコン上に、超小型に製造されたMEMSマイクである、
請求項1から11のいずれか1項に記載のコンデンサマイク。 - 前記相殺機構は、隣接する手段が拡張により単一の結合した手段になるように修正された応力解放手段又は応力増大手段の規則的なパターンに基づいている、
請求項1から12のいずれか1項に記載のコンデンサマイク。
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