JP6801928B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
10a〜10d:固定部、11:連結部
Claims (5)
- 支持基板に周縁部が支持固定され振動板を構成する圧電膜と、該圧電膜を挟んで配置する一対の電極とを備えた圧電素子において、
前記圧電膜あるいは前記圧電膜および前記電極を貫通するスリットを備え、
前記スリットは、複数のスリットからなる第1のスリット群からなり、
該第1のスリット群のスリットは、前記周縁部から前記振動板の中央側に向かって延出し、相互に交わらず、延長線が1点に収束しないことと、
前記圧電素子の一部は、連結部を構成することを特徴とする圧電素子。 - 請求項1記載の圧電素子において、
前記スリットは、前記第1のスリット群と、複数のスリットからなる第2のスリット群からなり、
該第2のスリット群のスリットは、前記周縁部に沿う方向に延出し、該第2のスリット群のスリットの一つは、前記第1のスリット群のスリットの一つと一端が連結していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項2記載の圧電素子において、
前記スリットは、前記第1のスリット群と、前記第2のスリット群と、複数のスリットからなる第3のスリット群からなり、
該第3のスリット群のスリットは、前記周縁部方向に延出し、該第3のスリット群のスリットの一つは、前記第1のスリット群のスリットの一つと一端で連結する前記第2のスリット群のスリットの一つの他端と一端が連結し、他端が前記周縁部方向に延出していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至3いずれか記載の圧電素子において、
前記第1のスリット群のスリットは、該スリットの前記周縁部側の端部から前記振動板の中心に向かう線上から同じ方向に傾斜した延長線となるように配置していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至4いずれか記載の圧電素子において、
前記圧電膜を含む振動板は、音響圧力によって振動する膜であることを特徴とする圧電素子。
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