KR102342403B1 - 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 mems 마이크로폰용 백플레이트 - Google Patents

음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 mems 마이크로폰용 백플레이트 Download PDF

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Abstract

본 발명은 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트는 MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조가 형성된 백플레이트로, 상기 음향홀 구조는, 적어도 2개 이상 형성된 원형공간부; 및 상기 원형공간부 사이에 배치되어 상기 원형공간부를 연결시키는 연결공간부가 형성될 수 있다.

Description

음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트{MEMS microphone back plate with acoustic hole structure to improve acoustic characteristics}
본 발명은 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트에 관한 것이다.
전기 통신의 급속한 발전에 따라 음성을 전기적인 신호로 변환하는 마이크로폰은 점점 소형화되어 가고 있다. 최근 들어 미세 장치의 집적화를 위해 사용되는 기술로서 마이크로 머시닝을 이용한 반도체 가공기술이 있다. MEMS라고 불리는 이러한 기술은 반도체 공정 특히 집적회로 기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 이용하여 마이크로미터(㎛)단위의 초소형 센서나 액츄에이터 및 전기기계적 구조물을 제조할 수 있다. 이러한 마이크로머시닝 기술을 이용하여 제조하는 MEMS 마이크로폰은 초정밀 미세 가공을 통하여 소형화, 고성능화, 다기능화 및 집적화가 가능하다. 또한, 안정성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
이와 같은 종래의 MEMS 마이크로폰에는 대한민국 등록특허공보 제10-0685092호의 "ＭＥＭＳ 공정을 이용한 마이크로폰 및 그 제조 방법"(이하, 종래기술이라 칭함)가 있다.
MEMS 마이크로폰은 음향 압력 신호에 의한 감응판과 백플레이트(Backplate) 사이의 정전용량의 변화를 측정하는 감응 구조를 가지고 있다. 따라서 외부 음향 압력에 의해 감응판을 잘 떨 수 있게 백플레이트의 구조를 설계하는 것이 가장 중요하다.
MEMS 마이크로폰은 음향 압력이 감응판에 가해질 때, 동시에 백플레이트의 구조와 패키지에 의한 저항력을 받는다. 이때 백플레이트에 형성된 음향홀(acoustic hole) 구조에 의해 저항력을 조절할 수 있다.
MEMS 마이크로폰은 백플레이트와 감응판이 마주 보고 있는 구조를 취하고 있다. 따라서, 감응판의 거동을 고려할 때, 감응판의 중앙부가 가장 큰 변위 거동을 한다. 따라서, 감응판의 중앙부에 위치하는 백플레이트 영역의 공기에 의해 가장 높은 음압이 감응판에 가해지게 된다. 이에 의한 음향 저항을 줄이기 위해, 백플레이트의 중앙부에 큰 면적의 홀을 형성하여 개선하는 방법이 있으나, 이 경우, 정전용량이 감소되는 문제점이 있다.
상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명의 일실시예는 음향홀 구조를 개선하여 음향특성을 향상시킬 수 있는 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 제공하고자 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트는 MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조가 형성된 백플레이트로써, 상기 음향홀 구조는, 서로 이격되게 배치되고, 적어도 2개 이상 형성된 원형상의 공간부를 포함하는 원형부; 및 상기 공간부 사이에 배치되어 상기 공간부를 연결시키는 연결공간부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 원형부는 제1 원형부를 포함하고, 상기 공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고, 상기 제1 원형부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고, 상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 원형부는 제2 원형부를 포함하고, 상기 공간부는 제3 공간부를 더 포함하며, 상기 제2 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부 및 제3 공간부를 포함하고, 상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부 및 상기 제3 공간부는 서로 동일거리 이격되어 가상의 삼각형을 이루며 배치되고, 상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제2 공간부 및 제3 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 원형부는 제3 원형부를 포함하고, 상기 공간부는 제4 공간부를 더 포함하며, 상기 제3 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부, 제3 공간부 및 제4 공간부를 포함하고, 상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부 및 상기 제4 공간부는 가상의 마름모를 이루며 배치되고, 상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제1 공간부 및 제4 공간부 사이, 제2 공간부 및 제4 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 서로 근접한 상기 공간부들은 서로 일정간격 이격되게 배치될 수 있다.
또한, 상기 백플레이트의 중심에는 중심판이 마련되고, 상기 중심판의 주변부에는 상기 음향홀 구조가 형성될 수 있다.
또한, 상기 음향홀 구조는 상기 백플레이트의 중심을 기준으로 방사상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 백플레이트의 중심을 기준으로 방사상으로 복수개의 관통홀이 형성되고, 상기 복수개의 관통홀 사이에는 상기 음향홀 구조가 형성될 수 있다.
또한, 상기 백플레이트는 중심부에 형성된 제1 영역 및 상기 제1 영역의 외부에 형성되는 제2 영역으로 구분되고, 상기 음향홀 구조는 제1 음향홀 구조 및 상기 제1 음향홀 구조보다 크기가 큰 제2 음향홀 구조를 포함하며, 상기 제1 영역에는 제1 음향홀 구조가 형성되고, 상기 제2 영역에는 제2 음향홀 구조가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 음향홀 구조는 상기 제1 원형부가 형성되고, 상기 제2 음향홀 구조는 상기 제2 원형부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 음향홀 구조는 상기 제1 원형부가 형성되고, 상기 제2 음향홀 구조는 상기 제3 원형부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 음향홀 구조는 상기 제2 원형부가 형성되고, 상기 제2 음향홀 구조는 상기 제3 원형부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제2 공간부는 상기 제1 공간부의 우측에 배치되고, 상기 제1 공간부의 제1 중심점과 상기 제2 공간부의 제2 중심점은 2r+d만큼 이격되며, 상기 음향홀 구조는, 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제1 구조부; 및 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 하측에 배치되는 제11 가상중심점과, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상측에 배치되는 제12 가상중심점을 중심으로 각각 배치되고 상기 제1 구조부들을 연결시키는 제2 구조부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00001
이고, 상기 제1 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00002
이며, 상기 제2 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00003
이고, 상기 제2 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00004
일 수 있다.
또한, 상기 제2 공간부는 상기 제1 공간부의 우측에 배치되고, 상기 제3 공간부는 상기 제1 공간부의 우측 상부에 배치되며, 상기 제1 공간부의 제1 중심점과, 상기 제2 공간부의 제2 중심점과 상기 제3 공간부의 제3 중심점은 서로 2r+d만큼 이격되고, 상기 음향홀 구조는, 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점, 제2 중심점 및 제3 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제3 구조부; 및 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 하측에 배치되는 제21 가상중심점과, 상기 제2 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 우측에 배치되는 제22 가상중심점과, 상기 제1 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 좌측에 배치되는 제23 가상중심점을 중심으로 각각 배치되고 상기 제3 구조부들을 연결시키는 제2 구조부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제3 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00005
이고, 상기 제3 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00006
이며, 상기 제2 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00007
이고, 상기 제2 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00008
일 수 있다.
또한, 상기 제2 공간부는 상기 제1 공간부의 우측에 배치되고, 상기 제3 공간부는 상기 제1 공간부의 우측 상부에 배치되며, 상기 제4 공간부는 상기 제1 공간부의 우측 하부에 배치되고, 상기 제1 공간부의 제1 중심점과, 상기 제2 공간부의 제2 중심점과 상기 제3 공간부의 제3 중심점은 서로 2r+d만큼 이격되며, 상기 제1 공간부의 제1 중심점과, 상기 제2 공간부의 제2 중심점과 상기 제4 공간부의 제4 중심점은 서로 2r+d만큼 이격되고, 상기 음향홀 구조는, 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제4 구조부; 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제3 중심점 및 제4 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제3 구조부; 및 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제4 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제4 중심점의 좌측에 배치되는 제31 가상중심점과, 상기 제2 중심점 및 제4 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제4 중심점의 우측에 배치되는 제32 가상중심점과, 상기 제2 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 우측에 배치되는 제33 가상중심점과, 상기 제1 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 좌측에 배치되는 제34 가상중심점을 중심으로 각각 배치되고 상기 제3 구조부 및 제4 구조부들을 연결시키는 제2 구조부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제4 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00009
이고, 상기 제4 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00010
이며, 상기 제3 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00011
이고, 상기 제3 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00012
이며, 상기 제2 구조부의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00013
이고, 상기 제2 구조부의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00014
일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트는 음향홀 구조를 변경하여 음향 저항과 정전용량을 최적화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트의 음향홀 구조를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트의 음향홀 구조를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트의 음향홀 구조를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 나타낸 것이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트를 나타낸 것이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트의 음향홀 구조를 나타낸 것이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트의 음향홀 구조를 나타낸 것이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트의 음향홀 구조를 나타낸 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1 내지 도 12를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트(10)는 MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조(100)가 형성될 수 있다.
음향홀 구조(100)는 원형부(100h) 및 연결공간부(B)가 형성될 수 있다.
원형부(100h)는 서로 이격되게 배치되고 적어도 2개 이상 형성된 원형상의 공간부(A)를 포함할 수 있다. 그리고, 공간부(A)는 반지름이 r인 원기둥 형상의 빈 공간으로 형성될 수 있다. 또한, 공간부(A)는 서로 d만큼 이격되도록 배치될 수 있다. 여기서, r은 6um 이상 7.5um 이하일 수 있다. 그리고, r은 6.75um 일 수 있다. d는 2um 이상 3um 이하일 수 있다. 그리고 d는 2.5um 일 수 있다.
연결공간부(B)는 공간부(A) 사이에 배치되어 공간부(A)를 연결시킬 수 있다. 그리고, 연결공간부(B)는 빈 공간으로 형성될 수 있다.
도1, 도4 및 도10을 참고하면, 원형부(100h)는 제1 원형부(100ha)를 포함할 수 있다. 그리고, 공간부(A)는 제1 공간부(A1) 및 제2 공간부(A2)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 원형부(100ha)는 제1 공간부(A1) 및 제2 공간부(A2)를 포함할 수 있다. 그리고, 연결공간부(B)는 제1 공간부(A1) 및 제2 공간부(A2) 사이에 형성되고 호 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 서로 근접한 공간부(A)들은 서로 일정간격(d) 이격되게 배치될 수 있다.
그리고, 음향홀 구조(100)는 백플레이트(10)의 중심을 기준으로 방사상으로 형성될 수 있다.
또한, 백플레이트(10)의 중심에는 중심판(11)이 마련될 수 있다. 또한, 중심판(11)의 주변부에는 음향홀 구조(100)가 형성될 수 있다.
도10을 참고하면, 제2 공간부(A2)는 제1 공간부(A1)의 우측에 배치될 수 있다. 그리고, 제1 공간부(A1)의 제1 중심점(C1)과 제2 공간부(A2)의 제2 중심점(C2)은 2r+d만큼 이격될 수 있다.
또한, 제1 원형부(100ha)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제1 구조부(K1) 및 제2 구조부(K2)를 포함할 수 있다.
제1 구조부(K1)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제1 구조부(K1)는 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
또한, 제1 중심점(C1)에 배치되는 제1 구조부(K1)는 개구된 방향이 제2 중심점(C2)을 향할 수 있다. 그리고, 제2 중심점(C2)에 배치되는 제1 구조부(K1)는 개구된 방향이 제1 중심점(C1)을 향할 수 있다.
그리고, 제1 구조부(K1)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00015
이고, 제1 구조부(K1)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00016
일 수 있다.
제2 구조부(K2)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제2 구조부(K2)는 제11 가상중심점(O1)과 제12 가상중심점(O2)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
여기서, 제11 가상중심점(O1)은 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)의 하측에 배치될 수 있다. 그리고, 제12 가상중심점(O2)은 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)의 상측에 배치될 수 있다.
또한, 제2 구조부(K2)는 제1 구조부(K1)들을 연결시킬 수 있다. 그리고, 제2 구조부(K2)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00017
이고, 제2 구조부(K2)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00018
일 수 있다.
따라서, 제1 원형부(100ha)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제1 구조부(K1)와 제2 구조부(K2)가 외형을 이루고, 내측에 제1 원형부(100ha) 및 연결공간부(B)로 이루어지는 음향홀이 형성될 수 있다. 그리고, 제1 구조부(K1)와 제2 구조부(K2)가 동일한 폭(d)으로 마련되므로, 안정적인 구조를 이룰 수 있다. 또한, 종래 원형 음향홀에 비해 동일면적 대비 음향홀의 크기가 크게 형성될 수 있어, 음향 저항을 저감시킬 수 있다.
도2, 도7 및 도11을 참고하면, 원형부(100h)는 제2 원형부(100hb)를 포함할 수 있다. 그리고, 공간부(A)는 제3 공간부(A3)를 더 포함할 수 있다. 또한, 제2 원형부(100hb)는 제1 공간부(A1), 제2 공간부(A2) 및 제3 공간부(A3)를 포함할 수 있다. 그리고, 제1 공간부(A1), 제2 공간부(A2) 및 제3 공간부(A3)는 서로 동일거리(d) 이격되어 가상의 삼각형을 이루며 배치될 수 있다.
연결공간부(B)는 제1 공간부(A1) 및 제2 공간부(A2) 사이, 제1 공간부(A1) 및 제3 공간부(A3) 사이, 제2 공간부(A2) 및 제3 공간부(A3) 사이에 형성되고, 호 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 서로 근접한 공간부(A)들은 서로 일정간격(d) 이격되게 배치될 수 있다.
그리고, 백플레이트(10)의 중심에는 중심판(11)이 마련될 수 있다. 또한, 중심판(11)의 주변부에는 음향홀 구조(100)가 형성될 수 있다.
도11을 참고하면, 제2 공간부(A2)는 제1 공간부(A1)의 우측에 배치될 수 있다. 그리고, 제3 공간부(A3)는 제1 공간부(A1)의 우측 상부에 배치될 수 있다. 또한, 제1 공간부(A1)의 제1 중심점(C1)과, 제2 공간부(A2)의 제2 중심점(C2)과 제3 공간부(A3)의 제3 중심점(C3)은 서로 2r+d만큼 이격될 수 있다.
또한, 제2 원형부(100hb)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제3 구조부(K3) 및 제2 구조부(K2)를 포함할 수 있다.
제3 구조부(K3)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제3 구조부(K3)는 제1 중심점(C1), 제2 중심점(C2) 및 제3 중심점(C3)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
또한, 제1 중심점(C1), 제2 중심점(C2) 및 제3 중심점(C3)에 배치되는 제3 구조부(K3)는 개구된 방향이 제1 중심점(C1), 제2 중심점(C2) 및 제3 중심점(C3)의 중앙 측을 향할 수 있다.
그리고, 제3 구조부(K3)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00019
이고, 제3 구조부(K3)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00020
일 수 있다.
제2 구조부(K2)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제2 구조부(K2)는 제21 가상중심점(P1), 제22 가상중심점(P2) 및 제23 가상중심점(P3)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
여기서, 제21 가상중심점(P1)은 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)의 하측에 배치될 수 있다. 그리고, 제22 가상중심점(P2)은 제2 중심점(C2) 및 제3 중심점(C3)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제3 중심점(C3)의 우측에 배치될 수 있다. 또한, 제23 가상중심점(P3)은 제1 중심점(C1) 및 제3 중심점(C3)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제3 중심점(C3)의 좌측에 배치될 수 있다.
그리고, 제2 구조부(K2)는 제3 구조부(K3)들을 연결시킬 수 있다. 또한, 제2 구조부(K2)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00021
이고, 제2 구조부(K2)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00022
일 수 있다.
따라서, 제2 원형부(100hb)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제3 구조부(K3)와 제2 구조부(K2)가 외형을 이루고, 내측에 제2 원형부(100hb) 및 연결공간부(B)로 이루어지는 음향홀이 형성될 수 있다. 그리고, 제3 구조부(K3)와 제2 구조부(K2)가 동일한 폭(d)으로 마련되므로, 안정적인 구조를 이룰 수 있다. 또한, 종래 원형 음향홀에 비해 동일면적 대비 음향홀의 크기가 크게 형성될 수 있어, 음향 저항을 저감시킬 수 있다.
도3, 도5, 도6, 도8 및 도12를 참고하면, 원형부(100h)는 제3 원형부(100hc)를 포함할 수 있다. 그리고, 공간부(A)는 제4 공간부(A4)를 더 포함할 수 있다. 또한, 제3 원형부(100hc)는 제1 공간부(A1), 제2 공간부(A2), 제3 공간부(A3) 및 제4 공간부(A4)를 포함할 수 있다. 그리고, 제1 공간부(A1), 제2 공간부(A2), 제3 공간부(A3) 및 제4 공간부(A4)는 가상의 마름모를 이루며 배치될 수 있다.
연결공간부(B)는 제1 공간부(A1) 및 제2 공간부(A2) 사이, 제1 공간부(A1) 및 제3 공간부(A3) 사이, 제1 공간부(A1) 및 제4 공간부(A4) 사이, 제2 공간부(A2) 및 제4 공간부(A4) 사이에 형성되고 호 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 서로 근접한 공간부(A)들은 서로 일정간격(d) 이격되게 배치될 수 있다.
그리고, 백플레이트(10)의 중심을 기준으로 방사상으로 복수개의 관통홀(10g)이 형성되고, 복수개의 관통홀(10g) 사이에는 음향홀 구조(100)가 형성될 수 있다.
도12를 참고하면, 제2 공간부(A2)는 제1 공간부(A1)의 우측에 배치될 수 있다. 그리고, 제3 공간부(A3)는 제1 공간부(A1)의 우측 상부에 배치될 수 있다. 또한, 제4 공간부(A4)는 제1 공간부(A1)의 우측 하부에 배치될 수 있다.
그리고, 제1 공간부(A1)의 제1 중심점(C1)과, 제2 공간부(A2)의 제2 중심점(C2)과 제3 공간부(A3)의 제3 중심점(C3)은 서로 2r+d만큼 이격될 수 있다. 또한, 제1 공간부(A1)의 제1 중심점(C1)과, 제2 공간부(A2)의 제2 중심점(C2)과 제4 공간부(A4)의 제4 중심점(C4)은 서로 2r+d만큼 이격될 수 있다.
또한, 제3 원형부(100hc)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제4 구조부(K4), 제3 구조부(K3) 및 제2 구조부(K2)를 포함할 수 있다.
제4 구조부(K4)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제4 구조부(K4)는 제1 중심점(C1) 및 제2 중심점(C2)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
또한, 제1 중심점(C1)에 배치되는 제4 구조부(K4)는 개구된 방향이 제2 중심점(C2)을 향할 수 있다. 그리고, 제2 중심점(C2)에 배치되는 제4 구조부(K4)는 개구된 방향이 제1 중심점(C1)을 향할 수 있다.
그리고, 제4 구조부(K4)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00023
이고, 제4 구조부(K4)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00024
일 수 있다.
제3 구조부(K3)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제3 구조부(K3)는 제3 중심점(C3) 및 제4 중심점(C4)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
또한, 제3 중심점(C3)에 배치되는 제3 구조부(K3)는 개구된 방향이 제4 중심점(C4)을 향할 수 있다. 그리고, 제4 중심점(C4)에 배치되는 제3 구조부(K3)는 개구된 방향이 제3 중심점(C3)을 향할 수 있다.
그리고, 제3 구조부(K3)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00025
이고, 제3 구조부(K3)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00026
일 수 있다.
제2 구조부(K2)는 임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d일 수 있다. 그리고, 제2 구조부(K2)는 제31 가상중심점(Q1), 제32 가상중심점(Q2), 제33 가상중심점(Q3) 및 제34 가상중심점(Q4)을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
여기서, 제31 가상중심점(Q1)은 제1 중심점(C1) 및 제4 중심점(C4)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제4 중심점(C4)의 좌측에 배치될 수 있다. 그리고, 제32 가상중심점(Q2)은 제2 중심점(C2) 및 제4 중심점(C4)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제4 중심점(C4)의 우측에 배치될 수 있다.
또한, 제33 가상중심점(Q3)은 제2 중심점(C2) 및 제3 중심점(C3)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제3 중심점(C3)의 우측에 배치될 수 있다. 그리고, 제34 가상중심점(Q4)은 제1 중심점(C1) 및 제3 중심점(C3)으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 제3 중심점(C3)의 좌측에 배치될 수 있다.
그리고, 제2 구조부(K2)는 제3 구조부(K3) 및 제4 구조부(K4)들을 연결시킬 수 있다. 또한, 제2 구조부(K2)의 내측 길이는
Figure 112020095268882-pat00027
이고, 제2 구조부(K2)의 외측 길이는
Figure 112020095268882-pat00028
일 수 있다.
따라서, 제3 원형부(100hc)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제4 구조부(K4)와 제3 구조부(K3)와 제2 구조부(K2)가 외형을 이루고, 내측에 제3 원형부(100hc) 및 연결공간부(B)로 이루어지는 음향홀이 형성될 수 있다. 그리고, 제4 구조부(K4)와 제3 구조부(K3)와 제2 구조부(K2)가 동일한 폭(d)으로 마련되므로, 안정적인 구조를 이룰 수 있다. 또한, 종래 원형 음향홀에 비해 동일면적 대비 음향홀의 크기가 크게 형성될 수 있어, 음향 저항을 저감시킬 수 있다.
그리고, 제2 원형부(100hb)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제1 원형부(100ha)를 포함하는 음향홀 구조(100)보다 음향 저항을 더 저감시킬 수 있고, 제3 원형부(100hc)를 포함하는 음향홀 구조(100)는 제2 원형부(100hb)를 포함하는 음향홀 구조(100)보다 음향 저항을 더 저감시킬 수 있다.
도 9를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트(10)는 중심부에 위치하는 제1 영역(Y1) 및 가장자리부에 위치하는 제2 영역(Y2)으로 구분될 수 있다.
그리고, 음향홀 구조(100)는 제1 음향홀 구조 및 제2 음향홀 구조를 포함할 수 있다. 여기서, 제2 음향홀 구조는 제1 음향홀 구조보다 크기가 크게 마련될 수 있다.
또한, 제1 영역(Y1)에는 제1 음향홀 구조가 형성되고, 제2 영역(Y2)에는 제2 음향홀 구조가 형성될 수 있다.
좀 더 자세히 말하자면, 제1 음향홀 구조는 제1 원형부(100ha)가 형성되고, 제2 음향홀 구조는 제2 원형부(100hb)가 형성될 수 있다. 또는, 제1 음향홀 구조는 제1 원형부(100ha)가 형성되고, 제2 음향홀 구조는 제3 원형부(100hc)가 형성될 수 있다. 또는, 제1 음향홀 구조는 제2 원형부(100hb)가 형성되고, 제2 음향홀 구조는 제3 원형부(100hc)가 형성될 수 있다.
정리하면, 제2 음향홀 구조는 제1 음향홀 구조보다 크기가 크게 마련되므로, 제1 음향홀 구조가 제1 원형부(100ha)를 포함하는 음향홀 구조(100)로 마련되는 경우, 제2 음향홀 구조는 제2 원형부(100hb)를 포함하는 음향홀 구조(100) 또는 제3 원형부(100hc)를 포함하는 음향홀 구조(100)로 마련될 수 있다. 그리고, 제1 음향홀 구조가 제2 원형부(100hb)를 포함하는 음향홀 구조(100)로 마련되는 경우, 제2 음향홀 구조는 제3 원형부(100hc)를 포함하는 음향홀 구조(100)로 마련될 수 있다.
따라서, 백플레이트(10)의 가장자리부 측은 음향홀의 크기를 크게 하여 음향 저항을 감소시킬 수 있다. 또한, 중심부 측은 가장자리부 측에 비해 음향홀의 크기가 작게 형성되므로, 백플레이트(10)의 중심부 측은 가장자리부 측에 비해 동일면적 대비 빈 공간의 넓이가 좁게 형성될 수 있어, 정전용량을 증대시킬 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 음향특성을 향상시키는 음향홀 구조를 갖는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트(10)는 음향홀 구조(100)를 변경하여 음향 저항과 정전용량을 최적화시킬 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
10 : 백플레이트
100 : 음향홀 구조 100h : 원형부
100ha : 제1 원형부 100hb : 제2 원형부
100hc : 제3 원형부 A : 공간부
A1 : 제1 공간부 A2 : 제2 공간부
A3 : 제3 공간부 A4 : 제4 공간부
B : 연결공간부 11 : 중심판
10g : 관통홀 Y1 : 제1 영역
Y2 : 제2 영역 K1 : 제1 구조부
K2 : 제2 구조부 K3 : 제3 구조부
K4 : 제4 구조부 C1 : 제1 중심점
C2 : 제2 중심점 C3 : 제3 중심점
C4 : 제4 중심점 O1 : 제11 가상중심점
O2 : 제12 가상중심점 P1 : 제21 가상중심점
P2 : 제22 가상중심점 P3 : 제23 가상중심점
Q1 : 제31 가상중심점 Q2 : 제32 가상중심점
Q3 : 제33 가상중심점 Q4 : 제34 가상중심점

Claims (18)

  1. MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조가 형성된 백플레이트로서,
    상기 음향홀 구조는,
    서로 이격되게 배치되고, 적어도 2개 이상 형성된 원형상의 공간부를 포함하는 원형부; 및
    상기 공간부 사이에 배치되어 상기 공간부를 연결시키는 연결공간부가 형성되고,
    상기 원형부는 제1 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 제1 원형부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    근접한 상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부들은 서로 일정간격 이격되어 배치되고,
    상기 원형부는 제2 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제3 공간부를 포함하며,
    상기 제2 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부 및 제3 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부 및 상기 제3 공간부는 서로 동일거리 이격되어 가상의 삼각형을 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제2 공간부 및 제3 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되고,
    근접한 상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부들은 서로 일정간격 이격되어 배치되고,
    상기 원형부는 제3 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제4 공간부를 포함하며,
    상기 제3 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부, 제3 공간부 및 제4 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부 및 상기 제4 공간부는 가상의 마름모를 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제1 공간부 및 제4 공간부 사이, 제2 공간부 및 제4 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    근접한 상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부, 상기 제4 공간부들은 서로 일정간격 이격되어 배치되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  2. MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조가 형성된 백플레이트로서,
    상기 음향홀 구조는,
    서로 이격되게 배치되고, 적어도 2개 이상 형성된 원형상의 공간부를 포함하는 원형부; 및
    상기 공간부 사이에 배치되어 상기 공간부를 연결시키는 연결공간부가 형성되고,
    상기 원형부는 제1 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 제1 원형부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 원형부는 제2 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제3 공간부를 포함하며,
    상기 제2 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부 및 제3 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부 및 상기 제3 공간부는 서로 동일거리 이격되어 가상의 삼각형을 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제2 공간부 및 제3 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 백플레이트는 중심부에 형성된 제1 영역 및 상기 제1 영역의 외부에 형성되는 제2 영역으로 구분되고,
    상기 음향홀 구조는 제1 음향홀 구조 및 상기 제1 음향홀 구조보다 크기가 큰 제2 음향홀 구조를 포함하며,
    상기 제1 영역에는 제1 음향홀 구조가 형성되고,
    상기 제2 영역에는 제2 음향홀 구조가 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 원형부는 제3 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제4 공간부를 더 포함하며,
    상기 제3 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부, 제3 공간부 및 제4 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부 및 상기 제4 공간부는 가상의 마름모를 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제1 공간부 및 제4 공간부 사이, 제2 공간부 및 제4 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  4. MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조가 형성된 백플레이트로서,
    상기 음향홀 구조는,
    서로 이격되게 배치되고, 적어도 2개 이상 형성된 원형상의 공간부를 포함하는 원형부; 및
    상기 공간부 사이에 배치되어 상기 공간부를 연결시키는 연결공간부가 형성되고,
    상기 원형부는 제1 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 제1 원형부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 원형부는 제2 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제3 공간부를 포함하며,
    상기 제2 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부 및 제3 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부 및 상기 제3 공간부는 서로 동일거리 이격되어 가상의 삼각형을 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제2 공간부 및 제3 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 제2 공간부는 상기 제1 공간부의 우측에 배치되고,
    상기 제3 공간부는 상기 제1 공간부의 우측 상부에 배치되며,
    상기 제1 공간부의 제1 중심점과, 상기 제2 공간부의 제2 중심점과 상기 제3 공간부의 제3 중심점은 서로 2r+d만큼 이격되고,
    상기 음향홀 구조는,
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점, 제2 중심점 및 제3 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제3 구조부; 및
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 하측에 배치되는 제21 가상중심점과, 상기 제2 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 우측에 배치되는 제22 가상중심점과, 상기 제1 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 좌측에 배치되는 제23 가상중심점을 중심으로 각각 배치되고 상기 제3 구조부들을 연결시키는 제2 구조부를 포함하는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 원형부는 제3 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제4 공간부를 더 포함하며,
    상기 제3 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부, 제3 공간부 및 제4 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부 및 상기 제4 공간부는 가상의 마름모를 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제1 공간부 및 제4 공간부 사이, 제2 공간부 및 제4 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  6. MEMS 마이크로폰에 설치되고 음향홀 구조가 형성된 백플레이트로서,
    상기 음향홀 구조는,
    서로 이격되게 배치되고, 적어도 2개 이상 형성된 원형상의 공간부를 포함하는 원형부; 및
    상기 공간부 사이에 배치되어 상기 공간부를 연결시키는 연결공간부가 형성되고,
    상기 원형부는 제1 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 제1 원형부는 제1 공간부 및 제2 공간부를 포함하고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 원형부는 제2 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제3 공간부를 포함하며,
    상기 제2 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부 및 제3 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부 및 상기 제3 공간부는 서로 동일거리 이격되어 가상의 삼각형을 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제2 공간부 및 제3 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 원형부는 제3 원형부를 포함하고,
    상기 공간부는 제4 공간부를 포함하며,
    상기 제3 원형부는 제1 공간부, 제2 공간부, 제3 공간부 및 제4 공간부를 포함하고,
    상기 제1 공간부, 상기 제2 공간부, 상기 제3 공간부 및 상기 제4 공간부는 가상의 마름모를 이루며 배치되고,
    상기 연결공간부는 제1 공간부 및 제2 공간부 사이, 제1 공간부 및 제3 공간부 사이, 제1 공간부 및 제4 공간부 사이, 제2 공간부 및 제4 공간부 사이에 형성되고 호 형상으로 형성되며,
    상기 제2 공간부는 상기 제1 공간부의 우측에 배치되고,
    상기 제3 공간부는 상기 제1 공간부의 우측 상부에 배치되며,
    상기 제4 공간부는 상기 제1 공간부의 우측 하부에 배치되고,
    상기 제1 공간부의 제1 중심점과, 상기 제2 공간부의 제2 중심점과 상기 제3 공간부의 제3 중심점은 서로 2r+d만큼 이격되며,
    상기 제1 공간부의 제1 중심점과, 상기 제2 공간부의 제2 중심점과 상기 제4 공간부의 제4 중심점은 서로 2r+d만큼 이격되고,
    상기 음향홀 구조는,
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제4 구조부;
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제3 중심점 및 제4 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제3 구조부; 및
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제4 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제4 중심점의 좌측에 배치되는 제31 가상중심점과, 상기 제2 중심점 및 제4 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제4 중심점의 우측에 배치되는 제32 가상중심점과, 상기 제2 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 우측에 배치되는 제33 가상중심점과, 상기 제1 중심점 및 제3 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상기 제3 중심점의 좌측에 배치되는 제34 가상중심점을 중심으로 각각 배치되고 상기 제3 구조부 및 제4 구조부들을 연결시키는 제2 구조부를 포함하는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  7. 제1 항, 제3 항, 제5 항, 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    서로 근접한 상기 공간부들은 서로 일정간격 이격되게 배치되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  8. 제1 항, 제3 항, 제5 항, 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 백플레이트의 중심에는 중심판이 마련되고,
    상기 중심판의 주변부에는 상기 음향홀 구조가 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  9. 제1 항, 제3 항, 제5 항, 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 음향홀 구조는 상기 백플레이트의 중심을 기준으로 방사상으로 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  10. 제1 항, 제3 항, 제5 항, 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 백플레이트의 중심을 기준으로 방사상으로 복수개의 관통홀이 형성되고,
    상기 복수개의 관통홀 사이에는 상기 음향홀 구조가 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  11. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 음향홀 구조는 상기 제1 원형부가 형성되고,
    상기 제2 음향홀 구조는 상기 제2 원형부가 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  12. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 음향홀 구조는 상기 제1 원형부가 형성되고,
    상기 제2 음향홀 구조는 상기 제3 원형부가 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  13. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 음향홀 구조는 상기 제2 원형부가 형성되고,
    상기 제2 음향홀 구조는 상기 제3 원형부가 형성되는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  14. 제1 항, 제2 항, 제4 항, 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 공간부는 상기 제1 공간부의 우측에 배치되고,
    상기 제1 공간부의 제1 중심점과 상기 제2 공간부의 제2 중심점은 2r+d만큼 이격되며,
    상기 음향홀 구조는,
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점을 중심으로 각각 배치되는 제1 구조부; 및
    임의의 점을 중심으로 외측면은 반지름이 r+d인 원의 호로 형성되고 내측면은 반지름이 r인 원의 호로 형성되며 폭이 d이고, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 하측에 배치되는 제11 가상중심점과, 상기 제1 중심점 및 제2 중심점으로부터 각각 2r+d만큼 이격되고 상측에 배치되는 제12 가상중심점을 중심으로 각각 배치되고 상기 제1 구조부들을 연결시키는 제2 구조부를 포함하는 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00055
    이고,
    상기 제1 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00056
    이며,
    상기 제2 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00057
    이고,
    상기 제2 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00058
    인 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  16. 제4 항에 있어서,
    상기 제3 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00059
    이고,
    상기 제3 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00060
    이며,
    상기 제2 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00061
    이고,
    상기 제2 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00062
    인 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  17. 제6 항에 있어서,
    상기 제4 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00063
    이고,
    상기 제4 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00064
    이며,
    상기 제3 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00065
    이고,
    상기 제3 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00066
    이며,
    상기 제2 구조부의 내측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00067
    이고,
    상기 제2 구조부의 외측 길이는
    Figure 112021090905493-pat00068
    인 MEMS 마이크로폰용 백플레이트.
  18. 삭제
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