JP6292303B2 - 被覆超硬合金 - Google Patents
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Description
特許文献1には、エアーブラスト処理により面心立方構造の結合相中のCoを部分的に稠密六方構造へ変態させる方法が開示されている。この方法によれば、超硬合金に圧縮応力を導入し、超硬合金の耐欠損性を改善することができる。
特許文献2には、結合相中にRuを添加することにより、超硬合金の靱性、耐蝕性、及び耐熱衝撃性を改善する方法が開示されている。
(1)85質量%以上97質量%以下の硬質相と、3質量%以上15質量%以下の結合相とからなる超硬合金であって、
前記硬質相の主成分は、炭化タングステンであり、
前記結合相は、Coと、Ru、Rh、Pd、Os、IrおよびPt からなる群より選択される少なくとも1種の白金族元素とを含み、
X線回折分析によって得られる前記Co のピークにおいて、立方晶Coの(200)面の強度ICocと、六方晶Coの(101)面の強度ICohが、以下の式(1)の関係を満たす、超硬合金。
0.1≦[ICoh/(ICoh+ICoc)]≦0.6 ・・・(1)
(2)前記結合相に含まれるCoの量が2.5質量%以上14.5質量%以下であり、前記結合相に含まれる白金族元素の量が0.5質量%以上4質量%以下である(1)に記載の超硬合金。
(3)前記硬質相の平均粒径は、0.5μm以上5μm以下である(1)または(2)に記載の超硬合金。
(4)前記硬質相は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、CrおよびMoからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素と、CおよびNから選択される少なくとも1種の元素とからなる化合物をさらに含む(1)〜(3)のいずれかに記載の超硬合金。
(5)(1)〜(4)のいずれかに記載の超硬合金と、前記超硬合金の表面に形成された被覆層とを備えた被覆超硬合金であって、
前記被覆層は、少なくとも1層の密着層を含み、
前記密着層は、前記超硬合金の表面に形成されており、
前記密着層は、式AlxTiyMzNで表される組成を有し(式中、Mは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、BおよびSiからなる群より選択される少なくとも1種の元素を表す。xは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するAl元素の原子比を表す。yは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するTi元素の原子比を表す。zは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するM元素の原子比を表す。0.65≦x≦0.9、0.1≦y≦0.35、0≦z≦0.2、x+y+z=1である。)、
X線回折分析によって得られる前記密着層のピークにおいて、立方晶の(200)面の強度Icと、六方晶の(100)面の強度Ihが、以下の式(2)の関係を満たす、被覆超硬合金。
0.05≦[Ih/(Ih+Ic)]≦0.3 ・・・(2)
(6)前記密着層の平均厚さは0.5μm以上7μm以下である(5)に記載の被覆超硬合金。
(7)前記密着層の平均粒径が10nm以上400nm以下である(5)または(6)に記載の被覆超硬合金。
(8)前記被覆層の平均厚さは0.5μm以上10μm以下である(5)〜(7)のいずれかに記載の被覆超硬合金。
d=(4/π)・(NL/NS) (1)
(式中、dは平均粒径、πは円周率、NLは断面組織上の任意の直線によってヒットされる単位長さあたりの硬質相の数、NSは任意の単位面積内に含まれる硬質相の数である。)
超硬合金の表面から深さ方向に500μmまでの断面組織を、エネルギー分散型X線分光器(EDS)付き走査電子顕微鏡(SEM)にて観察する。EDSにより、超硬合金の硬質相および結合相の各組成を測定する。その測定結果から、超硬合金の硬質相および結合相の割合を求めることができる。
立方晶Coの(200)面の強度を、ICocとする。
六方晶Coの(101)面の強度を、ICohとする。
ICocとICohの合計に対する、ICohの比率が、0.1以上0.6以下である。
0.1≦[ICoh/(ICoh+ICoc)]≦0.6
ICoh/(ICoh+ICoc)が0.1未満であると、六方晶Coの存在比率が小さいため、超硬合金中に十分な圧縮応力が付与されず、超硬合金の耐欠損性が低下する。
ICoh/(ICoh+ICoc)が0.6を超えると、超硬合金中の圧縮応力が大きくなる。その結果、切削加工中にクラックが発生しやすくなり、超硬合金の耐欠損性が低下する。
そのため、ICoh/(ICoh+ICoc)は、0.1以上0.6以下であることが好ましい。
出力:50kV、250mA、
入射側ソーラースリット:5°、
発散縦スリット:2/3°、
発散縦制限スリット:5mm、
散乱スリット:2/3°、
受光側ソーラースリット:5°、
受光スリット:0.3mm、
BENTモノクロメータ、
受光モノクロスリット:0.8mm、
サンプリング幅:0.01°、
スキャンスピード:1°/min、
2θ測定範囲:30〜60°
X線回折図形から、立方晶Coの(200)面の強度ICocと、六方晶Coの(101)面の強度ICohとを求めることができる。このときに、X線回折装置付属の解析ソフトウェアを用いてもよい。解析ソフトウェアを用いるときには、三次式近似を用いてバックグラウンド処理およびKα2ピーク除去を行うとともに、Pearson−VII関数を用いてプロファイルフィッティングを行う。これにより、立方晶Coの(200)面の強度ICocと、六方晶Coの(101)面の強度ICohを求めることができる。
本発明の被覆層は、1層でもよく、多層でもよい。
本発明の被覆層全体の平均の厚さが0.5μm未満であると、被覆層の耐摩耗性が低下する傾向がある。被覆層全体の平均の厚さが10μmを超えると、被覆層の耐欠損性が低下する傾向がある。そのため、被覆層全体の平均の厚さは、0.5μm以上10μm以下であることが好ましい。
また、本発明の被覆層は、少なくとも1つの上部層を含んでもよい。上部層は、密着層の表面に形成される。上部層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、SiおよびYからなる群より選択される少なくとも1種の元素と、C、N、BおよびOからなる群から選択される少なくとも1種の元素とからなる化合物で構成されることが好ましい。上部層は、このような化合物からなる単層または積層であることが好ましい。被覆層が上部層を含むことによって、被覆層の耐摩耗性が向上する。
立方晶の(200)面の強度を、Icとする。
六方晶の(100)面の強度を、Ihとする。
IcとIhとの合計に対する、Ihの比率が、0.05以上0.3以下である。
0.05≦[Ih/(Ih+Ic)]≦0.3
密着層のピークが上記の特徴を有することにより、超硬合金と被覆層との密着性が向上する。
Ih/(Ih+Ic)が0.05未満であると、六方晶の存在比率が小さいため、超硬合金と被覆層の密着性が低下する傾向がある。この場合、欠損の起点となる微小なチッピングを抑制することができない。
Ih/(Ih+Ic)が0.3を超えると、密着層の強度が低下することにより、耐欠損性が低下する傾向がある。
出力:50kV、250mA、
入射側ソーラースリット:5°、
発散縦スリット:2/3°、
発散縦制限スリット:5mm、
散乱スリット2/3°、
受光側ソーラースリット:5°、
受光スリット:0.3mm、
BENTモノクロメータ、
受光モノクロスリット:0.8mm、
サンプリング幅:0.01°、
スキャンスピード:1°/min、
2θ測定範囲:30〜70°。
X線回折図形から、立方晶の(200)面の強度をIcと、六方晶の(100)面の強度をIhとを求めることができる。このときに、X線回折装置付属の解析ソフトウェアを用いてもよい。解析ソフトウェアを用いるときには、三次式近似を用いてバックグラウンド処理およびKα2ピーク除去を行うとともに、Pearson−VII関数を用いてプロファイルフィッティングを行う。これにより、立方晶の(200)面の強度Icと、六方晶の(100)面の強度Ihを求めることができる。
なお、密着層の表面に上部層が形成されている場合には、密着層が露出するまで上部層を研磨にて除去した後、露出した密着層をX線回折装置を用いることにより測定することができる。
具体的には、被覆超硬合金の表面に対して平行に密着層を鏡面研磨する。これにより、密着層の断面組織を得ることができる。このとき、密着層の表面から内部に向かって、密着層を鏡面研磨することができる。あるいは、密着層と上部層の界面から内部に向かって、密着層を鏡面研磨することができる。表面の凹凸が無くなるまで密着層を鏡面研磨することによって、密着層の断面組織を得ることができる。
密着層の粒径を求めるために、密着層の表面近傍の断面組織を観察してもよい。あるいは、密着層の粒径を求めるために、密着層の内部の断面組織を観察してもよい。
密着層を鏡面研磨する方法の例としては、ダイヤモンドペーストまたはコロイダルシリカを用いて研磨する方法や、イオンミリングを挙げることができる。
直径100nm以上のドロップレットを除く断面組織を観察することによって、密着層の粒径を求めることができる。断面組織の観察には、例えば、FE−SEM、TEM、または電子線後方散乱回折装置(EBSD)を用いることができる。密着層の粒径とは、密着層を構成する粒子の面積と等しい面積の円の直径(円相当径)を意味する。
密着層の断面組織から粒径を求めるために、画像解析ソフトを用いてもよい。なお、密着層の断面組織において、直径100nm以上のドロップレットと、ドロップレット以外の領域は容易に区別できる。
密着層の断面組織を観察すると、ドロップレットは円形である。ドロップレットの周りには、厚さ数nm〜数十nmの空隙が存在する。ドロップレットは、鏡面研磨中に密着層から抜け落ちることがある。その場合、密着層の断面組織に、円形の孔が生じる。そのため、密着層の断面組織において、直径100nm以上のドロップレットと、ドロップレット以外の領域は容易に区別できる。
なお、密着層の表面側に上部層が形成されている場合には、密着層が露出するまで、上部層を鏡面研磨することが好ましい。このとき、上部層の表面から内部に向かって、上部層を鏡面研磨することが好ましい。密着層が露出した後、表面の凹凸が無くなるまで密着層を鏡面研磨することが好ましい。
工程(A):以下の(1)〜(4)の粉末を、合計100質量%となるように用意する工程。
(1)平均粒径0.5〜5.0μmの炭化タングステン粉末:85〜97質量%
(2)平均粒径0.5〜5.0μmの、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、CrおよびMoからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素の、炭化物、窒化物、及び炭窒化物からなる群より選択される少なくとも1種の粉末:3〜40質量%
(3)平均粒径0.5〜3.0μmのCo粉末:2.5〜14.5質量%
(4)平均粒径1.0〜10.0μmの、Ru、Rh、Pd、Os、IrおよびPtからなる群より選択される少なくとも1種の白金族元素粉末:0.5〜4.0質量%
工程(A)では、(1)炭化タングステン粉末、(2)Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、CrおよびMoからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素の、炭化物、窒化物、及び炭窒化物からなる群より選択される少なくとも1種の粉末、(3)Co粉末、及び(4)Ru、Rh、Pd、Os、IrおよびPtからなる群より選択される少なくとも1種の白金族元素粉末を用いる。これにより、特定の組成を有する超硬合金が得られる。
本発明の超硬合金は、Co中に白金族元素が固溶しており、六方晶Coへの変態が生じやすい。また、Co中の白金族元素の固溶量が多くなるほど、六方晶Coへ変態する割合が高くなる傾向がある。本発明の超硬合金を得るためには、Coと白金族元素の配合比[白金族元素(質量%)/Co(質量%)]を、0.1〜0.6に調整することが好ましい。
より具体的には、白金族元素の配合割合が大きく、六方晶Coへの変態量が多すぎる場合には、冷却速度を早くする。白金族元素の配合割合が小さく、六方晶Coへの変態量が少なすぎる場合には、冷却速度を遅くする。Co及び白金族元素の配合割合と冷却速度を調整することにより、立方晶Coと六方晶Coの比率を調整することができる。このような調整により、ICocとICohとの合計に対する、ICohの比率を制御することができる。
反応容器内を、圧力1×10−2Pa以下になるまで真空引きする。
真空引きした後、反応容器内のヒーターで、超硬合金を200〜800℃の温度に加熱する。
加熱後、反応容器内にArガスを導入して、反応容器内の圧力を0.5〜5.0Paに調整する。
圧力0.5〜5.0PaのArガス雰囲気にて、超硬合金に、−200〜−1000Vのバイアス電圧を印加する。
反応容器内のタングステンフィラメントに5〜20Aの電流を流して、超硬合金の表面をArガスによるイオンボンバードメント処理をする。
超硬合金の表面をイオンボンバードメント処理した後、反応容器内を、圧力1×10−2Pa以下になるまで真空引きする。
その後、窒素ガスなどの反応ガスを反応容器内に導入し、反応容器内の圧力を0.5〜5.0Paに調整する。超硬合金に、−10〜−150Vのバイアス電圧を印加する。各層の金属成分に応じた金属蒸発源を、80〜150Aのアーク放電により蒸発させる。これにより、超硬合金の表面に、各層を形成することができる。
反応容器内に、金属蒸発源を設置する。金属蒸発源に含まれるAl元素とTi元素とM元素の合計に対する、Al元素の原子比は、0.65以上である。超硬合金の表面を、イオンボンバードメント処理する。イオンボンバードメント処理の後、超硬合金を700℃〜900℃の温度に加熱する。その後、窒素ガスなどの反応ガスを反応容器内に導入し、反応容器内の圧力を0.5〜3.0Paに調整する。超硬合金に、−10〜−40Vのバイアス電圧を印加する。各層の金属成分に応じた金属蒸発源を、80〜100Aのアーク放電により蒸発させる。これにより、超硬合金の表面に、密着層の核を20〜100nmの厚さで分散して形成する(核形成工程)。核形成工程の後、超硬合金に、−80〜−150Vのバイアス電圧を印加する。各層の金属成分に応じた金属蒸発源を、100〜150Aのアーク放電により蒸発させる。これにより、超硬合金の表面に、密着層を形成することができる(成膜工程)。なお、密着層の核の厚さは、核形成工程における、単位時間当たりの核の成長速度から求めることができる。
原料粉末として、市販されている以下の粉末を用意した。
平均粒径3.0μmの炭化タングステン粉末、
平均粒径5.0μmの炭化タングステン粉末、
平均粒径7.5μmの炭化タングステン粉末、
平均粒径1.5μmのCr3C2粉末、
平均粒径1.5μmの(Ti,Ta)C粉末、
平均粒径1.5μmのCo粉末、
平均粒径2.0μmのRu粉末、
平均粒径2.0μmのIr粉末、
平均粒径2.0μmのRh粉末
なお、原料粉末の平均粒径は、米国材料試験協会(ASTM)規格B330に記載のフィッシャー法(Fisher Sub-Sieve Sizer(FSSS))により測定されたものである。
アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、金属蒸発源を設置した。金属蒸発源の組成は、表3に示す被覆層の組成に対応する。作製した超硬合金を、アークイオンプレーティング装置の反応容器内のホルダーに取り付けた。反応容器内の圧力を、1×10−2Pa以下の真空にした。炉内ヒーターで、超硬合金を500℃の温度に加熱した。超硬合金の温度が500℃になった後、反応容器内の圧力が5Paになるまで、反応容器内にArガスを導入した。反応容器内の超硬合金に−1000Vのバイアス電圧を印加して、超硬合金の表面にArイオンボンバードメント処理を行った。イオンボンバードメント条件は、以下の通りである。
反応容器内の雰囲気:Ar雰囲気
反応容器内の圧力 :5Pa
金属蒸発源に対向する面の刃先から、当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、鏡面研磨面を観察した。鏡面研磨面の観察には、光学顕微鏡およびFE−SEMを用いた。観察された鏡面研磨面の画像から、被覆層の厚さを3箇所で測定した。測定された被覆層の厚さの平均値を算出した。被覆層の組成を、FE−SEM付属のEDS、および、FE−SEM付属のWDSを用いて測定した。得られた試料の被覆層を、Cu−Kα線を用いた2θ/θ集中法光学系のX線回折によって分析した。その結果、立方晶のピークのみが観察され、六方晶のピークは観察されなかった。
出力:50kV、250mA、
入射側ソーラースリット:5°、
発散縦スリット:2/3°、
発散縦制限スリット:5mm、
散乱スリット2/3°、
受光側ソーラースリット:5°、
受光スリット:0.3mm、
BENTモノクロメータ、
受光モノクロスリット:0.8mm、
サンプリング幅:0.01°、
スキャンスピード:1°/min、
2θ測定範囲:30〜60°
その鏡面研磨面について、超硬合金の表面から深さ方向に500μm内部までの断面組織を、EDS付きSEMにて観察した。
EDSにより超硬合金の硬質相および結合相の各組成を測定した。その結果から、超硬合金の硬質相および結合相の割合を求めた。その結果を、表4に示す。
加工形態:転削、
工具形状:RPHT10T3、
被削材:Ti−6Al−4V、
被削材形状:200mm×110mm×60mm(形状:板材)、
切削速度:60m/min、
送り:0.2mm/tooth、
切り込み:2.5mm、
切削幅:20mm
クーラント:使用、
評価項目:試料が欠損に至るまでの加工長を測定した。
実施例1の発明品1〜16と同一の炉で同時に作製した超硬合金をそれぞれ用意した。
アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、金属蒸発源を設置した。金属蒸発源の組成は、表7に示す被覆層の組成に対応する。
実施例1の発明品1〜16と同一の炉で同時に作製した超硬合金を、アークイオンプレーティング装置の反応容器内のホルダーに取り付けた。反応容器内の圧力を、1×10−2Pa以下の真空にした。炉内ヒーターで、超硬合金を500℃の温度に加熱した。超硬合金の温度が500℃になった後、反応容器内の圧力が5Paになるまで、反応容器内にArガスを導入した。反応容器内の超硬合金に−1000Vのバイアス電圧を印加して、超硬合金の表面にArイオンボンバードメント処理を行った。イオンボンバードメント条件は、以下の通りである。
反応容器内の雰囲気:Ar雰囲気
反応容器内の圧力 :5Pa
金属蒸発源に対向する面の刃先から、当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、鏡面研磨面を観察した。鏡面研磨面の観察には、光学顕微鏡およびFE−SEMを用いた。観察された鏡面研磨面の画像から、被覆層に含まれる各層の厚さを3箇所で測定した。測定された各層の厚さの平均値を算出した。各層の平均厚さの合計が、被覆層全体の平均厚さである。被覆層の組成を、FE−SEM付属のEDS、および、FE−SEM付属のWDSを用いて測定した。
出力:50kV、250mA、
入射側ソーラースリット:5°、
発散縦スリット:2/3°、
発散縦制限スリット:5mm、
散乱スリット2/3°、
受光側ソーラースリット:5°、
受光スリット:0.3mm、
BENTモノクロメータ、
受光モノクロスリット:0.8mm、
サンプリング幅:0.01°、
スキャンスピード:1°/min、
2θ測定範囲:30〜70°
試料番号17、18、21〜32については、密着層が露出するまで、上部層を表面から内部に向かって研磨した。さらに、密着層の凹凸が無くなるまで、密着層を鏡面研磨した。鏡面になった密着層の表面組織を、EBSDで観察した。EBSDの設定は、以下の通りである。
ステップサイズ:0.01μm、
測定範囲:2μm×2μm、
方位差が5°以上の境界を粒界とみなす
まず、EBSDによって観察された画像から、密着層の粒径を求めた。ここでいう粒径とは、密着層のある1つの結晶粒の面積と等しい面積の円の直径(円相当径)を意味する。同様の方法により、観察された画像の視野中に含まれる複数の結晶粒の粒径を求めた。複数の結晶粒の粒径の平均値を算出した。算出された平均値が、密着層の平均粒径である。その結果を、表9に示す。
また、密着層を有する試料(発明品17〜32)の加工長と、密着層を有していない試料(発明品1〜16)の加工長との差を求めた。その結果を表10に示す。
該加工長の差は、以下のように算出した。
発明品17:発明品17の加工長と発明品1の加工長の差
発明品18:発明品18の加工長と発明品2の加工長の差
発明品19:発明品19の加工長と発明品3の加工長の差
・
・
発明品32:発明品32の加工長と発明品16の加工長の差
加工形態:転削、
工具形状:RPHT10T3、
被削材:Ti−6Al−4V、
被削材形状:200mm×110mm×60mm(形状:板材)、
切削速度:60m/min、
送り:0.2mm/tooth、
切り込み:2.5mm、
切削幅:20mm、
クーラント:使用、
評価項目:試料が欠損に至るまでの加工長を測定した。
密着層を有する発明品17〜32は、すべて、密着層を有していない発明品よりも加工長が長かった。この理由は、超硬合金と被覆層との密着性が向上したことにより、欠損の起点となる微小なチッピングが抑制されたためであると考えられる。
Claims (8)
- 超硬合金と、前記超硬合金の表面に形成された被覆層とを備えた被覆超硬合金であって、
前記超硬合金は、85質量%以上97質量%以下の硬質相と、3質量%以上15質量%以下の結合相とからなり、
前記硬質相の主成分は、炭化タングステンであり、
前記結合相は、Coと、Ru、Rh、Pd、IrおよびPtからなる群より選択される少なくとも1種の白金族元素とを含み、
X線回折分析によって得られる前記Coのピークにおいて、立方晶Coの(200)面の強度ICocと、六方晶Coの(101)面の強度ICohが、以下の式(1)の関係を満たし、
0.1≦[ICoh/(ICoh+ICoc)]≦0.6 ・・・(1)
前記被覆層は、少なくとも1層の密着層を含み、
前記密着層は、前記超硬合金の表面に形成されており、
前記密着層は、式Al x Ti y M z Nで表される組成を有し(式中、Mは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、BおよびSiからなる群より選択される少なくとも1種の元素を表す。xは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するAl元素の原子比を表す。yは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するTi元素の原子比を表す。zは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するM元素の原子比を表す。0.65≦x≦0.9、0.1≦y≦0.35、0≦z≦0.2、x+y+z=1である。)、
X線回折分析によって得られる前記密着層のピークにおいて、立方晶の(200)面の強度I c と、六方晶の(100)面の強度I h が、以下の式(2)の関係を満たす、被覆超硬合金。
0.05≦[I h /(I h +I c )]≦0.3 ・・・(2) - 前記結合相に含まれるCoの量が2.5質量%以上14.5質量%以下であり、前記結合相に含まれる白金族元素の量が0.5質量%以上4質量%以下である請求項1に記載の被覆超硬合金。
- 前記硬質相の平均粒径は、0.5μm以上5μm以下である請求項1または2に記載の被覆超硬合金。
- 前記硬質相は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、CrおよびMoからなる群より選択される少なくとも1種の金属元素と、CおよびNから選択される少なくとも1種の元素とからなる化合物をさらに含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の被覆超硬合金。
- 前記密着層の平均厚さは0.5μm以上7μm以下である請求項1〜4のいずれか1項に記載の被覆超硬合金。
- 前記密着層の平均粒径が10nm以上400nm以下である請求項1〜5のいずれか1項に記載の被覆超硬合金。
- 前記被覆層の平均厚さは0.5μm以上10μm以下である請求項1〜6のいずれか1項に記載の被覆超硬合金。
- 超硬合金と、前記超硬合金の表面に形成された被覆層とを備えた被覆超硬合金であって、
前記超硬合金は、85質量%以上97質量%以下の硬質相と、3質量%以上15質量%以下の結合相とからなり、
前記硬質相の主成分は、炭化タングステンであり、
前記結合相は、Coと、Ru、Rh、Pd、Os、IrおよびPt からなる群より選択される少なくとも1種の白金族元素とを含み、
X線回折分析によって得られる前記Co のピークにおいて、立方晶Coの(200)面の強度ICocと、六方晶Coの(101)面の強度ICohが、以下の式(1)の関係を満たし、
0.1≦[ICoh/(ICoh+ICoc)]≦0.6 ・・・(1)
前記被覆層は、少なくとも1層の密着層を含み、
前記密着層は、前記超硬合金の表面に形成されており、
前記密着層は、式AlxTiyMzNで表される組成を有し(式中、Mは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、BおよびSiからなる群より選択される少なくとも1種の元素を表す。xは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するAl元素の原子比を表す。yは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するTi元素の原子比を表す。zは、Al元素とTi元素とM元素の合計に対するM元素の原子比を表す。0.65≦x≦0.9、0.1≦y≦0.35、0≦z≦0.2、x+y+z=1である。)、
X線回折分析によって得られる前記密着層のピークにおいて、立方晶の(200)面の強度Icと、六方晶の(100)面の強度Ihが、以下の式(2)の関係を満たす、被覆超硬合金。
0.05≦[Ih/(Ih+Ic)]≦0.3 ・・・(2)
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