JP6289356B2 - オルガノシロキサン網目構造組成物 - Google Patents
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Description
少なくとも1つのアルコキシシラン前駆体物質は、下式
式中、nは、0〜4であり、X1、X2およびX3は、それぞれ、1〜12個の炭素原子を含む炭化水素基であるか、または1〜6個の炭素原子を含むアルコキシ基であり;R1は、直鎖または分枝鎖の炭化水素基、直鎖または分枝鎖のポリエーテル基、直鎖または分枝鎖のポリエステル基、直鎖または分枝鎖のペルフルオロ炭化水素基、直鎖または分枝鎖の部分的にフッ素化された炭化水素基、直鎖または分枝鎖のペルフルオロポリエーテル基、直鎖または分枝鎖の部分的にフッ素化されたポリエーテル基、直鎖または分枝鎖のペルフルオロポリエステル基、直鎖または分枝鎖の部分的にフッ素化されたポリエステル基である。Arは、4〜24個の炭素原子を含む芳香族基またはヘテロ芳香族基をあらわす。Ar基は、場合によりフッ素原子で置換されていてもよい。
以下のフッ素化ビルディングブロック構造1aからfOSNコーティングを調製し、248nmでのベースラインレーザードリル性能を確立した。この物質は、添加した発色団を含んでおらず、248nmで吸収しない。結果として、レーザードリル性能は悪く、この組成物を用いて完全な開口部を製造することができた。
フッ素化ビルディングブロック構造1a、構造2aおよび構造3aからfOSNコーティングを調製し、良好な濡れ性を有し、248nmで優れたレーザードリル性能を有する低表面エネルギー材料を確立した。この材料は、248nmで弱い吸収を有する発色団を含む。構造3aによってあらわされるアリール発色団の吸光度は、約202nmの波長でピークを有する。構造3aによってあらわされるアリール発色団の248nmでの吸光度は、約0.1A.U.である。結果として、レーザードリル性能は悪く、この組成物を用い、完全な開口部を製造することができなかった。
構造1a、2bおよび3cで以下に示すようなフッ素化ビルディングブロックからfOSNを調製した。得られた材料は、低い表面エネルギーを有しており、これによって、優れた濡れ防止特性を有するということがわかる。この材料は、正しい発色団を含み、図1に示すように、248nmで強く吸収する。248nmでのレーザードリル性能は、図2に示される。その結果、レーザードリル性能が優れており、この組成物を用い、完全な開口部を製造することができた。
構造1a、2bおよび3cで以下に示すようなフッ素化ビルディングブロックからfOSNを調製した。得られた材料は、低い表面エネルギーを有しており、これによって優れた濡れ防止特性を有するということがわかる。この材料は、正しい発色団を含み、図3のUVスペクトルに示すように、248nmで強く吸収する。248nmでのレーザードリル性能は、図4に示される。その結果、レーザードリル性能が優れており、この組成物を用い、完全な開口部を製造することができた。図4では、開口部の縁の周囲に亀裂も剥離も観察されない。この配合物では、すべてのシランビルディングブロックは、同様の反応性を有し、優れたレーザードリル性能を有し、コーティング中に発色団が均一に分布する。
Claims (10)
- 2〜12個のアルコキシシラン前駆体物質を含む混合物の重合生成物を含み、
前記アルコキシシラン前駆体物質の少なくとも1つは、直鎖のフルオロアルカン、分枝鎖のフルオロアルカン、およびフルオロアレーンからなる群から選択される少なくとも1つの疎水性アルコキシシラン前駆体物質であり、
前記アルコキシシラン前駆体物質の少なくとも1つは、
式中、nは、0〜4であり、X1、X2およびX3は、それぞれ、1〜12個の炭素原子を含む炭化水素基であるか、または1〜6個の炭素原子を含むアルコキシ基であり、X 1 、X 2 およびX 3 のうち少なくとも1つは、1〜6個の炭素原子を含むアルコキシ基であり、Arは、ビフェニル、ナフチル、アントラセニル、ビナフチル、4−ニトロフェニル、および4−フルオロフェニルからなる群から選択され、Arは、場合によりフッ素原子で置換されていてもよく、Arは、248nmの20nm以内に最大吸収を有する、架橋したシロキサン組成物。 - 前記架橋したシロキサン組成物は、2〜8個のアルコキシシラン前駆体物質を含む混合物の重合生成物である、請求項1に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 前記疎水性アルコキシシラン前駆体物質および前記芳香族アルコキシシラン前駆体物質は、前記架橋したシロキサン組成物中に均一に分布する、請求項1に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 疎水性アルコキシシラン前駆体物質と芳香族アルコキシシラン前駆体物質のモル比は、1:9〜9:1である、請求項1に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 疎水性アルコキシシラン前駆体物質と芳香族アルコキシシラン前駆体物質のモル比は、1:7〜7:1である、請求項1に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 全てのアルコキシシラン前駆体物質は、酸化ケイ素(Si−O−Si)結合を介し、単一の系で一緒に結合しており、この単一の系は、ケトン、塩素化溶媒およびエーテルからなる群から選択される溶媒に不溶性である、請求項1に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 2〜4個のアルコキシシラン前駆体物質を含む混合物の重合生成物を含み、
前記アルコキシシラン前駆体物質の少なくとも1つは、
前記アルコキシシラン前駆体物質の少なくとも1つは、
式中、nは、0〜4であり、X 1 、X 2 およびX 3 は、それぞれ、1〜12個の炭素原子を含む炭化水素基であるか、または1〜6個の炭素原子を含むアルコキシ基であり、X 1 、X 2 およびX 3 のうち少なくとも1つは、1〜6個の炭素原子を含むアルコキシ基であり、R 1 は、直鎖または分枝鎖のペルフルオロ炭化水素基、直鎖または分枝鎖の部分的にフッ素化された炭化水素基、直鎖または分枝鎖のペルフルオロポリエーテル基、直鎖または分枝鎖の部分的にフッ素化されたポリエーテル基、直鎖または分枝鎖のペルフルオロポリエステル基、直鎖または分枝鎖の部分的にフッ素化されたポリエステル基であり、Arは、ビフェニル、ナフチル、アントラセニル、ビナフチル、4−ニトロフェニル、および4−フルオロフェニルからなる群から選択され、Arは、場合によりフッ素原子で置換されていてもよく、Arは、248nmの20nm以内に最大吸収を有する、架橋したシロキサン組成物。 - 疎水性アルコキシシラン前駆体物質の芳香族アルコキシシラン前駆体物質に対するモル比は、1:9〜9:1である、請求項7に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 疎水性アルコキシシラン前駆体物質の芳香族アルコキシシラン前駆体物質に対するモル比は、1:7〜7:1である、請求項7に記載の架橋したシロキサン組成物。
- 全てのアルコキシシラン前駆体物質は、酸化ケイ素(Si−O−Si)結合を介し、単一の系で一緒に結合しており、この単一の系は、ケトン、塩素化溶媒およびエーテルからなる群から選択される溶媒に不溶性である、請求項7に記載の架橋したシロキサン組成物。
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