JP6288688B2 - ブレーズド凹面回折格子の製造方法 - Google Patents
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Description
2 : 凹面回折格子基板
3 : 分離層等
4 : 分割シート
G1 : 第1タイリング回折格子
G2 : 第2タイリング回折格子
L1 : 第1光線
L2 : 第2光線
Claims (7)
- 凸面ブレーズドマスター回折格子を製造するステップAと、
タイリング対象である2つの凹面回折格子基板を用意し且つ分割シートを用意するステップBと、
2つの凹面回折格子を複製し、複製時、前記2つの凹面回折格子基板を前記凸面ブレーズドマスター回折格子に押し付け、凸面ブレーズドマスター回折格子の中間に分割シートを鉛直に置いて前記2つの凹面回折格子基板を分離することにより、凸面ブレーズドマスター回折格子で互いに独立した2つの凹面回折格子を複製するステップCと、
独立した2つの凹面回折格子をそれぞれ2つの異なる方向から引き抜くことにより、それらを凸面ブレーズドマスター回折格子から分離するステップDと、
上記ステップDの後に前記凹面回折格子をタイリングするステップEと、を含むブレーズド凹面回折格子の製造方法。 - 前記ステップAにおいて、前記凸面ブレーズドマスター回折格子は、凸面ブレーズドマスター回折格子基板に対して感光、現像及びイオンビームエッチングを行ってなるものであり、前記凸面ブレーズドマスター回折格子基板の作用面は光学面であり、光沢処理されたものであり、製造過程において、前記凸面ブレーズドマスター回折格子基板の作用面に感光材料、即ちフォトレジストをスピンコーティングし、前記凸面ブレーズドマスター回折格子基板について、まず、ホログラフィック露光法を利用して凸面フォトレジストマスク回折格子を得て、次に、前記凸面フォトレジストマスク回折格子を現像してフォトレジストマスター回折格子を得て、最後に、現像後のフォトレジストマスター回折格子をイオンビームエッチングして凸面ブレーズドマスター回折格子を得る請求項1に記載のブレーズド凹面回折格子の製造方法。
- 前記凸面ブレーズドマスター回折格子基板の機能面は、球面又は非球面である請求項2に記載のブレーズド凹面回折格子の製造方法。
- 前記ステップBにおいて、凹面回折格子基板のプロファイルは前記凸面ブレーズドマスター回折格子基板の作用面のプロファイルと一致し、且つ前記2つの凹面回折格子基板は完全に同様なサイズ、輪郭を有し、前記分割シートは、材質が硬質高温蒸煮耐性PEシーリングフィルムであり、主成分がポリエチレンである請求項2又は3に記載のブレーズド凹面回折格子の製造方法。
- 前記分割シートはシリコーンオイル膜分離層、反射膜及びエポキシ樹脂粘着剤のいずれにも粘着しない請求項4に記載のブレーズド凹面回折格子の製造方法。
- 前記ステップCにおいて、まず、凸面ブレーズドマスター回折格子の中間に分割シートを鉛直に置き、製造済みの凸面ブレーズドマスター回折格子に、薄くて均一なシリコーンオイル膜を分離層としてコーティングし、さらに反射膜をめっきし、次に、蒸着後の凸面ブレーズドマスター回折格子をオーブン内のプラットフォームに置き、エポキシ樹脂を注入し、且つ前記2つの凹面回折格子基板を押し付け、レベリングして気泡を除去した後、オーブンを適切な硬化温度に昇温させ、エポキシ樹脂が硬化した後、オーブンから取り出す請求項1から5のいずれか一項に記載のブレーズド凹面回折格子の製造方法。
- 前記ステップEにおいて、2つの回折格子の鉛直方向の間隔B=0であり、2つの回折格子の水平方向の間隔S=Nd(Nが正の整数で、dがタイリング対象である回折格子の回折格子定数である)である請求項1から6のいずれか一項に記載のブレーズド凹面回折格子の製造方法。
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