JP6283940B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
30質量%のポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂(DIC(株)社製、商品名「クリスボン」、100%モジュラス:6MPa、流動開始温度:195℃)のDMF溶液100質量部に対して、顔料であるカーボンブラックを20質量%含むDMF分散液を20質量部、疎水性活性剤を2質量部、親水性活性剤を2質量部を混合して、樹脂溶液を調製した。樹脂溶液の25℃での粘度をB型回転粘度計(東機産業株式会社製、商品名「TVB−10型」)を用いて測定したところ、70dPa・sであった。次に、成膜用基材として、PETフィルムを用意し、そこに、上記樹脂溶液を、ナイフコータを用いて塗布し、厚さ1.5mmの塗膜を得た。
研磨レートは、研磨処理前後の膜厚の差である研磨量を、研磨時間で除して表したものであり、研磨加工前後の基板について各々121箇所の厚み測定結果の平均値として求めた。なお、厚み測定は、光学式膜厚膜質測定器(KLAテンコール社製、商品名「ASET−F5x」)のDBSモードにて測定した。
研磨パッド寿命は、600枚研磨後の摩耗量から評価した。600枚研磨後の摩耗損失量が低いほど寿命の長いパッドである。
エンボス加工による溝を形成せず、溝を有していない研磨パッドを作成した。
エンボス加工により幅1mm、溝ピッチ4mmの格子パターンの溝を有する研磨パッドを作成した。
エンボス加工により幅1mm、溝ピッチ6mmの同心円状の周方向溝と、研磨パッドの中心から外周まで延びる36本の直線溝とを備えた研磨パッドを作成した。
溝を形成していない比較例1の研磨パッドでは、スラリーの循環性が良好ではなく、研磨レートが低いものだった。また格子溝形状の比較例2の研磨パッドは、研磨レートが実施例より劣り、研磨後の研磨パッドには、外周部の4か所に偏摩耗が発生しており、その影響を受けて、ウェハーの研磨均一性が悪化しパッドの摩耗量も実施例に比べ大きかった。さらに、周方向溝と直線溝を有する比較例3の研磨パッドでは、外周側で顕著に放射溝近傍のみにスラリーが供給されてしまい、スラリーの分散性が良好ではないうえ、直線溝付近の摩耗量が大きく実施例の研磨レートに及ばず、パッドの摩耗量も実施例に比べ大きかった。
3 被研磨物
7 研磨パッド
21 溝
21a 周方向溝
21b 径方向溝
23 ランド部
Claims (4)
- 研磨面に研磨スラリーを流すための溝が形成された研磨パッドであって、
前記溝は、径方向に延びる径方向溝、及び該径方向溝とT字をなすように径方向溝の径方向外側端部と交差する周方向溝の組み合わせで形成されるT字状部分を備え、
前記研磨パッドの径方向内側にある円形溝に連結されている径方向溝の数は、研磨パッドの径方向外側にある円形溝に連結されている径方向溝の数よりも少ない、
ことを特徴とする研磨パッド。 - 前記溝は、前記T字状部分を複数備え、複数のT字状部分の周方向溝同士は、互いに連結されて円形溝を形成しており、該第1の円形溝の径方向外側には、更に、複数のT字状部分の周方向溝同士を互いに連結した円形溝が複数個形成されている、
請求項1に記載の研磨パッド。 - 径方向外側に向かうにつれて、溝の間に形成されているランド部分の頂面の面積が大きくなっている、
請求項1又は2に記載の研磨パッド。 - 前記溝は、エンボス加工によって形成されている、
請求項1乃至3の何れか1項に記載の研磨パッド。
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