JP6283022B2 - 光学装置 - Google Patents
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Description
前記接合構造において、前記第1導電膜のうち前記第2導電膜の周囲に位置する部分には、前記導電材料とは異なる材料により構成される分散剤が存在している光学装置である。
図1は、第1の実施形態に係る光学装置10を示す平面図である。図2は図1のA−A断面を示す断面図であり、図3は図1のB−B断面を示す断面図である。
また、図4および5は、図1に示す光学装置10の一部を示す図である。図4では、とくに第1導電膜110と、第2導電膜130との位置関係が示されている。図5では、とくに絶縁層120の構成が示されている。図6は、本実施形態における第1導電膜110と、第2導電膜130と、により構成される接合構造200の一例を示す図である。本実施形態において、光学装置10は、例えば照明装置やディスプレイなどの発光装置である。以下、光学装置10を発光装置10として説明を行う。
接合構造200は、第1導電膜110と、第2導電膜130と、が互いに接合してなる接合構造である。なお、本明細書において、第1導電膜110と第2導電膜130が接合するとは、第1導電膜110と第2導電膜130との間に他の構成が介在する場合を含む。
本実施形態において、接合構造200は、たとえば基板100上に形成される。この場合、第1導電膜110および第2導電膜130は、基板100上に形成されることとなる。
本実施形態において、接合構造200のうち第1導電膜110は、たとえば有機EL素子を構成する電極に接続する第1配線を構成する。また、接合構造200のうち第2導電膜130は、たとえば引出配線を構成する。この場合、第1配線と引出配線との間において、接合構造200が形成されることとなる。このとき、第1配線のうち引出配線の周囲に位置する部分には、透明導電材料とは異なる材料により構成される分散剤202が存在することとなる。
透明導電材料が導電性高分子を含む場合、第1導電膜110は塗布法を用いて形成することができる。この場合、基板100を形成する工程において、基板100等の他の構成へ熱負荷がかかってしまうことを抑制することが可能となる。
また、透明導電材料として無機材料を含む場合には、第1導電膜110は、この無機材料を有機溶剤中に分散させた溶液を塗布することにより形成される塗布型導電膜であることが好ましい。このような場合においても、第1導電膜110を、塗布法を用いて形成することができる。
π共役系導電性高分子としては、特に限定されないが、たとえばポリチオフェン類、ポリピロール類、ポリインドール類、ポリカルバゾール類、ポリアニリン類、ポリアセチレン類、ポリフラン類、ポリパラフェニレンビニレン類、ポリアズレン類、ポリパラフェニレン類、ポリパラフェニレンサルファイド類、ポリイソチアナフテン類、またはポリチアジル類の鎖状導電性ポリマーを用いることができる。導電性、透明性、安定性等の観点からは、ポリチオフェン類またはポリアニリン類であることが好ましく、ポリエチレンジオキシチオフェンであることがとくに好ましい。
ポリアニオンとしては、ポリビニルスルホン酸、ポリスチレンスルホン酸、ポリアリルスルホン酸、ポリアクリル酸エチルスルホン酸、ポリアクリル酸ブチルスルホン酸、ポリ−2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、ポリイソプレンスルホン酸、ポリビニルカルボン酸、ポリスチレンカルボン酸、ポリアリルカルボン酸、ポリアクリルカルボン酸、ポリメタクリルカルボン酸、ポリ−2−アクリルアミド−2−メチルプロパンカルボン酸、ポリイソプレンカルボン酸、またはポリアクリル酸を用いることができる。本実施形態において用いられるポリアニオンは、これらの単独重合体であってもよいし、2種以上の共重合体であってもよい。
第2導電膜130を構成する金属材料としては、たとえばAg、Al、Cr、Mo、Ni、Nb、Ti、W、Au、Pt、Cu、およびPdが挙げられる。第2導電膜130は、たとえば金属粒子が焼結されてなる焼結体である。なお、第2導電膜130は、たとえばスパッタリング法や蒸着法により形成されていてもよい。
図6に示す例においては、第1導電膜110のうち第2導電膜130の上面および側面の近傍に位置する部分において、分散剤202が存在している。
また、本実施形態によれば、第1導電膜110のうちの第2導電膜130の周囲に位置する部分に、分散剤202が存在する。このため、第1導電膜110と第2導電膜130との接合部分における電界集中を緩和することもできる。この場合、電界集中に起因したクラックの発生等を抑制することができる。このような観点からも、第1導電膜110と第2導電膜130との間における接続信頼性が向上することとなる。
分散剤202として電子供与性もしくは電子受容性の化学ドーパントを用いる場合、第1導電膜110のキャリア密度を増加させ、第1導電膜110の導電率を向上させることができる。また、金属材料を用いる場合には、透明導電材料よりも電気抵抗率が低い材料を第1導電膜110中に分散させることができるため、第1導電膜110の導電率を向上させることができる。したがって、これらの材料からなる分散剤202を第1導電膜110のうちの第2導電膜130の周囲に位置する部分に存在させることにより、第1導電膜110と第2導電膜130との間における接触抵抗を低減することが可能となる。
なお、分散剤202が金属材料またはその酸化物からなる場合には、分散剤202を構成する金属材料と、第2導電膜130を構成する金属材料と、が互いに同一であることが好ましい。
第1導電膜110は、たとえば第2導電膜130のうちの上面と、側面と、のそれぞれの一部を覆うように形成される。このとき、分散剤202は、たとえば第1導電膜110のうちの、第2導電膜130の上面の一部から当該上面と垂直な方向に所定の距離内に位置する部分に存在する。また、分散剤202は、たとえば第1導電膜110のうちの、第2導電膜130の側面の一部から当該側面に垂直な方向に所定の距離内に位置する部分にも存在する。
なお、第1導電膜110と第2導電膜130との界面における電界集中を緩和する観点からは、分散剤202が、第2導電膜130の表面から2/3×d以下の距離に位置する領域に存在することがより好ましい。
まず、基板100上に第2導電膜130を形成する。第2導電膜130は、たとえば塗布法、スパッタリング法または蒸着法を用いて形成される。当該工程において使用される塗布法としては、特に限定されないが、たとえばインクジェット法、スクリーン印刷法、スプレー塗布法、またはディスペンサー塗布法が挙げられる。
塗布法により引出配線134を形成する際に用いられる塗布液は、たとえばバインダ樹脂および有機溶剤を含む。バインダ樹脂としては、たとえばセルロース系樹脂、エポキシ系樹脂、またはアクリル系樹脂を用いることができる。有機溶剤としては、たとえば炭化水素系溶剤、またはアルコール系溶剤を用いることができる。また、塗布液中に含有される金属粒子は、たとえばAg、Al、Cr、Mo、Ni、Nb、Ti、W、Au、Pt、CuまたはPdである。
基板100上に形成される第1導電膜110の膜厚は、特に限定されないが、たとえば10nm以上10μm以下である。なお、第1導電膜110の膜厚は、抵抗値、透過率、およびコスト等を考慮して適宜選択することが可能である。また、当該工程においては、特に限定されないが、たとえばインクジェット法、スクリーン印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法、ダイコート、スピンコート、またはスプレーを用いて透明導電材料含有塗布液が基板100上に塗布される。第1導電膜110を形成する当該工程において用いられる透明導電材料含有塗布液は、たとえば上述した透明導電材料に加え、有機溶剤や水等を含む。有機溶剤としては、たとえばアルコール系溶剤を用いることができる。
まず、分散剤202が分散した透明導電材料含有塗布液を、第2導電膜130のうちの一部上に選択的に塗布する。これにより、第1膜を形成する。次いで、分散剤202を含まない透明導電材料含有塗布液を、第1膜を覆うように基板100上にライン状に塗布する。これにより、第2膜を形成する。なお、第2膜は、第1膜を形成するための上記塗布液よりも低い濃度の分散剤202が分散された透明導電材料含有塗布液を使用して形成されてもよい。次いで、第1膜および第2膜を乾燥する。これにより、第1膜および第2膜からなる第1導電膜110が形成されることとなる。
本実施形態においては、たとえばこのようにして、第2導電膜130の周囲に位置する部分に分散剤202が存在する第1導電膜110を形成することができる。
図1においては、発光装置10がディスプレイである場合が例示される。
なお、発光装置10は、照明装置であってもよい。発光装置10が照明装置である場合、発光装置10は、たとえば互いに発光色が異なるライン状の有機層140を複数繰り返し並べた構成を有する。これにより、演色性に優れた照明装置が実現される。また、照明装置である発光装置10は、面状の有機層140を有していてもよい。
図4に示す例において、基板100上には、図中Y方向に延在する第1導電膜110が複数設けられている。これら複数の第1導電膜110は、互いに離間するよう図中X方向に配列されている。そして、第1導電膜110のうち、一点鎖線で示される画素領域300よりも引出配線134と接続する端部側に位置する部分が、第1配線114となる。
本実施形態では、引出配線134が第1配線114に接続する場合が例示される。基板100上には、互いに離間するよう図中X方向に配列された複数の引出配線134が設けられている。各引出配線134は、それぞれ第1配線114に接続される。このため、複数の第1配線114は、それぞれ引出配線134を介して外部へ接続されることとなる。有機EL素子20には、第1配線114および引出配線134を介して発光/非発光の信号が供給される。
本実施形態において、第1配線114の一端が引出配線134の一部上に重なるように第1配線114が形成される。また、第1配線114は、たとえば引出配線134のうちの上面と、側面と、のそれぞれの一部を覆うように形成される。この場合、たとえば第1配線114のうち引出配線134の上面および側面の近傍に位置する部分において、分散剤202が存在することとなる。
図4では、引出配線134のうち画素領域300側に位置する端部のみが、平面視で第1配線114と重なる場合が例示される。この場合、引出配線134のうち画素領域300側に位置する端部は第1配線114により覆われ、他の部分は第1配線114により覆われずに露出することとなる。本実施形態においては、引出配線134は、たとえば上面の一部、画素領域300に面する端面、および当該端面に隣接する二つの側面の一部において第1配線114により覆われる。この場合、第1配線114のうち、引出配線134の上面の一部、端面、および側面の一部それぞれの近傍に位置する部分において、分散剤202が存在することとなる。
絶縁層120は、ポリイミド系樹脂等の感光性の樹脂であり、露光および現像されることによって所望のパターンに形成される。絶縁層120は、ポリイミド系樹脂以外の樹脂材料により構成されてもよく、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂であってもよい。
本実施形態においては、複数の第1開口122は、第1電極112上に位置するように形成される。図中Y方向に延在する各第1電極112の上には、たとえば複数の第1開口122が所定の間隔を空けて図中Y方向に配列される。また、これらの複数の第1開口122は、たとえば第1電極112と直交する方向(図中X方向)に延在する第2電極152と重なる位置に設けられる。このため、複数の第1開口122は、マトリクスを構成するように配置されることとなる。
図5に示すように、第2開口124は、たとえば引出配線164上に位置するように設けられる。複数の第2開口124は、第1開口122が構成するマトリクスの一辺に沿って配置されている。この一辺に沿う方向(たとえば図中Y方向)でみた場合、第2開口124は、第1開口122と同じ間隔で配置されている。
図1に示すように、隔壁170は、図中X方向に延在するように設けられる。すなわち、隔壁170は、第2電極152の延在方向に沿って形成されることとなる。また、隔壁170は、図中Y方向に配列されるよう複数設けられる。
隔壁170は、たとえばポリイミド系樹脂等の感光性の樹脂であり、露光および現像されることによって所望のパターンに形成される。なお、隔壁170は、ポリイミド系樹脂以外の樹脂材料により構成されてもよく、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂であってもよい。
なお、隔壁170の平面形状は、図1に示すものに限られない。このため、隔壁170の平面形状を変更することにより、隔壁170により互いに分断される複数の第2電極152の平面パターンを自由に変更することが可能となる。
本実施形態において、有機層140は、たとえば正孔注入層142、発光層144および電子注入層146を順に積層した積層体により構成される。このとき、正孔注入層142は第1電極112に接し、電子注入層146は第2電極152に接する。このため、有機層140は、第1電極112と第2電極152との間に狭持されることとなる。
なお、正孔注入層142と発光層144の間には正孔輸送層が形成されてもよいし、発光層144と電子注入層146の間には電子輸送層が形成されてもよい。また、有機層140は、正孔注入層142を有していなくともよい。
一方で、図3に示すように、有機層140を構成する各層は、隔壁170が延在する図中X方向において、隣り合う第1開口122の間において連続するように設けられる。
本実施形態において、第2電極152は、たとえば有機EL素子の陰極となる。第2電極152は、たとえば図中X方向に直線状に延在するように設けられる。また、基板100上には、たとえば互いに離間する複数の第2電極152が、第2電極152の延在方向と垂直な方向(図中Y方向)に配列される。
第2配線154は、第1電極112または第2電極152のうち第1配線114と接続していない一方に接続している。これにより、第1電極112および第2電極152のうち第2配線154と接続されるいずれか一方は、第2配線154を介して外部へ接続されることとなる。
本実施形態においては、第2配線154が有機層140上に設けられ、第2電極152に接続される場合が例示される。このとき、有機層140上には、それぞれ異なる第2電極152へ接続する複数の第2配線154が設けられる。このため、本実施形態における複数の第2電極152は、それぞれ第2配線154を介して外部へ接続されることとなる。なお、第2配線154は、たとえば一部が第2開口124内に埋め込まれ、当該一部において後述する引出配線164に接続される。
図1に示す例において、有機層140上には、図中X方向に延在する導電膜150が複数設けられている。また、これらの複数の導電膜150は、互いに離間するよう図中Y方向に配列されている。そして、導電膜150のうち、画素領域300よりも引出配線164と接続する端部側に位置する部分が、第2配線154となる。
これにより、互いに離間するよう図中Y方向に配列され、かつ図中X方向に延在する複数の導電膜150を形成することが可能となる。このとき、隔壁170上には、導電膜150と同一材料からなる膜が形成されることとなる。
まず、基板100上に引出配線134を形成する。引出配線134は、たとえば塗布法、スパッタリング法または蒸着法を用いて基板100上に形成される。なお、本実施形態において、引出配線134は、第2導電膜130により構成される。このため、引出配線134は、たとえば上述した第2導電膜130を形成する方法および第2導電膜130を構成する材料を用いて形成される。
第1配線114を形成する上記工程においては、たとえば第1配線114とともに、第1配線114に接続する第1電極112が形成される。この場合、第1電極112は、たとえば第1配線114と一体として第1導電膜110により形成される。
この段階において得られる構造が、図4に示されるものである。
これにより、有機層140が形成される。
これにより、第1電極112と、第2電極152と、これらに狭持された有機層140と、により構成される有機EL素子20が、基板100上に形成されることとなる。
本実施形態においては、たとえばこのようにして発光装置10が形成される。
また、有機EL素子20を構成する第1電極112に接続され、かつ第1導電膜110により構成される第1配線114と、第2導電膜130により構成される引出配線134と、を備える発光装置10を実現することができる。これにより、第1電極112と引出配線134との間における接続信頼性を向上させることができる。また、発光装置10の動作信頼性を向上させることも可能となる。
図7は、第2の実施形態に係る発光装置12を示す平面図であり、第1の実施形態に係る図1に対応している。図8は図7のC−C断面を示す断面図であり、図9は図7のD−D断面を示す断面図である。図10は、図7に示す発光装置12の一部を示す図である。図10では、とくに第1導電膜110と第2導電膜130との位置関係が示されている。
発光装置12は、接合構造200を有している。発光装置12は、有機EL素子20と、引出配線134と、を備えている。有機EL素子20は、第1導電膜110により構成される第1電極112と、第2電極152と、第1電極112と第2電極152との間に配置された有機層140と、を有している。引出配線134は、第1電極112と接合し、かつ第2導電膜130により構成されている。
第1電極112は、透明導電材料により構成される第1導電膜110により構成される。このため、第1電極112は透明性を有することができる。
本実施形態において、引出配線134は、金属材料により構成される第2導電膜130により構成される。このため、第1導電膜110により構成される第1電極112と、第2導電膜130により構成される引出配線134と、が互いに接合して接合構造200が形成されることとなる。図10に示す例では、破線により囲まれた部分において接合構造200が形成される。
第1電極112は、引出配線134からみて第2方向に延びている。なお、本実施形態において第2方向とは、たとえば図中X方向をさす。第1電極112の形状は、特に限定されず有機EL素子20の設計に併せて適宜選択可能であるが、たとえば矩形である。
図10に示す例においては、第1電極112の一端が引出配線134の一部上に重なるように第1電極112が形成される。この場合、第1電極112は、たとえば引出配線134のうちの、上面と、側面と、のそれぞれの一部を覆うように形成されることとなる。このとき、たとえば第1電極112のうち引出配線134の上面および側面の近傍に位置する部分において、分散剤202が存在することとなる。
本実施形態においては、第1電極112は、第1開口122内に形成される。これにより、基板100上にマトリクス状に配置された複数の第1電極112が形成される。また、図8および9に示すように、複数の第1電極112は、絶縁層120によって互いに電気的に離間されることとなる。第1開口122は、たとえば引出配線134の一部と平面視で重なるように形成される。この場合、引出配線134のうちの第1開口122と平面視で重なる一部が、第1開口122に形成された第1電極112と接続することとなる。
絶縁層120は、たとえば第1の実施形態と同様の材料により構成される。
また、本実施形態によれば、第1導電膜110により構成される第1電極112と、第2導電膜130により構成される引出配線134と、を備える発光装置12を実現することができる。これにより、第1電極112と引出配線134との間における接続信頼性を向上させることができる。また、発光装置12の動作信頼性を向上させることも可能となる。
図11は、第3の実施形態に係る発光装置10の構成を示す平面図である。本実施形態において、発光装置10は例えば照明装置などの光源として使用される。このため、発光装置10は、第1電極112に接続する端子(引出配線134の端部)及び第2電極152に接続する端子(引出配線166の端部)を、一つずつ有している。そして、発光装置10が有する有機EL素子20は一つの場合もあれば、複数の場合もある。後者の場合、複数の有機EL素子20は、同時に電流が流されるため、同時に制御される。なお、いずれの場合においても、絶縁層120(本図においては図示せず)は、有機EL素子20を囲むことにより、有機EL素子20となる領域を画定している。
図12は、第4の実施形態に係る光学装置11の構成を示す断面図である。本実施形態に係る光学装置11は液晶装置であり、基板402と基板404の間に液晶材料420を挟んだ構成を有している。
まず、ガラス基板上に、銀からなる金属膜を、スパッタリング法を用いて形成した。次いで、この金属膜をドライエッチングによりライン状にパターニングし、第2導電膜を形成した。次いで、銀粒子が分散された第1透明導電材料含有塗布液(以下、第1塗布液)を、第2導電膜の一部を覆うようにインクジェット法により塗布して第1膜を形成した。ここで、第1塗布液としては、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ポリスチレンスルホネート(PEDOT−PSS、CLEVIOS PH510(Heraeus社製))を溶剤中へ分散して得られる溶液を使用した。また、導体粒子としては、銀粉末を使用した。第1塗布液に導入される銀粉末の含有量は、第1塗布液中のPEDOT/PSS固形分に対し1重量%であった。
このようにして得られた構造体を、第1の実施形態に係る発光装置に適用した。
まず、ガラス基板上に、ITOからなる透明導電膜を、スパッタリング法により形成した。次いで、この透明導電膜をドライエッチングによりライン状にパターニングし、第1導電膜を形成した。次いで、銀からなる金属膜を、スパッタリング法を用いて第1導電膜上に形成した。次いで、この金属膜をドライエッチングによりライン状にパターニングし、第1導電膜上に第2導電膜を形成した。これにより、第1導電膜と第2導電膜と、からなる構造体を作製した。
Claims (8)
- 導電材料により構成される第1導電膜と、金属材料により構成される第2導電膜と、が互いに接合してなる接合構造と、
第1電極、第2電極、及び前記第1電極と前記第2電極の間の有機層を有する有機EL素子と、
を有し、
前記有機EL素子と前記接合構造は互いに異なる位置に配置され、
前記接合構造において、前記第1導電膜のうち前記第2導電膜の周囲に位置する部分には、電子供与性若しくは電子受容性の化学ドーパントにより構成される分散剤が存在している光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記導電材料は半導体以外の材料である光学装置。 - 請求項1又は2に記載の光学装置において、
前記第1導電膜の体積に対する前記分散剤の体積占有率は、前記第1導電膜のうちの前記第2導電膜の周囲に位置する部分において、前記第1導電膜のうちの他の部分よりも高い光学装置。 - 請求項1〜3いずれか一項に記載の光学装置において、
前記導電材料は、導電性高分子を含む光学装置。 - 請求項1〜4いずれか一項に記載の光学装置において、
前記第1導電膜は、前記第1電極又は前記第2電極であり、
前記第2導電膜は、前記第1導電膜と電気的に接続する配線である光学装置。 - 請求項1〜4いずれか一項に記載の光学装置において、
前記第1導電膜は、前記第1電極又は前記第2電極に接続する第1配線であり、
前記第2導電膜は、前記第1配線と電気的に接続する引出配線である光学装置。 - 請求項1〜4いずれか一項に記載の光学装置において、
前記第1導電膜は前記第1電極であり、
前記第1電極に接合し、かつ前記第2導電膜により構成される引出配線と、
を備える光学装置。 - 請求項1〜4いずれか一項に記載の光学装置において、
前記第1電極と電気的に接続し、かつ前記第1導電膜により構成される第1配線と、
前記第1配線と接合し、かつ前記第2導電膜により構成される引出配線と、
を備える光学装置。
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