JP6273762B2 - 波長変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
非線形光学結晶としては、具体的には、ニオブ酸リチウム(LiNbO3,LN)、タンタル酸リチウム(LiTaO3,LT)、KTiOPO4(KTP)等が知られている。これら非線形光学結晶であって周期的な分極構造(PP)とした結晶は、PPLN(Periodically Poled LiNbO3)、PPLT、PPKTPといった表記がされる。特に、MgOをドープしたPPNL結晶は、光損傷(フォトリフラクティブダメージ)に強く、より高い変換効率が得られることで知られている。
撮影の解像度等の関係で、周期的な分極反転構造は図6では示されていないが、スポット状の模様の大きさは、分極反転周期(図1のΛ)よりも遙かに大きい。したがって、スポット状の模様の領域(意図しないランダムが分極反転が生じた領域)では、疑似位相整合が達成されないため、高調波の強め合いが生じずに逆に弱め合ってしまう。このような意図しない反転分極が生じた箇所は、ある程度の個数存在していて、これが原因で変換効率が低下したものと考えられる。
本願発明は、この知見に基づいてなされたものであり、意図しないランダムな反転分極を抑制することで高い変換効率を実現できる波長変換素子の製造方法を提供することを目的としている。
結晶基板の一方の面に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
絶縁層をラインアンドスペースのパターンにするパターン形成工程と、
パターン形成工程の後に前記絶縁層を加熱する加熱工程と、
形成された絶縁層のラインアンドスペースのパターンを利用して結晶基板に周期的に電圧を印加する電圧印加工程とを有しており、
前記加熱工程での加熱により結晶基板の温度が変化している際、結晶基板の表面を除電するという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記除電は、自然分極している前記結晶基板の表面の極性と異なる極性のイオンを当該表面に集めることで行うという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項2の構成において、前記結晶基板の表面の除電は、イオナイザーを使用して行うという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項3の構成において、前記イオナイザーにおけるディケイタイムは3.67秒以下であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項1乃至4いずれかの構成において、前記電圧印加工程は、前記ラインアンドスペースを構成する各直線部から成る絶縁層で覆われていない前記結晶基板の表面に接触するように導電性流体を前記結晶基板に供給し、導電性流体を介して前記結晶基板に電圧を印加する工程であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項1乃至5いずれかの構成において、前記結晶基板の表面の除電は、前記結晶基板の温度が降下している際に行われるという構成を有する。
また、絶縁層のポストベークの際、意図しないランダムな分極反転が抑制されるので、絶縁層のポストベークが必要な製造プロセスにおいて好適に採用することができる。
また、請求項2記載の発明によれば、上記効果に加え、意図しないランダムな分極反転をイオン供給により抑制するので、構成が大がかりにならず、また調整や制御も容易である。
また、請求項3記載の発明によれば、上記効果に加え、両側から逆極性のイオンを供給して両側で分極反転を抑制する。このため、分極反転抑制効果がより高くなる。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、導電性流体を使用して結晶基板に電圧を印加することで周期的な分極反転構造を作り込むので、製造プロセスが簡略化される。
また、請求項6記載の発明によれば、上記効果に加え、意図しないランダムな分極反転が生じ易い温度降下の際に除電が行われるので、分極反転抑制の効果がより確実に得られる。
実施形態の方法で製造される波長変換素子は、前述したような擬似位相整合型波長変換素子である。
図1は、周期的な逆電界設定により製造された擬似位相整合型波長変換素子の概略図である。図1から解るように、「周期的に」とは、周期的に間欠した状態という意味であり、z方向に垂直な方向で見た際、逆電界を設定する領域と設定しない領域とが交互に連なった状態とするということである。この際のz軸に垂直な方向が、基本波Lωの入射方向とされる。
式1において、mは高調波の次数に応じた数(ここでは1)、λは基本波の波長、nωは基本波の波長における屈折率、n2ωは第二高調波の波長における屈折率である。例えば、基本波の波長λが1064nmであり、結晶がLiNbO3の場合、分極反転周期Λは7μm前後とされる。
実施形態の製造方法は、これらの点を考慮し、製造をより容易にするため、導電性流体により電圧を印加する方法を採用している。
まず、図2(1)に示すように、結晶基板4の一方の面に絶縁層5を形成する。この実施形態では、絶縁層5は絶縁性のレジストを塗布することで形成される。どちらの面に塗布するかは、任意に選択し得るが、この例では、+z側の面となっている。塗布されるレジストは、フォトリソグラフィによってパターン形成されるものであるため感光性材料となっている。
また、上記製造工程において、結晶基板4から複数の擬似位相整合素子8が製造される場合もある。即ち、図2(1)〜(4)に示す各工程を行った後、結晶基板4を所定箇所で切断して各擬似位相整合素子8が製造される場合もある。
この際、結晶基板4は自然分極しており、この例では+z面(正電荷の面)が上側になっていて露出している。このため、イオナイザー91から出射されたイオンのうち、陰イオンは結晶基板4の上面(+z面)に集まる。したがって、結晶基板4の温度が変化する際にも、ランダムな分極反転が生じるのが抑制される。即ち、結晶欠陥等が存在していてそこだけ(局所的に)分極反転しようとしても、+z面において分極が陰イオンで捉えられているので、反転が抑えつけられた状態となる。
尚、通常、ホットプレート93は導電性の材料で形成されてアースされる。イオナイザー93から出射された陽イオンや余剰の陰イオンは、ホットプレート93を通してアースに流れる。
この実験では、図4に示す実施形態の方法が採用され、円形とした結晶基板4(LiNbO3)が使用された。結晶基板4を125℃で2時間程度加熱した後、加熱炉内に放置して室温まで低下させた。この温度低下の際、意図しないランダムな分極反転(図6に示すようなスポット状の分極反転)が生じたエリアが、図5においてハッチングで示されている。
このように、実施形態の製造方法では、結晶基板に温度変化が生じる際、意図しないランダムな分極反転が抑制されるので、高い変換効率を達成する良質な擬似位相整合型波長変換素子が製造できる。
例えば、図3に示す実施形態において、一つのトレー93上に複数の結晶基板4を並べ、イオナイザー91を備えたカバー体94で覆って同時にイオン供給しながら加熱する場合もあり得る。この場合、各結晶基板4は、同じ極性のz面が上側になるようにして配置しても良いが、半数の結晶基板4については+z面を上側、残りの半数の結晶基板4については−z面を上側とすると、正負のイオンを均等に使用することができるので好適である。
また、擬似位相整合型波長変換素子は、分極反転の周期Λを調整することで任意のコヒーレント長Λを選択できる点に長所があり、前述した1064nmの赤外光の第二高調波(532nm)発生用以外にも、任意の波長を変換する素子について本願発明を適用することができる。
5 絶縁層
6 絶縁層パターン
7 導電性流体
71 封止リング
72 パッド
8 擬似位相整合型波長変換素子
9 加熱炉
91 イオナイザー
92 基板保持具
Claims (6)
- 非線形光学効果を示す強誘電体結晶で形成された結晶基板の厚さ方向に垂直な方向において周期的に分極が反転している構造の波長変換素子を製造する方法であり、
結晶基板の一方の面に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
絶縁層をラインアンドスペースのパターンにするパターン形成工程と、
パターン形成工程の後に前記絶縁層を加熱する加熱工程と、
形成された絶縁層のラインアンドスペースのパターンを利用して結晶基板に周期的に電圧を印加する電圧印加工程とを有しており、
前記加熱工程での加熱により結晶基板の温度が変化している際、結晶基板の表面を除電することを特徴とする波長変換素子の製造方法。 - 前記除電は、自然分極している前記結晶基板の表面の極性と異なる極性のイオンを当該表面に集めることで行うことを特徴とする請求項1記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記結晶基板の表面の除電は、イオナイザーを使用して行うことを特徴とする請求項2に記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記イオナイザーにおけるディケイタイムは3.67秒以下であることを特徴とする請求項3記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記電圧印加工程は、前記ラインアンドスペースを構成する各直線部から成る絶縁層で覆われていない前記結晶基板の表面に接触するように導電性流体を前記結晶基板に供給し、導電性流体を介して前記結晶基板に電圧を印加する工程であることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記結晶基板の表面の除電は、前記結晶基板の温度が降下している際に行われることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の波長変換素子の製造方法。
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