JP6272140B2 - 半導体素子収納用パッケージ、およびこれを備えた半導体装置 - Google Patents
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Description
半導体装置1は、半導体素子収納用パッケージ2とパワー半導体素子3とを備えている。半導体装置1は、送電システム、電車、自動車、パワーコンディショナー、エアーコンディショナーまたはサーバー機等の電力変換効率を向上させる必要がある機器に用いられる。
に設定されている。また、金属基板21の熱膨張係数は、例えば、5ppm/℃以上20ppm/℃以下に設定されている。金属基板21が金属材料の場合は、例えば、インゴットを周知の圧延加工法、打ち抜き加工法またはエッチング加工法等の金属加工法を採用することによって、所定の形状となるように作製される。
の熱膨張係数は、例えば、2ppm/℃以上10ppm/℃以下に設定されている。
ろう材は、例えば、銀、銅、金、アルミニウムまたはマグネシウム等からなり、ニッケル、カドミウムまたは燐等の添加物を含有させてもよい。シールリング6は、平面視したとき、金属基板21上に設けた枠体22と重なる枠状部材である。シールリング6は、例えば、鉄、ニッケルまたはコバルト等の熱伝導性の優れた緩衝材料からなる。なお、シールリング6は、枠体22に対して固形の接合材を用いて接続される。枠体22上に接合材を配置し、この接合材上にシールリング6を重ねて、シールリング6に熱を加えることで、接合材が溶けて、シールリング6と枠体22とが接続される。さらに、溶融した接合材が冷やされて固化することで、シールリング6が接合材を介して枠体22に固定される。
ここで、半導体素子収納用パッケージ、およびこれを備えた半導体装置の製造方法を説明する。金属基板21や金属部材22a、シールリング6は、例えば、鉄−ニッケル−コバルト合金を型枠に鋳込んで作製したインゴットを周知の切削加工や打ち抜き加工等の金属加工法を用いて所定形状に作製される。
ている。そして、約1600℃の温度で焼成し、所定形状に切断することにより、枠体22の絶縁部材22bが作製される。なお、メタライズパターンpは、焼成されることによって形成されたモリブデン−マンガン合金の表面に、ニッケルから成るメッキ層が設けられる。
2 半導体素子収納用パッケージ
21 金属基板
22 枠体
22a 金属部材
22b 絶縁部材
23 リード部材
23a 鍔部
3 パワー半導体素子
4 蓋体
6 シールリング
R 実装領域
H 貫通孔
p メタライズパターン
Claims (5)
- 上面にパワー半導体素子が実装される実装領域を有する金属基板と、
前記金属基板上に設けられた、前記実装領域を取り囲む枠体と、
前記枠体の一部に設けられた、前記枠体外から前記枠体を貫通し、前記枠体の外側面と当接する鍔部を有するリード部材とを備え、
前記鍔部は、平面視して、前記金属基板の側面よりも前記枠体外に食み出しており、
前記枠体は、平面視して4辺を有する四角形状であって、前記4辺のうち3辺が金属部材からなり、前記4辺のうち残りの1辺が絶縁部材からなり、前記リード部材が前記絶縁部材に設けられていることを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体素子収納用パッケージであって、
前記鍔部は、環状であることを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体素子収納用パッケージであって、
前記リード部材と接続される、前記枠体の一部は、前記金属基板の側面よりも前記枠体外に食み出していることを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体素子収納用パッケージであって、
前記枠体上には、前記枠体の上部に沿ってシールリングが設けられており、前記シールリングが前記金属部材上から前記絶縁部材上にかけて連続して設けられていることを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体素子収納用パッケージと、
前記実装領域上に設けられた、前記枠体内に位置する前記リード部材の一部とワイヤを介して電気的に接続されたパワー半導体素子と、
前記枠体上に前記パワー半導体素子を覆って設けられた蓋体と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。
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