JP6261291B2 - GaN系電界効果トランジスタおよび窒化物半導体装置 - Google Patents
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Description
基板と、
上記基板上に積層されたGaN系チャネル層と、このGaN系チャネル層の上にヘテロ接合したGaN系バリア層とを含むGaN系積層体と、
上記GaN系積層体の活性領域上に形成されたゲート電極とソース電極とドレイン電極とを有する素子部と、
上記活性領域を分離するために上記GaN系バリア層を含まないと共に、上記GaN系チャネル層の一部を含む分離領域と、
上記分離領域上に形成された素子分離用電極と
を備え、
上記素子分離用電極は、上記活性領域を囲んでいることを特徴としている。
上述のGaN系電界効果トランジスタと、
このGaN系電界効果トランジスタにカスコード接続されている別の電界効果トランジスタと
を備えることを特徴としている。
図1に示すように、この第1実施形態のGaN系電界効果トランジスタは、例えばシリコン基板である基板1と、この基板1上に積層されたGaN系チャネル層2と、このGaN系チャネル層2上にヘテロ接合したGaN系バリア層3とを備える。このGaN系チャネル層2とGaN系バリア層3とは、GaN系積層体5を構成する。上記GaN系チャネル層2およびGaN系バリア層3は、GaN系半導体からなる。
(第2の実施例)
図3に示すように、この第2実施形態の窒化物半導体装置は、第1実施形態または変形例に記載のGaN系HFET51と、このGaN系HFET51にカスコード接続されている別の電界効果トランジスタ52とを備えている。
基板1と、
上記基板1上に積層されたGaN系チャネル層2と、このGaN系チャネル層2の上にヘテロ接合したGaN系バリア層3とを含むGaN系積層体5と、
上記GaN系積層体5の活性領域10上に形成されたゲート電極23とソース電極22とドレイン電極21とを有する素子部20と、
上記活性領域10を分離するために上記GaN系バリア層3を含まないと共に、上記GaN系チャネル層2の一部を含む分離領域30と、
上記分離領域30上に形成された素子分離用電極31と
を備え、
上記素子分離用電極31は、上記活性領域10を囲んでいることを特徴としている。
上記素子分離用電極31と上記GaN系チャネル層2との間に絶縁膜32を設けている。
上記絶縁膜32の材料は、窒化シリコンまたは酸化シリコンのうちの少なくとも1つである。
上記素子分離用電極31は、上記基板1裏面または上記素子部20のゲート電極23に電気的に接続されている。
上述のGaN系電界効果トランジスタ51と、
このGaN系電界効果トランジスタ51にカスコード接続されている別の電界効果トランジスタ52と
を備えることを特徴としている。
2 GaN系チャネル層
3 GaN系バリア層
5 GaN系積層体
6,32 絶縁膜
7 チップ端
10 活性領域
20 素子部
21 ドレイン電極
22 ソース電極
23 ゲート電極
25 2DEG
30 分離領域
31 素子分離用電極
51 GaN系HFET
52 電界効果トランジスタ
Claims (4)
- 基板と、
上記基板上に積層されたGaN系チャネル層と、このGaN系チャネル層の上にヘテロ接合したGaN系バリア層とを含むGaN系積層体と、
上記GaN系積層体の活性領域上に形成されたゲート電極とソース電極とドレイン電極とを有する素子部と、
上記活性領域を分離するために上記GaN系バリア層を含まないと共に、上記GaN系チャネル層の一部を含む分離領域と、
上記分離領域上に形成された素子分離用電極と
を備え、
上記素子分離用電極は、上記活性領域を囲んでおり、
上記素子分離用電極と上記GaN系チャネル層との間に絶縁膜を設けていることを特徴とするGaN系電界効果トランジスタ。 - 請求項1に記載のGaN系電界効果トランジスタにおいて、
上記素子分離用電極は、上記基板裏面または上記素子部のゲート電極に電気的に接続されていることを特徴とするGaN系電界効果トランジスタ。 - 請求項1または2に記載のGaN系電界効果トランジスタにおいて、
上記絶縁膜の材料は、窒化シリコンまたは酸化シリコンのうちの少なくとも1つであることを特徴とするGaN系電界効果トランジスタ。 - 基板と、
上記基板上に積層されたGaN系チャネル層と、このGaN系チャネル層の上にヘテロ接合したGaN系バリア層とを含むGaN系積層体と、
上記GaN系積層体の活性領域上に形成されたゲート電極とソース電極とドレイン電極とを有する素子部と、
上記活性領域を分離するために上記GaN系バリア層を含まないと共に、上記GaN系チャネル層の一部を含む分離領域と、
上記分離領域上に形成された素子分離用電極と
を備え、
上記素子分離用電極は、上記活性領域を囲んでいるGaN系電界効果トランジスタと、
このGaN系電界効果トランジスタにカスコード接続されている別の電界効果トランジスタと
を備えることを特徴とする窒化物半導体装置。
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