JP6256253B2 - 透明導電体及びタッチパネル - Google Patents
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Description
この膜付きの悪化は、ZnS含有層の上に成膜するAg層のプラズモン吸収を悪化させるという第2の問題も引き起こしてしまう。
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第1屈折率調整層群と、
透明金属層と、
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第2屈折率調整層群と、
をこの順に備える透明導電体であって、
前記第2屈折率調整層群の少なくとも1層は、誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層であり、
前記第1屈折率調整層群の少なくとも1層は、硫化亜鉛が含有された層であり、かつ、該層における亜鉛の含有率(at%)と硫黄の含有率(at%)との総和に対する硫黄の含有率(at%)の割合が、35%以上であることを特徴とする透明導電体。
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第1屈折率調整層群と、
透明金属層と、
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第2屈折率調整層群と、
をこの順に備える透明導電体であって、
前記第2屈折率調整層群の少なくとも1層は、誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層であり、
前記第1屈折率調整層群は、少なくとも、高屈折率層と、前記高屈折率層と前記透明金属層との間に形成された硫化防止層と、を有し、
前記高屈折率層は、硫黄が含有された層であり、
前記硫化防止層の層厚は、0.1〜10nmの範囲内であり、
前記透明基板と前記第1屈折率調整層群との間には、密着層が形成されていることを特徴とする透明導電体。
また、この膜付きの悪化は、ZnS含有層の上に成膜するAg層の吸収を悪化させるという第2の問題も引き起こす。これも推測であるが、上記同様に、ZnS中の硫黄の組成ズレが原因でAg層とZnS含有層との密着性が大きく変わるため、Ag層のプラズモン吸収が増大していると考えている。
第1の実施形態に係る透明導電体は、透明基板と、波長570nmの光に対し、透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第1屈折率調整層群と、透明金属層と、波長570nmの光に対し、透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第2屈折率調整層群と、をこの順に備え、第2屈折率調整層群の少なくとも1層は、誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層であり、第1屈折率調整層群の少なくとも1層は、硫化亜鉛が含有された層であり、かつ、該層における亜鉛の含有率(at%)と硫黄の含有率(at%)との総和に対する硫黄の含有率(at%)の割合が、35%以上であることを特徴とする。
なお、本発明において、元素の含有率(at%)とは、層に含まれる全含有元素を100at%としたときの値である。
以下、図面を用いて詳細に説明する。
第1屈折率調整層群4は、少なくとも硫化亜鉛を含有する層4A(以下、第1高屈折率層4Aともいう。)を有し、該層における亜鉛の含有率(at%)と硫黄の含有率(at%)との総和に対する硫黄の含有率(at%)の割合が35%以上となっている。
第1硫化防止層4B及び第2硫化防止層8Bは、必要に応じて、適宜設けることができる。
本発明の透明導電体1において、透明電極ユニットEUが積層されている領域aが、電気が導通する領域(導通領域ともいう。)である。一方、透明基板2上に透明電極ユニットEUを有していない領域bが絶縁領域である。
本発明の透明導電体1に適用可能な透明基板2としては、各種表示デバイスの透明基板に適用されている材料を適宜用いることができる。
透明基板2としては、ガラス基板や、セルロースエステル樹脂(例えば、トリアセチルセルロース(TAC)、ジアセチルセルロース、アセチルプロピオニルセルロース等)、ポリカーボネート樹脂(例えば、パンライト、マルチロン(以上、帝人社製))、シクロオレフィン樹脂(例えば、ゼオノア(日本ゼオン社製)、アートン(JSR社製)、アペル(三井化学社製))、アクリル樹脂(例えば、ポリメチルメタクリレート、アクリライト(三菱レイヨン社製)、スミペックス(住友化学社製))、ポリイミド、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN))、ポリエーテルスルホン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂(ABS樹脂)/アクリロニトリル・スチレン樹脂(AS樹脂)、メチルメタクリレート・ブタジエン・スチレン樹脂(MBS樹脂)、ポリスチレン、メタクリル樹脂、ポリビニルアルコール/エチレンビニルアルコール樹脂(EVOH)、スチレン系ブロックコポリマー樹脂等からなる透明樹脂フィルムが挙げられる。透明基板2が透明樹脂フィルムである場合、当該フィルムには2種以上の樹脂が含まれてもよい。
一方、平均光吸収率は、平均光透過率と同様の角度から光を入射させて、透明基板2の平均反射率を測定し、
平均光吸収率(%)=100−(平均光透過率+平均反射率)(%)
として算出する。平均光透過率及び平均反射率は、分光光度計(例えば、U4100:日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて測定することができる。
本発明に係る第1屈折率調整層群4は、その少なくとも1層が硫化亜鉛が含有された層(第1高屈折率層4A)であり、かつ、第1高屈折率層4Aにおける亜鉛の含有率(at%)と硫黄の含有率(at%)との総和に対する硫黄の含有率(at%)の割合が、35%以上であることを特徴とする。
第1屈折率調整層群4には、透明金属層6中の銀が第1屈折率調整層群4に含まれる硫黄により硫化されることを防止するため、第1高屈折率層4Aと透明金属層6との間に、第1硫化防止層4Bを設けてもよい。
なお、上記屈折率は、温度25℃、相対湿度25%における測定値である。
具体的には、透明基板2と比較して、第1屈折率調整層群の屈折率が高いほど、透明基板2と第1屈折率調整層群4との界面での反射が高まるため、透明金属層6に含有される銀から発生する反射を打ち消しやすくなる。
第1高屈折率層4Aは、透明導電体1の導通領域a、すなわち、透明金属層6が形成されている領域の光透過性(光学アドミッタンス)を調整する層であり、少なくとも透明導電体1の導通領域aに形成される。第1高屈折率層4Aは、透明導電体1の絶縁領域bにも形成されていてもよいが、導通領域a及び絶縁領域bからなるパターンの視認性向上の観点から、図4に例示するように、導通領域aのみに形成されていることが好ましい。
第1高屈折率層4Aに含まれる誘電性材料又は酸化物半導体材料の波長570nmの光に対する屈折率は、1.5より高いことが好ましく、1.7〜2.5の範囲内であることがより好ましく、更に好ましくは1.8〜2.5の範囲内である。誘電性材料又は酸化物半導体材料の屈折率が1.5より高いと、第1高屈折率層4Aによって、透明導電体1の導通領域aの光学アドミッタンスが十分に調整される。
なお、第1高屈折率層4Aの屈折率は、第1高屈折率層4Aに含まれる材料の屈折率や、第1高屈折率層4Aに含まれる材料の密度で調整される。
第1高屈折率層4Aの屈折率も、透明基板2と同様に、エリプソメーターを用い、25℃の環境下で測定することにより求めることができる。
誘電性材料又は酸化物半導体材料としては、以下の金属酸化物(無機酸化物も含む。)が挙げられ、例えば、TiO2、ITO(インジウム・スズ酸化物)、ZnO、Nb2O5、ZrO2、CeO2、Ta2O5、Ti3O5、Ti4O7、Ti2O3、TiO、SnO2、La2Ti2O7、(インジウム・亜鉛酸化物)、AZO(アルミニウム・亜鉛酸化物)、GZO(ガリウム・亜鉛酸化物)、ATO(アンチモン・スズ酸化物)、ICO(インジウム・セリウム酸化物)、Bi2O3、a−GIO、Ga2O3、GeO2、SiO2、Al2O3、HfO2、SiO、MgO、Y2O3、WO3、a−GIO(ガリウム・インジウム酸化物)等が挙げられる。上記金属酸化物の中でも、特に、二酸化ケイ素(SiO2)が好ましい。これは、第1高屈折率層4Aを構成する膜がアモルファス状になり、割れに強くフレキシブル性を高めることができるためである。
第1高屈折率層4Aには、当該金属酸化物が1種のみ含まれる層であってもよく、2種以上が含まれる層であってもよい。
第1高屈折率層4Aを成膜する際には、硫化炭素等の硫化ガスを導入しながら成膜することが好ましい。
また、イオンプレーティング等を利用したプラズマアシスト蒸着機やイオンアシスト蒸着機も好適に用いられる。イオンプレーティング効果により、高反応性成膜の実現と表面拡散効果による膜質の緻密性・平滑性を向上させることができる。
本発明の透明導電体1は、第1高屈折率層4Aと透明金属層6との間に、透明金属層6の硫化を防止する観点から、第1硫化防止層4Bを有することが好ましい。
第1硫化防止層4Bは、透明導電体1の絶縁領域bにも形成されていてもよいが、導通領域a及び絶縁領域bからなるパターンの視認性向上の観点から、図4に例示するように、導通領域aのみに形成されていることが好ましい。
金属フッ化物としては、LaF3、BaF2、Na5Al3F14、Na3AlF6、AlF3、MgF2、CaF2、CeF3、NdF3、YF3等が挙げられる。
金属窒化物としては、Si3N4、AlN等が挙げられる。
特に、ZnやGa金属が含有されていれば、耐湿性を劣化させず、また、銀との相互作用も強いため好ましい。
第1硫化防止層4Bの層厚は、エリプソメーターで測定される。
本発明に係る透明金属層6は、銀を主成分として構成され、透明導電体1において電気を導通させるための層である。透明金属層6は、図1〜3に示すように透明基板2上の全面に形成されていてもよいが、図4に示すように所定の形状にパターニングされていることが好ましい。
なお、本発明において、銀を主成分として含有するとは、銀の含有比率が60at%(原子%)以上であることをいう。銀の含有比率は、導電性の観点から、好ましくは90at%以上であり、より好ましくは95at%以上であり、更には透明金属層6が銀のみからなることが好ましい。
透明金属層6の層厚は、エリプソメーターを用いて測定して求めることができる。
真空蒸着法又はスパッタ法であれば、平面性の高い透明金属層を極めて速い形成速度で形成することができる。また、ZnSを含有する第1高屈折率層4A上に透明金属層6を成膜する際、層の形成速度が速ければ金属の硫化物が生成しにくいため、銀を主成分として含有する透明金属層6の形成速度は0.3nm/秒以上であることが好ましい。透明金属層6の形成速度は、0.5〜30nm/秒の範囲内であることがより好ましく、特に好ましくは1.0〜15nm/秒の範囲内である。また、成膜時の温度は、−25〜25℃の範囲内であることが好ましい。成膜開始前の到達真空度は、3×10−3Pa以下が好ましく、7×10−4Pa以下がより好ましい。
対向スパッタ法による成膜は、銀の平滑性が高まり、また、透明性と導電性とが良好になるため好ましい。
本発明に係る第2屈折率調整層群8は、その少なくとも1層が誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層(第2高屈折率層8A)である。
第2屈折率調整層群8には、透明金属層6中の銀が第2屈折率調整層群8に含まれる硫黄により硫化されることを防止するため、第2高屈折率層8Aと透明金属層6との間に、第2硫化防止層8Bを設けてもよい。
なお、上記屈折率は、温度25℃、相対湿度25%における測定値である。
具体的には、第2屈折率調整層群8の屈折率が高いほど、第2屈折率調整層群8表面で発生する反射が高まり、銀の反射光を相殺させることが可能になる。したがって、第2屈折率調整層群8の屈折率は、透明基板2の屈折率より高いほど望ましい。
第2高屈折率層8Aは、透明導電体1の導通領域a、すなわち、透明金属層6が形成されている領域の光透過性(光学アドミッタンス)を調整する層であり、少なくとも透明導電体1の導通領域aに形成される。第1高屈折率層8Aは、透明導電体1の絶縁領域bにも形成されていてもよいが、導通領域a及び絶縁領域bからなるパターンの視認性向上の観点から、図4に例示するように、導通領域aのみに形成されていることが好ましい。
なお、第2高屈折率層8Aの屈折率は、第2高屈折率層8Aに含まれる材料の屈折率や、第2高屈折率層8Aに含まれる材料の密度で調整される。
第2高屈折率層8Aの屈折率も、透明基板2と同様に、エリプソメーターを用い、25℃の環境下で測定することにより求めることができる。
誘電性材料又は酸化物半導体材料としては、以下の金属酸化物が挙げられ、例えば、TiO2、ITO(インジウム・スズ酸化物)、ZnO、Nb2O5、ZrO2、CeO2、Ta2O5、Ti3O5、Ti4O7、Ti2O3、TiO、SnO2、La2Ti2O7、IZO(インジウム・亜鉛酸化物)、AZO(アルミニウム・亜鉛酸化物)、GZO(ガリウム・亜鉛酸化物)、ATO(アンチモン・スズ酸化物)、ICO(インジウム・セリウム酸化物)、IGZO(インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物)、Bi2O3、Ga2O3、GeO2、WO3、HfO2、In2O3、a−GIO(ガリウム・インジウム酸化物)等が挙げられる。中でも、第2高屈折率層8Aには、亜鉛又はインジウムを含む酸化物が含有されていることが好ましく、また、硫黄が含有されていることが好ましい。
第2高屈折率層8Aは、当該金属酸化物が1種のみ含まれる層であってもよく、2種以上が含まれる層であってもよい。
本発明の透明導電体1は、第2高屈折率層8Aと透明金属層6との間に、透明金属層6の硫化を防止する観点から、第2硫化防止層8Bを有することが好ましい。
第2硫化防止層8Bは、透明導電体1の絶縁領域bにも形成されていてもよいが、導通領域a及び絶縁領域bからなるパターンの視認性向上の観点から、図4に例示するように、導通領域aのみに形成されていることが好ましい。
その他、第2硫化防止層8Bの構成材料や形成方法等は、第1屈折率調整層群4の第1硫化防止層4Bと同様である。
本発明の透明導電体1は、透明金属層6又は第2硫化防止層8Bと、第2高屈折率層8Aとの間に腐食防止層(図示せず。)を設けてもよい。これにより、透明金属層6の構成材料である銀と硫黄原子との親和性が強くなり、かつ、水の透過性を妨げるため、銀の腐食が防止され、透明導電体1の耐湿性を向上させることができる。
腐食防止層が、当該範囲内で硫黄を含有することで、高い導電性と耐湿性とを両立させることが可能となる。腐食防止層に含有される硫黄を10at%以下とすることで、外部回路と銀との電気的な接続不良を抑制することができる。また、0.1at%以上とすることで、高屈折率層と同様に、銀のマイグレーションを抑え込みやすくすることができる。
腐食防止層に含まれる材料の波長570nmの光に対する屈折率は1.5より大きいことが好ましく、1.7〜2.5であることがより好ましく、更に好ましくは1.8〜2.5である。材料の屈折率が1.5より大きいと、腐食防止層によって、透明導電体1の導通領域aの光学アドミッタンスが十分に調整される。なお、腐食防止層の屈折率は、腐食防止層に含まれる材料の屈折率や、腐食防止層に含まれる材料の密度で調整される。
具体的には、腐食防止層の屈折率が高いほど腐食防止層の表面で発生する反射が高まり、銀の反射光を相殺させることが可能になる。したがって、腐食防止層の屈折率は透明基板2の屈折率より高いほど望ましい。
本発明に係る第2屈折率調整層群8は、第2高屈折率層8A上に、更に透明導電体1の導通領域aの光透過性(光学アドミッタンス)を調整する第3、第4、・・・、第n高屈折率層(図示せず。)が適宜形成されていてもよい。これらの高屈折率層(以下、第n高屈折率層ともいう。)は、透明導電体1の導通領域aにのみ成膜されていてもよく、透明導電体1の導通領域a及び絶縁領域bの両方に成膜されていてもよい。
第n高屈折率層に含まれる誘電性材料又は酸化物半導体材料の波長570nmの光に対する具体的な屈折率は、1.5より大きいことが好ましく、1.7〜2.5の範囲内であることがより好ましく、1.8〜2.5の範囲内であることが更に好ましい。
誘電性材料又は酸化物半導体材料の屈折率が1.5より大きいと、第n高屈折率層によって、透明導電体1の導通領域aの光学アドミッタンスが十分に調整される。
なお、第n高屈折率層の屈折率は、第n高屈折率層に含まれる材料の屈折率や密度で調整される。
<密着層>
本発明の透明導電体1には、透明基板2と第1屈折率調整層群4(第1高屈折率層4A)との密着改善のために透明基板2上に密着層を形成してもよい(図13参照。)。密着層は、第1高屈折率層4Aが透明基板2としっかり密着するものであればよい。
密着層は、上記の高屈折率層や硫化防止層で例示した誘電性材料、酸化物半導体材料、絶縁性又は導電性の材料を含有してもよい。誘電性材料又は酸化物半導体材料は、金属酸化物、金属硫化物又は金属窒化物であることが好ましい。中でも、亜鉛化合物が含有されていることがより好ましい。
密着層の屈折率は、特に限定されない。
図12に示されるように、例えば、白板(図中、符号c)上に第1高屈折率層を形成した場合、成膜時間と層厚とが比例関係にあり、基板上に正しく膜が付いていると判断できる。一方で、PET(図中、符号d)を用いた場合には、しばらく膜が成膜されない時間がある。一定時間経過後、成膜がされ始めるが、これは密着層がないためにしばらく膜が付きづらい時間が存在することを示している。
密着層としては、具体的には、SiO2膜や、スパッタ法で成膜したZnO膜、ZnS−SiO2膜、GZO膜等が挙げられる。
密着層の層厚は特に制限されず、好ましくは0.01〜15nmの範囲内であり、より好ましくは0.1〜3nmの範囲内である。
本発明の透明導電体1には、第2屈折率調整層群8上に、透明導電体1の導通領域aの光透過性(光学アドミッタンス)を調整する低屈折率層(図示せず。)を有していてもよい。低屈折率層は、透明導電体1の導通領域aにのみ形成されていてもよく、透明導電体1の導通領域a及び絶縁領域bの両方に形成されていてもよい。
本発明の透明導電体1の波長400〜800nmの光の平均光透過率は、導通領域a及び絶縁領域bのいずれにおいても88%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上、更に好ましくは93%以上である。波長400〜800nmの光の平均光透過率が88%以上であると、広い波長範囲の光に対して光透過性が要求される用途、例えば、太陽電池用の透明導電膜等にも本発明の透明導電体1を適用することができる。
透明導電体1の波長500〜700nmの光の平均光反射率は、導通領域a及び絶縁領域bのいずれにおいても、20%以下であることが好ましく、より好ましくは15%以下であり、更に好ましくは10%以下である。透明導電体1の平均光吸収率及び平均反射率が低いほど、前述の平均光透過率が高まる。
透過率及び反射率は、透明導電体1の表面の法線に対して5°傾けた角度から測定光を入射させて分光光度計で測定する。吸収率(%)は、100−(透過率+反射率)の計算式より算出される。
一方、導通領域a及び絶縁領域bの視感反射率は、それぞれ5%以下であることが好ましく、より好ましくは3%以下であり、更に好ましくは1%以下である。
視感反射率は、分光光度計(U4100:日立ハイテクノロジーズ社製)で測定されるY値である。
本発明の透明導電体1に対し、図4で示すような導通領域a及び絶縁領域bからなるパターンの形成方法について説明する。パターンの形成にあたっては、市販のレーザーエッチング装置(武井電機)などを用いることができる。波長は1064nm、532nm又は355nmが特に望ましい。線幅は5〜30μmが望ましい。
以下、フォトリソグラフィー法による電極のパターニング方法について説明する。
本発明に適用するフォトリソグラフィー法とは、硬化性樹脂等のレジスト塗布、予備加熱、露光、現像(未硬化樹脂の除去)、リンス、エッチング液によるエッチング処理、レジスト剥離の各工程を経ることにより、透明金属層6を所望のパターンに加工する方法である。
露光後、用いたレジストに適合する現像液で現像を行う。現像後、水等のリンス液で現像を止めるとともに洗浄を行うことで、レジストパターンが形成される。次いで、形成されたレジストパターンを、必要に応じて前処理又はポストベークを実施してから、有機溶媒を含むエッチング液によるエッチングで、レジストで保護されていない領域の高屈折率層の溶解及び透明金属層の除去を行う。エッチング後、残留するレジストを剥離することによって、所定のパターンを有する透明導電体が得られる。
このように、本発明に適用されるフォトリソグラフィー法は、当業者に一般に認識されている方法であり、その具体的な適用態様は当業者であれば所定の目的に応じて容易に選定することができる。
次いで、図6で示されるレジスト膜10を形成する前に、透明導電体1に超音波洗浄処理を施すことが好ましい。超音波洗浄としては、例えば、花王社製の洗剤クリンスルー KS−3030を用いて超音波洗浄と純水による水洗いを数回行った後、スピンコータで水を飛ばし、オーブンで乾燥させる。
本発明に適用可能なエッチング液16としては、無機酸又は有機酸を含有する液が好ましく、ギ酸、酢酸、シュウ酸、クエン酸、塩酸、リン酸、硝酸等を挙げることができ、特に、シュウ酸、酢酸、リン酸が好ましい。また、エッチング液16としては市販品を用いることもでき、例えば、林純薬工業社製のPure Etch DE100(シュウ酸)、関東化学社製の「混液 SEA−5」(リン酸:55質量%、酢酸:30質量%、水その他の成分:15質量%)等を用いることができる。
上記構成からなる本発明の透明導電体1は、液晶方式、プラズマ方式、有機エレクトロルミネッセンス方式、フィールドエミッション方式など各種ディスプレイをはじめ、タッチパネルや携帯電話、電子ペーパー、各種太陽電池、各種エレクトロルミネッセンス調光素子など様々なオプトエレクトロニクスデバイスの基板等に好ましく用いることができる。
図11に示すタッチパネル20は、投影型静電容量式のタッチパネルである。このタッチパネル20は、透明基板2−1及び2−2の一主面上に、第1の透明電極ユニットEU−1及び第2の透明電極ユニットEU−2がこの順に配置され、この上部が前面板22で覆われている。
第2の実施形態に係る透明導電体は、透明基板と、波長570nmの光に対し、透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第1屈折率調整層群と、透明金属層と、波長570nmの光に対し、透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第2屈折率調整層群と、をこの順に備え、第2屈折率調整層群の少なくとも1層は、誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層である点につき、上記第1の実施形態に係る透明導電体1と共通しており、第1屈折率調整層群の少なくとも1層は、硫黄が含有された層であり、透明基板と第1屈折率調整層群との間には、密着層が形成されている点において異なっている。
以下、図面を用いて詳細に説明する。
第1屈折率調整層群4は、少なくとも硫黄が含有された層(以下、第1高屈折率層4Cともいう。)を有している。
また、透明導電体30が、硫化防止層等の各種機能性層を有してもよいことは、第1の実施形態と同様である。
<第1高屈折率層4C>
本実施形態に係る第1高屈折率層4Cには、少なくとも硫黄が含有されている。
硫黄を含む材料としては、ZnS、ZnS−SiO2、ZnS−ZnO、ZnS−ITO、ZnS−IGZO等が挙げられる。
その他、第1高屈折率層4Cの物性や製造方法等は、第1の実施形態に係る第1高屈折率層4Aと同様である。
本発明の透明導電体30は、透明基板2と第1屈折率調整層群4(第1高屈折率層4C)との密着改善のために透明基板2上に密着層32が形成されている。密着層32は、第1高屈折率層4Cが透明基板2としっかり密着するものであればよい。
密着層32は、上記の高屈折率層や硫化防止層で例示した誘電性材料、酸化物半導体材料、絶縁性又は導電性の材料を含有してもよい。誘電性材料又は酸化物半導体材料は、金属酸化物、金属硫化物又は金属窒化物であることが好ましい。中でも、亜鉛化合物が含有されていることがより好ましい。
密着層の屈折率は、特に限定されない。
密着層32としては、具体的には、SiO2膜や、スパッタ法で成膜したZnO膜、ZnS−SiO2膜、GZO膜等が挙げられる。
密着層の層厚は特に制限されず、好ましくは0.01〜15nmの範囲内であり、より好ましくは0.1〜3nmの範囲内である。
また、各層の層厚は、スパッタ時間又は蒸着時間を調整することで調節した。各層の層厚及び屈折率は、J.A.Woollam Co.Inc.製のVB−250型VASEエリプソメーターで測定した。
(1)透明導電体101の作製
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(SiO2)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(GZO)をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、形成速度2.0nm/秒の条件で、SiO2をEB(電子ビーム)蒸着して、層厚1.0nmの密着層を形成した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層における亜鉛の含有率(at%)と硫黄の含有率(at%)との総和に対する硫黄の含有率(at%)の割合は、34%とした(以下、単に「硫黄の含有率の割合」と称する。)。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚43nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体101を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(GZO)/第3高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を4×10−4Paまで減圧した後、Arガスを導入して真空槽を2×10−3Paに設定した。次いで、300WでRFプラズマを焚きながら、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、39%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚10nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚23nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第3高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体102を作製した。
透明導電体102の作製において、第2高屈折率層を表1に記載の組成(2)で層厚7.0nmとなるようにDCパルススパッタして形成した以外は同様にして、透明導電体103を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を4×10−4Paまで減圧した後、Arガスを導入して真空槽を2×10−3Paに設定した。次いで、300WでRFプラズマを焚きながら、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、39%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚28nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体104を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を4×10−4Paまで減圧した後、Arガスを導入して真空槽を2×10−3Paに設定した。次いで、300WでRFプラズマを焚きながら、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、39%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚45nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体105を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(ITO)/第3高屈折率層(GZO)/第4高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を4×10−4Paまで減圧した後、Arガスを導入して真空槽を2×10−3Paに設定した。次いで、300WでRFプラズマを焚きながら、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、39%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚11nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚13nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第3高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚12nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第4高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体106を作製した。
透明導電体102〜106の作製において、透明金属層を以下のように形成した以外は同様にして、透明導電体107〜111をそれぞれ作製した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにAgを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度1.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚6.3nmの透明金属層を形成した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO)/第1高屈折率層(ZnS)/透明金属層(APC−TR)/腐食防止層(組成(1))/第2高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDC(直流)スパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(1)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚43nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体112を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/腐食防止層(組成(1))/第2高屈折率層(GZO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(1)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚43nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体113を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO)/第1高屈折率層(ZnS)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚43nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体114を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(GZO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚43nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体115を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(3))/第2高屈折率層(組成(4))をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRF(交流、周波数:13.56MHz)スパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(3)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、表1に記載の組成(4)で層厚43nmとなるようにDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体116を作製した。
透明導電体116の作製において、第2高屈折率層を以下のようにして形成した以外は同様にして、透明導電体117を作製した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚28nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/第2高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚3.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚28nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体118を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(5))/第2高屈折率層(GZO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(5)で層厚5.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚41nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体119を作製した。
透明導電体119の作製において、腐食防止層の層厚を20nmとし、第2高屈折率層を表1に記載の組成(2)で層厚26nmとなるようにDCパルススパッタして形成した以外は同様にして、透明導電体120を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(GZO)/第3高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚10nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚23nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第3高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体121を作製した。
透明導電体121の作製において、第2高屈折率層を表1に記載の組成(2)で層厚7.0nmとなるようにDCパルススパッタして形成した以外は同様にして、透明導電体122を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚28nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体123を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚45nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体124を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO−ZnS)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(APC−TR)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(ITO)/第3高屈折率層(GZO)/第4高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnO−ZnSをRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAPC−TR(株式会社フルヤ金属製)を層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚11nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚13nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第3高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚12nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第4高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体125を作製した。
透明導電体121〜125の作製において、透明金属層材料をAPC−TRから銀(Ag)に変更した以外は同様にして、透明導電体126〜130をそれぞれ作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnS−SiO2)/第1高屈折率層(ZnS)/透明金属層(Ag)/第2硫化防止層(ZnO)/腐食防止層(組成(5))/第2高屈折率層(GZO)/第3高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚1.0nmとなるようZnS−SiO2をRFスパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、43%とした。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにAgを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度1.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚6.3nmの透明金属層を形成した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚が1.0nmとなるようZnOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(5)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚20nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚23nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第3高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体131を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(SiO2)/第1高屈折率層(ZnS)/透明金属層(Ag)/第2硫化防止層(AZO)/腐食防止層(組成(6))/第2高屈折率層(SnO2)をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、形成速度2.0nm/秒の条件で、SiO2をEB(電子ビーム)蒸着して、層厚1.0nmの密着層を形成した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、35%とした。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにAgを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度1.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚6.3nmの透明金属層を形成した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようAZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(6)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、形成速度2.0nm/秒の条件でSnO2をEB蒸着して、層厚27nmの第2高屈折率層を形成した。
以上のようにして、透明導電体132を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ZnO)/第1高屈折率層(ZnS)/透明金属層(Ag)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようZnOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、41%とした。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにAgを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度1.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚6.3nmの透明金属層を形成した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚42nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体133を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、密着層(ITO)/第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(Ag)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(7))/第2高屈折率層(GZO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚1.0nmとなるようITOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、37%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにAgを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度1.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚6.3nmの透明金属層を形成した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(7)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚42nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体134を作製した。
透明導電体121〜125の作製において、密着層を層厚1.0nmとなるようにZnOをDCパルススパッタして形成し、第1高屈折率層を以下のように形成した以外は同様にして、透明導電体135〜139をそれぞれ作製した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚36nmとなるようZnSをRFスパッタした。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、40%とした。
透明導電体126〜130の作製において、PET/CHCフィルムの厚さを50μmとし、密着層及び第1高屈折率層を以下のように形成した以外は同様にして、透明導電体140〜144をそれぞれ作製した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚36nmとなるようZnSをRFスパッタした。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、40%とした。
透明導電体122の作製において、透明基板をそれぞれシクロオレフィンポリマー(COP)フィルム(厚さ50μm)、ポリカーボネートポリマー(PC)フィルム(厚さ125μm)、コニカミノルタ株式会社製クリアハードコート付きトリアセチルセルロース(TAC)フィルム(厚さ40μm)に変更し、密着層を以下のようにして形成した以外は同様にして、透明導電体145〜147を作製した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
透明導電体127の作製において、透明基板をそれぞれシクロオレフィンポリマー(COP)フィルム(厚さ50μm)、ポリカーボネートポリマー(PC)フィルム(厚さ125μm)、コニカミノルタ株式会社製クリアハードコート付きトリアセチルセルロース(TAC)フィルム(厚さ40μm)に変更し、密着層を以下のようにして形成した以外は同様にして、透明導電体148〜150を作製した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、密着層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZnS)/第1硫化防止層(GZO)/透明金属層(Ag)/第2硫化防止層(GZO)/腐食防止層(組成(2))/第2高屈折率層/第3高屈折率層(ITO)をこの順に積層した。
真空蒸着装置として、シンクロン社製のBMC−800T蒸着装置を用い、モリブデン製抵抗加熱ボートにZnSを装填し、真空槽を1×10−4Paまで減圧した後、抵抗加熱ボートに通電加熱し、抵抗加熱ボートの通電加熱条件を調整して、形成速度2.0nm/秒の条件で蒸着して、層厚36nmの第1高屈折率層を形成した。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、32%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.06nm/秒で、層厚0.5nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第1硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAgを層厚6.0nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/秒で、層厚1.0nmとなるようGZOをDCパルススパッタし、第2硫化防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.2nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚3.0nmとなるようにDCパルススパッタし、腐食防止層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/sで、表1に記載の組成(2)で層厚7.0nmとなるようにDCパルススパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚23nmとなるようITOをDCパルススパッタし、第3高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体151を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZnS−SiO2)/透明金属層(Ag)/第2高屈折率層(ZnS−SiO2)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚40nmとなるようZnS−SiO2をRFスパッタし、第1高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。第1高屈折率層に含有される硫黄の含有率の割合は、34%とした。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAgを層厚12nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/sで、層厚40nmとなるようZnS−SiO2をRFスパッタし、第2高屈折率層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体152を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(Nb2O5)/透明金属層(Ag)/第2高屈折率層(IZO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚27.7nmとなるようNb2O5(株式会社豊島製作所製)をDCパルススパッタした。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAgを層厚7.7nmとなるようにDCスパッタし、透明金属層を形成した。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚36nmとなるようにIZO(株式会社豊島製作所製)をDCパルススパッタした。成膜した膜厚はターゲット−基板間距離は86mmであった。
以上のようにして、透明導電体153を作製した。
透明基板として、株式会社きもと製クリアハードコート付きPETフィルム(G1SBF、「PET/CHC」と称する。厚さ125μm)を用い、PET/CHCフィルム上に、下記の方法に従って、第1高屈折率層(ZTO)/透明金属層(Ag)/第2高屈折率層(ZTO)をこの順に積層した。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 0sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度0.15nm/sで、層厚40nmとなるようZTO(株式会社豊島製作所製)をDCパルススパッタした。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、スパッタ圧0.25Pa、背圧5×10−4Pa、室温(25℃)下、形成速度0.7nm/sでAgを層厚10nmとなるようRFスパッタした。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
アネルバ社のL−430S−FHSスパッタ装置を用い、Ar 20sccm、O2 2sccm、スパッタ圧0.25Pa、室温(25℃)下、形成速度1.0nm/秒で、層厚40nmとなるようZTO(株式会社豊島製作所製)をDCパルススパッタした。ターゲット−基板間距離は、86mmであった。
以上のようにして、透明導電体154を作製した。
以下に示す評価方法に従って、上記で作製した各透明導電体の評価を行った。
評価結果を表2〜5に示す。
作製した各透明導電体について、得られた透明導電体2個ずつを85℃、85%RH中に240時間保存した後、下記評価基準に従って評価した。
○:30mm×30mmの領域において、サイズ20μm以上の腐食箇所が1個以上10個未満
×:30mm×30mmの領域において、サイズ20μm以上の腐食箇所が10個以上
作製した各透明導電体について、パターン状に形成された透明導電体を用いて、導通領域における平均光透過率を以下の方法に従って測定した。
平均光透過率は、下記評価基準に従って評価した。
○:平均光透過率が88%以上90%未満である
△:平均光透過率が83%以上88%未満である
×:平均光透過率が83%未満である
2、2−1、2−2 透明基板
4 第1屈折率調整層群
4A、4C 第1高屈折率層
4B 第1硫化防止層
6 透明金属層
8 第2屈折率調整層群
8A 第2高屈折率層
8B 第2硫化防止層
10 レジスト膜
10A 除去するレジスト膜
12 マスク
14 露光機
16 エッチング液
20 タッチパネル
22 前面板
32 密着層
a 導通領域
b 絶縁領域
c 白板
d PET
EU、EU−1、EU−2 透明電極ユニット
Claims (9)
- 透明基板と、
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第1屈折率調整層群と、
透明金属層と、
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第2屈折率調整層群と、
をこの順に備える透明導電体であって、
前記第2屈折率調整層群の少なくとも1層は、誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層であり、
前記第1屈折率調整層群の少なくとも1層は、硫化亜鉛が含有された層であり、かつ、該層における亜鉛の含有率(at%)と硫黄の含有率(at%)との総和に対する硫黄の含有率(at%)の割合が、35%以上であることを特徴とする透明導電体。 - 前記硫化亜鉛が含有された層が、プラズマアシスト又はイオンアシストを用いた蒸着法により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の透明導電体。
- 前記透明基板と前記第1屈折率調整層群との間に、密着層が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の透明導電体。
- 透明基板と、
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第1屈折率調整層群と、
透明金属層と、
波長570nmの光に対し、前記透明基板の屈折率よりも高い屈折率を有する第2屈折率調整層群と、
をこの順に備える透明導電体であって、
前記第2屈折率調整層群の少なくとも1層は、誘電性材料又は酸化物半導体材料が含有された層であり、
前記第1屈折率調整層群は、少なくとも、高屈折率層と、前記高屈折率層と前記透明金属層との間に形成された硫化防止層と、を有し、
前記高屈折率層は、硫黄が含有された層であり、
前記硫化防止層の層厚は、0.1〜10nmの範囲内であり、
前記透明基板と前記第1屈折率調整層群との間には、密着層が形成されていることを特徴とする透明導電体。 - 前記密着層には、亜鉛化合物が含有されていることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の透明導電体。
- 前記第2屈折率調整層群の少なくとも1層には、亜鉛又はインジウムを含む酸化物が含有されていることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の透明導電体。
- 前記第2屈折率調整層群の少なくとも1層には、硫黄が含有されていることを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の透明導電体。
- 前記透明金属層が、パターニングされていることを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の透明導電体。
- 請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載の透明導電体が具備されていることを特徴とするタッチパネル。
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