JP6252403B2 - アパーチャ部材製造方法 - Google Patents
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Description
103 レジスト
112 アシストパターン
200 テンプレート
220 基板
222 レジスト
230、240 凹部
250 アパーチャ部材
252 開口部
500 電子ビーム鏡筒
510 電子銃
520 ブランキングアパーチャ
522 第1アパーチャ
524 第2アパーチャ
530 ブランキング偏向器
532 成形偏向器
534 対物偏向器
540 レンズ
Claims (5)
- 荷電粒子ビーム装置のアパーチャ部材を製造する方法であって、
第1基板上の複数のチップ領域に荷電粒子ビームを照射し、アパーチャ開口に対応する第1パターンを描画する工程と、
描画した第1パターンに基づいて前記第1基板を加工し、第2パターンを形成する工程と、
各チップ領域の第2パターンの寸法精度及びエッジ位置精度を測定する工程と、
所望の寸法精度及びエッジ位置精度を有する第2パターンが形成されたチップ領域を前記第1基板から切り出してテンプレートを作製する工程と、
第2基板の表面を覆うレジストに、前記第2パターンを含む前記テンプレートのテンプレートパターンを接触させる工程と、
前記レジストを硬化させる工程と、
硬化したレジストから前記テンプレートを離型し、前記テンプレートパターンに対応する転写パターンを前記レジストへパターニングする工程と、
前記転写パターンをマスクとして前記第2基板を加工し、表面側に第1凹部を形成する工程と、
前記第2基板の裏面側からエッチングを行い、前記第1凹部と連通する第2凹部を形成し、前記第2基板を貫通する開口部を形成する工程と、
を備えることを特徴とするアパーチャ部材製造方法。 - 荷電粒子ビーム装置のアパーチャ部材を製造する方法であって、
第1基板上の複数のチップ領域に荷電粒子ビームを照射し、アパーチャ開口に対応する第1パターンを描画する工程と、
描画した第1パターンに基づいて前記第1基板を加工し、第2パターンを形成する工程と、
各チップ領域の第2パターンの寸法精度及びエッジ位置精度を測定する工程と、
所望の寸法精度及びエッジ位置精度を有する第2パターンが形成されたチップ領域を前記第1基板から切り出してテンプレートを作製する工程と、
第2基板の裏面側からエッチングを行い、第1凹部を形成する工程と、
前記第1凹部に埋め込み材を埋め込む工程と、
前記第2基板の表面を覆うレジストに、前記第2パターンを含む前記テンプレートのテンプレートパターンを接触させる工程と、
前記レジストを硬化させる工程と、
硬化したレジストから前記テンプレートを離型し、前記テンプレートパターンに対応する転写パターンを前記レジストへパターニングする工程と、
前記転写パターンをマスクとして前記第2基板を加工し、前記埋め込み材を露出させる第2凹部を形成する工程と、
前記埋め込み材を除去し、前記第1凹部と前記第2凹部を連通させ、前記第2基板を貫通する開口部を形成する工程と、
を備えることを特徴とするアパーチャ部材製造方法。 - 荷電粒子ビーム装置のアパーチャ部材を製造する方法であって、
第1基板上の複数のチップ領域において、描画条件を変えながら荷電粒子ビームを照射し、アパーチャ開口に対応する第1パターンを描画する工程と、
描画した第1パターンに基づいて前記第1基板を加工し、第2パターンを形成する工程と、
各チップ領域の第2パターンの寸法精度及びエッジ位置精度を測定する工程と、
所望の寸法精度及びエッジ位置精度を有する第2パターンが形成されたチップ領域を前記第1基板から切り出してテンプレートを作製する工程と、
第2基板の裏面側からエッチングを行い、凹部を形成する工程と、
前記凹部にレジストを塗布する工程と、
前記レジストに、前記第2パターンを含む前記テンプレートのテンプレートパターンを接触させる工程と、
前記レジストを硬化させる工程と、
硬化したレジストから前記テンプレートを離型し、前記テンプレートパターンに対応する転写パターンを前記レジストへパターニングする工程と、
前記転写パターンをマスクとして前記第2基板を加工し、前記第2基板を貫通する開口部を形成する工程と、
を備えることを特徴とするアパーチャ部材製造方法。 - チップ領域毎にアシストパターンを変えて、前記第1パターンを描画することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のアパーチャ部材製造方法。
- 前記第1パターンを描画する際、パターンエッジ部の照射量をパターン中央部の照射量よりも大きくすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のアパーチャ部材製造方法。
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