JP6247852B2 - 磁気研磨装置、磁気研磨方法、及び工具 - Google Patents
磁気研磨装置、磁気研磨方法、及び工具 Download PDFInfo
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Description
また、本発明は、磁性流体を用いてワークを研磨する磁気研磨装置を構成する工具であって、ワークの研磨面と対向する位置に凹状の磁気研磨溝が設けられるとともに、磁気研磨溝内に磁場を与える磁場発生器を備え、磁気研磨溝の内側及び外側と円筒状をしたワークの研磨面との間に非磁性砥粒を含む磁性流体が充填されて、ワークの研磨面に沿って相対移動することを特徴とする。
11 磁気研磨溝
11A 溝底面(底面)
11B 第1溝側面(側面)
11C 第2溝側面(側面)
13 外周面
20 磁場発生器
21 溝底面磁石 (磁石)(第1磁石)
22 第1溝側面磁石 (磁石) (第2磁石)
23 第2溝側面磁石 (磁石)(第2磁石)
25 ヨーク
40 磁性流体
50 磁気研磨装置
100 ワーク
101 研磨面
Claims (6)
- 磁性流体を用いてワークを研磨する磁気研磨装置であって、
前記ワークの研磨面と対向する凹状の磁気研磨溝が設けられるとともに、前記磁気研磨溝内に磁場を与える磁場発生器を有する工具を備え、
前記工具の前記磁気研磨溝の内側及び外側と円筒状をした前記ワークの研磨面との間に非磁性砥粒を含む前記磁性流体が充填されて、前記工具が前記ワークの研磨面に沿って相対移動することを特徴とする磁気研磨装置。 - 前記磁場発生器は、
磁場を発生する磁石と、
前記磁石から発生する磁場を前記磁気研磨溝に導くヨークと、を備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気研磨装置。 - 磁性流体を用いてワークを研磨する磁気研磨装置であって、
前記ワークの研磨面と対向する位置に凹状の磁気研磨溝が設けられるとともに、前記磁気研磨溝内に磁場を与える磁場発生器を有する工具を備え、
前記磁場発生器は、
磁場を発生する磁石と、
前記磁石から発生する磁場を前記磁気研磨溝に導くヨークと、を備え、
前記磁石は、
前記磁気研磨溝の底面から前記磁気研磨溝内に向けてN極とS極のうちいずれか一方の磁場を発生させる第1磁石と、
前記磁気研磨溝の側面から前記磁気研磨溝内に向けて前記第1磁石と異なる磁場を発生させる第2磁石と、を備え、
前記ヨークは、前記第1磁石における前記磁気研磨溝の底面側とは反対側と前記第2磁石における前記磁気研磨溝の側面側とは反対側とにわたって設けられるとともに、前記第2磁石と前記ワークの間に回り込むように設けられ、
前記工具と前記ワークの研磨面との間に非磁性砥粒を含む前記磁性流体が充填されて、前記工具が前記ワークの研磨面に沿って相対移動することを特徴とする磁気研磨装置。 - 磁性流体を用いてワークを研磨する磁気研磨装置であって、
前記ワークの研磨面と対向する位置に凹状の磁気研磨溝が設けられるとともに、前記磁気研磨溝内に磁場を与える磁場発生器を有する工具を備え、
前記ワークは、研磨面として円筒状の内周面を有し、
前記工具は、前記磁気研磨溝が設けられるとともに前記ワークの内周面と対向する円筒状の外周面を有し、
前記磁気研磨溝は前記外周面の中心軸方向に沿って設けられるとともに、前記外周面の周方向に複数設けられ、
前記工具は、前記外周面の中心軸を中心として回転し、前記工具と前記ワークの研磨面との間に非磁性砥粒を含む前記磁性流体が充填されて、前記工具が前記ワークの研磨面に沿って相対移動することを特徴とする磁気研磨装置。 - 磁性流体を用いてワークを研磨する磁気研磨方法であって、
前記ワークの研磨面に対向する位置に凹状の磁気研磨溝が設けられた工具の前記磁気研磨溝の内側及び外側と円筒状をした前記ワークの研磨面との間に非磁性砥粒を含む前記磁性流体を充填し、
前記工具に設けられる磁場発生器によって前記磁気研磨溝内に磁場を与え、
前記工具を前記ワークの研磨面に沿って相対移動させることによって前記ワークの研磨面を研磨することを特徴とする磁気研磨方法。 - 磁性流体を用いてワークを研磨する磁気研磨装置を構成する工具であって、
前記ワークの研磨面と対向する位置に凹状の磁気研磨溝が設けられるとともに、前記磁気研磨溝内に磁場を与える磁場発生器を備え、
前記磁気研磨溝の内側及び外側と円筒状をした前記ワークの研磨面との間に非磁性砥粒を含む前記磁性流体が充填されて、前記ワークの研磨面に沿って相対移動することを特徴とする工具。
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