JP6232661B2 - 薄膜トランジスタ装置、及びそれを用いた表示装置 - Google Patents
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Description
本発明の一態様に係る表示装置は、基板と、前記基板上に配された発光部と、前記発光部を駆動するトランジスタと、前記トランジスタのソース、ドレイン、又はゲートの何れかから前記基板上の発光部が存する領域外まで延出された金属からなる引出配線層パターンと、前記基板上に前記引出配線層パターンを覆うように配され、前記基板上の前記領域外であって前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置にコンタクト孔が開設されているパッシベーション層と、前記パッシベーション層の上面、前記コンタクト孔の内周面、及び前記コンタクト孔内の前記引出配線層パターン上面に連続して配されている接続配線層パターンと、前記接続配線層パターン上に配され、前記接続配線層パターンの前記コンタクト孔内に存する部分を覆う導電性を有する封止層パターンと、前記接続配線層パターンの上方に配され、前記封止層パターンの外周縁より内方の一部と接触した状態で前記封止層パターンを覆う導電性を有する上部封止層パターンと、前記封止層パターンの外周縁と前記上部封止層パターンとの間に介在する接触防止層パターンとを備えたことを特徴とする。
1.表示装置1の全体構成
以下では、実施の形態1に係る表示装置1の全体構成について、図1を用い説明する。
表示パネル10における各画素10aの回路構成について、図2を用い説明する。
表示パネル10の構成について、図4の模式断面図を用い説明する。
図4に示すように、基板100上には、ゲート電極101、102が互いに間隔をあけて形成され、ゲート電極101、102および基板100の表面を被覆するように、ゲート絶縁層103が形成されている。ゲート絶縁層103上には、ゲート電極101、102のそれぞれに対応してチャネル層104、105が形成されている。そして、チャネル層104、105およびゲート絶縁層103の表面を被覆するように、チャネル保護層106が形成されている。
層間絶縁層118上には、画素10a単位でアノード119が設けられている。アノード119は、層間絶縁層118における上部接続電極層117の上方に開設されたコンタクト孔を通して、上部接続電極層117に接続されている。
上述のとおり、表示パネル10では、各画素のソースS2からソースラインSLが各々引き出され、画素領域10Aの外に存する接続領域10bおいて、配線接続部CNdat−1〜mを介して外部接続端子TMdat−1〜mに接続されている。
図5及び図6に示すように、各画素のソース電極107から引き出された複数本のソースラインSLを構成する引出配線層パターン207は、配線接続部220(CNdat)においてパッシベーション層216上に存する複数の接続配線層パターン237とコンタクト孔216a内において各々電気的に接続されている。接続領域10bにおいて、配線接続部220(CNdat)は引出配線層パターン207の長手方向に沿った2箇所に設けられており、接続端子部237a(TMdat)は両配線接続部220(CNdat)に挟まれた領域に配されている。配線接続部220(CNdat)を複数の設けることにより何れか一方が破損した場合にも他方により接続機能が損なわれないよう接続に冗長性を持たせることができる。各接続配線層パターン237は基板100の周縁部又はその近傍まで延出され接続端子部237a(TMdat)においてデータラインVdatと接続されている。本実施形態では、各引出配線層パターン207は互いに平行であり、各配線接続部220においてコンタクト孔216aは10個開設されている。また、各引出配線層パターン207と接続配線層パターン237とも平行である。但し、各電極層パターンの形状や、コンタクト孔216aの個数はこれに限定されるものではなく、適宜定めることができる。また、接続端子部237a(TMdat)は接続配線層パターン237の終端部に形成される構成としてもよい。
各コンタクト孔216aには、接続配線層パターン237のコンタクト孔216a内に存する部分を覆う封止層パターン217が配されている。封止層パターン217は、上述した上部接続電極層117と同じ導電性材料から構成されている。この封止層パターン217により接続配線層パターン237のコンタクト孔216a内に存する部分は封止されている。ここで、封止層パターン217はコンタクト孔216aを完全に埋め上部がコンタクト孔216aから若干はみ出す程度に埋設される構成とすることが好ましい。封止を確実に行えるからである。また、各々のコンタクト孔216aに配設される封止層パターン217同士は分離して配置されている。封止に必要な最少の材料で封止層パターン217を構成できる。ただし、複数のコンタクト孔216aに対して連続した状態で封止層パターン217が配設されていてもよい。この場合には、封止層パターン217製造時のパターンニングが容易となる。
封止層パターン217の平面視における外周縁を上方から覆うように、接触防止層パターン218、236が配設されている。すなわち、接触防止層パターン218、236は、封止層パターン217の外周縁と後述の上部封止層パターン219との間に介在するように配されている。封止層パターン217の外周縁は、コンタクト孔216aの周面の外側近傍に微小量はみ出して位置している。接触防止層パターン218、236は、絶縁材料から構成されている。具体的には、接触防止層は、上部パッシベーション層136と同じ材料からなる上部パッシベーション層パターン236上に層間絶縁層118と同じ材料からなる層間絶縁層パターン218が積層されて構成されている。この接触防止層パターン218、236のより、封止層パターン217の外周縁と後述の上部封止層パターン219との接触が防止される。
封止層パターン217には、各コンタクト孔216aにおける平面視における中心付近にコンタクト孔218aが開設されている。さらに、接続配線層パターン237上方に封止層パターン217を覆う上部封止層パターン219が配されている。具体的には、上部封止層パターン219は、封止層パターン217の平面視における外周縁より内方の一部と接触した状態で封止層パターン217を覆うように配されている。この上部封止層パターン219により、封止層パターン217及び接続配線層パターン237のコンタクト孔216a内に存する部分は封止されている。
なお、各画素のゲート電極101から引き出されたゲートラインGLから引き出された電極層パターンについても上記と同様の構成を採る。ゲートラインGLから引き出された電極層パターンは、配線接続部220(CNscn)においてパッシベーション層216上に存する複数の接続配線層パターン237とコンタクト孔216a内で各々電気的に接続され、各接続配線層パターン237は基板100の周縁部又はその近傍まで延出され終端部に形成された接続端子部237a(TMscn)にて走査ラインVscnに接続されている。電源ラインVa、接地ラインVcatから引き出された電極層パターンについても同様の構成を採る。
図3に示す各部の構成材料について、一例を示す。
基板100、130としては、例えば、ガラス基板、石英基板、シリコン基板、硫化モリブデン、銅、亜鉛、アルミニウム、ステンレス、マグネシウム、鉄、ニッケル、金、銀などの金属基板、ガリウム砒素基などの半導体基板、プラスチック基板等を採用することができる。
ゲート電極101、102としては、例えば、銅(Cu)とモリブデン(Mo)との積層体(Cu:約200[nm]+Mo:約20[nm])を採用している。ただし、ゲート電極101、102の構成については、これに限定されず、例えば、Cu、Cu/Wなどを採用することもできるし、次のような材料を採用することも可能である。
ゲート絶縁層103としては、例えば、酸化シリコン(SiO2)と窒化シリコン(SiNx)との積層体(SiO:約80[nm]+SiN:約70[nm])を採用している。ただし、ゲート絶縁層103の構成は、これに限定されるものではなく、ゲート絶縁層の構成材料としては、例えば、電気絶縁性を有する材料であれば、公知の有機材料や無機材料のいずれも用いることができる。
チャネル層104、105としては、例えば、アモルファス酸化インジウムガリウム亜鉛(IGZO)からなる層厚が約50[nm]の層を採用している。チャネル層104、105の構成材料は、これに限定されるものではなく、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)から選択される少なくとも一種を含む酸化物半導体を採用することができる。
チャネル保護層106としては、例えば、酸化シリコン(SiO2)からなる層厚が約
130[nm]の層を採用している。チャネル保護層106の構成材料は、これに限定されるものではなく、例えば、酸窒化シリコン(SiON)、窒化シリコン(SiN)、あるいは酸化アルミニウム(AlOx)を用いることができる。また、上記のような材料を用いた層を複数積層することで構成することもできる。
ソース電極107、110、ドレイン電極108、109、引出配線層パターン207としては、銅マンガン(CuMn)と銅(Cu)とモリブデン(Mo)の積層体(CuMn:約65[nm]+Cu:約300[nm]+Mo:約20[nm])を採用している。ただし、各層の層厚は、これに限定されるものではなく、例えば、銅マンガン(CuMn)の層厚は、5[nm]〜200[nm]の範囲、銅(Cu)の層厚は、50[nm]〜800[nm]の範囲、モリブデン(Mo)の層厚は、5[nm]〜200[nm]の範囲とすることができる。また、引出配線層パターン207は、銅を含む合金層であってもよい。
本実施の形態に係る表示パネル10では、下部絶縁層1161、バリア層1162、上部絶縁層1163、最上部絶縁層1164がZ軸方向下側から順に積層されてなる積層構成を有する。
下部接続電極層137、接続配線層パターン237としては、酸化インジウムスズ(ITO)(ITO:約50[nm])を採用している。ただし、層厚は、これに限定されるものではなく、例えば、5[nm]〜200[nm]の範囲とすることができる。なお、下部接続電極層137、237に用いる材料としては、これに限定されるものではなく、導電性を有する材料から適宜選択することが可能である。
上部接続電極層117、封止層パターン217としては、モリブデン(Mo)と銅(Cu)と銅マンガン(CuMn)との積層体(Mo:約20[nm]+Cu:約375[nm]+CuMn:約65[nm])を採用している。ただし、各層の層厚は、これに限定されるものではなく、例えば、モリブデン(Mo)の層厚は、5[nm]〜200[nm]の範囲、銅(Cu)の層厚は、50[nm]〜800[nm]の範囲、銅マンガン(CuMn)の層厚は、5[nm]〜200[nm]の範囲とすることができる。または、封止層パターン217は、銅を含む合金層であってもよい。なお、上部接続電極層117、封止層パターン217の構成に用いる材料としては、これに限定されるものではなく、導電性を有する材料から適宜選択することが可能である。
(x)上部パッシベーション層136、236
本実施の形態に係る表示パネル10では、上部パッシベーション層136、236は、窒化シリコン(SiN)からなる層厚が約100[nm]の層である。ただし、層厚は、これに限定されるものではなく、例えば、50[nm]〜300[nm]の範囲とすることができる。
層間絶縁層118、218は、例えば、ポリイミド、ポリアミド、アクリル系樹脂材料などの有機化合物を用い形成されており、層厚が約4000[nm]の層である。ただし、層厚は、これに限定されるものではなく、例えば、2000[nm]〜8000[nm]の範囲とすることができる。
アノード119及び上部封止層パターン219は、金属材料から構成されている。トップエミッション型の本実施の形態に係る表示パネル10の場合には、その表面部が高い反射性を有することが好ましい。本実施の形態に係る表示パネル10では、アノード119及び上部封止層パターン219は、タングステン(W)とアルミニウム(Al)又はアルミニウム合金との積層体(W:約40[nm]+Al:約200[nm])を採用している。ただし、各層の層厚は、これに限定されるものではなく、例えば、タングステン(W)の層厚は、5[nm]〜200[nm]の範囲、Alの層厚は、50[nm]〜800[nm]の範囲とすることができる。
ホール注入層120は、例えば、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、バナジウム(V)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、イリジウム(Ir)などの酸化物、あるいは、PEDOT(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物)などの導電性ポリマー材料からなる層である。なお、図4に示す本実施の形態に係る表示パネル10では、金属酸化物からなるホール注入層120を構成することを想定しているが、この場合には、PEDOTなどの導電性ポリマー材料を用いる場合に比べて、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層123に対しホールを注入する機能を有し、大きな仕事関数を有する。
バンク121は、樹脂等の有機材料を用い形成されており絶縁性を有する。バンク121の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。バンク121は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。さらに、バンク121は、製造工程中において、エッチング処理、ベーク処理など施されることがあるので、それらの処理に対して過度に変形、変質などをしないような耐性の高い材料で形成されることが好ましい。また、表面に撥水性をもたせるために、表面をフッ素処理することもできる。
ホール輸送層122は、親水基を備えない高分子化合物を用い形成されている。例えば、ポリフルオレンやその誘導体、あるいはポリアリールアミンやその誘導体などの高分子化合物であって、親水基を備えないものなどを用いることができる。
発光層123は、上述のように、ホールと電子とが注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。発光層123の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料を用いることが必要である。
電子輸送層124は、カソード125から注入された電子を発光層123へ輸送する機能を有し、例えば、オキサジアゾール誘導体(OXD)、トリアゾール誘導体(TAZ)、フェナンスロリン誘導体(BCP、Bphen)などを用い形成されている。
カソード125は、例えば、酸化インジウムスズ(ITO)若しくは酸化インジウム亜鉛(IZO)などを用い形成される。本実施の形態のように、トップエミッション型の本実施の形態に係る表示パネル10の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。光透過性については、透過率が80[%]以上とすることが好ましい。
封止層126は、発光層123などの有機層が水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する機能を有し、例えば、窒化シリコン(SiN)、酸窒化シリコン(SiON)などの材料を用い形成される。また、窒化シリコン(SiN)、酸窒化シリコン(SiON)などの材料を用い形成された層の上に、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂材料からなる封止樹脂層を設けてもよい。
4.1 画素領域10A
表示パネル10の画素領域10Aの製造方法について説明する。
基板100のZ軸方向上側の表面に、互いに間隔をあけたゲート電極101、102を形成する。ゲート電極101、102の形成は、基板100の表面に対して、メタルスパッタリング法を用いてCuからなる金属薄膜とMoからなる金属薄膜とを順に積層形成し、その上にホトリソグラフィー法を用いてレジストパターンを形成する。次に、ウェットエッチングを実施した後、レジストパターンを除去する。これにより、ゲート電極101、102の形成がなされる。
ゲート電極101、102および基板100の表面を被覆するように、ゲート絶縁層103を形成し、ゲート絶縁層103の表面に互いに間隔をあけたチャネル層104、105を形成する。ゲート絶縁層103形成は、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法あるいはスパッタリング法を用いてなされる。チャネル層104、105の形成は、スパッタリング法を用い、酸化物半導体膜を形成し、ホトリソグラフィー法およびウェットエッチング法を用いてパターニングすることでなされる。
チャネル層104、105およびゲート絶縁層103の表面を被覆するように、チャネル保護層106を積層形成する。チャネル保護層106の形成は、プラズマCVD法あるいはスパッタリング法を用い、SiOからなる層を積層形成し、成膜後にドライエアまたは酸素雰囲気下で、成膜温度以上の温度でアニール処理を実行することでなされる。
チャネル保護層106の表面に、ソース電極107、110およびドレイン電極108、109を形成する。また、ソース電極107、110およびドレイン電極108、109に各々に対応してソース下部電極111、115およびドレイン下部電極112、114およびコンタクトプラグ113を形成する。
ソース電極107、110およびドレイン電極108、109およびチャネル保護層106を被覆するように、下部絶縁層1161と、バリア層1162と、上部絶縁層1163、最上部絶縁層1164とを順に積層してパッシベーション層116を形成する。下部絶縁層1161の形成は、プラズマCVD法あるいはスパッタリング法を用いて成膜した後、ドライエアあるいは酸素雰囲気下でアニール処理を行うことでなされる。バリア層1162の形成は、CVD法、ALD(Atomic Layer Deposition)法、あるいはスパッタリング法を用い成膜することでなされる。上部絶縁層1163、最上部絶縁層1164の形成は、プラズマCVD法あるいはスパッタリング法を用いなされる。
パッシベーション層116におけるソース電極110上の箇所に、コンタクト孔116aを開設する。コンタクト孔116aは、その底部にソース電極110の表面が露出するように形成される。コンタクト孔116aの開設は、次のように実行される。
パッシベーション層116の上を被覆するように、かつ、パッシベーション層116に開設されたコンタクト孔116aの内壁に沿って下部接続電極層137を形成する。下部接続電極層137としては、例えば、酸化インジウムスズ(ITO)を用いることができ、真空蒸着法により形成することができる。
パッシベーション層116に開設されたコンタクト孔116aの内壁に沿って下部接続電極層137に積層して上部接続電極層117を形成する。上部接続電極層117の上部は、その一部が上部絶縁層1163上に配される。
上部接続電極層117およびパッシベーション層116を被覆するように、上部パッシベーション層136を形成する。上部パッシベーション層136の形成は、プラズマCVD法あるいはスパッタリング法を用いなされる。
パッシベーション層116を被覆するように、層間絶縁層118を積層形成する。層間絶縁層118の形成は、上記有機材料を塗布し、表面を平坦化することによりなされる。
層間絶縁層118における上部接続電極層117上にコンタクト孔を開設し、アノード119を形成する。
アノード119上に対して、ホール注入層120を形成し、その縁部を覆うようにバンク121を形成する。バンク121は、各サブピクセルを規定する開口を囲繞し、その底部にホール注入層120の表面が露出するように設けられる。
バンク121で規定された各開口部内に、ホール注入層120側から順に、ホール輸送層122、発光層123、および電子輸送層124を積層形成する。
電子輸送層124およびバンク121の頂部を被覆するように、カソード125および封止層126を順に積層形成する。
表示パネル10の接続領域10bの製造方法について、図面を用い説明する。図7(a)〜(f)、図8(a)〜(d)、図9(a)〜(c)は、表示パネル10の製造における各工程での状態を示す模式断面図である。
本工程は、上述の画素領域10Aにおけるソース電極107の形成と同時に行い、基板100上面に、ソース電極107からの引出配線層パターン207を形成する。
パッシベーション層216は、下部絶縁層およびバリア層および上部絶縁層(不図示)から構成され、パッシベーション層216の形成工程は、上述の画素領域10Aにおけるパッシベーション層116(下部絶縁層1161、バリア層1162、上部絶縁層1163および最上部絶縁層1164)の形成工程と同時に行う。図7(c)に示すように、引出配線層パターン207を被覆するように、パッシベーション層216を下部絶縁層と、バリア層と、上部絶縁層、再上部絶縁層とを順に積層形成する(216x)。
コンタクト孔216aの形成工程は、上述の画素領域10Aにおけるコンタクト孔116aの形成工程と同時に行う。パッシベーション層216における引出配線層パターン207上の箇所に、コンタクト孔216aを開設する。図7(d)に示すように、コンタクト孔216aは、その底部に引出配線層パターン207の表面が露出するように形成される。コンタクト孔216aの開設は、コンタクト孔116aと同様に、例えば、ドライエッチング法を用いて最上部絶縁層及び上部絶縁層に孔を開設し、例えば、ウェットエッチング法を用いてバリア層に孔を開設し、例えば、ドライエッチング法を用いて下部絶縁層に孔を開設することにより行う。これにより、コンタクト孔216aにおいては、その底部にソース電極110の表面が露出する。
接続配線層パターン237の形成工程は、上述の画素領域10Aにおける下部接続電極層137の形成工程と同時に行う。図7(e)に示すように、パッシベーション層116の上を被覆するように、接続配線層237xを真空蒸着法により製膜する。図7(f)に示すように、例えば、ホトリソグラフィー法およびウェットエッチング法を用い、接続配線層パターン237をパターニング形成する。
封止層パターン217の形成工程は、上述の画素領域10Aにおける上部接続電極層117の形成工程と同時に行う。パッシベーション層216に開設されたコンタクト孔216aの内壁に沿って封止層パターン217を形成する。封止層パターン217の上部は、その一部がパッシベーション層216の上部絶縁層上に配される。
封止層パターン217および接続配線層パターン237を被覆するように、図8(c)に示すように、上部パッシベーション層236xを形成する。上部パッシベーション層236xの形成工程は、上述の画素領域10Aにおける上部パッシベーション層136の形成工程と同時に行う。上部パッシベーション層136の形成は、例えば、プラズマCVD法あるいはスパッタリング法を用いなされる。
上部パッシベーション層236xを被覆するように、図8(d)に示すように、層間絶縁層218xを積層形成する。層間絶縁層218xの形成工程は、上述の画素領域10Aにおける層間絶縁層118の形成工程と同時に行う。層間絶縁層118の形成は、上記有機材料を塗布し、表面を平坦化することによりなされる。
コンタクト孔218aの形成工程は、上述の画素領域10Aにおける層間絶縁層118へコンタクト孔の形成工程と同時に行う。平面視方向において、コンタクト孔216a内の中心付近に位置するようにコンタクト孔218aを開設する。同時に、上部パッシベーション層236x、層間絶縁層218xのパターンニングを行う。
上部封止層パターン219の形成工程は、上述の画素領域10Aにおけるアノード119の形成工程と同時に行う。
5.1 引出配線層パターン207の腐食防止
以上説明したように、実施の形態1に係る表示装置は、基板100と、基板100上に配された発光部ELと、発光部ELを駆動するトランジスタ(Tr1、Tr2)と、トランジスタ(Tr1、Tr2)のソースS2、ドレインD1、又はゲートG2の何れかから基板上
の発光部が存する画素領域10A外まで延出された引出配線層パターン207と、基板100上に引出配線層パターン207を少なくとも覆うように配され、基板上の画素領域10A外であって引出配線層パターン207と平面視において重なる位置にコンタクト孔216aが開設されているパッシベーション層216と、パッシベーション層216の上面、コンタクト孔216aの内周面、及びコンタクト孔216a内の引出配線層パターン207上面に連続して配されている接続配線層パターン237と、接続配線層パターン237上に配され、接続配線層パターン237のコンタクト孔216a内に存する部分を覆う封止層パターン217と、接続配線層パターン237の上方に配され封止層パターン217と一部が接触した状態で封止層パターン217を覆う上部封止層パターン219とを備えたことを特徴とする。また、接続配線層パターン237のパッシベーション層216の上面に配された部分は外部からの配線を接続するための接続端子部237aを有している構成としてもよい。
実施の形態1に係る表示装置は、さらに、封止層パターン217の外周縁を覆い、封止層パターン217の外周縁と上部封止層パターン219との間に介在する接触防止層パターン236、218とを備えたことにより、封止層パターン217の材料が上部封止層パターン219内に拡散して封止層パターン217が劣化する現象を防止することができる。
実施の形態1に係る表示パネルでは、表示パネル10の構成において、上部封止層パターン219は、接続配線層パターン237に沿って接続端子部237aまで延出されていることを特徴とする。上部封止層パターン219を接続配線層パターン237に沿って接続端子部237aまで延出することにより、シート抵抗を軽減することができる。接続配線層パターン237は、上述のとおり、その厚みが、例えば、5[nm]〜200[nm]の範囲と薄く構成されていることから、上部封止層パターン219と接続配線層パターン237の接触部分における導電層の総厚を増すことによりシート抵抗の軽減が可能となる。
本発明の実施の形態2に係る表示パネルの構成について、図19を用い説明する。図19は、実施の形態2に係る表示パネルの配線接続部220(CNdat)の配線方向に沿って切断した拡大断面図である。図19では、表示パネルの一部構成だけを抜き出して図示しており、図示を省略している部分の構成については、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同一構成を採用している。また、図19においても、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同一構成の部位については、同一の符号を付している。
≪実施の形態3≫
本発明の実施の形態3に係る表示パネルの構成について、図20を用い説明する。図20は、実施の形態3に係る表示パネルの配線接続部220(CNdat)の配線方向に沿って切断した拡大断面図である。図20では、表示パネルの一部構成だけを抜き出して図示しており、図示を省略している部分の構成については、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同一構成を採用している。また、図20においても、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同一構成の部位については、同一の符号を付している。
本発明の実施の形態4に係る表示パネルの構成について、図21を用い説明する。図21は、実施の形態4に表示パネルの接続領域10bにおける配線接続部220E(CNdat)及び接続端子部219Ea(TMdat)を平面視した拡大平面図である。図21では、表示パネルの一部構成だけを抜き出して図示しており、図示を省略している部分の構成については、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同一構成を採用している。また、図21においても、上記実施の形態1に係る表示パネル10と同一構成の部位については、同一の符号を付している。
コンタクト孔216aはパッシベーション層216上面において引出配線層パターン207Eと接続配線層パターン237Eとが平面視において重なる領域内に形成されており、コンタクト孔216aが存する配線接続部220を構成している。本実施の形態に係る表示パネルでは、各引出配線層パターン207Eにおいて配線接続部220が存する長手方向の位置が隣接する引出配線層パターン207E間で異なることを特徴とする。配線接続部220は、隣接する引出配線層パターン207E間では長手方向において互いに重ならないずれた位置に配されている。
上記実施の形態1〜4では、引出配線層パターン207はソース電極107から引き出されている場合を例として説明した。しかしながら、本実施形態に係る引出配線層パターンは、ソース電極107からの引出配線層パターンに限定されるものではなく、例えば、ゲート電極101、ドレイン電極109、カソード125からの引出配線層パターンや、画素を構成する発光部を駆動する駆動素子から引出される電極パターンの全てに適用されるものであることはいうまでもない。
以上で説明した実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、工程、工程の順序などは一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない工程については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。
10 表示パネル
10a 画素
10A 画素領域
100 基板
101 ゲート電極
102 ゲート絶縁層
104、105 チャネル層
106 チャネル保護層
107、110 ソース電極
108、109 ドレイン電極
111 ソース下部電極
112 ドレイン下部電極
113 コンタクトプラグ
116、216 パッシベーション層
117 上部接続電極層
118 層間絶縁層
119 アノード
120 ホール注入層
121 バンク
122 ホール輸送層
123 発光層
124 電子輸送層
125 カソード
126 封止層
127 接合層
128 カラーフィルタ層
129 遮光層
136 上部パッシベーション層
137 下部接続電極層
207、207E 引出配線層パターン
217、217B 封止層パターン
218、218B、218C 接触防止層パターン(層間絶縁層パターン)
236、236B、236C 接触防止層パターン(上部パッシベーション層パターン)
237、237C 接続配線層パターン
219、219E 上部封止層パターン
EL.EL素子部
Tr1.駆動トランジスタ
Tr2.スイッチングトランジスタ
C.容量
Claims (28)
- 基板と、
前記基板上に配された発光部と、
前記発光部を駆動するトランジスタと、
前記トランジスタのソース、ドレイン、又はゲートの何れかから前記基板上の発光部が存する領域外まで延出された金属からなる引出配線層パターンと、
前記基板上に前記引出配線層パターンを覆うように配され、前記基板上の前記領域外であって前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置にコンタクト孔が開設されているパッシベーション層と、
前記パッシベーション層の上面、前記コンタクト孔の内周面、及び前記コンタクト孔内の前記引出配線層パターン上面に連続して配されている接続配線層パターンと、
前記接続配線層パターン上に配され、前記接続配線層パターンの前記コンタクト孔内に存する部分を覆う導電性を有する封止層パターンと、
前記接続配線層パターンの上方に配され、前記封止層パターンの外周縁より内方の一部と接触した状態で前記封止層パターンを覆う導電性を有する上部封止層パターンと、
前記封止層パターンの外周縁と前記上部封止層パターンとの間に介在する接触防止層パターンとを備えた
表示装置。 - 前記接続配線層パターンの前記パッシベーション層の上面に配された部分は、外部からの配線を接続するための接続端子部を有し、
前記上部封止層パターンは、前記接続配線層パターンに沿って前記接続端子部又はその近傍まで延出されている
請求項1に記載の表示装置。 - 前記封止層パターンは、前記接続配線層パターンに沿って前記接続端子部又はその近傍まで延出されており、
前記接触防止層パターンは、前記コンタクト孔外において前記封止層パターンと前記上部封止層パターンとの間に配されている
請求項2に記載の表示装置。 - 前記上部封止層パターンの前記絶縁層の上面に配された部分は、外部からの配線を接続するための接続端子部を有し、
前記接続配線層パターンは、前記コンタクト孔周面近傍にて終端している
請求項1に記載の表示装置。 - 前記基板上には複数の発光部と各発光部を各々駆動する複数のトランジスタを備え、
前記複数のトランジスタを構成する各トランジスタのソース、ドレイン、又はゲートの何れかから引き出された前記引出配線層パターンが複数の存在し、
前記各引出配線層パターンにおいて前記コンタクト孔が存する長手方向の位置は、隣接する引出配線層パターン間で異なる
請求項1に記載の表示装置。 - 前記接触防止層パターンは、絶縁材料からなる
請求項1から5の何れか1項に記載の表示装置。 - 前記接触防止層パターンは、上部パッシベーション層とその上に積層された平坦化層を含む
請求項6に記載の表示装置。 - 前記接続配線層パターンは前記基板の周縁部又はその近傍まで延出され、
前記接続端子部は前記接続配線層パターンの前記基板の周縁部側終端部に形成されている
請求項2に記載の表示装置。 - 前記封止層パターンは、当該封止層パターンの上部が前記コンタクト孔からはみ出す程度に前記コンタクト孔に埋設され前記コンタクト孔を埋めている
請求項1から8の何れか1項に記載の表示装置。 - 前記パッシベーション層には、単一の前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置に前記コンタクト孔が複数開設されており、各々の前記コンタクト孔に配設される前記封止層パターン同士は互いに分離して配置されている
請求項1から9の何れか1項に記載の表示装置。 - 前記パッシベーション層には、単一の前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置に前記コンタクト孔が複数開設されており、前記複数のコンタクト孔に対して連続した状態で前記封止層パターンが配設されている
請求項1から9の何れか1項に記載の表示装置。 - 前記引出配線層パターンは、銅を含む層を積層してなる積層金属膜、または銅を含む合金層である
請求項1から11の何れか1項に記載の表示装置。 - 前記封止層パターンは、銅を含む層を積層してなる積層金属膜、または銅を含む合金層である
請求項1から12の何れか1項に記載の表示装置。 - 前記上部封止層パターンは、タングステンからなる薄膜と、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる薄膜とを順に積層した金属膜である
請求項1から13の何れか1項に記載の表示装置。 - 基板と、
前記基板上に配された発光部を駆動するトランジスタと、
前記トランジスタのソース、ドレイン、又はゲートの何れかから前記基板上の発光部が存する領域外まで延出された金属からなる引出配線層パターンと、
前記基板上に前記引出配線層パターンを覆うように配され、前記基板上の前記領域外であって前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置にコンタクト孔が開設されているパッシベーション層と、
前記パッシベーション層の上面、前記コンタクト孔の内周面、及び前記コンタクト孔内の前記引出配線層パターン上面に連続して配されている接続配線層パターンと、
前記接続配線層パターン上に配され、前記接続配線層パターンの前記コンタクト孔内に存する部分を覆う導電性を有する封止層パターンと、
前記接続配線層パターンの上方に配され、前記封止層パターンの外周縁より内方の一部と接触した状態で前記封止層パターンを覆う導電性を有する上部封止層パターンと、
前記封止層パターンの外周縁と前記上部封止層パターンとの間に介在する接触防止層パターンとを備えた
薄膜トランジスタ装置。 - 前記接続配線層パターンの前記パッシベーション層の上面に配された部分は、外部からの配線を接続するための接続端子部を有し、
前記上部封止層パターンは、前記接続配線層パターンに沿って前記接続端子部又はその近傍まで延出されている
請求項15に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記封止層パターンは、前記接続配線層パターンに沿って前記接続端子部又はその近傍まで延出されており、
前記接触防止層パターンは、前記コンタクト孔外において前記封止層パターンと前記上部封止層パターンとの間に配されている
請求項16に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記上部封止層パターンの前記絶縁層の上面に配された部分は、外部からの配線を接続するための接続端子部を有し、
前記接続配線層パターンは、前記コンタクト孔周面近傍にて終端している
請求項15に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記基板上には複数の発光部と各発光部を各々駆動する複数のトランジスタを備え、
前記複数のトランジスタを構成する各トランジスタのソース、ドレイン、又はゲートの何れかから引き出された前記引出配線層パターンが複数の存在し、
前記各引出配線層パターンにおいて前記コンタクト孔が存する長手方向の位置は、隣接する引出配線層パターン間で異なる
請求項15に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記接触防止層パターンは、絶縁材料からなる
請求項15から19の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記接触防止層パターンは、上部パッシベーション層とその上に積層された平坦化層を含む
請求項20に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記接続配線層パターンは前記基板の周縁部又はその近傍まで延出され、
前記接続端子部は前記接続配線層パターンの前記基板の周縁部側終端部に形成されている
請求項16に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記封止層パターンは、当該封止層パターンの上部が前記コンタクト孔からはみ出す程度に前記コンタクト孔に埋設され前記コンタクト孔を埋めている
請求項15から22の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記パッシベーション層には、単一の前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置に前記コンタクト孔が複数開設されており、各々の前記コンタクト孔に配設される前記封止層パターン同士は互いに分離して配置されている
請求項15から23の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記パッシベーション層には、単一の前記引出配線層パターンと平面視において重なる位置に前記コンタクト孔が複数開設されており、前記複数のコンタクト孔に対して連続した状態で前記封止層パターンが配設されている
請求項15から23の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記引出配線層パターンは、銅を含む層を積層してなる積層金属膜、または銅を含む合金層である
請求項15から25の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記封止層パターンは、銅を含む層を積層してなる積層金属膜、または銅を含む合金層である
請求項15から26の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。 - 前記上部封止層パターンは、タングステンからなる薄膜と、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる薄膜とを順に積層した金属膜である
請求項15から27の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ装置。
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