JP6226723B2 - 大気圧プラズマ発生装置、医療器具および大気圧プラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
[大気圧プラズマ発生装置の構成]
図1に、実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置の模式的な断面図を示す。実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置は、軸方向に延びる中空の絶縁体としての絶縁体管1と、高周波電圧印加用の単電極2とを備えている。
絶縁体管1としては、絶縁性の材料であれば特に限定なく用いることができ、たとえば石英のほかアルミナなどのセラミック、またはポリイミド樹脂、フッ素系樹脂若しくはPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂などの樹脂を用いることができる。
単電極2は、導電性の材料であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ステンレス、銅、タングステン、アルミニウム、モリブデン、チタンおよび鉛からなる群から選択された少なくとも1種を含む金属、酸化インジウム・スズ、酸化亜鉛などの電気導電性酸化物、窒化チタン等の電気導電性窒化物、PEDOT(ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン))などの電気導電性高分子またはカーボン系電気導電性材料などを用いることができる。
高周波電圧印加装置4としては、たとえば、従来から公知の高周波電源などを用いることができる。なお、本実施の形態においては、単電極2に交流電圧を印加するための電源として高周波電圧印加装置4を用いる場合について説明したが、これに限定されず、単電極2に低周波電圧を印加する低周波電源を用いてもよい。なお、高周波は10kHz以上の周波数を意味しており、低周波は10kHz未満の周波数を意味している。
実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置は、たとえば以下のようにして製造することができる。まず、円筒状の絶縁体管1および導電線がスパイラル状に巻かれてなる単電極2を準備する。次に、絶縁体管1の内壁面1aで取り囲まれた空間5の内側に、導電線がスパイラル状に巻かれてなる単電極2を挿入する。その後、たとえば絶縁体管1の後述するガスが流れる方向の上流側において、高周波電圧印加装置4を単電極2に接続する。これにより、実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置を製造することができる。
以下、実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置を用いた大気圧プラズマ処理方法の一例について説明する。まず、図1〜図3に示す実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置を準備する。次に、図1に示すように、実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置の絶縁体管1の内壁面1aで取り囲まれた空間5内にガス3を導入する。
実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置においては、理由は不明であるが、高周波電圧印加装置4から単電極2に高電圧を印加した場合においても、従来と比べて異常放電の発生を抑えることができ、広い放電領域で安定放電を維持することができる。そのため、実施の形態1の大気圧プラズマ発生装置によれば、高電圧印加時の異常放電の発生を抑えることができるとともに、高電圧を印加することによってプラズマによる処理対象物への処理効果を高くすることができ、安定放電領域を広く有するものとすることができる。
図4に、実施の形態2の大気圧プラズマ発生装置の模式的な断面図を示す。また、図5に、実施の形態2の大気圧プラズマ発生装置を絶縁体管1の先端側から見たときの模式的な平面図を示す。実施の形態2の大気圧プラズマ発生装置は、単電極2として中空の導電管を用い、単電極2の外表面2aの全面が絶縁体管1の内壁面1aの全面と接している点に特徴がある。
図6に、実施の形態3の大気圧プラズマ発生装置の模式的な断面図を示す。また、図7に、実施の形態3の大気圧プラズマ発生装置を絶縁体管1の先端側から見たときの模式的な平面図を示す。実施の形態3の大気圧プラズマ発生装置は、単電極2として短冊状の導電シートを用い、単電極2が絶縁体管1の上部の内壁面1aのみに取り付けられている点に特徴がある。
<実施例1>
図1〜図3に示すように、外径8mmで、内径が5mmの円筒形の石英管からなる絶縁体管1の内壁面1aで取り囲まれた空間5内に、線径が0.5mmのステンレス線をスパイラル状に巻くことによって形成した外径5mmのスプリングからなる単電極2を、単電極2の外表面が絶縁体管1の内壁面1aに接するようにして配置した。そして、絶縁体管1の内壁面1aで取り囲まれた空間5内に配置された単電極2に高周波電圧印加装置4を接続することによって、実施例1の大気圧プラズマ発生装置を作製した。
外径0.97mmで、内径が0.55mmの円筒形のポリイミド樹脂からなる絶縁体管1の内壁面1aで取り囲まれた空間5内に、線径が0.04mmのタングステン線をスパイラル状に巻くことによって形成した外径0.55mmのスプリングからなる単電極2を、単電極2の外表面が絶縁体管1の内壁面1aに接するようにして配置したこと以外は実施例1と同様にして、実施例2の大気圧プラズマ発生装置を作製した。
図4および図5に示すように、外径8mmで、内径が5mmの円筒形の石英管からなる絶縁体管1の内壁面1aの全面にアルミニウム箔からなる単電極2を貼り付けることによって、絶縁体管1の内壁面1aで取り囲まれた空間5内に単電極2を配置したこと以外は実施例1と同様にして、実施例3の大気圧プラズマ発生装置を作製した。
図10に示すように、外径8mmで内径が5mmの円筒形の石英管からなる絶縁体管1の外表面に、線径が0.5mmのステンレス線をスパイラル状に巻き付けてなる第1の電極102aおよび第2の電極102bを互いに間隔を空けて設置したこと以外は実施例1と同様にして、比較例1の大気圧プラズマ発生装置を作製した。
図11に示すように、外径8mmで内径が5mmの円筒形の石英管からなる絶縁体管101の外表面に、線径が0.5mmのステンレス線をスパイラル状に巻き付けることによって、第1の電極102aおよび第2の電極102bを互いに間隔を空けて設置したこと以外は実施例1と同様にして、比較例2の大気圧プラズマ発生装置を作製した。なお、比較例2の大気圧プラズマ発生装置は、絶縁体管101の外表面に、2枚のアルミニウム箔を互いに間隔を空けるようにして貼り付けて作製されたものである。
表1に示すように、実施例1の大気圧プラズマ発生装置においては、比較例1の大気圧プラズマ発生装置と比べて、高電圧印加時の異常放電の発生を抑えることができるとともに、PETフィルムの表面処理効果を高くすることができ、安定放電領域を広くすることができることが確認された。
図6および図7に示すように、石英管からなる絶縁体管1の内壁面1aの上面の一部のみにアルミニウム箔からなる単電極2を貼り付けたこと以外は実施例3と同一の構造を有する実施例4の大気圧プラズマ発生装置を作製した。
比較例2の大気圧プラズマ発生装置の第1の電極102aと第2の電極102bとの間に印加される高周波電圧値を上昇させていき、比較例2の大気圧プラズマ発生装置における放電状態を確認した。その結果を表3に示す。
Claims (5)
- 軸方向に延びる中空の絶縁体と、
前記絶縁体の内壁面で取り囲まれた空間内に配置された単電極と、
前記単電極に交流電圧を印加するための電源とを備えた、大気圧プラズマ発生装置であって、
前記絶縁体および前記単電極が可撓性を有する、大気圧プラズマ発生装置。 - 前記絶縁体の前記内壁面と前記単電極の外表面とが接している、請求項1に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記単電極は、スパイラル状、棒状、中空状、短冊状または網目状からなる、請求項1または請求項2に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の大気圧プラズマ発生装置を含む、医療器具。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の大気圧プラズマ発生装置を用いた大気圧プラズマ処理方法であって、
前記絶縁体の内壁面で取り囲まれた空間内にヘリウムを主成分とするガスを導入する工程と、
前記単電極に交流電圧を印加することによって前記ガスのプラズマを大気圧近傍の圧力下で発生させる工程と、
前記プラズマを処理対象物に接触させることによって前記処理対象物を処理する工程と、を含む、大気圧プラズマ処理方法。
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