JP6219315B2 - バイオセンサおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
1.血液成分を酸化還元酵素により酸化し、その反応生成物による酸化電流を電極で検出し、前記血液成分を測定するバイオセンサであって、
前記電極が、貴金属からなる作用極と対極とがそれぞれ交互配列されるくし型電極であり、
前記くし型電極の総面積が1.8mm2〜4mm2であり、電極間距離が50μm未満であり、作用極の電極幅が5μm〜50μmであり、かつ対極の電極幅が5μm〜100μmであることを特徴とするバイオセンサ。
2.前記くし型電極の作用極と対極の本数の総和が30〜300本であることを特徴とする前記1に記載のバイオセンサ。
3.前記くし型電極が、(1)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にスクリーン印刷法によりレジストをくし型形状に印刷し、エッチングを行なった後、前記レジストを除去することにより形成されるか、あるいは、(2)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にレジストを塗布または貼付し、フォトマスクを介して露光を行ない、くし型電極を形成する部分以外のレジストおよび前記貴金属の膜をエッチングした後、くし型電極を形成する部分のレジストを除去することにより形成されるか、あるいは、(3)電気絶縁性の基板上に、製造すべきくし型電極パターンを抜いたテンプレートを重ね、前記テンプレートを介して前記電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成した後、前記テンプレートを除去することにより形成されるか、あるいは、(4)電気絶縁性の基板上に、スクリーン印刷法により、前記くし型電極を形成しない部分にレジストを印刷し、前記電気絶縁性の基板およびレジスト上に貴金属の膜を形成し、前記レジストおよび前記レジスト上に形成された貴金属の膜を除去することにより形成される、前記1または2に記載のバイオセンサ。
4.前記血液成分が、グルコースであることを特徴とする前記1〜3のいずれか1に記載のバイオセンサ。
5.電気絶縁性の基板上に、貴金属からなる作用極と対極とがそれぞれ交互配列されるくし型電極を形成する工程を有し、
前記くし型電極の総面積が1.8mm2〜4mm2であり、電極間距離が50μm未満であり、作用極の電極幅が5μm〜50μmであり、対極の電極幅が5μm〜100μmであり、かつ電極本数が30〜300本であり、
前記工程が、(1)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にスクリーン印刷法によりレジストをくし型形状に印刷し、エッチングを行なった後、前記レジストを除去することによりくし型電極を形成する工程であるか、あるいは、(2)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にレジストを塗布または貼付し、フォトマスクを介して露光を行ない、くし型電極を形成する部分以外のレジストおよび前記貴金属の膜をエッチングした後、くし型電極を形成する部分のレジストを除去することによりくし型電極を形成する工程であるか、あるいは、(3)電気絶縁性の基板上に、製造すべきくし型電極パターンを抜いたテンプレートを重ね、前記テンプレートを介して前記電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成した後、前記テンプレートを除去することによりくし型電極を形成する工程であることを特徴とするバイオセンサの製造方法。
(1)スクリーン印刷により形成した印刷マスクを使用する方法
図3は、スクリーン印刷により形成した印刷マスクを使用する方法により、くし型電極104を製造する工程を示す図である。
まず、電気絶縁性の基板を準備し[図3(a)]、くし型電極を構成する貴金属をスパッタリング、真空蒸着、めっき等の手段により、電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成する[図3(b)]。
次に、前記電極膜上にスクリーン印刷法を適用してレジストをくし型形状に印刷し[図3(c)]、エッチングを行なう[図3(d)]。
最後に、レジストを剥離液等により除去することにより、くし型電極が完成する[図3(e)]。
図4は、フォトリソグラフィーにより形成したマスクを使用する方法により、くし型電極104を製造する工程を示す図である。
まず、電気絶縁性の基板を準備し[図4(a)]、くし型電極を構成する貴金属をスパッタリング、真空蒸着、めっき等の手段により、電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成する[図4(b)]。
次に、前記貴金属の膜上にスピンコート、スプレー塗布、スクリーン印刷、ドライフィルム貼付等の手段を適用してレジストを塗布または貼付し[図4(c)]、フォトマスクを介して露光を行なう[図4(d)]。
続いて、くし型電極を形成する部分以外のレジストおよび貴金属の膜をエッチングする[図4(e)および(f)]。
最後に、くし型電極を形成する部分のレジストを剥離液等により除去することにより、くし型電極が完成する[図4(g)]。
図5は、メタルマスクを使用する方法により、くし型電極104を製造する工程を示す図である。
まず、電気絶縁性の基板を準備し[図5(a)]、基板の上に作製したい電極パターンを抜いたテンプレート(メタルマスクと呼ぶ)[図5(b)]を重ね[図5(c)]、電極を構成する貴金属をスパッタリング、真空蒸着、めっき等の手段により処理して電極を形成し[図5(d)]、電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成する。続いて、メタルマスクを除去することにより、電極が完成する[図5(e)]。
図12は、リフトオフ法により、くし型電極104を製造する工程を示す図である。
まず、絶縁性基板を準備し[図12(a)]、スクリーン印刷法を適用して、電極を形成しない部分にレジストを平板型形状に印刷[図12(b)]、乾燥させる。
次に、レジストを印刷した基板に、電極を構成する貴金属をスパッタリング、真空蒸着、めっきなどの手段により、貴金属の膜を形成する[図12(c)]。
最後に、レジストを剥離液等で除去することにより、レジストとレジスト上に形成された貴金属の膜が除去され、電極が完成する[図12(d)]。
目的:フォトリソグラフィーにより作製されたくし型金電極の評価
1.CV値の測定
2.各種ヘマトクリット値(以下Ht値という)のセンサ応答に与える影響に関する検討:
均一溶液系におけるウマ血液由来Htを用いたくし型金電極の評価
実験:
フォトリソグラフィーにより形成したマスクを使用する方法により作製されたくし型金電極の評価
フォトリソグラフィーにより作製されたスペーサー付のくし型金電極(IDA)を3つ用意した。
(1)20μmIDA(作用極の幅/対極の幅/電極間距離=20μm/20μm/20μm,作用極及び対極の総和本数=72本,作用極及び対極の電極の総面積=2.2mm2)
(2)50μmIDA(作用極の幅/対極の幅/電極間距離=50μm/50μm/50μm,作用極及び対極の総和本数=28本,作用極及び対極の電極の総面積=2.0mm2)
(3)80μmIDA(作用極の幅/対極の幅/電極間距離=80μm/80μm/80μm,作用極及び対極の総和本数=18本,作用極及び対極の電極の総面積=2.2mm2)
また、スクリーン印刷により形成した印刷マスクを使用する方法により作製されたスペーサー付のくし型金電極(IDA)も1つ用意した。
(4)印刷マスク50μmIDA(作用極の幅/対極の幅/電極間距離=50μm/50μm/50μm,作用極及び対極の総和本数=28本,作用極及び対極の電極の総面積=2.0mm2)
これらの各電極上に、容量0.8μL(5×2×0.08mm3)のキャピラリを形成するシール(カバーフィルム)を貼付することでキャピラリを作製し、以下の検討を行なった。
終濃度10mM Potassium ferrocyanide,90mM Potassium ferricyanide,100mM リン酸カリウム緩衝液(以下P.P.Bという)(pH7.5)の溶液を調製した。調製した混合液を0V vs.CCPの電極上のキャピラリにアプライした。電極へのアプライから5秒後、+200mVの電位を印加して20秒間電流値を測定した。(Sampling 10Hz(10points/sec)で測定)
馬保存血液(日本バイオテスト,Cat No.0103−1)は、PBS(−)で5回洗浄(1000g,10min)した。洗浄した血液サンプルに対し、液性成分の濃度が571.4mg/dL Glucoseとなるようにリン酸緩衝生理食塩水(以下PBS(−)という)で調整した基質を添加し、Ht30のサンプルを調製した。
1.フォトリソグラフィーにより作製されたくし型金電極(以下IDAともいう)のCV値の測定
電流値の測定結果を図6(a)〜(d)に、各サンプリングタイムで算出したCV値を図7に示す。
50μmIDAと印刷マスク50μmIDAとを比較すると、アンペログラムのカーブ形状が異なり、フォトリソグラフィーにより作製された電極(50μmIDA)がより速く定常域に達するようにみられる。印刷マスク50μmIDAではピークが二つみられるカーブを示すものが多くみられた。
以上の結果から、電極の作製方法による電流値の違いと、フォトリソグラフィーで作製された電極の再現性の高さが示され、フォトリソグラフィーで作製された電極の高いパフォーマンスが明らかとなった。
酵素−メディエータ混合液をHt0−Ht56の基質溶液と混合してクロノアンペロメトリを行なった結果を図8(a)〜(d)に、Ht42を基準としたときの電流値の変化を図9(a)〜(c)に示す。
目的:
1.フォトリソグラフィーにより作製されたIDA電極上でのHt影響の検討(ドライチップ)
1.フォトリソグラフィーにより作製されたIDA電極上でのHt影響の検討
フォトリソグラフィーにより作製されたスペーサー付のIDA電極(作用極の幅/対極の幅/電極間距離=30μm/30μm/30μm,作用極及び対極の総和本数=48本,電極の総面積=2.2mm2)、を作製し、以下の検討を行なった。
馬保存血液(日本バイオテスト,Cat No.0103−1)は、PBS(−)でPBS(−)により5回洗浄(1500g,10min)した。洗浄した血液サンプルに対し、液性成分での終濃度がそれぞれ400mg/dL GlucoseとなるようにPBS(−)で調整した基質を添加し、Ht40のサンプルを調製した。Ht40サンプルを遠心分離(1000g,4℃,10min)し、その上清を添加または一部除去してHt20、Ht30、Ht40、Ht50、及びHt60のサンプルを調製した。
1.フォトリソグラフィーにより作製されたIDA電極上でのHt影響の検討(ドライチップ)
クロノアンペロメトリの結果を図10、そこから計算されるHtの影響を図11(a)〜(c)に示す。アンペログラムのカーブ形状は、電位印加直後に定常域に達するカーブを示した。Ht影響評価では、Ht影響が小さく、Ht20−50の範囲では±10%程度の影響であった。
102 電気絶縁性の基板
104 くし型電極
108 スペーサー
109 カバーフィルム
1042 作用極
1044 対極
A 孔部
C キャビティ
G 電極間距離
W 電極幅
Claims (5)
- 血液成分を酸化還元酵素により酸化し、その反応生成物による酸化電流を電極で検出し、前記血液成分を測定するバイオセンサであって、
前記電極が、貴金属からなる作用極と対極とがそれぞれ交互配列されるくし型電極であり、
前記くし型電極の総面積が1.8mm2〜4mm2であり、電極間距離が50μm未満であり、作用極の電極幅が5μm〜30μmであり、かつ対極の電極幅が5μm〜100μmであることを特徴とするバイオセンサ。 - 前記くし型電極の作用極と対極の本数の総和が30〜300本であることを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサ。
- 前記くし型電極が、(1)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にスクリーン印刷法によりレジストをくし型形状に印刷し、エッチングを行なった後、前記レジストを除去することにより形成されるか、あるいは、(2)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にレジストを塗布または貼付し、フォトマスクを介して露光を行ない、くし型電極を形成する部分以外のレジストおよび前記貴金属の膜をエッチングした後、くし型電極を形成する部分のレジストを除去することにより形成されるか、あるいは、(3)電気絶縁性の基板上に、製造すべきくし型電極パターンを抜いたテンプレートを重ね、前記テンプレートを介して前記電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成した後、前記テンプレートを除去することにより形成されるか、あるいは、(4)電気絶縁性の基板上に、スクリーン印刷法により、前記くし型電極を形成しない部分にレジストを印刷し、前記電気絶縁性の基板およびレジスト上に貴金属の膜を形成し、前記レジストおよび前記レジスト上に形成された貴金属の膜を除去することにより形成される、
請求項1または2に記載のバイオセンサ。 - 前記血液成分が、グルコースであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のバイオセンサ。
- 電気絶縁性の基板上に、貴金属からなる作用極と対極とがそれぞれ交互配列されるくし型電極を形成する工程を有し、
前記くし型電極の総面積が1.8mm2〜4mm2であり、電極間距離が50μm未満であり、作用極の電極幅が5μm〜30μmであり、対極の電極幅が5μm〜100μmであり、かつ電極本数が30〜300本であり、
前記工程が、(1)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にスクリーン印刷法によりレジストをくし型形状に印刷し、エッチングを行なった後、前記レジストを除去することによりくし型電極を形成する工程であるか、あるいは、(2)電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成し、その上にレジストを塗布または貼付し、フォトマスクを介して露光を行ない、くし型電極を形成する部分以外のレジストおよび前記貴金属の膜をエッチングした後、くし型電極を形成する部分のレジストを除去することによりくし型電極を形成する工程であるか、あるいは、(3)電気絶縁性の基板上に、製造すべきくし型電極パターンを抜いたテンプレートを重ね、前記テンプレートを介して前記電気絶縁性の基板上に貴金属の膜を形成した後、前記テンプレートを除去することによりくし型電極を形成する工程であることを特徴とするバイオセンサの製造方法。
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