JP6209217B2 - 放射を発生させるための方法及び装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2012年10月31日及び2013年1月28日に出願された米国仮出願第61/720,687号及び第61/757,442号の利益を主張し、これらは参照により全体が本願にも含まれるものとする。
放出ノズルを介して圧力下で燃料の連続的な流れを駆動し、放出ノズルに振動を与えて燃料液滴の流れを発生させることと、
放出ノズルに与える振動の振幅を変化させることによって流れにおける液滴の速度を変化させることと、
を備える。
上述の記載は、限定ではなく例示を意図している。特に、以下の条項に従った主題は、本開示の範囲内にあるものと見なされる。
i.リソグラフィ装置のための放射を発生させる方法であって、
第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、プラズマ形成領域内で励起ビームの経路を横断させることと、
第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させることと、
を備え、前記燃料粒子が前記励起ビームによって励起されてプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間し、前記第1及び第2の流れの前記燃料粒子が前記励起ビームを横断する時間を調節することで、一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、方法。
ii.前記第1及び第2の流れが、同一の粒子周波数及び前記各軌道に沿って測定された同一の粒子分離距離dを有するが、いかなる時点でも1つだけの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内にあるように相互に位相を調整される、条項iに記載の方法。
iii.前記第1の流れからの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその中心位置にある場合、次に前記プラズマ形成領域に入るはずの前記第2の流れからの隣接する燃料粒子が、前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその各中心位置から0.2dから0.8dの距離にある、条項iiに記載の方法。
iv.前記第1の流れからの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその中心位置にある場合、次に前記プラズマ形成領域に入るはずの前記第2の流れからの隣接する燃料粒子が、前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその各中心位置から約0.5dの距離にある、条項iiiに記載の方法。
v.前記燃料粒子が溶融金属の液滴である、前出の条項のいずれかに記載の方法。
vi.前記励起ビームが前記プラズマ形成領域内で60から450μmの直径を有するウエストに合焦されたレーザビームであり、前記燃料粒子が60μm以下の直径を有する、前出の条項のいずれかに記載の方法。
vii.前記粒子分離距離dが1mm以上である、条項iiからviのいずれか1項に記載の方法。
viii.前記プラズマ形成領域内の前記軌道の前記中心位置間の距離Dが0.87d以上であるように前記第1及び第2の軌道が離間されている、条項iiからviiのいずれか1項に記載の方法。
ix.前記プラズマ形成領域がコレクタミラーの第1の焦点を取り囲み、このコレクタミラーが前記発生させた放射を第2の焦点で合焦させるように配置され、前記第1の焦点の方が前記第2の焦点よりも前記コレクタミラーに近く、
前記第1の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記励起ビームの前記経路を横断し、
前記第2の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記励起ビームの前記経路を横断する、前出の条項のいずれかに記載の方法。
x.前記第1及び第2の軌道が前記励起ビームの前記経路と実質的に直交する、前出の条項のいずれかに記載の方法。
xi.前記第1及び第2の軌道が実質的に相互に直交する、前出の条項のいずれかに記載の方法。
xii.前記第1及び第2の軌道が単一の燃料粒子捕獲器において収束するように配置されている、条項iからxiのいずれか1項に記載の方法。
xiii.前記第1及び第2の軌道が実質的に相互に平行である、条項iからxiiのいずれか1項に記載の方法。
xiv.1つ以上の更に別の軌道の各々に沿って燃料粒子の1つ以上の更に別の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させて、励起によりプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1の軌道、第2の軌道、及び前記1つ以上の更に別の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間し、
燃料粒子の前記流れが前記励起ビームの前記経路を横断する時間を調節することで、1つの流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他の各流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、前出の条項のいずれかに記載の方法。
xv.第3の軌道に沿って燃料粒子の第3の流れを送出し、プラズマ形成領域内で第2の励起ビームの経路を横断させることと、
第4の軌道に沿って燃料粒子の第4の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記第2の励起ビームの前記経路を横断させることと、
を更に備え、前記燃料粒子が前記励起ビームによって励起されてプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第3及び第4の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間し、前記第3及び第4の流れの前記燃料粒子が前記第2の励起ビームを横断する時間を調節することで、1つの流れからの燃料粒子が前記第1又は第2の励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他のいずれかの流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、条項iに記載の方法。
xvi.第5の軌道に沿って燃料粒子の第5の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で第3の励起ビームの経路を横断させることと、
第6の軌道に沿って燃料粒子の第6の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記第3の励起ビームの前記経路を横断させることと、
を更に備える、条項xvに記載の方法。
xvii.前記第1及び第3の流れが前記励起ビームを横断する箇所にプラズマ発生位置の第1のグループを規定し、前記第2及び第4の流れが前記励起ビームを横断する箇所にプラズマ発生位置の第2のグループを規定し、前記第1及び第2のグループが軸に沿って離間している、条項xvに記載の方法。
xviii.前記第1のグループ内の前記位置の1つと前記第2のグループ内の前記位置の1つとで交互にプラズマが発生される、条項xviiに記載の方法。
xix.1つのグループ内の各位置で順番にプラズマが発生される、条項xviiiに記載の方法。
xx.前記第1及び第2の流れが相互に平行であり、前記第3及び第4の流れが相互に平行である、条項xvに記載の方法。
xxi.前記第1及び第2の流れが相互に平行であり、前記第3及び第4の流れが相互に平行であり、前記第5及び第6の流れが相互に平行である、条項xviに記載の方法。
xxii.前記第1、第3、及び第5の流れが第1の平面内に位置し、前記第2、第4、及び第6の流れが第2の平面内に位置する、条項xviに記載の方法。
xxiii.第1及び第2の平面が、前記放射を発する方向に概ね直交する、条項xxiiに記載の方法。
xxiv.少なくとも1つの前記流れにおける前記燃料粒子の速度及び/又はタイミングを調節することを更に備える、前出の条項のいずれかに記載の方法。
xxv.前記燃料粒子の前記速度が、燃料粒子発生器における圧電素子に印加する電圧の大きさを変化させることによって調節される、条項xxivに記載の方法。
xxvi.前記燃料粒子の前記タイミングが、燃料粒子発生器における圧電素子に印加する信号の位相を変化させることによって調節される、条項xxivに記載の方法。
xxvii.前出の条項のいずれかに記載の方法に従って放射を発生させることと、
前記発生させた放射を用いてパターンを基板に適用することと、
を備える、リソグラフィ方法。
xxviii.放射源であって、
経路に沿ってプラズマ発生領域へと励起ビームを送出するように配置された励起ビーム源と、
第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させるように配置された第1の燃料流発生器と、
第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させるように配置された第2の燃料流発生器と、
を備え、前記燃料粒子が励起されてプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間するように前記燃料流発生器が位置決めされ、
前記放射源が同期コントローラを更に備え、この同期コントローラが、前記第1及び第2の流れの燃料粒子からの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断する時間を調節するように配置されて、一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、放射源。
xxix.前記発生させたプラズマによって発生される前記放射を収集するための放射コレクタを更に備え、
前記プラズマ発生領域が前記コレクタミラーの第1の焦点を取り囲み、前記コレクタミラーが前記発生させた放射を第2の焦点で合焦させるように配置され、前記第1の焦点の方が前記第2の焦点よりも前記コレクタミラーに近く、
前記第1の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされ、
前記第2の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされている、条項xxviiiに記載の放射源。
xxx.第3の軌道に沿って燃料粒子の第3の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で第2の励起ビームの経路を横断させるように配置された第3の燃料流発生器と、
第4の軌道に沿って燃料粒子の第4の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記第2の励起ビームの前記経路を横断させるように配置された第4の燃料流発生器と、
を更に備え、前記第3の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされ、
前記第4の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされている、条項xxixに記載の放射源。
xxxi.第5の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で第3の励起ビームの経路を横断させるように配置された第5の燃料流発生器と、
第6の軌道に沿って燃料粒子の第6の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記第3の励起ビームの前記経路を横断させるように配置された第6の燃料流発生器と、
を更に備え、前記第5の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされ、
前記第6の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされている、条項xxxに記載の放射源。
xxxii.前記第2の焦点においてサブ構造が提供され、前記サブ構造が、前記放射が通過し得る開口を有し、前記開口が4mmから8mmの直径を有する、条項xxixに記載の放射源。
xxxiii.前記開口が4mmから6mmの直径を有する、条項xxxiiに記載の放射源。
xxxiv.各前記燃料流発生器によって発生した燃料粒子の速度及び/又はタイミングを調節することができる、条項xxviiiからxxxiiiのいずれかに記載の放射源。
xxxv.前記燃料粒子発生器が圧電素子を含み、前記燃料粒子の前記速度が、前記圧電素子に印加する信号の振幅を変化させることによって調節される、条項xxxivに記載の放射源。
xxxvi.前記燃料粒子発生器が圧電素子を含み、前記燃料粒子の前記タイミングが、前記圧電素子に印加する信号の位相を変化させることによって調節される、条項xxxivに記載の放射源。
xxxvii.条項xxviiiからxxxviのいずれかに記載の放射源を備えるリソグラフィ投影装置。
xxxviii.リソグラフィ装置のための放射を発生させる方法であって、
第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、プラズマ形成領域内で励起ビームの経路を横断させることと、
第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させることと、
を備え、前記燃料粒子が前記励起ビームによって励起されてプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間し、前記第1及び第2の流れの前記燃料粒子が前記励起ビームを横断する時間を調節することで、一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、方法。
xxxix.前記第1及び第2の流れが、同一の粒子周波数及び前記各軌道に沿って測定された同一の粒子分離距離dを有するが、いかなる時点でも1つだけの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内にあるように相互に位相を調整される、条項xxxviiiに記載の方法。
xl.前記第1の流れからの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその中心位置にある場合、次に前記プラズマ形成領域に入るはずの前記第2の流れからの隣接する燃料粒子が、前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその各中心位置から0.2dから0.8dの距離にある、条項xxxixに記載の方法。
xli.前記第1の流れからの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその中心位置にある場合、次に前記プラズマ形成領域に入るはずの前記第2の流れからの隣接する燃料粒子が、前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその各中心位置から約0.5dの距離にある、条項xlに記載の方法。
xlii.前記燃料粒子が溶融金属の液滴である、条項xlに記載の方法。
xliii.前記励起ビームが前記プラズマ形成領域内で60から450μmの直径を有するウエストに合焦されたレーザビームであり、前記燃料粒子が60μm以下の直径を有する、条項xxxviiiに記載の方法。
xliv.前記粒子分離距離dが1mm以上である、条項xliiiに記載の方法。
xlv.前記プラズマ形成領域内の前記軌道の前記中心位置間の距離Dが0.87d以上であるように前記第1及び第2の軌道が離間されている、条項xlivに記載の方法。
xlvi.前記プラズマ形成領域がコレクタミラーの第1の焦点を取り囲み、このコレクタミラーが前記発生させた放射を第2の焦点で合焦させるように配置され、前記第1の焦点の方が前記第2の焦点よりも前記コレクタミラーに近く、前記第1の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記励起ビームの前記経路を横断し、前記第2の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記励起ビームの前記経路を横断する、条項xlivに記載の方法。
xlvii.前記第1及び第2の軌道が前記励起ビームの前記経路と実質的に直交する、条項xlivに記載の方法。
xlviii.前記第1及び第2の軌道が実質的に相互に直交する、条項xlivに記載の方法。
xlix.前記第1及び第2の軌道が単一の燃料粒子捕獲器において収束するように配置されている、条項xlviiiに記載の方法。
l.前記第1及び第2の軌道が実質的に相互に平行である、条項xlixに記載の方法。
li.1つ以上の更に別の軌道の各々に沿って燃料粒子の1つ以上の更に別の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させて、励起によりプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、前記第1の軌道、第2の軌道、及び前記1つ以上の更に別の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間し、燃料粒子の前記流れが前記励起ビームの前記経路を横断する時間を調節することで、1つの流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他の各流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、条項xxxviiiに記載の方法。
lii.少なくとも1つの前記流れにおける前記燃料粒子の速度及び/又はタイミングを調節することを更に備える、条項xxxviiiからliのいずれかに記載の方法。
liii.前記燃料粒子の前記速度が、燃料粒子発生器における圧電素子に印加する電圧の大きさを変化させることによって調節される、条項liiに記載の方法。
liv.前記燃料粒子の前記タイミングが、燃料粒子発生器における圧電素子に印加する信号の位相を変化させることによって調節される、条項liiに記載の方法。
lv.条項xxxviiiに記載の方法に従って放射を発生させることと、
前記発生させた放射を用いてパターンを基板に適用することと、
を備える、リソグラフィ方法。
lvi.放射源であって、
経路に沿ってプラズマ発生領域へと励起ビームを送出するように構成された励起ビーム源と、
第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させるように構成された第1の燃料流発生器と、
第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させるように構成された第2の燃料流発生器と、
を備え、前記燃料粒子が励起されてプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間するように前記燃料流発生器が位置決めされ、
前記放射源が同期コントローラを更に備え、この同期コントローラが、前記第1及び第2の流れの燃料粒子からの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断する時間を調節するように構成されて、一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないようにする、放射源。
lvii.前記発生させたプラズマによって発生される前記放射を収集するための放射コレクタを更に備え、
前記プラズマ発生領域がコレクタミラーの第1の焦点を取り囲み、前記コレクタミラーが前記発生させた放射を第2の焦点で合焦させるように構成され、前記第1の焦点の方が前記第2の焦点よりも前記コレクタミラーに近く、
前記第1の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされ、
前記第2の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされている、条項lviに記載の放射源。
lviii.条項lviに記載の放射源を備えるリソグラフィ投影装置。
lix.燃料液滴流を発生させる方法であって、
放出ノズルを介して圧力下で燃料の連続的な流れを駆動し、前記放出ノズルに振動を与えて燃料液滴の流れを発生させることと、
前記放出ノズルに与える前記振動の振幅を変化させることによって前記流れにおける前記液滴の速度を変化させることと、
を備える、方法。
Claims (14)
- リソグラフィ装置のための放射を発生させる方法であって、
第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、プラズマ形成領域内で励起ビームの経路を横断させることと、
第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させることと、を備え、
前記2つの流れからの前記燃料粒子が前記励起ビームによってそれぞれ励起されて交互にプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないように、前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間して前記第1及び第2の流れの前記燃料粒子が前記励起ビームを横断する時間を調節する、方法。 - 前記第1及び第2の流れは、同一の粒子周波数及び前記各軌道に沿って測定された同一の粒子分離距離dを有するが、いかなる時点でも1つだけの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内にあるように相互に位相を調整される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の流れからの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその中心位置にある場合、次に前記プラズマ形成領域に入るはずの前記第2の流れからの隣接する燃料粒子が、前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその各中心位置から0.2dから0.8dの距離にある、請求項2に記載の方法。
- 前記第1の流れからの燃料粒子が前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその中心位置にある場合、次に前記プラズマ形成領域に入るはずの前記第2の流れからの隣接する燃料粒子が、前記プラズマ形成領域内でその軌道に沿ったその各中心位置から約0.5dの距離にある、請求項3に記載の方法。
- 前記燃料粒子は、溶融金属の液滴である、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1及び第2の軌道は、単一の燃料粒子捕獲器において収束するように配置されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1及び第2の軌道は、実質的に相互に平行である、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- 1つ以上の更に別の軌道の各々に沿って燃料粒子の1つ以上の更に別の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させて、励起によりプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1の軌道、第2の軌道、及び前記1つ以上の更に別の軌道が、前記プラズマ形成領域内で離間し、
1つの流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他の各流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないように、燃料粒子の前記流れが前記励起ビームの前記経路を横断する時間を調節する、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。 - 少なくとも1つの前記流れにおける前記燃料粒子の速度及び/又はタイミングを調節することを更に備え、
前記燃料粒子の前記速度は、燃料粒子発生器における圧電素子に印加する電圧の大きさを変化させることによって調節される、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。 - 少なくとも1つの前記流れにおける前記燃料粒子の速度及び/又はタイミングを調節することを更に備え、
前記燃料粒子の前記タイミングは、燃料粒子発生器における圧電素子に印加する信号の位相を変化させることによって調節される、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載の方法に従って放射を発生させることと、
前記発生させた放射を用いてパターンを基板に適用することと、
を備える、リソグラフィ方法。 - 放射源であって、
経路に沿ってプラズマ発生領域へと励起ビームを送出する励起ビーム源と、
第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させる第1の燃料流発生器と、
第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させる第2の燃料流発生器と、を備え、
前記2つの流れからの前記燃料粒子がそれぞれ励起されて交互にプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、
前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間するように前記燃料流発生器が位置決めされ、
前記放射源は、同期コントローラを更に備え、
前記同期コントローラは、一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないように、前記第1及び第2の流れの燃料粒子からの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断する時間を調節する、放射源。 - 前記発生させたプラズマによって発生される前記放射を収集する放射コレクタを更に備え、
前記プラズマ発生領域が前記コレクタミラーの第1の焦点を取り囲み、前記コレクタミラーが前記発生させた放射を第2の焦点で合焦させ、前記第1の焦点の方が前記第2の焦点よりも前記コレクタミラーに近く、
前記第1の軌道が前記第1の焦点と前記コレクタミラーとの間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされ、
前記第2の軌道が前記第1の焦点と前記第2の焦点との間で前記プラズマ発生領域を横断するように位置決めされている、請求項12に記載の放射源。 - 請求項12又は13の放射源を備える、リソグラフィ投影装置。
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