JP6201801B2 - グラファイト薄膜の製造方法 - Google Patents
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本発明のグラファイト薄膜の製造方法における各段階を図示すると、図1に示すとおりとなる。図1の(A)は、使用する基板1を示す。図1の(B)は、基板1の上に、物理気相堆積法により、炭素原子3、窒素原子4、金属原子5、が堆積し、薄膜A(符号7)を形成している状態を示す。なお、この薄膜Aは、いわゆる金属炭素窒素混合膜である。
前記物理気相堆積法(Physical Vapor Deposition)としては、例えば、スパッタ、蒸着等が挙げられる。物理気相堆積法により形成された薄膜Aは熱的に非平衡でアモルファスの状態にある。
基板として、シリコンウェハの表面に、熱酸化により酸化シリコン膜を形成したものを用いた。この基板を、一般的なマグネトロンスパッタ装置(以下、単にスパッタ装置とする)に取り付けた。スパッタ装置には、Fe(カーボンの固溶度が高い金属、金属触媒)のターゲットを取り付けた。スパッタガスとしては、アルゴンを39.2sccm、メタンガス(炭化水素ガス)を0.8sccm、窒素ガスを10sccmをそれぞれ導入した。なお、sccmは、25℃、1気圧における流量(cm3 /分)を示す。
前記グラファイト薄膜の製造方法を用いれば、転写を行わなくても、非金属の基板上にグラファイト薄膜を形成することができる。また、得られるグラファイト薄膜は、炭素炭素結合による骨格を良好に維持しており、窒素原子の含有量も炭化水素ガスと窒素ガスとの比率を調整することによって高くなりすぎるのが抑制できる。このため、前記グラファイト薄膜の製造方法では、適度に窒素原子がドーピングされたことによって良好な電気的特性を有するグラファイト薄膜を、容易かつ安価に製造することができる。
なお、本発明は前記実施の形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。例えば、前記製造方法において、スパッタ装置に、Feのターゲットの代わりに、Co、Ni、又はそれらの合金(炭素原子を固溶する金属)のターゲットを取り付け、CoやNiと炭素原子と窒素原子とを含む薄膜Aを形成してもよい。また、スパッタ装置に、Cu、Pt、Ag、又はそれらの合金(炭素原子をわずかに固溶する金属)のターゲットを取り付け、CuやPtやAgと炭素原子と窒素原子とを含む薄膜Aを形成してもよい。これらの場合でも、前記製造方法と同様に、グラファイト薄膜を形成することができる。このように、スパッタ装置にターゲットとして使用される金属としては、炭素を固溶する金属若しくはわずかに固溶する金属又はその合金であれば、種々の金属を適用することができる。
7…薄膜 A9…グラファイト薄膜 11…金属の析出物
Claims (7)
- 炭素原子を固溶する金属と炭素原子と窒素原子とを含む薄膜Aを基板上に形成した後、熱処理により前記基板上に前記窒素原子を含有するグラファイト薄膜を形成することを特徴とするグラファイト薄膜の製造方法。
- (a)不活性ガス、(b)炭素含有分子を含むガス、及び、(c)窒素含有分子を含むガス、を有する雰囲気中で、前記金属をスパッタすることによって、前記薄膜Aを形成することを特徴とする請求項1に記載のグラファイト薄膜の製造方法。
- 前記(b)炭素含有分子を含むガスは、炭化水素を含むガスであることを特徴とする請求項2に記載のグラファイト薄膜の製造方法。
- 前記(c)窒素含有分子を含むガスは、窒素ガス又はアンモニアガスであることを特徴とする請求項2又は3に記載のグラファイト薄膜の製造方法。
- 前記金属は、鉄、コバルト、ニッケル、又はそれらの合金であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のグラファイト薄膜の製造方法。
- 前記熱処理における熱処理温度は、前記金属の融点よりも低いことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のグラファイト薄膜の製造方法。
- 前記熱処理後、前記金属を可溶な液体と接触させることで、前記金属を除去することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のグラファイト薄膜の製造方法。
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