JP6201437B2 - パルスレーザ装置 - Google Patents
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Description
2a〜2d ミラー
3a,3b 固体レーザ媒質
4a,4b 音響光学素子
5 ホルダ
6a,6b パルスレーザ生成部
7 動作クロック発生器
8,8a 位相制御回路
10a,10b スプリッタ
11a,11b フォトダイオード
12 可動ホルダ
13 移動機構部
14 移動制御部
20 圧電素子
Claims (4)
- 励起光を発生させる半導体レーザと、
前記半導体レーザからの励起光に応じて誘導放出光を発生する固体レーザ媒質と、
前記固体レーザ媒質を含む共振器内に配置され、前記共振器内のロスを制御してパルスを発生させる音響光学素子と、
前記音響光学素子を駆動するための動作クロックを発生する動作クロック発生器と、
前記動作クロックと動作クロックをオン/オフさせるためのパルス出力タイミング信号とに基づきRF信号を生成し、生成されたRF信号により前記音響光学素子を駆動させるRF信号生成器と、
前記動作クロック発生器と前記RF信号生成器との間に設けられ、前記パルス出力タイミング信号と前記音響光学素子からのパルスレーザ出力とのタイミング差を所定値にするように前記動作クロックの位相を制御する位相制御回路と、
を備えることを特徴とするパルスレーザ装置。 - 励起光を発生させる複数の半導体レーザと、
前記複数の半導体レーザに対応して設けられ、前記半導体レーザからの励起光に応じて誘導放出光を発生する複数の固体レーザ媒質と、
前記の固体レーザ媒質に対応して設けられ、前記固体レーザ媒質を含む共振器内に配置され、前記共振器内のロスを制御してパルスを発生させる複数の音響光学素子と、
前記複数の音響光学素子に対応して設けられ、前記複数の音響光学素子からの複数のレーザ出力を検知する複数の検知部と、
前記複数の音響光学素子を駆動するための動作クロックを発生する動作クロック発生器と、
前記複数の音響光学素子に対応して設けられ、前記動作クロックと動作クロックをオン/オフさせるためのパルス出力タイミング信号とに基づきRF信号を生成し、生成されたRF信号により前記音響光学素子を駆動させる複数のRF信号生成器と、
前記動作クロック発生器と前記複数のRF信号生成器の少なくとも1つのRF信号生成器との間に設けられ、前記複数の検知部で検知された前記複数のレーザ出力のタイミング差が1動作クロック以内である場合に前記タイミング差を略ゼロにするように前記動作クロックの位相を制御する1つ以上の位相制御回路と、
を備えることを特徴とするパルスレーザ装置。 - 前記固体レーザ媒質から出力されるレーザ光が前記音響光学素子内を通過する位置を、レーザ光の光軸に対して直交する方向に平行移動させる移動機構部と、
前記音響光学素子を保持するホルダとを備え、
前記移動機構部は、前記ホルダに保持された前記音響光学素子をレーザ光の光軸に対して略直交する方向に平行移動させることにより前記タイミング差を前記1動作クロック以内に抑えることを特徴とする請求項2記載のパルスレーザ装置。 - 前記複数の検知部からの複数のレーザ出力の遅延時間を所定時間にするための移動量制御信号を前記移動機構部に出力する移動制御部とを備え、
前記移動機構部は、前記移動制御部からの移動量制御信号に基づいて前記ホルダを所定量だけ移動させることを特徴とする請求項3記載のパルスレーザ装置。
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JP2013119816A JP6201437B2 (ja) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | パルスレーザ装置 |
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JP2014239111A JP2014239111A (ja) | 2014-12-18 |
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- 2013-06-06 JP JP2013119816A patent/JP6201437B2/ja active Active
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