JP4120569B2 - レーザ装置およびそのレーザ装置の駆動方法 - Google Patents
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Description
本発明の発明者は、先ず、上述の不具合の原因を考察した。考察の対象としたレーザ装置の構成図を図1(a)、上記レーザ装置の構成中のキャビティ部分を図1(b)にそれぞれ示す。図1中、1はキャビティ、2は全反射鏡、3は出射鏡、4は第1A/O素子(第1Qスイッチ素子)、5は第2A/O素子(第2Qスイッチ素子)、6、7は高周波変調信号発生部(高周波変調信号発生手段)、8は制御信号発生部(制御信号発生手段)、をそれぞれ表す。各構成要素の機能は従来のレーザ装置とほぼ同じである。
(1)τ1>τ2の場合
C1’(t)=C1(t)
C2’(t)=C1(t+(τ1―τ2))
(2)τ1≦τ2の場合
C1’(t)=C2(t+(τ2―τ1))
C2’(t)=C2(t)
の関係が成立する。
実施の形態1のレーザ装置の駆動方法では、制御信号C1、C2間の時間調整を図るものであったが、実施の形態2のレーザ装置では、レーザ装置の構成上の工夫により各A/O素子間の相対的な時間遅延を解消することを特徴とする。図10は、実施の形態2のレーザ装置の主要部の構成を示す図である。図中、24はA/O素子を発振光軸14の方向に対してほぼ直交する方向に移動する際の移動量を微調整する位置調整機構であり、25は位置調整機構24によるA/O素子の移動方向をそれぞれ表す。
X=Vp×(τ1−τ2)
の移動量で矢印25の向き(発振光軸側)に移動させる。また、τ2>τ1の関係を有する場合には、第2A/O素子5を位置調整機構24により、
X=Vp×(τ2−τ1)
の移動量で矢印25の向き(発振光軸側)に移動させる。
Claims (9)
- 共振器内に複数のQスイッチ素子が配置され前記各Qスイッチ素子に共通の制御信号発生手段で発生する前記各Qスイッチ素子に対応した制御信号に基づき各高周波変調信号発生手段で生じた各高周波変調信号を入力させて前記各Qスイッチ素子の回折作用を制御してパルス駆動せしめるレーザ装置の駆動方法であって、
前記各Qスイッチ素子の前記制御信号に対する動作遅延時間を実測するステップと、
いずれか一つのQスイッチ素子を基準として他の各Qスイッチ素子の動作遅延時間を解消して各Qスイッチ素子の動作を同相とすべく前記各Qスイッチ素子に対応した制御信号毎に実測された前記動作遅延時間に基づき決定された位置に、前記Qスイッチ素子の少なくとも一つに設けられた位置調整機構によって、前記各Qスイッチ素子を前記共振器の光軸と略直交する方向で、かつ、前記Qスイッチ素子の超音波の進行方向と略平行な方向に移動せしめることにより、調整時間を設定するステップと、
を含んでなるレーザ装置の駆動方法。 - 共振器内に複数のQスイッチ素子が配置され前記各Qスイッチ素子に共通の制御信号発生手段で発生する前記各Qスイッチ素子に対応した制御信号に基づき各高周波変調信号発生手段で生じた各高周波変調信号を入力させて前記各Qスイッチ素子の回折作用を制御してパルス駆動せしめるレーザ装置の駆動方法であって、
前記制御信号発生手段からのトリガ信号によって前記高周波変調信号発生手段で発生した高周波変調信号T1を第1Qスイッチ素子に印加して回折作用を生ぜしめる一方、第2Qスイッチ素子には前記高周波変調信号T1を入力しない状態として前記レーザ装置から出射されたパルスレーザ光をレーザ光検出素子によって受光して、トリガ信号発生時とパルスレーザ光受光時間の時間差τ1を測定するステップと、
前記制御信号発生手段からのトリガ信号によって前記高周波変調信号発生手段で発生した高周波変調信号T2を前記第2Qスイッチ素子に印加して回折作用を生ぜしめる一方、前記第1Qスイッチ素子には前記高周波変調信号T2を入力しない状態として前記レーザ装置から出射されたパルスレーザ光を前記レーザ光検出素子によって受光して、トリガ信号発生時とパルスレーザ光受光時間の時間差τ2を測定するステップと、
前記時間差τ1とτ2との大小を判定するステップと、
前記時間差τ1、τ2がτ1>τ2の関係を有する場合には第2Qスイッチ素子に入力される制御信号C2の動作タイミングを第1Qスイッチ素子に入力される制御信号C1に対してτ1―τ2の時間、遅延させる一方、前記時間差τ1、τ2がτ1≦τ2の関係を有する場合には前記制御信号C1の動作タイミングを前記制御信号C2に対してτ2―τ1の時間、遅延させるように各制御信号C1,C2を、前記Qスイッチ素子の少なくとも一つに設けられた位置調整機構によって、前記各Qスイッチ素子を前記共振器の光軸と略直交する方向で、かつ、前記Qスイッチ素子の超音波の進行方向と略平行な方向に移動せしめることにより、時間調整するステップと、
を含んでなるレーザ装置の駆動方法。 - 前記Qスイッチ素子が、音響光学素子で構成されていることを特徴とする請求項1または2記載のレーザ装置の駆動方法。
- 前記Qスイッチ素子が、電気光学素子あるいは機械的機構による素子で構成されていることを特徴とする請求項1または2記載のレーザ装置の駆動方法。
- 前記レーザ装置のレーザ発振器におけるレーザ媒質が、固体媒質であることを特徴する請求項1または2記載のレーザ装置の駆動方法。
- 一対の出力鏡と全反射鏡からなる共振器と、
前記共振器内で光軸上に配置されたレーザ媒質と、
前記共振器内の光軸上に配置された複数のQスイッチ素子と、
前記Qスイッチ素子の少なくとも一つに設けられた位置調整機構と、
前記Qスイッチ素子毎にそれぞれ高周波変調信号を入力せしめる複数の高周波変調信号発生手段と、
前記各高周波変調信号発生手段に対して共通に設けられた制御信号発生手段と、
を備え、
前記位置調整機構による前記Qスイッチ素子の移動方向が、前記共振器の光軸と略直交する方向で、かつ、前記Qスイッチ素子の超音波の進行方向と略平行な方向であることを特徴とするレーザ装置。 - 前記位置調整機構によって、前記各Qスイッチ素子の動作遅延時間に基づいて決定された位置に前記各Qスイッチ素子が設置されたことを特徴とする請求項6記載のレーザ装置。
- 前記制御信号発生手段からのトリガ信号によって前記高周波変調信号発生手段で発生した高周波変調信号を一つのQスイッチ素子に印加して回折作用を生ぜしめる一方、他のQスイッチ素子には前記高周波変調信号を入力しない状態として前記レーザ装置から出射されたパルスレーザ光をレーザ光検出素子により受光して、トリガ信号発生時とパルスレーザ光受光時間との時間差を測定する方法を各Qスイッチ素子毎に適用して得られた動作遅延時間に基づいて決定された位置に、前記位置調整機構によって前記各Qスイッチ素子が設置されたことを特徴とする請求項6記載のレーザ装置。
- 前記各Qスイッチ素子が前記全反射鏡と前記レーザ媒質間に設置された第1A/O素子および前記出力鏡と前記レーザ媒質間に設置された第2A/O素子からなり、
前記制御信号発生手段からのトリガ信号によって前記高周波変調信号発生手段で発生した高周波変調信号T1を第1Qスイッチ素子に印加して回折作用を生ぜしめる一方、第2Qスイッチ素子には前記高周波変調信号T1を入力しない状態として前記レーザ装置から出射されたパルスレーザ光をレーザ光検出素子によって受光することにより測定されたトリガ信号発生時とパルスレーザ光受光時間の時間差τ1と、
前記制御信号発生手段からのトリガ信号によって前記高周波変調信号発生手段で発生した高周波変調信号T2を前記第2Qスイッチ素子に印加して回折作用を生ぜしめる一方、前記第1Qスイッチ素子には前記高周波変調信号T2を入力しない状態として前記レーザ装置から出射されたパルスレーザ光を前記レーザ光検出素子によって受光することにより測定されたトリガ信号発生時とパルスレーザ光受光時間の時間差τ2、として得られた動作遅延時間に基づいて決定された位置に、前記位置調整機構によって前記各Qスイッチ素子が設置されたことを特徴とする請求項6記載のレーザ装置。
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