JP6180208B2 - 気相成長装置および気相成長方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態の気相成長装置は、反応室と、反応室に有機金属とキャリアガスを含む第1のプロセスを供給する第1のガス供給路と、反応室にアンモニアを含む第2のプロセスガスを供給する第2のガス供給路と、第1のガス供給路に接続され、第1のガス供給路に水素または不活性ガスの第1のキャリアガスを供給し、第1のマスフローコントローラを有する第1のキャリアガス供給路と、第1のガス供給路に接続され、第1のガス供給路に第1のキャリアガスと異なる水素または不活性ガスの第2のキャリアガスを供給し、第2のマスフローコントローラを有する第2のキャリアガス供給路と、を備える。
本実施の形態の気相成長装置は、反応室と、上記反応室に有機金属とキャリアガスを含む第1のプロセスガスを供給する第1のガス供給路と、上記反応室にアンモニアを含む第2のプロセスガスを供給する第2のガス供給路と、上記第2のガス供給路に接続され、上記第2のガス供給路に水素または不活性ガスの第1の補償ガスを供給し、第3のマスフローコントローラを有する第1の補償ガス供給路と、上記第2のガス供給路に接続され、上記第2のガス供給路に上記第1の補償ガスと異なる水素または不活性ガスの第2の補償ガスを供給し、第4のマスフローコントローラを有する第2の補償ガス供給路を備える。
本実施の形態の気相成長装置は、反応室と、上記反応室に有機金属とキャリアガスを含む第1のプロセスガスを供給する第1のガス供給路と、上記反応室にアンモニアを含む第2のプロセスガスを供給する第2のガス供給路と、上記反応室に第3のプロセスガスを供給する第3のガス供給路と、上記第3のガス供給路に接続され、上記第3のガス供給路に水素または不活性ガスの第1の分離ガスを供給し、第5のマスフローコントローラを有する第1の分離ガス供給路と、上記第3のガス供給路に接続され、上記第3のガス供給路に上記第1の分離ガスと異なる水素または不活性ガスの第2の分離ガスを供給し、第6のマスフローコントローラを有する第2の分離ガス供給路と、を備える。
31 第1のガス供給路
32 第2のガス供給路
33 第3のガス供給路
51 第1のキャリアガス供給路
52 第2のキャリアガス供給路
61 第1の補償ガス供給路
62 第2の補償ガス供給路
71 第1の分離ガス供給路
72 第2の分離ガス供給路
M1 第1のマスフローコントローラ
M2 第2のマスフローコントローラ
M3 第3のマスフローコントローラ
M4 第4のマスフローコントローラ
M5 第5のマスフローコントローラ
M6 第6のマスフローコントローラ
Claims (10)
- 反応室と、
前記反応室に有機金属とキャリアガスを含む第1のプロセスガスを供給する第1のガス供給路と、
前記反応室にアンモニアを含む第2のプロセスガスを供給する第2のガス供給路と、
前記第1のガス供給路に接続され、前記第1のガス供給路に水素または不活性ガスの第1のキャリアガスを供給し、第1のマスフローコントローラを有する第1のキャリアガス供給路と、
前記第1のガス供給路に接続され、前記第1のガス供給路に前記第1のキャリアガスと異なる水素または不活性ガスの第2のキャリアガスを供給し、第2のマスフローコントローラを有する第2のキャリアガス供給路と、
を備え、
前記第1のマスフローコントローラと前記第2のマスフローコントローラにより前記第1のキャリアガスの流量と前記第2のキャリアガスの流量とを制御して、前記第1のプロセスガスの平均分子量を前記第2のプロセスガスの平均分子量に近づけることを特徴とする気相成長装置。 - 前記第2のガス供給路に接続され、前記第2のガス供給路に水素または不活性ガスの第1の補償ガスを供給し、第3のマスフローコントローラを有する第1の補償ガス供給路と、
前記第2のガス供給路に接続され、前記第2のガス供給路に前記第1の補償ガスと異なる水素または不活性ガスの第2の補償ガスを供給し、第4のマスフローコントローラを有する第2の補償ガス供給路と、
をさらに備え、
前記第3のマスフローコントローラと前記第4のマスフローコントローラにより前記第1の補償ガスと前記第2の補償ガスの流量とを制御して、前記第1の補償ガスと前記第2の補償ガスの混合ガスの分子量を前記第2のプロセスガスの平均分子量に近づけることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。 - 前記反応室に第3のプロセスガスを供給する第3のガス供給路と、
前記第3のガス供給路に接続され、前記第3のガス供給路に水素または不活性ガスの第1の分離ガスを供給し、第5のマスフローコントローラを有する第1の分離ガス供給路と、
前記第3のガス供給路に接続され、前記第3のガス供給路に前記第1の分離ガスと異なる水素または不活性ガスの第2の分離ガスを供給し、第6のマスフローコントローラを有する第2の分離ガス供給路と、
をさらに備え、
前記第5のマスフローコントローラと前記第6のマスフローコントローラにより前記第1の分離ガスと前記第2の分離ガスの流量とを制御して、前記第1の分離ガスと前記第2の分離ガスの混合ガスの分子量を前記第1のプロセスガス、または、前記第2のプロセスガスの平均分子量に近づけることを特徴とする請求項1または請求項2記載の気相成長装置。 - 前記第1のキャリアガスが水素ガスであり、前記第2のキャリアガスが窒素ガスであることを特徴とする請求項1〜請求項3いずれか一項記載の気相成長装置。
- 前記第1の補償ガスが水素ガスであり、前記第2の補償ガスが窒素ガスであることを特徴とする請求項2記載の気相成長装置。
- 前記第1の分離ガスが水素ガスであり、前記第2の分離ガスが窒素ガスであることを特徴とする請求項3記載の気相成長装置。
- 反応室に基板を搬入し、
前記基板を加熱し、
有機金属と、水素または不活性ガスの第1のキャリアガスと前記第1のキャリアガスと異なる水素または不活性ガスの第2のキャリアガスとの第1の混合ガスとを含む第1のプロセスガスの平均分子量を、前記第1のキャリアガスと前記第2のキャリアガスの流量とを制御してアンモニアを含む第2のプロセスガスの平均分子量に近づけるように調整し、
前記反応室に、平均分子量が調整された前記第1のプロセスガスと、前記第2のプロセスガスとを供給して、前記基板表面に半導体膜を成膜することを特徴とする気相成長方法。 - 前記第2のプロセスガスの供給前に、水素または不活性ガスの第1の補償ガスの流量と前記第1の補償ガスと異なる水素または不活性ガスの第2の補償ガスの流量とを制御して平均分子量を前記第2のプロセスガスの平均分子量に近づけるように調整した第2の混合ガスを、前記反応室に供給し、
前記第2の混合ガスから前記第2のプロセスガスに供給を切り替えて、前記基板表面に半導体膜を成膜することを特徴とする請求項7記載の気相成長方法。 - 水素または不活性ガスの第1の分離ガスの流量と前記第1の分離ガスと異なる水素または不活性ガスの第2の分離ガスの流量とを制御して平均分子量を前記第1のプロセスガスまたは前記第2のプロセスガスの平均分子量に近づけるように調整された第3の混合ガスを、前記第1のプロセスガスと前記第2のプロセスガスと同時に前記反応室に供給することを特徴とする請求項7または請求項8記載の気相成長方法。
- 前記第3の混合ガスを、前記第1のプロセスガスを前記反応室に噴出する第1のガス噴出孔と、前記第2のプロセスガスを前記反応室に噴出する第2のガス噴出孔との間に設けられる第3のガス噴出孔から噴出することを特徴とする請求項9記載の気相成長方法。
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