JP6175606B2 - 接合方法 - Google Patents
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Description
この発明の一実施形態について図1〜図6を参照して説明する。
超音波振動接合装置1について図1を参照して説明する。図1は本発明の一実施形態にかかる超音波振動接合装置を示す図である。
部品集合体4について図2〜図4を参照して説明する。図2は部品集合体を示す平面図、図3は図2の点線で囲まれた領域を示す要部拡大図、図4は図3の縦断面図である。なお、図3に図示されている構成が図4の断面図では紙面に向って下側に図示されている。
接合処理の一例について図5および図6を参照して説明する。図5および図6は接合工程を示す図であって、それぞれ異なる工程を示す。
この発明の他の実施形態について図7および図8を参照して説明する。図7は本発明の他の実施形態にかかる接合工程を示す図、図8は図7の接合工程が終了した状態を示す図である。
41…薄膜キャパシタ(薄膜部品)
42…コンデンサ(回路素子)
42a1,42c1,142a,142b,242a1,242b…金属パッド
43…切断部
43a…切込部
43b…橋絡部
5…基板(接合対象物)
51…金属ランド
52…金属バンプ
53…金属微小粒子
141…薄膜抵抗(薄膜部品)
142…抵抗(回路素子)
241…薄膜インダクタ(薄膜部品)
242…インダクタ(回路素子)
A…部品領域
S…樹脂シート
Claims (5)
- 可撓性を有する樹脂シートに設けられた複数の部品領域のそれぞれに回路素子が形成されて成る複数の薄膜部品を有し、前記各部品領域それぞれを囲む切断部が前記樹脂シートに形成されたシート状の部品集合体を準備する準備工程と、
超音波振動を利用して一の前記薄膜部品をその周囲の前記切断部において前記部品集合体から切り離しつつ当該薄膜部品を接合対象物に対して接合する接合工程と
を備えることを特徴とする接合方法。 - 前記切断部は、前記部品領域を囲んで前記樹脂シートに形成された切込部と、前記部品領域と該部品領域を囲む前記樹脂シートとを前記切込部内において橋絡する橋絡部とを備え、前記接合工程において、前記橋絡部を破断することにより前記薄膜部品を前記部品集合体から切り離すことを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
- 前記薄膜部品は、薄膜キャパシタ、薄膜抵抗および薄膜インダクタのいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の接合方法。
- 前記接合工程において、前記薄膜部品に形成された金属パッドと、前記接合対象物に形成された金属ランドとが、前記金属パッドおよび前記金属ランドの少なくともいずれか一方に形成された金属バンプを介して接続されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の接合方法。
- 前記接合工程において、前記薄膜部品に形成された金属パッドと、前記接合対象物に形成された金属ランドとが、前記金属パッドと前記金属ランドとの間に配置された金属微小粒子を介して接続されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の接合方法。
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