JP6175296B2 - 検査ポイント設定装置、及びプログラム - Google Patents
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- 基板データに基づいて、基板検査用の検査ポイントの設定を行うための検査ポイント設定装置であって、
画像を表示可能な表示手段と、
前記基板データを読み込むデータ読込手段と、
前記基板データに基づいて基板の導体パターンを前記表示手段に表示させる表示処理手段と、
前記検査ポイントの設定対象とする前記導体パターンを選択するための選択手段と、
前記選択手段によって選択された前記設定対象の導体パターンを、縮小処理して前記表示処理手段に表示させる縮小処理手段と、
前記設定対象の導体パターンに前記検査ポイントの設定を行うための検査ポイント設定手段と、
レジスト開口部に位置する前記設定対象の導体パターンの部位の中で、前記縮小処理により分断又は消滅した部位を識別する分断・消滅部位識別手段とを
備えることを特徴とする検査ポイント設定装置。 - 前記縮小処理手段に対して縮小条件の設定を行う縮小条件設定手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の検査ポイント設定装置。
- 前記検査ポイント設定手段が、前記分断・消滅部位識別手段によって分断又は消滅したと識別された部位に、前記検査ポイントを自動的に生成することを特徴とする請求項1に記載の検査ポイント設定装置。
- 前記検査ポイント設定手段が、所定の再処理条件を満たすときに、前記縮小処理手段にさらに前記縮小処理を行わせることを特徴とする請求項3に記載の検査ポイント設定装置。
- 前記検査ポイント設定手段が、レジスト開口部に位置する前記設定対象の導体パターンの部位に対し、ビアの有無を判定し、ビアの無い部位に、前記検査ポイントを自動的に設定することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の検査ポイント設定装置。
- 基板データに基づいて、基板検査用の検査ポイントの設定を行うためのプログラムであって、
コンピュータを、
画像を表示可能な表示手段と、
前記基板データを読み込むデータ読込手段と、
前記基板データに基づいて基板の導体パターンを前記表示手段に表示させる表示処理手段と、
前記検査ポイントの設定対象とする前記導体パターンを選択するための選択手段と、
前記選択手段によって選択された前記設定対象の導体パターンを、縮小処理して前記表示処理手段に表示させる縮小処理手段と、
前記設定対象の導体パターンに前記検査ポイントの設定を行うための検査ポイント設定手段と、
レジスト開口部に位置する前記設定対象の導体パターンの部位の中で、前記縮小処理により分断又は消滅した部位を識別する分断・消滅部位識別手段として動作させることを特徴とするプログラム。 - 前記コンピュータを、前記縮小処理手段に対して縮小条件の設定を行う縮小条件設定手段として動作させることを特徴とする請求項6に記載のプログラム。
- 前記検査ポイント設定手段が、前記分断・消滅部位識別手段によって分断又は消滅したと識別された部位に、前記検査ポイントを自動的に生成することを特徴とする請求項6に記載のプログラム。
- 前記検査ポイント設定手段が、所定の再処理条件を満たすときに、前記縮小処理手段にさらに前記縮小処理を行わせることを特徴とする請求項8に記載のプログラム。
- 前記検査ポイント設定手段が、レジスト開口部に位置する前記設定対象の導体パターンの部位に対し、ビアの有無を判定し、ビアの無い部位に、前記検査ポイントを自動的に設定することを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載のプログラム。
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