JP6163714B2 - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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(1)構造
図1は、実施の形態1の半導体装置2の平面図である。図2は、図1のII-II線に沿った部分断面図である。
図4〜7は、半導体装置2の製造方法を説明する工程断面図である。
まず集積回路4が形成された半導体基板12a(例えば、Siウエハ)を用意する。
次に図4(b)に示すように、半導体基板12aの一面にメッキシード層10を、例えば直流スパッタにより堆積する。メッキシード層10は、例えば厚さ100nmのTi膜とこのTi膜の上に堆積された厚さ250nmのCu膜とを有する二層膜である。
図6に示すように、例えばBN(窒化ホウ素)製の刃先50を有する切削装置(例えば、ディスコ社DFS8920)により、メッキ層46の表面を切削する。切削する厚さは、例えば約5μmである。図10は、切削後のメッキ層46の断面図である。図10には、半導体基板12a等も示されている。
次に図7(a)に示すように、メッキマスク42を除去する。メッキマスク42の除去は、切削工程の前に行ってもよい。
その後図7(b)に示すように、メッキシード層10のうちメッキ層46で覆われていない部分をウエットエッチングにより除去する。
次に、再配線8の端部24(図1及び7参照)にはんだボールを接合する。最後に半導体基板12aを、複数の半導体装置2に分割する。
半導体装置2の信頼性は、温度サイクル試験により評価される。
(1)構造
実施の形態2の半導体装置の構造は、図1及び2を参照して説明した実施の形態1の半導体装置2の構造と略同じである。したがって実施の形態2の半導体装置の構造に関する説明は、省略する。
実施の形態2の製造方法では、メッキ層46を切削する代わりにメッキ層(導電層)46の表面にレーザビームを照射する。この事以外は、実施の形態2の製造方法は、実施の形態1の製造法と略同じである。
集積回路が形成された半導体基板の一面に、前記集積回路の再配線に対応し導電性の第1の結晶粒を複数含む導電層を形成する第1の工程と、
前記導電層の表面側に配置された前記第1の結晶粒を互いに結合させて、前記第1の結晶粒より大きい第2の結晶粒を形成する第2の工程とを
有する半導体装置の製造方法。
付記1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の工程では、メッキシード層と前記メッキシード層を覆うメッキマスクとを前記一面に形成した後、前記メッキシード層を一方の電極とする電解メッキ法により前記メッキマスクの開口部内に前記導電層を形成し、さらに、
前記導電層の形成後に、前記メッキマスクを除去する第3の工程と、
前記第2の工程および前記第3の工程の後に、前記メッキシード層のうち前記導電層で覆われていない部分をウエットエッチングにより除去する第4の工程とを有することを
特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2の工程は、前記導電層の表面を切削する工程であることを
特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2の工程は、前記導電層の表面にレーザビームを照射する工程であることを
特徴とする半導体装置の製造方法。
集積回路が形成された半導体チップと、
前記半導体チップの一面に配置された再配線とを有し、
前記再配線は、前記半導体チップ側に配置された導電性を有する複数の第1の結晶粒と、表面側に配置され前記複数の第1の結晶粒それぞれより大きい導電性の第2の結晶粒とを有する
半導体装置。
付記5に記載の半導体装置において、さらに
前記半導体チップと前記再配線の間に、メッキシード層を有することを
特徴とする半導体装置。
付記5又は6に記載の半導体装置において、
前記第2の結晶粒は、前記半導体基板に沿って伸びていることを
特徴とする半導体装置。
4・・・集積回路
6・・・半導体チップ
8・・・再配線
10・・・メッキシード層
12・・・半導体基板
28・・・第1の結晶粒
32・・・第2の結晶粒
42・・・メッキマスク
44・・・開口部
46・・・メッキ層
54・・・レーザビーム
Claims (3)
- 集積回路が形成された半導体基板の一面に、前記集積回路の再配線に対応し銅の第1の結晶粒を複数含む導電層を形成する第1の工程と、
前記導電層の表面を切削することにより、表面側に配置された前記第1の結晶粒を互いに結合させて、前記第1の結晶粒より大きい銅の第2の結晶粒を形成する第2の工程とを
有する半導体装置の製造方法。 - 集積回路が形成された半導体基板の一面に、前記集積回路の再配線に対応し銅の第1の結晶粒を複数含む導電層を形成する第1の工程と、
前記導電層の表面にレーザビームを照射し表面を除去しながら、表面側に露出した前記第1の結晶粒を互いに結合させて、前記第1の結晶粒より大きい銅の第2の結晶粒を形成する第2の工程とを
有する半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の工程では、メッキシード層と前記メッキシード層を覆うメッキマスクとを前記一面に形成した後、前記メッキシード層を一方の電極とする電解メッキ法により前記メッキマスクの開口部内に前記導電層を形成し、さらに、
前記導電層の形成後に、前記メッキマスクを除去する第3の工程と、
前記第2の工程および前記第3の工程の後に、前記メッキシード層のうち前記導電層で覆われていない部分をウエットエッチングにより除去する第4の工程とを有することを
特徴とする半導体装置の製造方法。
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