JP6159284B2 - 金属酸化物微粒子の製造方法および金属酸化物微粒子、ならびにその粉末、分散液、分散体および被覆基材 - Google Patents
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Description
例えば、金属酸化物微粒子として導電性酸化チタンが知られている。詳しく言うと、導電性酸化チタンを作製する際に、酸化チタンにおいてTiの一部をNbやTaで置換(以降、「ドープ」とも言う。)した状態とする技術が知られている(例えば特許文献1や2)。
(1)金属を錯化することにより加水分解の速度を抑えつつ、
(2)金属aも金属bも錯化することにより両者の加水分解の速度を近づける。
その上で、
(3)錯体αと錯体βとを共存させた状態で加水分解を開始する。
という3つのステップを踏襲する手法を想到した。
本発明の第1の態様は、
金属aの酸化物において、金属aの一部を金属aとは異なる金属bで置換した結晶構造を有する金属酸化物微粒子を製造する方法であって、
前記金属aの錯体αと前記金属bの錯体βと水とを含む溶液を加熱することにより各錯体に対して加水分解を生じさせる加水分解工程と、
前記加水分解工程後、析出物である前記金属酸化物微粒子を回収する回収工程と、
を有し、
前記加水分解工程は、
前記加水分解を進行させることにより前記溶液をゲル化させるゲル化工程と、
前記ゲル化工程によりゲル化された前記溶液を、前記加水分解を進行させることによりゾル化させるゾル化工程と、
を有する、金属酸化物微粒子の製造方法である。
本発明の第2の態様は、第1の態様に記載の発明において、
前記金属aはTiであり、前記金属bはNb、Ta、Mo、WおよびVのうち少なくともいずれかである。
本発明の第3の態様は、
金属aの酸化物において、金属aの一部を金属aとは異なる金属bで置換した結晶構造を有し、かつ、以下の条件のうち少なくとも1つの条件を満たす、金属酸化物微粒子である。
(1)当該微粒子の体積平均径をD90で除した値(Mv/D90)が0.60〜1.00である。
(2)当該微粒子のD10を体積平均径で除した値(D10/Mv)が0.60〜1.00である。
(3)当該微粒子のD10をD90で除した値(D10/D90)が0.40〜1.00である。
本発明の第4の態様は、第3の態様に記載の発明において、
前記金属酸化物微粒子の結晶子径が9nm〜30nmである。
本発明の第5の態様は、第3または第4の態様に記載の発明において、
前記金属酸化物微粒子の体積平均径が結晶子径の1.0倍〜4.0倍である。
本発明の第6の態様は、第3〜第5のいずれかの態様に記載の金属酸化物微粒子を乾燥して得られる、金属酸化物微粒子粉末である。
本発明の第7の態様は、第3〜第5のいずれかの態様に記載の金属酸化物微粒子が液体媒質中に分散している、金属酸化物微粒子分散液である。
本発明の第8の態様は、第3〜第5のいずれかの態様に記載の金属酸化物微粒子が固体媒質中に分散している、金属酸化物微粒子分散体である。
本発明の第9の態様は、第3〜第5のいずれかの態様に記載の金属酸化物微粒子を含有する被膜が基材表面に設けられている、被覆基材である。
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本実施形態においては、次の順序で説明を行う。
1.金属酸化物微粒子の製造方法
1−A)準備工程
1−B)水熱合成工程
1−B−a)ゲル化工程
1−B−b)ゾル化工程
1−C)回収工程
1−D)その他
なお、本実施形態は、ゲル−ゾル法をベースとした手法である。そのため、以下の内容において特記の無い事項に対しては、ゲル−ゾル法に関する公知の技術(例えば特開2007−290887号公報や公知の論文など)を適宜用いても構わないし、Nb−TiO2に限らず金属酸化物微粒子の製造の際に適宜必要な技術についても、公知の技術を適宜用いても構わない。
別の実施形態である[実施の形態2]においては、溶媒を還元性化合物としたソルボサーマル合成を用いて金属酸化物微粒子であるNb−TiO2を作製する例について述べる。
さらに別の実施形態である[実施の形態3]においては、TiO2に対してNb以外の金属をドープする例について述べる。また、[実施の形態1]〜[実施の形態3]の総括として、金属酸化物微粒子およびその関連物について説明する。
以下、本実施形態における金属酸化物微粒子の製造方法について説明する。図1は本実施形態における金属酸化物微粒子の製造方法を示すフローチャートである。
本工程においては、まず、金属a含有化合物と錯化剤Aとを反応させて得られる錯体α、および、金属b含有化合物と錯化剤Bとを反応させて得られる錯体βを準備する。
また、金属a含有化合物および錯化剤Aの具体的な化合物としては、錯体αが得られれば特に限定は無い。最終的に錯体αが加水分解して金属a水酸化物となるように、金属a含有化合物および錯化剤Aを選択すればよい。金属b含有化合物および錯化剤Bについても同様である。
本実施形態においては、金属aをTi、金属bをNbとした場合について述べる。
同様に、金属b(Nb)含有化合物の具体例としては、Nbアルコキシドが挙げられる。Nbアルコキシドとしては、例えばニオブエトキシドが挙げられるが、これに限定されない。それ以外にも、ペンタメトキシニオブ、ペンタエトキシニオブ、ペンタ−i−プロポキシニオブ、ペンタ−n−プロポキシニオブ、ペンタ−i−ブトキシニオブ、ペンタ−n−ブトキシニオブ、ペンタ−sec−ブトキシニオブ等を用いることができる。ニオブアルコキシドは、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
同様に、錯化剤Bの具体例としては、トリエタノールアミンが挙げられる。それ以外にも、上記に列挙したアミンやアミノ酸が挙げられる。
なお、後述の実施例が示すように、錯化剤Aおよび錯化剤Bのうち少なくともいずれかはトリエタノールアミンであるのが好ましく、両方ともトリエタノールアミンであるのが非常に好ましい。
本工程においては、Ti錯体およびNb錯体、そして溶媒を水とした水溶液を用意する。本発明の知見として述べたように、本実施形態においては、酸化物となる金属の錯体と、ドープする金属の錯体とを準備することが特に重要である。これらの金属錯体を準備した後、当該水溶液内で、各錯体に対して加水分解をもたらす水熱合成を行う。なお、水熱合成の具体的な手法については、以下に特記の無い内容については、公知の手法を用いても構わない。また、以下に特記する本工程の条件はあくまで好ましい例であり、本発明の効果を奏する限り、以下の例以外の条件で本工程を行ってももちろん構わない。
なお、以降「〜」は所定の数値以上かつ所定の数値以下のことを表すものとする。
ここで、ゲル化工程において生じる反応機構について、推測を含むところもあるが、説明する。
(1)金属を錯化することにより加水分解の速度を抑えつつ、
(2)TiもNbも錯化することにより両者の加水分解の速度を近づける。
その上で、
(3)Ti錯体とNb錯体とを共存させた状態で加水分解を開始する。
という3つのステップを踏襲する。
上記の手法を採用することにより、以下の効果を奏する。
加水分解を進行させると、ゲルはゾル(コロイド)に相転移していくので反応の最終段階では、微粒子が成長し、全てゾルに変化する。そして、ゲル状混合物を加熱、冷却することによりゾル状混合物が得られ、遠心分離機等を用いた固液分離操作によりTiO2微粒子を得る。加水分解(ゲル化)を進行させた後に、ゲルはゾルに相転移していくため、この相転移のことをゾル化工程、ゲル化緩和工程、またはゾルへの相転移工程と呼んでも構わない。つまり、加水分解工程内においてゲル化工程の後でゾル化工程が行われる。
その結果、Nb−TiO2の微粒子に対して赤外線遮蔽材料としての機能を発揮させることが可能となる。
また、凝集度合いについても、後述の実施例の図6と図11とを比べるとわかるように、結晶子径に対し、液体媒質中での体積平均径Mvはあまり大きくなっておらず、凝集度合いが極めて小さくなっている。
その結果、例えば窓ガラスに対して当該微粒子を赤外線遮蔽材料として適用させた場合であっても、赤外線を遮蔽させつつ、可視光を透過させることが可能となる。
また、時間条件としては、十分に加水分解を生じさせること、および作業効率を鑑みると、3h〜72hで行うのが好ましい。
ただ、上記の数値範囲に本実施形態は限定されるものではない。本実施形態においては、水熱合成工程すなわちゲル化工程およびゾル化工程を行う。両工程を行うということはすなわち、水熱合成工程前の原料の仕込みにおけるNb比率、水熱合成工程の温度条件および時間条件が適切に設定されていることを意味する。つまり本実施形態において上記の各条件は、加水分解を進行させることによりゲル化およびゾル化をもたらすことが可能な値に設定されている。
本工程においては、水熱合成工程後、以上のメカニズムによりゾルとして析出した金属酸化物微粒子を回収する。回収手法としては、ゾルを回収する公知の手法を用いても構わない。例えば、遠心分離により金属酸化物微粒子を回収しても構わない。また、適宜、回収した金属酸化物微粒子に対して洗浄および乾燥処理を行っても構わない。
金属酸化物微粒子を製造する場合は、上記の回収工程までを行えばよい。その一方、当該微粒子を液体媒質に分散させた分散液を作製する場合、当該微粒子を当該液体媒質内にて解砕する解砕処理工程を行う。その場合、解砕処理時間を10時間未満とするのが好ましい。
本発明者の調べにより、赤外線遮蔽性能の基となるアナターゼ相は、機械による解砕処理などで破壊されやすいことが見出されている。その一方、本実施形態で得られる金属酸化物微粒子は、後述の実施例が示すように、凝集度合いが非常に小さい。そのため、金属酸化物微粒子から粉末を作製する場合でも、機械による解砕処理を行うまでもない状態、または、解砕処理を行うとしてもわずかな時間の処理で済む状態となっている。そのため、仮に金属酸化物微粒子に対する解砕処理を行うとしても、その処理に要する時間を10時間未満とすることにより、赤外線遮蔽性能の基となるアナターゼ相の大部分を保持することが可能となる。
本実施形態においては、溶媒を還元性化合物としたソルボサーマル合成を用いて金属酸化物微粒子であるNb−TiO2を作製する例について述べる。なお、本実施形態において記載が無い内容に関しては、[実施の形態1]と同内容とする。その際、「水熱合成工程」を「ソルボサーマル合成工程」または単に「加水分解工程」と読み替え、「水溶液」を「溶液」と読み替える。
本工程においては、Ti錯体およびNb錯体、水、そして溶媒を還元性化合物とした溶液を用意する。本発明の知見として述べたように、本実施形態においては、酸化物となる金属の錯体と、ドープする金属の錯体とを準備することが特に重要である。これらの金属錯体を準備した後、当該溶液内で、各錯体に対して加水分解をもたらすソルボサーマル合成を行う。本明細書における「ソルボサーマル合成」とは、溶媒を水100%とするもの以外、すなわち水以外の溶媒が存在する状況で加熱を行い、加水分解を行うことを指す。好ましくは、水の体積%が50体積%未満、または、溶媒としての還元性化合物の体積%が50体積%以上とする。なお、ソルボサーマル合成の具体的な手法については、以下に特記の無い内容については、公知の手法を用いても構わない。また、以下に特記する本工程の条件はあくまで好ましい例であり、本発明の効果を奏する限り、以下の例以外の条件で本工程を行ってももちろん構わない。
本実施形態においては、TiO2に対してNb以外の金属をドープする例について述べる。なお、本実施形態において記載が無い内容に関しては、[実施の形態1]と同内容とする。
例えば、上記の金属酸化物微粒子を乾燥して得られる金属酸化物微粒子粉末も挙げられる。
また、上記の金属酸化物微粒子が液体媒質中に分散している金属酸化物微粒子分散液が挙げられる。当該分散液は、上記の解砕処理工程を行った上で作製してもよい。ここで挙げたこの液体媒質としては、金属酸化物微粒子を分散可能なものならば特に制限はなく、公知のものを用いても構わない。
また、上記の金属酸化物微粒子が固体媒質中に分散している金属酸化物微粒子分散体も挙げられる。この固体媒質としては、金属酸化物微粒子を分散可能なものならば特に制限はなく、公知のもの(ガラスや樹脂)を用いても構わない。
また、上記の金属酸化物微粒子を含有する被膜が基材表面に設けられている被覆基材も挙げられる。この基材としては、当該皮膜を形成可能なものならば特に制限はなく、公知の基材(ガラス基体や樹脂基体(基板またはフィルム))を用いても構わない。
以下、[実施例1]は[実施の形態1]に対応する実施例であり、溶媒を水とした水熱合成を用いて金属酸化物微粒子であるNb−TiO2を作製する例について述べる。
[実施例2]は[実施の形態2]に対応する実施例であり、溶媒を還元性化合物としたソルボサーマル合成を用いて金属酸化物微粒子であるNb−TiO2を作製する例について述べる。
[実施例3]は[実施の形態3]に対応する実施例であり、TiO2に対してNb以外の金属をドープする例について述べる。
(金属酸化物微粒子粉末の製造)
本実施例においては以下のものを用いた。
金属a…Ti
金属a含有化合物…チタンテトライソプロポキシド(TIPO)
錯化剤A…トリエタノールアミン(TEOA)
金属b…Nb
金属b含有化合物…ニオブエトキシド
錯化剤B…トリエタノールアミン(TEOA)
同様に、窒素雰囲気下において、ニオブエトキシド(15.90g)とTEOA(14.92g)とを混合し、50℃で一晩撹拌することで、Nb錯体を作製した。そして、イオン交換水を加えて全量を100mLとすることにより、Nbの金属濃度が0.5MとなるNb錯体溶液を準備した。
なお、以降に述べる実施例の結果においては、特記が無い限り、上記の条件で作製した試料に関する結果である。
当該粉末に対し、X線光電子分光分析装置(ULVAC−PHI製 PHI5000VersaProbeII)を用いてXPS測定を行った。
また、透過型電子顕微鏡(TEM,日立ハイテクノロジーズ社製HF−2200)を用いて微粒子形状を観察した。
また、X線回折装置(PANalytical製X’Pert Pro MRD)を用いてXRD測定を行い、結晶構造および格子定数を評価した。
また、エネルギー分散型蛍光X線分析装置を搭載した透過型電子顕微鏡(TEM−EDS,日立ハイテクノロジーズ製 HF−2200、およびNORAN製 VANTAGE)を用いてTEM−EDS点分析を行った。その際、各試料につき6か所の測定を行い、その平均値を採用した。また、同じくエネルギー分散型蛍光X線分析装置を搭載した透過型電子顕微鏡(TEM−EDS,日立ハイテクノロジーズ製 HF−2200、およびNORAN製 VANTAGE)を用いてTEM−EDS面分析を行い、元素分布を示す元素マップを得た。
また、分光光度計(日立ハイテクノロジーズ製 U-4000)を用い、当該分散液に対して透過スペクトル測定を行い、赤外吸収特性を評価した。それと共に、当該分散液を90℃に加熱してトルエンを除去した後、再び微粒子を乾燥させて粉末を作製した。そして、当該粉末に対してXRD測定を行った。
まず、上記の試験結果全体を通して見たところ、反応温度が高い、かつ時間が長いほど、金属酸化物微粒子を多量に得ることができた。ただ、Nb比率が高くなるほど、金属酸化物微粒子の量が少なくなった。これは、Nbの存在により加水分解に伴う反応速度が遅くなっていることに起因するものと考えられる。
格子定数については、図5にその結果を示す。(a)がa軸の格子定数の結果であり、(b)がc軸の格子定数の結果である。図5を見ると、Nb比率が高くなるほどa軸、c軸共に、格子定数がほぼ線形型に増加した。これはVegard則に従った挙動である。先ほど述べたように、結晶子においてはTiがTi4+となっており、かつ、NbがNb5+となっている。Ti4+のイオン半径は0.061nmであり、Nb5+のイオン半径はそれよりもわずかに大きい0.064nmである。両者のイオン半径が極めて近い数値であることから、上記の結果は、NbがTiサイトに置換固溶していることを示している。
また、結晶子径については、図6にその結果を示す。Nb比率が高くなるほど結晶子径は小さくなっていた。また、本実施例において結晶子径は13nm〜30nmの範囲内であった。
また、TEM−EDS面分析により、当該微粒子中の元素分布についても観察した。その結果を図8(縮尺:100nm、K線)および図9(縮尺:25nm、K線)に示す。図8および図9に示すように、元素またはイオンレベルで、当該微粒子中にTiとNbが分散していた。
また、図12は、試料をトルエンに分散させかつ加水分解時間を24hとして、解砕処理時間(1h、3h)を変動させた場合の動的光散乱法による粒径測定の結果を示すグラフ(a)および表(b)である。その結果、Mv/D90は0.60〜1.00の範囲に収まっていた。さらに、D10/Mvが0.60〜1.00の範囲に留まり、D10/D90は0.40〜1.00の範囲に留まっていた。
つまり、本来ならば大きい値となるはずのD90や小さい値となるはずのD10が、体積平均径Mvに対して極めて近い値を示しており、図10〜図12の結果を加味すると、本実施例における微粒子は、凝集度合いが著しく小さく、かつ、単分散ないしそれに近い状態となっていることがわかった。
一方、各解砕処理時間を経た各分散液を90℃に加熱してトルエンを除去した後、再び微粒子を乾燥させて粉末を作製した。そして、当該粉末に対してXRD測定を行った。その結果を図14に示す。図14に示すように、解砕処理時間が長くなればなるほどアナターゼ相を示す回折ピークが小さくなっていた。この結果からも、準安定相のアナターゼ相が、長時間にわたる解砕処理により非晶質化してしまったことが伺える。
上記の透過スペクトル測定およびXRD測定を鑑みると、金属酸化物微粒子に対する解砕処理時間を、波長700nm〜2600nmの領域の光が当該微粒子を透過する際の透過率の最高値が90%以下となるように設定するのが好ましい。その結果、解砕処理時間を10時間未満とするのが好ましい。
(金属酸化物微粒子粉末の製造)
本実施例においては以下のものを用いた。
Ti含有化合物…チタンテトライソプロポキシド(TIPO)
錯化剤A…トリエタノールアミン(TEOA)
Nb含有化合物…ニオブエトキシド
錯化剤B…トリエタノールアミン(TEOA)
溶媒…エチレングリコール(EG)
同様に、窒素雰囲気下において、ニオブエトキシド(15.90g)とTEOA(14.92g)とを混合し、50℃で一晩撹拌することで、Nb錯体を作製した。そして、エチレングリコールを加えて全量を100mLとすることにより、Nbの金属濃度が0.5MとなるNb錯体溶液を準備した。
なお、以降に述べる実施例の結果においては、特記が無い限り、上記の条件で作製した試料に関する結果である。
まず、金属酸化物微粒子の回収工程前の各溶液((EG):(水)=100:0〜50:50)を目視観察した。
次に、当該粉末に対し、透過型電子顕微鏡(TEM,日立ハイテクノロジーズ社製HF−2200)を用いて微粒子形状を観察した。
また、X線回折装置(PANalytical製X’Pert Pro MRD)を用いてXRD測定を行い、結晶構造および格子定数を評価した。
また、分光光度計(日立ハイテクノロジーズ製 U−4000)を用い、当該分散液に対して透過スペクトル測定を行い、赤外吸収特性を評価した。
まず、上記の試験結果全体を通して見たところ、反応温度が高い、かつ時間が長いほど、金属酸化物微粒子を多量に得ることができた。ただ、Nb比率が高くなるほど、金属酸化物微粒子の量が少なくなった。これは、Nbの存在により加水分解に伴う反応速度が遅くなっていることに起因するものと考えられる。また、EGの比率が高い場合でも、金属酸化物微粒子の量が少なくなった。Nbと同様、EGの存在により加水分解に伴う反応速度が遅くなっていることに起因するものと考えられる。
格子定数および結晶子径については、図19にその結果を示す。図19は、本実施例におけるXRD測定により得られた結果を示す表であり、Nb比率、エチレングリコールの体積%、加水分解工程における温度、時間、格子定数および結晶子径の関係を示す表である。図19を見ると、結晶構造においてa軸の格子定数が3.79Å(TiO2単体の場合の値)を超えた値であり、かつ、c軸の格子定数が9.51Å(TiO2単体の場合の値)を超えた値となっている。その結果、TiO2にNbが良好にドープされていることがわかった。
図20は、加水分解工程の時間を24hとして解砕処理時間を3hとした試料をトルエンに分散させたときの、動的光散乱法による粒径測定の結果を示すグラフ(a)および表(b)である。
図21は、加水分解工程の時間を72hとして解砕処理時間を3hとした試料をトルエンに分散させたときの、動的光散乱法による粒径測定の結果を示すグラフ(a)および表(b)である。
図22は、加水分解工程の時間を24hかつ解砕処理時間を1hとした試料をトルエンに分散させたときの、動的光散乱法による粒径測定の結果を示すグラフ(a)および表(b)である。
なお、表においては上記のXRD測定で求めた結晶子径(Å)の値も記載している。
その結果、Mv/結晶子径は1.0倍〜4.0倍の範囲に収まっていた。また、Mv/D90は0.60〜1.00の範囲に収まっていた。さらに、D10/Mvが0.60〜1.00の範囲に留まり、D10/D90は0.40〜1.00の範囲に留まっていた。つまり、本来ならば大きい値となるはずのD90や小さい値となるはずのD10が、体積平均径Mvに対して極めて近い値を示しており、図20〜図22の結果を加味すると、本実施例における微粒子は、凝集度合いが著しく小さく、かつ、単分散ないしそれに近い状態となっていることがわかった。
図24を見ると、加水分解工程前の溶液におけるTiとNbのモル比が[Ti]:[Nb]=80:20〜70:30、かつ、EGと水の体積比が(EG):(水)=95:5〜90:10の場合、赤外遮蔽性能および可視光透過性能が著しく向上することがわかった。
本実施例においては、[実施例1]における金属bの種類を変更した以外は、[実施例1]と同様とした。なお、金属bとしては、Ta、Mo、WおよびVの各々の金属を採用し、試料を作製した。
金属bをTaとした場合の結果を図27(縮尺:50nm)および図28(縮尺:25nm)に示す。
また、金属bをMoとした場合の結果を図29(縮尺:100nm)に示す。
また、金属bをWとした場合の結果を図30(縮尺:100nm)に示す。
また、金属bをVとした場合の結果を図31(縮尺:100nm)に示す。 図27〜図31に示すように、元素またはイオンレベルで、当該微粒子中にTiと各金属とが分散していた。
その結果、金属bがTa、W、Mo、V、さらに言うと上記の各実施例のように金属bがNbの場合、Mv/結晶子径は1.0倍〜4.0倍の範囲に収まっていた。また、Mv/D90は0.60〜1.00の範囲に収まっていた。さらに、D10/Mvが0.60〜1.00の範囲に留まり、D10/D90は0.40〜1.00の範囲に留まっていた。つまり、本来ならば大きい値となるはずのD90や小さい値となるはずのD10が、体積平均径Mvに対して極めて近い値を示しており、図32の結果を加味すると、本実施例における微粒子は、凝集度合いが著しく小さく、かつ、単分散ないしそれに近い状態となっていることがわかった。
Claims (8)
- 金属aの酸化物において、金属aの一部を金属aとは異なる金属bで置換した結晶構造を有する金属酸化物微粒子を製造する方法であって、
前記金属aの錯体αと前記金属bの錯体βと水とを含む溶液を加熱することにより各錯体に対して加水分解を生じさせる加水分解工程と、
前記加水分解工程後、析出物である前記金属酸化物微粒子を回収する回収工程と、
を有し、
前記加水分解工程は、
前記加水分解を進行させることにより前記溶液をゲル化させるゲル化工程と、
前記ゲル化工程によりゲル化された前記溶液を、前記加水分解を進行させることによりゾル化させるゾル化工程と、
を有し、
前記金属aはTiであり、前記金属bはNb、Ta、Mo、WおよびVのうち少なくともいずれかである、金属酸化物微粒子の製造方法。 - 金属aの酸化物において、金属aの一部を金属aとは異なる金属bで置換した結晶構造を有し、かつ、以下の条件のうち少なくとも1つの条件を満たす、金属酸化物微粒子。
(1)当該微粒子の体積平均径をD90で除した値(Mv/D90)が0.60〜1.00である。
(2)当該微粒子のD10を体積平均径で除した値(D10/Mv)が0.60〜1.00である。
(3)当該微粒子のD10をD90で除した値(D10/D90)が0.40〜1.00である。
なお、前記金属aはTiであり、前記金属bはNb、Ta、Mo、WおよびVのうち少なくともいずれかである。 - 前記金属酸化物微粒子の結晶子径が9nm〜30nmである、請求項2に記載の金属酸化物微粒子。
- 前記金属酸化物微粒子の体積平均径が結晶子径の1.0倍〜4.0倍である、請求項2または3に記載の金属酸化物微粒子。
- 請求項2〜4のいずれかに記載の金属酸化物微粒子を乾燥して得られる、金属酸化物微粒子粉末。
- 請求項2〜4のいずれかに記載の金属酸化物微粒子が液体媒質中に分散している、金属酸化物微粒子分散液。
- 請求項2〜4のいずれかに記載の金属酸化物微粒子が固体媒質中に分散している、金属酸化物微粒子分散体。
- 請求項2〜4のいずれかに記載の金属酸化物微粒子を含有する被膜が基材表面に設けられている、被覆基材。
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