JP6146469B2 - ターボ圧縮機の流量計測装置及びターボ圧縮機 - Google Patents

ターボ圧縮機の流量計測装置及びターボ圧縮機 Download PDF

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Description

本発明は、ターボ圧縮機の流量計測装置及びターボ圧縮機に関する。
本願は、2013年7月5日に日本国に出願された特願2013−142047号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
従来から、配管内を流れる流体の流量を計測する装置として、配管内にオリフィス板を設け、そのオリフィス板の前後の差圧を計測することによって流体の流量を計測する装置が知られている。特許文献1には、流体の流量を計測し、流量の減少に伴うサージングの発生を避けて運転を行うためのサージング検出装置を備えるターボ圧縮機が開示されている。
このサージング検出装置は、ターボ圧縮機の吸込側配管に流量計測用オリフィスを取り付けオリフィス前後の差圧を差圧発振機にて発振し、受信機で出力信号を受け、例えば1秒前の信号と比較して差圧が10%以上の変動があれば、サージング発生と判断して、適切なサージング防止装置を作動させる(特許文献1の図1参照)。
特許文献2には、コンプレッサインペラに吸入される流体を供給する吸入配管や、上記コンプレッサインペラへ吸入される流体の流量を調整するインレットガイドベーン等のターボ圧縮機を構成する公知の部材が開示されている(特許文献2の要約書、段落[0017]、図1参照)。
特許文献3には、管路の上流側から下流側にかけて内径の異なる2つの管路が互いに連接され、管路の内径の大きい上流側と、管路の内径の小さい下流側において管路を流れる液体の圧力を測定する上流側圧力孔26と下流側圧力孔27が設けられており、上流側圧力孔26で測定した液体の圧力と下流側圧力孔27で測定した液体の圧力差から液体の流量を計測する流量測定装置が開示されている(特許文献3の段落[0022]、[0034]、図2参照)。
特許文献4には、コンプレッサインペラの周りに設けられたディフューザ流路14と、ディフューザ流路14のさらに外側に設けられたスクロール流路13等のターボ圧縮機を構成する公知の部材が開示されている(特許文献4の段落[0017]、図1参照)。
日本国特開昭63−94098号公報 日本国特開2010−236401号公報 日本国特開2002−188944号公報 日本国特開2004−197611号公報
差圧を計測するには、同一箇所に異なる径を有した空気通路が必要であるから、特許文献1に記載されているように、一般的には、オリフィスプレートを設けたある程度の長さを有する直管溶接構造物を、ターボ圧縮機の吸入配管に接続している。
しかしながら、オリフィスプレートその物が高価であり、また、流量制御の種類によっては高い計測精度が要求されない場合もある。さらに、直管溶接構造物を接続できる場所は、設置スペースが確保できる吸入配管(入口)や吐出配管(出口)に限られており、例えばターボ圧縮機が多段圧縮機である場合に、配管が曲がって配設される圧縮段と圧縮段との間等には設置が困難である。
この設置スペースの問題については、流体の流量を計測する別の装置であるベンチュリ管を用いたベンチュリ式流量計でも同様である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、簡便且つ安価に設置できるターボ圧縮機の流量計測装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様は、流体を圧縮するコンプレッサインペラを有する圧縮段に接続された吸入配管に連通する第1導圧流路と、上記吸入配管よりも内径が絞られた上記圧縮段の吸入口に連通する第2導圧流路と、を備え、上記第1導圧流路と上記第2導圧流路との圧力差に基づいて上記流体の流量を計測するターボ圧縮機の流量計測装置である。
本発明の第1の態様では、上記圧縮段に接続された上記吸入配管と、上記圧縮段に形成された上記吸入口の上記圧力差から上記流体の流量を計測する。上記圧縮段に形成された上記吸入口は、上記コンプレッサインペラに導入される上記流体の流れを均一化等するために、上記吸入配管の上記内径よりも絞られており、流量計測にあたりベンチュリ管の役割を果たす。このため、本発明の第1の態様では、オリフィスプレート又はベンチュリ管を別途用意することなく、上記ターボ圧縮機の構造を利用して流量計測を行うことができ、簡便且つ安価に上記流量計測装置を設置することができる。
本発明の第2の態様は、上記第1の態様において、上記圧縮段は、上記吸入口及び外周面に螺旋状の溝が形成されたインレット部と、上記インレット部が嵌合する凹部を有し上記螺旋状の溝と協働してスクロール流路を形成するケーシングと、を備え、上記第2導圧流路の少なくとも一部は、上記インレット部に形成されている。
本発明の第2の態様では、上記第2導圧流路の少なくとも一部を上記インレット部に形成することで、上記インレット部を通して吸入口の圧力を計測することができる。
本発明の第3の態様は、上記第2の態様において、上記第2導圧流路の少なくとも一部は、上記インレット部において上記螺旋状の溝を避けて半径方向に形成され上記吸入口に連通する第1孔部と、上記インレット部において軸方向に形成され上記第1孔部に連通する第2孔部と、によって形成されている。
本発明の第3の態様では、半径方向と軸方向にそれぞれ孔部を形成し、両者を連通させることで、上記インレット部に形成された上記スクロール流路を構成する上記螺旋状の溝を避けて上記吸入口の圧力を計測することができる。
本発明の第4の態様は、上記第3の態様において、上記第1孔部は、上記インレット部において上記螺旋状の溝が形成される軸方向の領域よりも外側に形成されている。
本発明の第4の態様では、上記螺旋状の溝の幅が上記インレット部の周方向に進むにつれて軸方向に徐々に変化するため、上記螺旋状の溝が形成される軸方向の領域よりも外側に上記第1孔部を形成することで、確実に上記螺旋状の溝を避けて上記第1孔部を配設することができる。
本発明の第5の態様は、上記第4の態様において、上記インレット部は、上記吸入口の周りに配置されて上記螺旋状の溝の軸方向における深さに応じた深さで形成された肉抜き溝と、上記肉抜き溝を半径方向に横切るように形成されたリブと、を備え、上記第1孔部は、上記リブに対応する位置に形成されている。
本発明の第5の態様では、軽量化、放熱等のために上記螺旋状の溝の深さに応じた深さで上記インレット部に上記肉抜き溝を形成した場合に、要所に上記肉抜き溝を横切るように上記リブを設け、上記インレット部の厚みを確保することで、確実に上記螺旋状の溝を避けて上記第1孔部を配設することができる。
本発明の第6の態様は、上記第3から第5のいずれかの態様において、上記第1孔部は、上記インレット部において周方向に間隔をあけて複数形成されている。
本発明の第6の態様では、上記吸入口が大きくその周方向で流体の圧力が異なる場合であっても、周方向の複数個所で上記吸入口の圧力を計測できるため、圧力の平均値に基づく正確な流量計測を行うことができる。
本発明の第7の態様は、上記第6の態様において、上記インレット部において周方向で隣り合う上記第1孔部の間に、上記螺旋状の溝の終端部が配置されている。
本発明の第7の態様では、上記螺旋状の溝の上記終端部は軸方向の領域が最も大きくなるため、上記終端部を避けて上記第1孔部を配置することで、確実に上記螺旋状の溝を避けて上記第1孔部を形成することができる。
本発明の第8の態様は、流体を圧縮するコンプレッサインペラを有する圧縮段に接続された吸入配管に連通する第1導圧流路と、上記吸入配管よりも内径が絞られた上記圧縮段の吸入口に連通する第2導圧流路と、を備え、上記第1導圧流路と上記第2導圧流路のそれぞれは、上記第1導圧流路及び上記第2導圧流路との圧力差に基づいて上記流体の流量を計測する差圧計測部に接続されるべき流路である、ターボ圧縮機である。
本発明の第9の態様は、上記第8の態様において、上記圧縮段は、上記吸入口及び外周面に螺旋状の溝が形成されたインレット部と、上記インレット部が嵌合する凹部を有し上記螺旋状の溝と協働してスクロール流路を形成するケーシングと、を備え、上記第2導圧流路の少なくとも一部は、上記インレット部に形成されている。
本発明の第10の態様は、上記第9の態様において、上記第2導圧流路の少なくとも一部は、上記インレット部において上記螺旋状の溝を避けて半径方向に形成され上記吸入口に連通する第1孔部と、上記インレット部において軸方向に形成され上記第1孔部に連通する第2孔部と、によって形成されている。
本発明の第11の態様は、上記第10の態様において、上記第1孔部は、上記インレット部において上記螺旋状の溝が形成される軸方向の領域よりも外側に形成されている。
本発明の第12の態様は、上記第11の態様において、上記インレット部は、上記吸入口の周りに配置されて上記螺旋状の溝の軸方向における深さに応じた深さで形成された肉抜き溝と、上記肉抜き溝を半径方向に横切るように形成されたリブと、を備え、上記第1孔部は、上記リブに対応する位置に形成されている。
本発明の第13の態様は、上記第10から第12のいずれかの態様において、上記第1孔部は、上記インレット部において周方向に間隔をあけて複数形成されている。
本発明の第14の態様は、上記第13の態様において、上記インレット部において周方向で隣り合う上記第1孔部の間に、上記螺旋状の溝の終端部が配置されている。
本発明によれば、簡便且つ安価にターボ圧縮機に流量計測装置を設置することができる。
本発明の実施形態におけるターボ圧縮機の全体構成図である。 本発明の実施形態における流量計測装置の構成図である。 本発明の実施形態におけるインレット部を吸入口側から視た図である。 本発明の実施形態における第1孔部と螺旋状の溝との位置関係を説明する図である。 本発明の実施形態におけるインレット部に形成された肉抜き溝及びリブを示す斜視図である。 本発明の実施形態におけるインレット部に形成された螺旋状の溝を示す斜視図である。 本発明の別実施形態におけるインレット部を吸入口側から視た図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態におけるターボ圧縮機1の全体構成図である。
図1に示すように、本実施形態のターボ圧縮機1は、第一圧縮段10、第二圧縮段20、第三圧縮段30を備える多段圧縮機である。
ターボ圧縮機1は、電動機2を備える。電動機2は、第一圧縮段10のコンプレッサインペラ11、第二圧縮段20のコンプレッサインペラ21、第三圧縮段30のコンプレッサインペラ31を回転駆動させる。電動機2の駆動軸3は、歯車装置4に接続されており、駆動軸3の駆動力は、歯車装置4を介してコンプレッサインペラ11,21,31に伝達される。
コンプレッサインペラ11,21,31は、ラジアルインペラであり、軸方向で吸気したガス(流体)を半径方向に導出する不図示の3次元的ねじれを含むブレードを有する。コンプレッサインペラ11,21,31の周りには、それぞれディフューザ流路が設けられており、半径方向に導出したガスを、このディフューザ流路において圧縮・昇圧する。また、さらに上記ディフューザ流路の周りに設けられたスクロール流路によって次段の圧縮機に供給することができる。
ターボ圧縮機1は、吸入フィルタ5を備える。吸入フィルタ5は、大気中に含まれる埃や塵等を取り除く。吸入フィルタ5を通過したガスは、吸入配管12を介して第一圧縮段10に入力される。第一圧縮段10で一段階目の圧縮が行われると、この圧縮ガスは吐出配管13を介しインタークーラー6を通って冷却され、第二圧縮段20に吸入配管22を介して入力される。
第二圧縮段20で二段階目の圧縮が行われると、この圧縮ガスは吐出配管23を介しインタークーラー7を通って冷却され、吸入配管32を介して第三圧縮段30に入力される。第三圧縮段30で三段階目の圧縮が行われた圧縮ガスは、吐出配管33を介してターボ圧縮機1に接続された不図示の産業用機械等に供給される。
ターボ圧縮機1は、内部を流通するガスの流量を計測する流量計測装置40を有する。この流量計測装置40は、第1導圧流路41及び第2導圧流路42とを有し、第1導圧流路41と第2導圧流路42との圧力差に基づいてガスの流量を計測する。本実施形態の流量計測装置40は、図1に示すように、第一圧縮段10と第二圧縮段20との間で、ガスの流量を計測する。
次に、流量計測装置40の構成について、図2〜図6を参照して詳しく説明する。
図2は、本発明の実施形態における流量計測装置40の構成図である。図3は、本発明の実施形態におけるインレット部51を吸入口25側から視た図である。図4は、本発明の実施形態における第1孔部54と螺旋状の溝53との位置関係を説明するための図である。図5は、本発明の実施形態におけるインレット部51に形成された肉抜き溝57及びリブ58を示す斜視図である。図6は、本発明の実施形態におけるインレット部51に形成された螺旋状の溝53を示す斜視図である。
図2に示すように、第二圧縮段20は、コンプレッサインペラ21を囲むコンプレッサハウジング24を有する。コンプレッサハウジング24の内部には、コンプレッサインペラ21にガスを導く吸入口25と、コンプレッサインペラ21によって圧縮されたガスが導入されるスクロール流路26とが形成されている。なお、吸入口25から導入されるガスは、空気、酸素、窒素等であり、その種類は特に限定されない。
コンプレッサインペラ21の背面には、回転軸27が一体的に連結されている。回転軸27の周りには、ラビリンスシール28が配設されている。ラビリンスシール28は、回転軸27の周りからのガスの漏洩を防止する。コンプレッサインペラ21の半径方向外側には、スクロール流路26に連通するディフューザ29が設けられている。ディフューザ29は、コンプレッサインペラ21から半径方向に吐き出されたガスを減速・加圧する。
コンプレッサハウジング24は、ケーシング50にインレット部51が嵌合することによって形成されている。ケーシング50は、インレット部51が嵌合する凹部52を有する。凹部52は、有底円筒状の溝であり、その中心にコンプレッサインペラ21が配設される。インレット部51は、コンプレッサインペラ21の正面側に対向する壁部を有しており、インレット部51は、ケーシング50に対しボルトで締結固定されている。
インレット部51には、吸入口25と、螺旋状の溝53とが形成されている。吸入口25には、吸入配管22が接続されている。この吸入口25は、吸入配管22との接続部に絞り25aが形成されており、吸入配管22よりも内径が絞られている。吸入配管22は、所定の内径を有し、また、図1に示すように曲がって配管されるため、曲部の内側と外側でガスの流速が異なる場合がある。吸入口25は、このガスに絞りを与えることで、ガスの流れを整流し、ガスの流速を均一化して、ガスをコンプレッサインペラ21に導入させる。
螺旋状の溝53は、インレット部51の外周面51aに形成されている。螺旋状の溝53は、インレット部51のケーシング50への嵌合により、凹部52の内壁面と協働して、スクロール流路26を形成する。螺旋状の溝53は、インレット部51の中心を通る軸線Lの周りに渦巻き状に形成されている。この螺旋状の溝53は、インレット部51の外周面51aに沿う周方向に進むにつれて、軸線Lが延びる軸方向に徐々に大きくなるように形成されている(図6参照)。
本実施形態の流量計測装置40は、第二圧縮段20に接続された吸入配管22と、第二圧縮段20に形成された吸入口25の圧力差からガスの流量を計測する。すなわち、流量計測装置40の第1導圧流路41は、第二圧縮段20に接続された吸入配管22に連通する。また、流量計測装置40の第2導圧流路42は、吸入配管22よりも内径が絞られた第二圧縮段20の吸入口25に連通する。
本実施形態の流量計測装置40は、第1導圧流路41及び第2導圧流路42を複数有し、それぞれの差圧を計測する差圧計測部43を有する。第1導圧流路41は、吸入配管22に対しその周方向に間隔をあけて複数個所で連通している。また、第2導圧流路42は、吸入口25に対しその周方向に間隔をあけて複数個所で連通している。これにより、流量計測装置40は、管内流路の周方向でガスの圧力が異なる場合であっても、周方向の複数個所で圧力を計測できるため、それらの圧力の平均値に基づく正確な流量計測を行うことができる。
第2導圧流路42は、吸入口25と連通するために、その少なくとも一部がインレット部51に形成されている。具体的に、第2導圧流路42の少なくとも一部は、インレット部51において半径方向に形成され吸入口25に連通する第1孔部54と、インレット部51において軸方向に形成され第1孔部54に連通する第2孔部55と、によって形成されている。
第1孔部54は、インレット部51の外周面51aから軸線Lに向かって半径方向に形成されている。第1孔部54の一端部は、先細り状に形成され、吸入口25の周面に開口している。また、第1孔部54の他端部には、タップが形成され、プラグ56が取り付けられ、外周面51a側からガスが侵入しないように形成されている。
第2孔部55は、インレット部51のフランジ面51bから軸線Lに沿って軸方向に形成されている。第2孔部55の一端部は、第1孔部54に対し直角に連通している。また、第2孔部55の他端部には、タップが形成され、配管等が接続可能になっている。
第1孔部54は、圧縮されたガスが導入されないように、螺旋状の溝53を避けて形成されている。第1孔部54と、螺旋状の溝53との位置関係は、図4に示すようになっている。具体的に、インレット部51において螺旋状の溝53が形成される軸方向の領域(最大領域)を領域Aとすると、第1孔部54は、領域Aよりも軸方向において外側(吸入配管22側)に形成されるように設計されている。これにより、インレット部51の全周に亘って確実に螺旋状の溝53を避けて第1孔部54を配設することができる。
なお、本実施形態では、軽量化、放熱等のために螺旋状の溝53の深さに応じた深さでインレット部51に肉抜き溝57が形成されている(図4及び図5参照)。肉抜き溝57は、その機能の性質上、螺旋状の溝53の近傍まで掘り下げることが好ましいが、そうすると、インレット部51において第1孔部54を形成するための肉厚を確保することが困難になる。そこで、本実施形態では、肉抜き溝57を横切るように要所にリブ58を形成し(図5参照)、インレット部51の厚みを確保している(図4参照)。
リブ58は、図3に示すように、半径方向に延在して形成されている。第1孔部54は、リブ58に対応する位置に形成されている。第1孔部54は、インレット部51において周方向に間隔をあけて複数形成されており、本実施形態では90°間隔で4つ形成されている。また、この90°間隔で隣り合う第1孔部54間の領域の一つには、螺旋状の溝53の終端部53bが配置されている。
螺旋状の溝53は、図6に示すように、始端部53aから終端部53bに向かうに従ってその軸方向の幅が大きくなっている。このため、インレット部51の終端部53bにおいては薄肉となる。したがって、図3に示すように、この終端部53bを避けて第1孔部54を配置することで、肉厚を確保しつつ確実に螺旋状の溝53を避けて第1孔部54を形成することができる。なお、図3の符号53cは、螺旋状の溝53の中心線を示している。
続いて、上記構成の流量計測装置40の動作及び作用について説明する。
流量計測装置40は、図2に示すように、第1導圧流路41を介して吸入配管22からガスを導入し、また、第2導圧流路42を介して吸入口25からガスを導入し、差圧計測部43において両者の差圧を計測し、その差圧に基づいて第二圧縮段20に流入するガスの流量を計測する。吸入口25は、吸入配管22よりも内径が絞られているので、吸入口25を流れるガスと、吸入配管22を流れるガスとの間の流速差によって圧力差が生じる。そのため、流量計測装置40は、周知のベンチュリ流量計と同じ原理で流量を計測することができる。
このように、本実施形態では、流量計測装置40は、第二圧縮段20に接続された吸入配管22と、第二圧縮段20に形成された吸入口25との圧力差からガスの流量を計測する。第二圧縮段20に形成された吸入口25は、コンプレッサインペラ21に導入されるガスの流れを均一化等するために、吸入配管22の内径よりも元々絞られており、流量計測にあたりベンチュリ管の役割を果たす。このため、本実施形態では、オリフィスプレート又はベンチュリ管を別途用意することなく、ターボ圧縮機1の構造を利用して流量計測を行うことができ、簡便且つ安価に流量計測装置40を設置することができる。
また、本実施形態では、吸入口25に連通する第2導圧流路42の一部を、インレット部51に形成している。インレット部51には、吸入口25と螺旋状の溝53とが形成されており、吸入配管22側のように圧力計測用の座を簡単に設けることは困難である。そのため、半径方向に第1孔部54を、軸方向に第2孔部55をそれぞれ形成し、両者を連通させることで、吸入口25からガスを導き出している。このようにインレット部51を加工し、吸入口25から工夫してガスを導き出すようにしたことで、従来のような直管溶接構造物を必要とせず、また、従来よりも第2導圧流路42の設置スペースが小さく済む。そのため、図1に示すように、ターボ圧縮機1が多段圧縮機であった場合に、吸入配管22が曲がって配設される第一圧縮段10と第二圧縮段20との間に第2導圧流路42を設置することができるようになる。
また、本実施形態では、第1孔部54をインレット部51において螺旋状の溝53を避けて半径方向に形成するために、図4に示すように、第1孔部54をインレット部51において螺旋状の溝53が形成される軸方向の領域Aよりも外側に形成している。これにより、幅がインレット部51の周方向に進むにつれて軸方向に徐々に大きく変化する螺旋状の溝53を避けて第1孔部54を確実に配設することができる。
また、本実施形態では、放熱等のために螺旋状の溝53の深さに応じた深さでインレット部51に肉抜き溝57を形成した場合に、要所に肉抜き溝57を横切るようにリブ58を設け、インレット部51の厚みを確保している。そのため、放熱等の機能を確保しつつ、確実に螺旋状の溝53を避けて第1孔部54を配設することができる。
また、図3に示すように、インレット部51において周方向で隣り合う第1孔部54の間に、螺旋状の溝53の終端部53bを配置することで、図6に示すように、第1孔部54から螺旋状の溝53までの厚みが薄肉とならない。そのため、確実に螺旋状の溝53を避けて第1孔部54を形成することができる。
このように、上述の本実施形態によれば、ガスを圧縮するコンプレッサインペラ21を備える第二圧縮段20に接続された吸入配管22に連通する第1導圧流路41と、吸入配管22よりも内径が絞られた第二圧縮段20の吸入口25に連通する第2導圧流路42と、を有し、第1導圧流路41と第2導圧流路42との圧力差に基づいてガスの流量を計測するターボ圧縮機1の流量計測装置40を採用する。そのため、別途高価なオリフィスプレートを用意しなくとも、ターボ圧縮機1の構造を利用してガスの流量を計測できるため、簡便且つ安価にターボ圧縮機1に流量計測装置40を設置することができる。
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、図7に示すような構成を採用しても良い。なお、図7において、上記実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付している。
図7は、別実施形態におけるインレット部51を吸入口側から視た図であり、上記実施形態の図3と対応している。
図7に示すように、別実施形態における第1孔部54は、120°間隔で3つ形成されている。このように第1孔部54を120°間隔で3つ形成することで、吸入口25の最下点Bにおいて第1孔部54が開口しないよう配置することができる。この構成によれば、ガスの凝縮液やゴミ等が第1孔部54に入り込まない。また、この構成によれば、隣り合う第1孔部54の間に、螺旋状の溝53の終端部53bを余裕を持って配置することができる。
なお、上記実施形態でも、第1孔部54の配置を45°ずらすことで、吸入口25の最下点Bにおいて第1孔部54が開口しないよう配置することができる。
また、例えば、上記実施形態では、第1導圧流路と第2導圧流路とを複数設け、それぞれの差圧を計測する構成について説明したが、本発明はこの構成に限定されない。例えば、複数の第1導圧流路を一まとめに接続して圧力を平均化し、また、複数の第2導圧流路を一まとめに接続して圧力を平均化し、その両者の差圧を計測する構成であっても良い。これにより、差圧計測部の設置数を低減できる。
また、例えば、上記実施形態では、流量計測装置が第一圧縮段と第二圧縮段との間で流量を計測する構成について説明したが、本発明はこの構成に限定されない。例えば、第一圧縮段の入口で流量を計測する構成であっても良いし、第二圧縮段と第三圧縮段との間(第三圧縮段の入口)で流量を計測する構成であっても良い。
本発明によれば、簡便且つ安価にターボ圧縮機に流量計測装置を設置することができる。
1 ターボ圧縮機、
20 第二圧縮段(圧縮段)
21 コンプレッサインペラ
22 吸入配管
25 吸入口
26 スクロール流路
40 流量計測装置
41 第1導圧流路
42 第2導圧流路
50 ケーシング
51 インレット部
51a 外周面
52 凹部
53 螺旋状の溝
53b 終端部
54 第1孔部
55 第2孔部
57 肉抜き溝
58 リブ
A 領域

Claims (14)

  1. 流体を圧縮するコンプレッサインペラを有する多段圧縮機の圧縮段圧縮段との間に接続され、曲がって配設された吸入配管に連通する第1導圧流路と、
    前記吸入配管よりも内径が絞られた前記圧縮段の吸入口に連通する第2導圧流路と、を備え、
    前記第1導圧流路と前記第2導圧流路との圧力差に基づいて前記流体の流量を計測するターボ圧縮機の流量計測装置。
  2. 前記圧縮段は、前記吸入口及び外周面に螺旋状の溝が形成されたインレット部と、前記インレット部が嵌合する凹部を有し前記螺旋状の溝と協働してスクロール流路を形成するケーシングと、を備え、
    前記第2導圧流路の少なくとも一部は、前記インレット部に形成されている請求項1に記載のターボ圧縮機の流量計測装置。
  3. 前記第2導圧流路の少なくとも一部は、前記インレット部において前記螺旋状の溝を避けて半径方向に形成され前記吸入口に連通する第1孔部と、前記インレット部において軸方向に形成され前記第1孔部に連通する第2孔部と、によって形成されている請求項2に記載のターボ圧縮機の流量計測装置。
  4. 前記第1孔部は、前記インレット部において前記螺旋状の溝が形成される軸方向の領域よりも外側に形成されている請求項3に記載のターボ圧縮機の流量計測装置。
  5. 前記インレット部は、前記吸入口の周りに配置されて前記螺旋状の溝の軸方向における深さに応じた深さで形成された肉抜き溝と、前記肉抜き溝を半径方向に横切るように形成されたリブと、を備え、
    前記第1孔部は、前記リブに対応する位置に形成されている請求項4に記載のターボ圧縮機の流量計測装置。
  6. 前記第1孔部は、前記インレット部において周方向に間隔をあけて複数形成されている請求項3〜5のいずれか一項に記載のターボ圧縮機の流量計測装置。
  7. 前記インレット部において周方向で隣り合う前記第1孔部の間に、前記螺旋状の溝の終端部が配置されている請求項6に記載のターボ圧縮機の流量計測装置。
  8. 流体を圧縮するコンプレッサインペラを有する多段圧縮機の圧縮段圧縮段との間に接続され、曲がって配設された吸入配管に連通する第1導圧流路と、
    前記吸入配管よりも内径が絞られた前記圧縮段の吸入口に連通する第2導圧流路と、
    を備え、
    前記第1導圧流路と前記第2導圧流路のそれぞれは、前記第1導圧流路及び前記第2導圧流路との圧力差に基づいて前記流体の流量を計測する差圧計測部に接続されるべき流路である、ターボ圧縮機。
  9. 前記圧縮段は、前記吸入口及び外周面に螺旋状の溝が形成されたインレット部と、前記インレット部が嵌合する凹部を有し前記螺旋状の溝と協働してスクロール流路を形成するケーシングと、を備え、
    前記第2導圧流路の少なくとも一部は、前記インレット部に形成されている請求項8に記載のターボ圧縮機。
  10. 前記第2導圧流路の少なくとも一部は、前記インレット部において前記螺旋状の溝を避けて半径方向に形成され前記吸入口に連通する第1孔部と、前記インレット部において軸方向に形成され前記第1孔部に連通する第2孔部と、によって形成されている請求項9に記載のターボ圧縮機。
  11. 前記第1孔部は、前記インレット部において前記螺旋状の溝が形成される軸方向の領域よりも外側に形成されている請求項10に記載のターボ圧縮機。
  12. 前記インレット部は、前記吸入口の周りに配置されて前記螺旋状の溝の軸方向における深さに応じた深さで形成された肉抜き溝と、前記肉抜き溝を半径方向に横切るように形成されたリブと、を備え、
    前記第1孔部は、前記リブに対応する位置に形成されている請求項11に記載のターボ圧縮機。
  13. 前記第1孔部は、前記インレット部において周方向に間隔をあけて複数形成されている請求項10〜12のいずれか一項に記載のターボ圧縮機。
  14. 前記インレット部において周方向で隣り合う前記第1孔部の間に、前記螺旋状の溝の終端部が配置されている請求項13に記載のターボ圧縮機。
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