JP6146375B2 - 研磨パッドの洗浄方法及びウェーハの研磨方法 - Google Patents
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Description
上述のように、研磨中のウェーハの表面におけるキズの発生を抑制するため、研磨パッドに溜まった研磨残渣を効率良く除去することができる研磨パッドの洗浄方法が求められていた。
まず、本発明の研磨パッドの洗浄方法について説明する。
なお、図4では、洗浄液13を密閉空間16に供給する経路の一例として、洗浄液13をタンク12からスラリー供給ライン19を通し、上定盤穴10から密閉空間16に供給する経路を挙げた。このような経路で洗浄を実施するのであれば、スラリー供給ライン19に流すものを研磨剤から洗浄液13に交換するだけで、洗浄を実施することができる。そのため、新たに研磨パッドを洗浄する機構を用意する必要がほとんどなく安価に本発明を実施することができる。
ウェーハを研磨パッドに摺接することで研磨する場合において、本発明の洗浄方法を用いて研磨パッドを洗浄する洗浄工程と、前記研磨パッドに研磨剤を供給しつつ前記ウェーハを摺接して研磨する研磨工程を有することで、本発明のウェーハの研磨方法とすることができる。図6に本発明の研磨パッドの洗浄方法の一例を示す。
図4に示すような洗浄システムを用いて、図1、図6に示す本発明の研磨パッドの洗浄方法及びウェーハの研磨方法に従って、研磨パッドの洗浄及びウェーハの研磨を行った。すなわち、両面研磨に使用した両面研磨機の研磨パッドを洗浄し、その後に両面研磨を行った。
本実施例では、まず、両面研磨機を用意し、ウェーハに両面研磨を施すことにより、洗浄対象の研磨パッドを用意した。研磨パッドとして発泡ポリウレタンパッド(JH RHODES社製のLP−57)を使用した。この研磨パッドを4ウェイ式の両面研磨機の上下定盤にそれぞれ貼り付けた。そして複数の直径300mmのシリコンウェーハを研磨することにより、研磨パッドに研磨残渣を蓄積させた。
スラリーはKOHアルカリベースのコロイダルシリカ(フジミ社製のGLANZOX2100)を用い、ウェーハを保持するキャリアは母材がチタンで、インサート材がアラミド樹脂のものを用いた。
研磨残渣量の測定箇所は、図7の矢印で示すように、上研磨パッド及び下研磨パッド上の外周と内周から等距離にある円上の各々3箇所とし、上研磨パッド及び下研磨パッドについてこれらの箇所で測定した研磨残渣量の値の平均値をとった。
5…下研磨パッド、 6…サンギヤ、 7…インターナルギヤ、 8…キャリア、
9…ウェーハ保持孔、 10…上定盤穴、 11…洗浄システム、 12…タンク、
13…洗浄液、 14…内周部の密閉部材、 15…外周部の密閉部材、
16…密閉空間、 17…ヒーター、 18…脱着可能な密閉部材、
19…スラリー供給ライン、 W…ウェーハ。
Claims (7)
- 上下定盤を有するウェーハの両面研磨機において、前記上下定盤に貼り付けられた研磨パッドに洗浄液を供給することによって前記研磨パッドを洗浄する研磨パッドの洗浄方法であって、
前記上下定盤に貼り付けられた研磨パッドの内外の周辺部にリング状の密閉部材を配置して上下定盤により挟み込むことによって、前記上下定盤に貼り付けられた研磨パッドと前記密閉部材とにより囲まれた密閉空間を形成し、前記密閉空間に洗浄液を供給することで前記研磨パッドを洗浄することを特徴とする研磨パッドの洗浄方法。 - 前記洗浄液としては、昇温した有機系アルカリ水溶液を用いることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッドの洗浄方法。
- 前記有機系アルカリ水溶液は、30〜40℃のものを用いることを特徴とする請求項2に記載の研磨パッドの洗浄方法。
- 前記有機系アルカリ水溶液は、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を用いることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の研磨パッドの洗浄方法。
- 前記上下定盤の温度は、前記研磨パッドを洗浄する際に、30〜40℃に設定することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の研磨パッドの洗浄方法。
- 前記研磨パッドの洗浄は、前記洗浄液による洗浄を行った後、前記密閉空間に供給した前記洗浄液を排出し、再び前記密閉空間に洗浄液を供給することで、前記研磨パッドを2〜4回繰り返して洗浄することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の研磨パッドの洗浄方法。
- ウェーハを研磨パッドに摺接することで研磨するウェーハの研磨方法であって、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の研磨パッドの洗浄方法を用いて前記研磨パッドを洗浄する洗浄工程と、前記研磨パッドに研磨剤を供給しつつ前記ウェーハを摺接して研磨する研磨工程を有することを特徴とするウェーハの研磨方法。
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