JP6145119B2 - 単結晶圧電繊維含有複合体およびこれを含む磁気電気複合材料積層体 - Google Patents
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Description
2)xPb(A1、A2、…、B1、B2、…)O3+(1−x)Pb(Zr、Ti)O3
(但し、前記1)および2)において、xはモル分率であって0<x<1であり、A1、A2、…はZn、Mg、Ni、Lu、InおよびScよりなる群から選ばれた一つ以上の元素であり、B1、B2、…はNb、Ta、MoおよびWよりなる群から選ばれた一つ以上の元素である。)
このような複合ペロブスカイト構造を持つ単結晶圧電素材の代表的な例としては、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−PbTiO3(PMN−PT)、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−Pb(Zr、Ti)O3(PMN−PZT)、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3−PbTiO3(PZN−PT)などを挙げることができる。
一方、本発明に係る磁気電気複合材料積層体は、上述した構成要素以外に、必要に応じて質量体(proof mass)をさらに含むことができる。具体的に、磁気電気複合材料積層体の一側端の上面および下面の少なくとも一方に設置される質量体をさらに含むことができ、このように一定の重量を有する質量体を設置することにより、エネルギーハーベスティングのための周波数調節、共振の際に振幅の増加による出力向上を図ることができる。
特に、本発明に係る磁気電気複合材料積層体を電力線監視センサー駆動電源のためのエネルギーハーベスティング素子として使用する場合、電力線の寄生磁場が、国家によって異なるが50Hzまたは60Hzの周波数を有することを考慮するとき、電力線監視センサー駆動電源用エネルギーハーベスティング磁気電気複合材料積層体は、共振/反共振周波数がこの寄生磁場の周波数に合わせられなければならず、これは磁気電気複合材料積層体の長さによって合わせられることもできるが、特定の設計長さにおける質量体の大きさ、付着位置によっても調節が可能である。
図6は前記センサーノードの一実施例の構成を示すブロック図である。図6を参照すると、前記センサーノード10は、電源供給部100と、電力線の温度、弛み、振動および電流の中から選ばれる少なくとも一つの物理量データを測定するセンサー部200と、前記センサー部によって測定されたデータを処理および伝達する制御部300と、前記制御部から伝達されたデータを無線で伝送する無線通信モジュール400とを含むことができる。
厚さ方向が[011]に配向され、横方向配向がd32モード(長手方向:[100]、幅方向:[0−11]本明細書では、数字の前のマイナス(−)は、数字上のバー(bar)表記を意味する。)である菱面体晶ペロブスカイト構造のPMN−PZT単結晶板を約200μmの厚さを持つように機械的に加工した後、前記加工された圧電単結晶板を、一面に銅全面電極がメッキされたポリイミド(PI)フィルム上に接着させた後、前記圧電単結晶板をPIフィルムの長手方向に切断して、幅約200μmの1つ以上の圧電単結晶繊維を含む圧電繊維層を形成した。その後、一面に銅全面電極がメッキされた別のPIフィルムをエポキシ樹脂を用いて圧電繊維層上に接着し、1kV/mmの電場で分極過程(poling)を行うことにより、圧電繊維含有複合体を得た。
圧電繊維層の製造のために、厚さ方向が[011]に配向され、横方向配向がd31モード(長手方向:[0−11]、幅方向:[100])である菱面体晶ペロブスカイト構造のPMN−PZT単結晶板を使用した以外は実施例1と同様にして、磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体の両面にNiプレートを接合させた以外は実施例1と同様にして、図3bに示した構造を持つ磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体の両面にNiプレートを接合させた以外は実施例2と同様にして、図3bに示した構造を持つ磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体の一面に90mm(長さ)×20mm(幅)×0.25mm(厚さ)のNiプレートを接合させた以外は実施例1と同様にして、図4に示した構造を持つ磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体の一面に90mm(長さ)×20mm(幅)×0.25mm(厚さ)のNiプレートを接合させた以外は実施例2と同様にして、図4に示した構造を持つ磁気電気複合材料積層体を製造した。
銅全面電極の代わりに、銅からなるものであって隙間距離(gap distance)500μmの交互配置電極(IDE)を使用する以外は、実施例1と同様にして、磁気電気複合材料複合体を得た。
銅全面電極の代わりに、銅からなるものであって隙間距離(gap distance)500μmの交互配置電極(IDE)を使用する以外は、実施例2と同様にして、磁気電気複合材料複合体を得た。
実施例1、2、7および8で製造された磁気電気複合材料複合体試片それぞれの一側端に質量体(proof mass)として2gの永久磁石を設置して電力線監視センサー駆動電源用エネルギーハーベスティング磁気電気複合材料複合体を得た。
圧電繊維層の製造のために、厚さ方向が[001]に配向された菱面体晶ペロブスカイト構造のPMN−PZT単結晶板を使用した以外は実施例1と同様にして磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体の両面にNiプレートを接合させた以外は比較例1と同様にして、磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体として商用マクロファイバー複合構造体(Macro Fiber Composite、MFC)[Smart Material Corp.,USA]を使用した以外は実施例3と同様にして、磁気電気複合材料積層体を製造した。
圧電繊維含有複合体の一面に90mm(長さ)×20mm(幅)×0.25mm(厚さ)のNiプレートを接合させた以外は比較例1と同様にして、図4に示した構造を持つ磁気電気複合材料積層体を製造した。
比較例1で製造された磁気電気複合材料複合体試片それぞれの一側端に質量体(proof mass)として2gの永久磁石を設置して電力線監視センサー駆動電源用エネルギーハーベスティング磁気電気複合材料複合体を得た。
実施例1で製造された圧電繊維複合体および商用マクロファイバー複合構造体[P2 type、Smart Material Corp.,USA]を対象として、電場印加による長手方向の変形(longitudinal strain)およびその履歴を測定した。その結果を図9に示した。
実施例1〜4および比較例1〜3で製造された磁気電気複合材料積層体を対象として、直流磁場(Hdc)の大きさの変化による磁気電気電圧係数(αME=dE/dH)の変化を測定した。
本発明の実施例1、2、7、8および比較例1で製造された磁気電気複合材料積層体を対象として交流磁場(Hac)の大きさの変化による磁気電気電圧係数(αME=dE/dH)の変化を測定した。
実施例5、実施例6および比較例4で製造された磁気電気複合材料積層体のエネルギーハーベスト特性を観察するために、図16に示すようにセットアップされた装置を用いて、実施例5、実施例6および比較例4で製造された磁気電気複合材料積層体の試片の一側端に質量体(proof mass)2gの永久磁石を設置した試片に対して、マグネチックシェーカー(TJ−22、TMC solution、dynamic)で機械的振動(30mG、G:重力加速度9.8m/sec2)を印加し、ヘルムホルツコイル(Helmholtz coil)で磁気的変化(1Oe)を印加しながら、最大電圧を示す共振周波数を測定し、当該共振周波数で時間の変化に応じて測定した開放回路電圧Vocの様相を観察した。その結果を図17および図18に示した。
本発明の実施例9〜12および比較例5で製造された磁気電気複合材料積層体の交流磁場からのエネルギーハーベスト特性を観察するために、図21でのようにセットアップされた装置を用いて、韓国内に敷設された電力線の周辺から発生しうる交流磁場(60Hz、1.6G)によるエネルギーハーベスト特性を観察した。
Claims (17)
- 一面に第1電極が形成された第1保護層と、一面に第2電極が形成された第2保護層と、前記第1電極と前記第2電極との間に介在され、複合体の長手方向に配列された1つ以上の圧電繊維からなる圧電繊維層とを含む圧電繊維含有複合体であって、
前記第1電極および前記第2電極が全面電極であり、
前記圧電繊維は、単結晶圧電素材からなり、前記単結晶の<011>方向が複合体の厚さ方向及び分極方向と一致し、前記単結晶の<001>方向は複合体の長手方向と一致することを特徴とする、圧電繊維含有複合体。 - 前記単結晶圧電素材がペロブスカイト(Perovskite)結晶構造または複合ペロブスカイト結晶構造を持つことを特徴とする、請求項1に記載の圧電繊維含有複合体。
- 前記複合ペロブスカイト結晶構造を持つ単結晶圧電素材が下記化学式1)または2)で表されることを特徴とする、請求項2に記載の圧電繊維含有複合体。
1)xPb(A1、A2、…、B1、B2、…)O3+(1−x)PbTiO3
2)xPb(A1、A2、…、B1、B2、…)O3+(1−x)Pb(Zr、Ti)O3
(式中、xはモル分率であって0<x<1であり、A1、A2、…はZn、Mg、Ni、Lu、InおよびScよりなる群から選ばれた一つ以上の元素であり、B1、B2、…はNb、Ta、MoおよびWよりなる群から選ばれた一つ以上の元素である。) - 前記複合ペロブスカイト結晶構造を持つ単結晶圧電素材が菱面体晶系(Rhombohedral)結晶構造を持つことを特徴とする、請求項2に記載の圧電繊維含有複合体。
- 前記第1保護層および前記第2保護層がポリイミド(Polyimide、PI)、ポリエチレンナフタレート(Polyethylene naphthalate、PEN)、ポリエチレンテレフタレート(Polyethylene terephthalate、PET)またはポリカーボネート(polycarbonate、PC)からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電繊維含有複合体。
- (a)一面に第1電極が形成された第1保護層の前記第1電極上に、単結晶圧電素材からなり且つ前記単結晶の<011>方向が厚さ方向と一致し且つ前記単結晶の<001>方向は長手方向と一致する圧電単結晶層を接合させる段階と、
(b)前記圧電単結晶層を長手方向に切断し、1つ以上の圧電繊維からなる圧電繊維層を形成する段階と、
(c)一面に第2電極が形成された第2保護層の前記第2電極と前記圧電繊維層とが接するように、圧電繊維層上に第2保護層を接合させる段階と、
(d)前記圧電繊維に対して厚さ方向に分極を行う段階とを含んでなり、
前記第1電極および前記第2電極が全面電極である圧電繊維含有複合体の製造方法。 - 前記圧電繊維は、単結晶圧電素材からなり、前記単結晶の<011>方向が複合体の厚さ方向と一致し、前記単結晶の<001>方向は複合体の長手方向と一致することを特徴とする、請求項6に記載の圧電繊維含有複合体の製造方法。
- 前記第1保護層および前記第2保護層がポリイミド(Polyimide、PI)、ポリエチレンナフタレート(Polyethylene naphthalate、PEN)、ポリエチレンテレフタレート(Polyethylene terephthalate、PET)またはポリカーボネート(polycarbonate、PC)からなることを特徴とする、請求項6又は7に記載の圧電繊維含有複合体の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電繊維含有複合体と、該複合体の一面または両面に備えられ、磁歪(magnetostrictive)素材からなる磁歪層とを含み、
前記圧電繊維は、単結晶圧電素材からなり、前記単結晶の<011>方向が前記複合体の厚さ方向と一致し、前記単結晶の<001>方向は前記複合体の長手方向と一致することを特徴とする、磁気電気複合材料積層体。 - 前記磁歪素材が強磁性金属、フェライト系セラミックス、磁歪合金または磁性形状記憶合金であることを特徴とする、請求項9に記載の磁気電気複合材料積層体。
- 前記強磁性金属がNiまたはFeであることを特徴とする、請求項10に記載の磁気電気複合材料積層体。
- 前記フェライト系セラミックスがFe3O4、NiFe2O4、MnFe2O4、(Ni、Zn)Fe2O4、(Mn、Zn)Fe2O4、CoFe2O4、γ−Fe2O3またはバリウムフェライトであることを特徴とする、請求項10に記載の磁気電気複合材料積層体。
- 前記磁歪合金がテルフェノール−D(Terfenol−D)、ガルフェノール(Galfenol)、サムフェノール−D(Samfenol−D)、メトグラス(Metglas)またはFeCoB合金であることを特徴とする、請求項10に記載の磁気電気複合材料積層体。
- 前記磁性形状記憶合金がNi2MnGa合金、NiMnIn合金、NiCoMnIn合金、FePd合金、FeNiGa合金またはCoNiGa合金であることを特徴とする、請求項10に記載の磁気電気複合材料積層体。
- 磁気電気複合材料積層体の一側端の上面および下面の少なくとも一つに、永久磁石からなる質量体(Proof mass)をさらに含むことを特徴とする、請求項9に記載の磁気電気複合材料積層体。
- (a)磁歪素材からなる磁歪層を準備する段階と、
(b)単結晶圧電素材からなり且つ前記単結晶の<011>方向が複合体の厚さ方向と一致し且つ前記単結晶の<001>方向は複合体の長手方向と一致する圧電繊維を含む圧電繊維含有複合体を準備する段階と、
(c)前記圧電繊維に対して分極を行う段階と、
(d)前記圧電繊維含有複合体の一面または両面に前記磁歪層を積層する段階とを含んでなる、請求項9〜15のいずれか1項に記載の磁気電気複合材料積層体の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電繊維含有複合体、または請求項9〜15のいずれか1項に記載の磁気電気複合材料積層体を含んでなる圧電素子。
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