JP6138238B2 - 部品装着装置 - Google Patents
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Description
以下に図1を用いて、部品装着装置100について説明する。図1に示すように、部品装着装置100は、基板搬送装置10と、部品供給装置20、部品装着部40、制御部50、及びノズル収容部材70を有する。なお、以下の説明において、基板の搬送方向を、X軸方向とする。そして、水平面において、X軸方向と直交する方向を、Y軸方向とする。また、X軸方向及びY軸方向と直交する鉛直方向をZ軸方向とする。
以下に、図3を用いて加速度取得部材90について説明する。加速度取得部材90は、本体部91、加速度センサ92、通信部93、バッテリ94、マグネット95から構成されている。本体部91は、ブロック状である。本実施形態では、本体部91は、略円柱形状である。本体部91の上部には、平面である装着面96が形成されている。
以下に、図4に示すフローチャートを用いて、「第一実施形態の第一固有振動数取得処理」について説明する。「第一固有振動数取得処理」は、XYロボットを稼働させた際に発生する、吸着ヘッド60の部位(吸着ノズル65)の固有振動数である「第一固有振動数」を取得する処理である。なお、ノズル収容部材70の収容部70aには、加速度取得部材90が収容されている。「第一実施形態の第一固有振動数取得処理」が開始すると、プログラムは、S11に進む。
以下に、図5に示すフローチャートを用いて、「第二実施形態の第一固有振動数取得処理」について説明する。「第二実施形態の第一固有振動数取得処理」は、基板搬送装置10で、ノズル収容部材70の収容部70aに収容されている加速度取得部材90を順次、部品装着装置100内における装着位置に搬送し、各部品装着装置100の「第一固有振動数」を取得する処理である。「第二実施形態の第一固有振動数取得処理」が開始すると、プログラムは、S110に進む。
以下に、図6に示すフローチャートを用いて、「第一実施形態の第二固有振動数取得処理」について説明する。「第二固有振動数取得処理」は、XYロボットを稼働させた際に発生する、基板搬送装置10の部位(基台41の部位)の固有振動数、つまり、基台41側の固有振動数である「第二固有振動数」を取得する処理である。「第一実施形態の第二固有振動数取得処理」が開始すると、プログラムはS20に進む。S20の処理は、図4に示す「第一固有振動数取得処理」のS11と同一である。S20が終了すると、プログラムはS21に進む。
以下に、図7に示すフローチャートを用いて、「第二実施形態の第二固有振動数取得処理」について説明する。「第二実施形態の第二固有振動数取得処理」は、基板搬送装置10で、ノズル収容部材70の収容部70aに収容されている加速度取得部材90を順次、部品装着装置100内における装着位置に搬送し、各部品装着装置100の「第二固有振動数」を取得する処理である。なお、図示しない搬送板上に加速度取得部材90が収容されたノズル収容部材70が載置され、基板搬送装置10によって搬送板が順次部品装着装置100内における装着位置に搬送される。「第二実施形態の第二固有振動数取得処理」が開始すると、プログラムはS31に進む。
次に、図8に示す振動抑制部200のブロック図を用いて、「振動抑制制御」について説明する。「振動抑制制御」は、X、Yロボットの稼働による吸着ヘッド60の移動に伴う反力によって発生した振動を抑制する制御である。図8に示すように、振動抑制部200は、位置指令部51、制振制御部52、フィードバック制御部53を有している。位置指令部51、制振制御部52、及びフィードバック制御部53は、制御部50のCPUや「記憶部」に記憶されたプログラムによって構成されているが、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)によって構成されていても差し支え無い。
上述した説明から明らかなように、図3に示す加速度取得部材90(加速度取得部)は、X、Yロボット(吸着部移動装置)によって吸着ヘッド60(吸着部)を移動させた際における、吸着ヘッド60の部位の加速度を取得する(図4のS13)。これにより、図4のS14において、制御部50が吸着ヘッド60の部位の加速度を解析することにより、吸着ヘッド60の部位の固有振動数である「第一固有振動数」等の吸着ヘッド60の振動抑制に役立つ情報を得ることができる。
以上説明した実施形態では、「第一固有振動数」や「第二固有振動数」を演算している。しかし、「第一固有振動数」や「第二固有振動数」を演算すること無く、X、Yロボットによる吸着ヘッド60の位置決め動作を繰り返して、加速度取得部材90によって検出された吸着ヘッド60の部位の加速度に基づいて、制御部50のプログラムの調整を行い、吸着ヘッド60の振動を抑制する実施形態であっても差し支え無い。
Claims (5)
- 基台と、
部品を吸着し、前記部品を基板に装着する吸着部と、
前記基台に取り付けられ、前記吸着部を移動させる吸着部移動装置と、
前記吸着部移動装置によって前記吸着部を移動させた際における、前記吸着部の部位の加速度を取得する加速度取得部と、を有し、
前記吸着部は、前記部品を吸着する吸着ノズルと、当該吸着ノズルを取り付け前記吸着部移動装置に取り付けられる吸着ヘッドとから構成され、
前記加速度取得部は、前記吸着ノズルと交換可能に前記吸着ヘッドに取り付けられる部品装着装置。 - 基台と、
部品を吸着し、前記部品を基板に装着する吸着部と、
前記基台に取り付けられ、前記吸着部を移動させる吸着部移動装置と、
前記吸着部移動装置によって前記吸着部を移動させた際における、前記吸着部の部位の加速度を取得する加速度取得部と、を有し、
前記吸着部は、前記部品を吸着する吸着ノズルと、当該吸着ノズルを取り付け前記吸着部移動装置に取り付けられる吸着ヘッドとから構成され、
前記加速度取得部は、前記吸着ヘッドと交換可能に前記吸着部移動装置に取り付けられる部品装着装置。 - 前記加速度取得部は、前記基台又は前記基台に一体的に取り付けられた部材に着脱可能に取り付けられる請求項1に記載の部品装着装置。
- 前記基台には、前記基板を搬送する基板搬送装置が取り付けられ、
前記基板搬送装置は、前記加速度取得部を搬送可能である請求項1に記載の部品装着装置。 - 前記吸着部移動装置によって前記吸着部を移動させた際に、前記加速度取得部によって取得された加速度に基づいて、前記吸着部の移動によって発生した振動を解析する振動解析部と、
前記振動解析部によって解析された解析結果に基づいて、前記吸着部移動装置を制御して、前記振動を抑制する振動抑制部と、を有する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の部品装着装置。
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