JP6131552B2 - 波長変換素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図1(A)〜(C)を参照して、この発明の概要について説明する。図1(A)は、波長変換素子の概容を説明するための模式図である。図1(B)は、従来の波長変換素子に対応する。図1(C)は、本発明の波長変換素子に対応する。なお、図1(B)及び(C)は、言わば、図1(A)のA−A線に沿った端面図に相当する。また、図1(B)及び(C)には、端面図と共に、厚み方向に沿って測った素子の屈折率分布を示している。
ここで、N1は基本波光INに対する光導波路18の等価屈折率、N2は波長変換光OUTに対する光導波路18の等価屈折率である。基本波光IN又は波長変換光OUTに対する光導波路18の等価屈折率とは、光導波路18を伝搬する基本波光IN又は波長変換光OUTの伝搬定数と波数の関係を規格化して表した数値である。光導波路18を伝搬する基本波光IN又は波長変換光OUTの位相速度は、この等価屈折率を有する空間中を伝搬する場合と等しくなる。
続いて、図2〜図4を参照して、本発明の波長変換素子、及びその製造方法の実施形態について説明する。図2(A)は、波長変換素子の構成を概略的に示す斜視図である。図2(B)は、図2(A)のA−A線に沿った端面図である。図3(A)及び(B)は、波長変換素子の製造方法を工程順に示す斜視図である。図4(A)及び(B)は、図3(B)に続く工程を工程順に示す斜視図である。
図2(A)及び(B)に示すように、波長変換素子20は、分極反転構造が形成されたコア12と、コア12の光入出力端面を除く全側面を覆うクラッド16とを備えた光導波路18を備えている。そして、波長変換素子20は、この光導波路18を、厚み方向の上下から挟持する第1及び第2基板22及び24を備える。また、波長変換素子20は、光導波路18の幅方向の両側に、分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板26の部分領域である第1及び第2基板部分26a及び26bを備えている。
続いて、図3及び図4を参照して、本発明の波長変換素子の製造方法について説明する。図3(A)及び(B)は、波長変換素子の製造方法を工程順に示す斜視図である。図4(A)及び(B)は、図3(B)に続く工程を工程順に示す斜視図である。
図3(A)に示すように、分極反転構造が形成された平行平板状の強誘電体結晶基板26’を準備する。そして、この強誘電体結晶基板26’の主面と、第1基板22の主面との間に満たした2μm以上の厚みの接着剤28で両基板22及び26’を接着する。
続いて、図3(B)に示すように、第1基板22に貼り付けた強誘電体結晶基板26’を、常法に従いコア12の厚みHとなるまで研磨する。これにより、第1基板22には、接着剤28を介して、厚みがHの平行平板状の強誘電体結晶基板26が配位される。
続いて、図4(A)に示すように、ダイシングソー30等を用いて、強誘電体結晶基板26側から、第1及び第2ドメインD1及びD2の境界面Sと垂直な方向に平行に2本の溝32a及び32bを形成する。溝32a及び32bを切削することで両溝32a及び32bの間に残った強誘電体結晶基板26の領域をコア12とする。以降、このように溝32a及び32bとコア12が形成された構造体を、素子前駆体40と称する。
続いて、図4(B)に示すように、素子前駆体40のコア12が形成された側の面と、第2基板24の主面との間を満たす接着剤28で素子前駆体40と第2基板24を接着して、2本の溝32a及び32bの内部を接着剤28で満たすと共に、コア12の上面と第2基板24の主面とに2μm以上の接着剤28を介在させ、接着剤28をクラッド16として機能させる。
6,16,105 クラッド
12 コア
13 周期的分極反転構造(分極反転構造)
18 光導波路
22 第1基板
22b 凹部
24 第2基板
26,26’ 強誘電体結晶基板
26a 第1基板部分
26b 第2基板部分
26c 一部領域
28 接着剤
30 ダイシングソー
32a,32b 溝
40 素子前駆体
100 従来型の波長変換素子(従来型素子)
104 基板
106 第1クラッド
Claims (7)
- 第1基板と、
自発分極の向きが反転する第1及び第2ドメインが交互に並ぶ周期的分極反転構造を有する強誘電体結晶で構成されるコアと、
前記第1基板の主面上に設けられた、前記コアの光伝搬方向に沿った全側面を覆う均一な屈折率を有するクラッドと
を備え、
前記第1及び第2ドメインの境界面が、光伝搬方向と非平行に配置されており、
前記コアは、前記クラッド中に前記主面に平行に延在して設けられており、
前記第1基板の、前記コアの直下領域の両側に、前記コアに沿って延在する凹部が形成されており、
該凹部は、前記クラッドで充填されている
ことを特徴とする波長変換素子。 - 前記クラッドが、前記コアよりも屈折率が小さい材料で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の波長変換素子。
- 前記クラッドは、各前記側面から光伝搬方向に直交する方向に測った厚みが2μm以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の波長変換素子。
- 前記コアの光伝搬方向に垂直な横断面形状が正方形であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の波長変換素子。
- 前記クラッド上に第2基板が設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の波長変換素子。
- 前記クラッドが、前記第1基板及び前記第2基板に、前記強誘電体結晶の基板を貼り付けるための接着剤であることを特徴とする請求項5に記載の波長変換素子。
- 自発分極の向きが反転する第1及び第2ドメインが交互に並ぶ周期的分極反転構造を有する強誘電体結晶基板と、第1基板とを、互いに対向する主面間に満たした2μm以上の厚みの接着剤で接着する工程と、
前記強誘電体結晶基板側から、前記第1及び第2ドメインの境界面と非平行な方向に沿って2本の溝を形成し、該溝の前記強誘電体結晶基板の主面に垂直に測った深さを該強誘電体結晶基板の厚み以上とし、かつ、該溝の光伝搬方向に直交しかつ前記強誘電体結晶基板の主面に平行に測った幅を2μm以上とすることにより、前記2本の溝の間の強誘電体結晶基板の領域がコアである素子前駆体を形成する工程と、
前記素子前駆体のコアが形成された側の面と、第2基板の主面との間を接着剤で満たして前記素子前駆体と前記第2基板とを接着して、2本の溝の内部を接着剤で満たすと共に、前記コアの上面と前記第2基板の主面とに2μm以上の前記接着剤を介在させる工程とを備え、
前記接着剤をクラッドとして機能させることを特徴とする波長変換素子の形成方法。
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