JP6126929B2 - 微差圧発信器及び空調システム - Google Patents

Description

本発明は、微差圧発信器及びそれを備えた空調システムに関する。

従来、製造ラインのクリーンルームや排気の管理が必要な実験室等においては、空調を管理するシステム（以下、「空調システム」と称する。）によって室環境が整えられている。このようなクリーンルームや実験室等においては、空調システムによって、温度や湿度、さらには室内の気圧が高精度で管理されている。
空調システムによって室内の気圧を管理する場合、クリーンルーム内の気圧をクリーンルームの外部の気圧（外気圧）と同一に管理するため、微差圧発信器によって、クリーンルーム内の気圧と基準圧とする外気圧との差を検出している。
微差圧発信器には、クリーンルーム内の気圧と外気圧とが導入され、それらの気圧差が電気信号として検出される。
例えば、非特許文献１には、シリコンダイアフラムを用いた静電容量型の微差圧発信器が記載されている。

非特許文献１に記載された微差圧発信器では、微差圧発信器から、気圧を測定すべきクリーンルーム内と外部とにそれぞれ導圧配管を配設し、その先端部を開放している。微差圧発信器側に集約された各導圧配管の端部間には、シリコンダイアフラムが設置されている。そして、クリーンルーム内の気圧とクリーンルーム外部の気圧（外気圧）との気圧差によって、シリコンダイアフラムに圧力が加わる。すると、シリコンダイアフラムは、気圧差によって歪みを生じ、歪み量に応じた電気信号を出力する。
上記した非特許文献１に記載されている微差圧発信器によれば、クリーンルームの内部と外部との気圧差を定量的に検出することができる。検出された気圧差を示す検出信号を、例えば送風機の制御信号に利用すれば、外部との気圧差に応じて、クリーンルーム内への送付量を調整することができる。

株式会社山武ビルシステムカンパニー、微差圧センサ、形ＰＹ８０００Ｄ、仕様・取扱説明書、２０１１年１月改訂２１版、[２０１２年６月１８日検索]インターネット ＵＲＬ：http://www.azbil.com/jp/

しかしながら、上記した非特許文献１に記載の微差圧発信器を用いてクリーンルーム内の圧力を調整するには、クリーンルーム内の圧力を静的な外気の圧力と比較することが望ましいものの、クリーンルーム外部においては、風等の外乱によって外気圧が静的な圧力から変化することがある。このような外乱が発生した場合、微差圧発信器が正確な基準圧を検出できないことから、空調システムによる適切な気圧の制御を行うことが困難となる。
このように、従来の微差圧発信器においては、室圧を制御するための基準圧を適切に検出する上で改善の余地があった。
本発明の課題は、室圧を制御するための基準圧をより適切に検出することである。

上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る微差圧発信器は、
基準とする圧力と測定対象の圧力との差分を検出する差圧検出部（１１０）と、前記基準とする圧力を前記差圧検出部に導入する第１導圧部と、前記測定対象の圧力を前記差圧検出部に導入する第２導圧部（１０１ｂ）と、を備え、前記第１導圧部は、少なくとも基準とする圧力が導入される開口部（ｅ，３００ａ）と、前記開口部を密封して覆う袋体（１０３，３０３）と、前記袋体を囲い、内部と外部とを連通する連通部を有する箱体（１０２，３０２）と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る微差圧発信器は、
前記第１導圧部は、第１導圧配管（１０１ａ，３０１ａ）を備え、前記第１導圧配管の一方の端部は、前記差圧検出部に連通し、他方の端部（ｅ）は、前記開口部となること、を特徴とする。
また、本発明の一態様に係る微差圧発信器は、
前記袋体（３０３）は、蛇腹状であること、を特徴とする。
また、本発明の一態様に係る微差圧発信器は、
予め設定した気温の上限における前記袋体内の空気の量が前記袋体の容積より小さく、予め設定した気温の下限において前記袋体内に空気が残存すること、を特徴とする。
本発明の一態様に係る空調システムは、
基準とする圧力と測定対象の圧力との差分を検出する差圧検出部（１１０）と、前記基準とする圧力を前記差圧検出部に導入する第１導圧部と、前記測定対象の圧力を前記差圧検出部に導入する第２導圧部（１０１ｂ）と、前記差圧検出部の検出結果に基づいて、送風の制御を行う送風制御部（２００）と、を備え、前記第１導圧部は、少なくとも基準とする圧力が導入される開口部（ｅ，３００ａ）と、前記開口部を密封して覆う袋体（１０２，３０２）と、前記袋体を囲い、内部と外部とを連通する連通部を有する箱体（１０３，３０３）と、を備えること、を特徴とする。

本発明によれば、室圧を制御するための基準圧をより適切に検出することが可能となる。

本発明の一実施形態の空調システム１の全体構成を示す模式図である。 基準圧アダプターＡの構成を示す模式図である。 差圧検出部１１０の機能構成を示すブロック図である。 他の実施形態の微差圧発信器３００及び基準圧アダプターＡ２を説明する図である。 他の実施形態の微差圧発信器３００及び基準圧アダプターＡ３を説明する図である。

以下、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。
（空調システム１の全体構成）
図１は、本実施形態に係る空調システム１の全体構成を示す模式図である。
図１において、空調システム１は、微差圧発信器１００と、送風機制御部２００とを備えている。
なお、以下、本実施形態に係る空調システム１を、密閉された室環境を有するクリーンルームに適用した場合を例に挙げて説明する。
即ち、本実施形態の空調システム１は、クリーンルーム内の室圧（測定圧）がクリーンルーム外部の気圧（基準圧＝０［Ｐａ］）と等しくなるように、クリーンルームに設けられた図示しないファン（送風機）の出力を調整するシステムである。

（微差圧発信器１００の構成）
微差圧発信器１００は、導圧配管１０１ａ，１０１ｂと差圧検出部１１０とを備えている。導圧配管１０１ａ，１０１ｂは、樹脂製のチューブや銅管等によって構成される。
導圧配管１０１ａは、一端を微差圧発信器１００内に設置され、他端をクリーンルーム外部の基準圧とする空間に設置されている。導圧配管１０１ａのクリーンルーム外部側の端部には、後述する基準圧アダプターＡが設置され、微差圧発信器１００側の端部は、差圧検出部１１０の図示しないダイアフラム１１１における一方の圧力室に連通している。導圧配管１０１ａの基準圧アダプターＡが設置されている側の端部には、後述するように、基準圧アダプターＡの構造によって、クリーンルーム外部の静的な気圧が導入されている。

導圧配管１０１ｂは、一端を微差圧発信器１００内に設置され、他端をクリーンルーム内に設置されている。導圧配管１０１ｂのクリーンルーム側の端部は開放され、微差圧発信器１００側の端部は、差圧検出部１１０の図示しないダイアフラム１１１における他方の圧力室に連通している。導圧配管１０１ｂのクリーンルーム側の端部は開放されているため、導圧配管１０１ｂ内部の圧力はクリーンルーム内の圧力と平衡状態となる。
なお、本実施形態では、微差圧発信器１００が、クリーンルーム外部の気圧（基準圧）とクリーンルーム内の気圧（測定圧である室圧）との差分（差圧）を測定することから、適宜、外部を「基準側」、クリーンルーム内を「測定側」と称するものとする。
差圧検出部１１０は、基準圧と室圧との差分（差圧）に応じた電気信号である検出信号Ｓを送風機制御部２００に送信する。送風機制御部２００は、検出信号Ｓに基づいて図示しないファン（送風機）の出力を制御し、クリーンルーム内の室圧を制御する。

（基準圧アダプターＡの構成）
次に、導圧配管１０１ａの基準側の端部に設置される基準圧アダプターＡの構成について説明する。
図２は、基準圧アダプターＡの構成を示す模式図である。
基準圧アダプターＡは、導圧配管１０１ａの基準側の端部（以下、「基準側端部ｅ」と称する。）に設置されており、箱体１０２と、袋体１０３とを備えている。なお、図２においては、基準圧アダプターＡ内部の構成を説明するために、箱体１０２を破線で示し、透視した状態を表している。本実施形態では、導圧配管１０１ａの基準側端部ｅが、基準とする圧力が導入される開口部である。

箱体１０２は、風圧等の外力を遮る硬さの材料（例えば、プラスチック製等）からなる箱状部材であり、取付け用枠を介して壁等に固定されている。また、箱体１０２は、箱体１０２の内外を連通する連通孔１０２ａを備えており、連通孔１０２ａによって、箱体１０２内部の圧力は箱体１０２外部の圧力と一致した状態となる。なお、連通孔１０２ａは、外部からの風等の影響が内部に及ばない小面積の開口部であり、本実施形態では、箱体１０２の対向する１対の側面における下端部分それぞれに、横長のスリットとして形成されている。
そして、箱体１０２は、後述するように基準側端部ｅを覆う袋体１０３を、容積に余裕を持たせて囲う構造となっている。即ち、箱体１０２と袋体１０３との間には、袋体１０３が最大に膨張した場合にも空間が形成され、袋体１０３内の圧力が箱体１０２の容積によって影響されない構造となっている。

また、箱体１０２は風圧等の外力を遮る硬さの材料からなるため、箱体１０２内部の圧力は箱体１０２外部の圧力における動的な影響を受けることなく、箱体１０２外部の静的な圧力が内部に導入されている。
袋体１０３は、導圧配管１０１ａの基準側端部ｅを密封して覆う袋状の部材であり、袋体１０３の内外の圧力が平衡するような柔軟性を有する材料（例えば、ビニル等）によって構成されている。この袋体１０３は、金属管からなるコネクタ１０３ａを介して基準側端部ｅに取り付けられている。コネクタ１０３ａは、袋体１０３が基準側端部ｅを密封した状態とするために、導圧配管１０１ａとは溶接等によって連結され、袋体１０３とは接着等によって連結されている。

また、袋体１０３には、予め一定量の空気が封入されており、温度変化によって導圧配管１０１ａ等の内部の空気が膨張あるいは収縮した場合にも、袋体１０３内に基準圧を検出可能な量の空気が維持されるようになっている。即ち、袋体１０３内に封入される空気の量については、設置環境として想定される気温の上限においても、導圧配管１０１ａから膨出する空気の量が袋体１０３の容積より小さくなり、設置環境として想定される気温の下限においても、導圧配管１０１ａに吸引された後に袋体１０３内に空気が残存する状態に設定される。袋体１０３が導圧配管１０１ａの基準側端部ｅを密封して覆っていることによっても、基準側端部ｅに導入される基準圧をより安定した静的な圧力とすることができる。

（差圧検出部１１０の構成）
次に、微差圧発信器１００の差圧検出部１１０の構成について説明する。
図３は、差圧検出部１１０の機能構成を示すブロック図である。
図３に示すように、差圧検出部１１０は、ダイアフラム１１１と、増幅回路１１２と、出力回路１１３とを備えている。
ダイアフラム１１１は、例えば、単結晶シリコンウェハをエッチングして製造された拡散型の半導体歪ゲージを備えている。この半導体歪ゲージは、ホイートストンブリッジ回路を構成している。

ダイアフラム１１１に差圧Ｐが加わると、半導体歪ゲージに歪みが生じる。ダイアフラム１１１は、半導体歪ゲージに生じた歪みをホイートストンブリッジ回路によって、ピエゾ抵抗効果の抵抗値変化として検出する。
増幅回路１１２は、ダイアフラムによって検出された抵抗値の変化を増幅する。
出力回路１１３は、増幅回路１１２によって増幅された抵抗値の変化を検出信号Ｓとして送風機制御部２００に送信する。
すると、送風機制御部２００は、検出信号Ｓに応じて、図示しないファン（送風機）の出力を制御する。このようにファン（送風機）の出力が制御されることにより、クリーンルーム内の気圧が基準圧と一致するように制御される。

（動作）
次に、動作を説明する。
本実施形態に係る空調システム１は、導圧配管１０１ａの基準側端部ｅに基準圧アダプターＡを有しており、基準側端部ｅはクリーンルーム外部に設置されている。また、空調システム１は、導圧配管１０１ｂの測定側の端部をクリーンルーム内に設置されている。
そして、空調システム１においては、導圧配管１０１ａの基準側端部ｅに導入される気圧が、差圧検出部１１０のダイアフラム１１１における一方の圧力室に基準圧として入力される。

さらに、導圧配管１０１ｂの測定側の端部に導入される気圧が、差圧検出部１１０のダイアフラム１１１における他方の圧力室に測定圧として入力される。
このとき、基準側端部ｅには、基準圧アダプターＡが設置されているため、箱体１０２によって、風等の外乱の影響を抑制できる。
また、袋体１０３によって、温度変化による空気の膨張あるいは収縮に対しても安定して静的な基準圧を得ることができる。
そして、空調システム１が稼動すると、差圧検出部１１０において、基準圧と測定圧との差圧Ｐが生じている場合、ダイアフラム１１１の半導体歪ゲージに歪みが生じ、ホイートストンブリッジ回路によって検出される歪みに応じた検出信号Ｓが出力される。この検出信号Ｓは、測定圧と基準圧との差圧Ｐの値を示している。

微差圧発信器１００は、検出信号Ｓを送風機制御部２００に出力し、送風機制御部２００は、検出信号Ｓに応じたファン（送風機）の制御を行う。
具体的には、送風機制御部２００は、検出信号Ｓが基準圧よりも測定圧が高いことを示している場合、ファン（送風機）の出力を低下させる制御を行う。一方、送風機制御部２００は、検出信号Ｓが基準圧よりも測定圧が低いことを示している場合、ファン（送風機）の出力を上昇させる制御を行う。
このような動作の結果、クリーンルーム内の室圧を基準圧と一致させる制御を行う際に、安定した静的な基準圧を用いることが可能となる。

以上のように、本実施形態に係る空調システム１は、微差圧発信器１００の基準側端部ｅに基準圧アダプターＡを備えている。
基準圧アダプターＡは、基準圧を導入する導圧配管１０１ａの基準側端部ｅを袋体１０３が密封し、袋体１０３を箱体１０２が囲う構造を有している。
そのため、箱体１０２が風圧等の外力を遮るため、箱体１０２内部の圧力は箱体１０２外部の圧力における動的な影響（外乱）を受けることなく、箱体１０２外部の静的な圧力が基準圧として内部に導入される。さらに、袋体１０３が基準側端部ｅを密封して覆っているため、基準側端部ｅに導入される基準圧がより安定して静的な圧力となる。
したがって、本実施形態に係る空調システム１によれば、クリーンルーム等の室圧を制御するための基準圧をより適切に検出することが可能となる。

また、袋体１０３には、予め一定量の空気が封入され、温度変化によって導圧配管１０１ａ等の内部の空気が膨張あるいは収縮した場合にも、袋体１０３内に基準圧を検出可能な量の空気が維持されるようになっている。
したがって、基準側の温度が変動した場合であっても、適切な基準圧を得ることが可能となる。
本実施形態に係る基準圧アダプターＡにおける各種設定値や材料は、空調システム１の設置環境等を加味した実験あるいはシミュレーションによって具体的に決定することができる。
例えば、基準圧アダプターＡは、箱体１０２の外形を１辺数センチメートル程度とすることで、設置スペースの観点から有利となる。

なお、本実施形態の空調システム１及び微差圧発信器１００は、以上説明した構成に限定されるものではない。
例えば、箱体１０２の材料としてプラスチックを例に挙げて説明したが、このような構成に限定されるものではない。即ち、箱体１０２は、風等の外乱の影響を抑制できるものであれば良い。
また、袋体１０３の材料としてビニルを例に挙げて説明したが、このような構成に限定されるものではない。即ち、袋体１０３は、袋体１０３外部の圧力が内部に伝わる材料であれば良い。

次に、本発明の他の実施形態について、図面を用いて説明する。
以下に説明する本発明の他の実施形態の空調システム２は、基準圧アダプターＡ２及び導圧配管３０１ａの形態等が前述の一実施形態の基準圧アダプターＡ及び導圧配管１０１ａとは異なる以外は、前述の一実施形態の空調システム１と同様である。
従って、前述の一実施形態の空調システム１と同様の機能を果たす部分には、共通する符号又は末尾に共通する符号を付して、重複する説明を適宜省略する。

図４は、他の実施形態の微差圧発信器３００及び基準圧アダプターＡ２を説明する図である。図４（ａ）は、微差圧発信器３００及び基準圧アダプターＡ２を示し、図４（ｂ）は、基準圧アダプターＡ２を示している。
微差圧発信器３００は、導圧配管３０１ａ，１０１ｂと差圧検出部１１０とを備えている。
導圧配管３０１ａは、ポリエチレンやナイロン、フッ素樹脂等の樹脂製のチューブ状の部材である。この導圧配管３０１ａの一端は、汎用のワンタッチ式ユニオン等の継手部材３０４により、微差圧発信器３００の端部に設けられた開口孔３００ａに接続されている。また、導圧配管３０１ａの他端には、後述する基準圧アダプターＡ２が配置されている。前述の一実施形態と同様に、導圧配管３０１ａは、開口孔３００ａを介して、差圧検出部１１０のダイアフラム１１１（図３参照）における一方の圧力室に連通している。
導圧配管３０１ａの基準圧アダプターＡ２が設置されている側の端部には、基準圧アダプターＡ２の構造によって、クリーンルーム外部の静的な気圧が導入されている。

この導圧配管３０１ａは、前述の一実施形態の導圧配管１０１ａに比べてその長さが短く、後述する基準圧アダプターＡ２が、導圧配管３０１ａを介して微差圧発信器３００から吊り下げられた形態となっている。
この導圧配管３０１ａとしては、例えば、外径８ｍｍ（内径６ｍｍ）の樹脂製チューブを用いることができるが、この限りではない。また、導圧配管３０１ａは、銅管等の金属製を用いてもよい。

基準圧アダプターＡ２は、導圧配管３０１ａの他端、即ち、基準側の端部（以下、「基準側端部ｅ」と称する）に設置されており、箱体３０２と、袋体３０３と、コネクタ３０３ａ等とを備えている。この基準圧アダプターＡ２は、クリーンルーム外部の基準圧とする空間に位置している。本実施形態では、導圧配管３０１ａの基準側端部ｅが、基準とする圧力が導入される開口部である。
なお、基準圧アダプターＡ２内部の構成を説明するために、図４（ａ）では、箱体３０２の内部を透視した状態で示し、図４（ｂ）では、箱体３０２を破線で示し、内部を透視した状態を表している。

箱体３０２は、風圧等の外力を遮る硬さの材料（プラスチック等）からなる箱状部材である。本実施形態では、円筒形状である例を挙げて説明するが、この限りではない。
また、箱体３０２は、箱体３０２の内外を連通する連通孔３０２ａを備えており、連通孔３０２ａによって、箱体３０２内部の圧力は箱体３０２外部の圧力と一致した状態となる。なお、連通孔３０２ａは、外部からの風等の影響が内部に及ばない小面積の開口部であり、本実施形態では、箱体３０２の長手方向の上端部と下端部に、対向するようにスリット状に形成されている。

さらに、箱体３０２は、後述する袋体３０３を、容積に余裕を持たせて囲う構造となっている。即ち、箱体３０２と袋体３０３との間には、袋体３０３が最大に膨張した場合にも空間が形成され、袋体３０３内の圧力が箱体３０２の容積によって影響されない構造となっている。
さらにまた、箱体３０２は、前述のように、風圧等の外力を遮る硬さの材料からなるため、箱体３０２内部の圧力は箱体３０２外部の圧力における動的な影響を受けることなく、箱体３０２外部の静的な圧力が内部に導入されている。

袋体３０３は、導圧配管３０１ａの基準側端部ｅを密封して覆う袋状の部材であり、図４（ｂ）に示すように、略円筒形状であり、その周面部分が蛇腹状となっている。この袋体３０３は、内部に予め一定量の空気が封入されており、内部の空気の膨張や収縮に応じて、図４（ｂ）に示す矢印方向（即ち、円筒形状の長手方向）に伸縮自在となっている。
この袋体３０３は、その内外の圧力が平衡するような柔軟性を有する材料（ビニル等）によって構成されている。
この袋体３０３は、金属管からなるコネクタ３０３ａを介して基準側端部ｅに取り付けられている。コネクタ３０３ａは、袋体３０３が基準側端部ｅを密封した状態とするために、導圧配管３０１ａとは溶接等によって連結され、袋体３０３とは接着等によって連結されている。なお、導圧配管３０１ａと袋体３０３とは、タケノコ接続等により、接続してもよい。

袋体３０３は、温度変化によって導圧配管３０１ａ等の内部の空気が膨張あるいは収縮した場合にも、袋体３０３内に基準圧を検出可能な量の空気が維持されるようになっている。即ち、袋体３０３内に封入される空気の量については、設置環境として想定される気温の上限においても、導圧配管３０１ａから膨出する空気の量が袋体３０３の容積より小さくなり、設置環境として想定される気温の下限においても、導圧配管３０１ａに吸引された後に袋体３０３内に空気が残存する状態に設定される。
袋体３０３が導圧配管３０１ａの基準側端部ｅを密封して覆っていることによっても、基準側端部ｅに導入される基準圧をより安定した静的な圧力とすることができる。

このような形態とした場合には、前述の一実施形態の奏する効果に加えて、さらに、以下のような効果を奏することができる。
本実施形態によれば、前述の一実施形態に比べて、基準圧アダプターＡ２の配置スペースを小さくすることができる。
また、本実施形態によれば、箱体１０２を取付け用枠を介して壁等に固定する等の作業も不要であり、基準圧アダプターＡ２の設置作業が短時間で容易に行える。さらに、箱体３０２を固定しなくとも、基準圧アダプターＡ２自体を安定して配置できる。
さらにまた、基準圧アダプターＡ２は、蛇腹状の袋体３０３を備えることにより、前述の一実施形態の袋体１０３及び箱体１０２を用いた場合に比べて、小型化することができる。加えて、袋体３０３は、蛇腹形状により、その長手方向にのみ伸縮するので、箱体３０２の設計等が容易である。

図５は、他の実施形態の微差圧発信器３００及び基準圧アダプターＡ３を説明する図である。
以下に説明する本発明の他の基準圧アダプターＡ３は、微差圧発信器３００との接続形態が、前述の基準圧アダプターＡ２等と異なる以外は、前述の他の実施形態の基準圧アダプターＡ２と同様である。
従って、前述の一実施形態の空調システム１や他の実施形態の空調システム２と同様の機能を果たす部分には、共通する符号又は末尾に共通する符号を付して、重複する説明を適宜省略する。

この基準圧アダプターＡ３は、接続部材３０５により、微差圧発信器３００の開口孔３００ａに取り付けられている。本実施形態では、開口孔３００ａが基準側端部ｅに相当し、基準とする圧力が導入される開口部である。
本実施形態では、接続部材３０５は、例えば、その外周面にねじ山が切られており、一方の端部は、開口孔３００ａの内周面に形成された雌ネジと螺合する形態となっている。従って、本実施形態は、基準圧アダプターＡ３が直接開口孔３００ａに取り付けられた形態に等しい。この接続部材３０５は、例えば、金属製である。
接続部材３０５の一方の端部は、前述のように、開口孔３００ａに接続されている。また、接続部材３０５の他方の端部（基準側端部ｅ側）は、袋体３０３とは樹脂により溶接されており、基準側端部ｅを袋体３０３で密封した形態となっている。なお、接続部材３０５の他方の端部に、袋体３０３を接着して配置してもよい。

このような形態とした場合には、前述の一実施形態の奏する効果に加えて、さらに、以下のような効果を奏することができます。
本実施形態によれば、前述の一実施形態の基準圧アダプターＡや他の実施形態の基準圧アダプターＡ２に比べて、さらに基準圧アダプターＡ３の配置スペースを小さくし、省スペース化することができる。
また、本実施形態によれば、取付け用枠を介して箱体１０２を壁等に固定する等の作業も不要であり、基準圧アダプターＡ３の設置作業が短時間で容易に行える。さらに、箱体３０２を固定しなくとも、基準圧アダプターＡ３自体を安定して配置できる。
さらにまた、基準圧アダプターＡ３は、蛇腹状の袋体３０３を備えることにより、前述の一実施形態の袋体１０３及び箱体１０２を用いた場合に比べて、小型化することができる。加えて、袋体３０３は、蛇腹形状により、その長手方向にのみ伸縮するので、箱体３０２の設計が容易である。

なお、上述の他の実施形態の空調システム２及び微差圧発信器３００は、以上説明した構成に限定されるものではない。
例えば、箱体３０２の材料としてプラスチックを例に挙げて説明したが、このような構成に限定されるものではない。即ち、箱体３０２は、風等の外乱の影響を抑制できる材料であれば良く、また、円筒形状に限らず、例えば、角柱形状等としてもよい。
また、袋体３０３の材料としてビニルを例に挙げて説明したが、このような構成に限定されるものではない。即ち、袋体３０３は、シリコン樹脂等、袋体３０３の外部の圧力がその内部に伝わる程度に柔軟な材料であればよい。
さらに、袋体３０３は、その周面部分が蛇腹状である例を示したが、これに限らず、内部の空気の容積に合わせて伸縮自在であれば、他の形状としてもよい。

なお、上述の各実施形態等は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した各実施形態等によって限定されることはない。

１，２：空調システム、１００，３００：微差圧発信器、１０１ａ，３０１ａ，１０１ｂ：導圧配管、ｅ：基準側端部、１０２，３０２：箱体、１０２ａ，３０２ａ：連通孔、１０３，３０３：袋体、１０３ａ，３０３ａ：コネクタ、１１０：差圧検出部、１１１：ダイアフラム、１１２：増幅回路、１１３：出力回路、Ａ，Ａ２，Ａ３：基準圧アダプター、２００：送風機制御部

Claims (5)

1. 基準とする圧力と測定対象の圧力との差分を検出する差圧検出部と、
   前記基準とする圧力を前記差圧検出部に導入する第１導圧部と、
   前記測定対象の圧力を前記差圧検出部に導入する第２導圧部と、
   を備え、
   前記第１導圧部は、
   少なくとも基準とする圧力が導入される開口部と、
   前記開口部を密封して覆う袋体と、
   前記袋体を囲い、内部と外部とを連通する連通部を有する箱体と、
   を備えること、
   を特徴とする微差圧発信器。
2. 請求項１に記載の微差圧発信器において、
   前記第１導圧部は、第１導圧配管を備え、
   前記第１導圧配管の一方の端部は、前記差圧検出部に連通し、他方の端部は、前記開口部となること、
   を特徴とする微差圧発信器。
3. 請求項１又は請求項２に記載の微差圧発信器において、
   前記袋体は、蛇腹状であること、
   を特徴とする微差圧発信器。
4. 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の微差圧発信器において、
   予め設定した気温の上限における前記袋体内の空気の量が前記袋体の容積より小さく、予め設定した気温の下限において前記袋体内に空気が残存すること、
   を特徴とする微差圧発信器。
5. 基準とする圧力と測定対象の圧力との差分を検出する差圧検出部と、
   前記基準とする圧力を前記差圧検出部に導入する第１導圧部と、
   前記測定対象の圧力を前記差圧検出部に導入する第２導圧部と、
   前記差圧検出部の検出結果に基づいて、送風の制御を行う送風制御部と、
   を備え、
   前記第１導圧部は、
   少なくとも基準とする圧力が導入される開口部と、
   前記開口部を密封して覆う袋体と、
   前記袋体を囲い、内部と外部とを連通する連通部を有する箱体と、
   を備えること、
   を特徴とする空調システム。

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