JP6121891B2 - 太陽電池及び太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
また、物理的に接触していたとしても、反射防止膜や酸化膜が残存したりして、部分的には電気的に接触してない場合があり、光電変換効率を低下させる要因となっていた。この問題に対して、特許文献2ではめっき処理をする方法が、特許文献3では酸に浸漬する方法が、特許文献4では水素中でアニールする方法がそれぞれ開示されている。いずれの方法も電極と基板間の接触抵抗を低減する有効な方法であるが、処理するために必要な機器が大がかりであったり、材料の変更をする必要があったりして、汎用性のある発明ではなかった。
前記シリコン基板の表面から内部に、銅を拡散させる工程と、
前記シリコン基板上に、前記集電電極を形成する工程と、
前記シリコン基板の内部に拡散した銅を、拡散により前記集電電極と前記シリコン基板の界面部分に移動させる工程と
を有することを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する。
上記のように、電極と基板の間の接触抵抗が低く、光電変換効率に優れた太陽電池が求められている。
前記シリコン基板の表面から内部に、銅を拡散させる工程と、
前記シリコン基板上に、前記集電電極を形成する工程と、
前記シリコン基板の内部に拡散した銅を、拡散により前記集電電極と前記シリコン基板の界面部分に移動させる工程と
を有する太陽電池の製造方法が、上記課題を解決できることを見出し、本発明の太陽電池の製造方法を完成させた。
以下、本発明の太陽電池について、図1を用いて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
以下、本発明の太陽電池の製造方法の一例をp型基板の場合を例に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
本発明の有効性を確認するため、太陽電池特性の比較を行った。
厚さ200μm、比抵抗1Ω・cmの、ホウ素ドープ{100}p型アズカットシリコン基板16枚に対し、熱濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去後、72℃の水酸化カリウム/2−プロパノール水溶液中に浸漬しテクスチャ形成を行い、引き続き75℃に加熱した塩酸/過酸化水素混合溶液中で洗浄を行った。
104、204、300…基板(シリコン基板)、 106a、106b…銅、
301…バスバー電極、 302…フィンガー電極。
Claims (8)
- pn接合を有するシリコン基板及び該シリコン基板に接する集電電極を有する太陽電池であって、前記集電電極と前記シリコン基板の界面部分に拡散させた銅を含むものであり、
前記集電電極は銀の焼結体を含むものであることを特徴とする太陽電池。 - 前記シリコン基板がp型シリコン基板にn型層を形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 前記集電電極が前記シリコン基板の受光面上及び裏面上に形成されたものであり、前記受光面側の集電電極と前記シリコン基板の受光面の界面部分、及び、前記裏面側の集電電極と前記シリコン基板の裏面の界面部分に拡散させた銅を含むものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の太陽電池。
- pn接合を有するシリコン基板及び該シリコン基板に接する集電電極を有する太陽電池の製造方法であって、
前記シリコン基板の表面から内部に、銅を拡散させる工程と、
前記シリコン基板上に、前記集電電極を形成する工程と、
前記シリコン基板の内部に拡散した銅を、拡散により前記集電電極と前記シリコン基板の界面部分に移動させる工程と
を有し、
前記集電電極を形成する工程において、銀を焼結する工程を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記銅を拡散させる工程及び前記集電電極を形成する工程を同時に行うことを特徴とする請求項4に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記シリコン基板をp型シリコン基板にn型層を形成したものとすることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記銅を拡散させる工程において前記シリコン基板の受光面及び裏面の表面から内部に、銅を拡散させ、
前記集電電極を形成する工程において前記シリコン基板の受光面上及び裏面上に、前記集電電極を形成し、
前記シリコン基板の内部に拡散した銅を、前記銅を移動させる工程において拡散により前記受光面側の集電電極と前記シリコン基板の受光面の界面部分、及び、前記裏面側の集電電極と前記シリコン基板の裏面の界面部分に移動させることを特徴とする請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記銅を拡散させる工程において、前記シリコン基板を銅が溶解している溶液に浸漬することを特徴とする請求項4から請求項7のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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