JP6115423B2 - 基板の分割方法 - Google Patents
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Description
22 基板本体
22a 主面
24 部品
26 樹脂層
27,27k 個片部分
27a,27b,27c 切断対象
28 個片領域
28a,28b 短辺(一対の辺)
28c,28d 長辺(他の一対の辺)
28m,28n 個片部分側
28p〜28s 3列の個片部分
28u 1列目の個片部分
28v 2列目の個片部分
28w 3列目の個片部分
28x,28y 境界線
29 周辺領域
29m,29n 周辺領域側
29p 周辺領域側部分
Claims (3)
- 基板本体と前記基板本体の主面を覆う樹脂層とを備え、前記主面に垂直な方向から見ると、境界線に沿って格子状に分割される予定の複数個の個片部分を含む矩形の個片領域と、前記個片領域に隣接する周辺領域とに区画される基板を準備する第1の工程と、
前記基板の前記樹脂層にダイシングテープを貼り付けて前記基板を密着固定した状態で、前記基板から前記個片部分を分割する第2の工程と、
を備えた基板の分割方法において、
前記第2の工程は、
前記個片領域の互いに平行な一対の辺にそれぞれ隣接する2列ずつの前記個片部分の境界線以外の前記境界線のうち前記一対の辺と平行な前記境界線及びその延長線と、
前記個片領域の互いに平行な他の一対の辺にそれぞれ隣接する2列ずつの前記個片部分の前記境界線以外の前記境界線のうち前記他の一対の辺と平行な前記境界線及びその延長線と、
に沿って前記基板を切断する第1のステップと、
前記第1のステップの後に、
前記個片領域の互いに平行な一対の辺にそれぞれ隣接する前記2列ずつの前記個片部分の前記境界線のうち前記一対の辺と平行な前記境界線及びその延長線と、
前記個片領域の互いに平行な他の一対の辺にそれぞれ隣接する前記2列ずつの前記個片部分の前記境界線のうち前記他の一対の辺と平行な前記境界線及びその延長線と、
に沿って前記基板を切断する第2のステップと、
を含むことを特徴とする、基板の分割方法。 - 前記第2のステップにおいて、
前記個片領域の前記辺に隣接する前記2列の個片部分の前記境界線のうち前記辺と平行な前記境界線及びその延長線とに沿って、前記辺側から前記基板の内側へと順に、前記基板を切断することを特徴とする、請求項1に記載の基板の切断方法。 - 前記第1のステップにおいて、
最初に、前記個片領域の中央を通る前記個片領域の前記一対の辺と平行な1本の前記境界線及びその延長線と、前記個片領域の中央を通る前記個片領域の前記他の一対の辺と平行な1本の前記境界線及びその延長線とに沿って、前記基板を十字状に切断することを特徴とする、請求項1又は2に記載の基板の分割方法。
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